JP6811962B2 - 質量分析装置及び質量分析方法 - Google Patents
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Description
例えば、アシスト光は、電子が深い準位にありイオン化率が低い元素を、トンネルイオン化されやすい仮想準位である任意のアシスト準位にまで上げる。
尚、本実施形態では、各機構の配置関係を現実的に考えて各軸C1〜C4が交差する実施形態としているが、レーザ光軸C2が試料13に向かない方向を維持することができれば、各軸が交差しない構成や、一つの軸を共有するような構成とすることも可能である。
(1)
試料を保持可能に設けられた試料台と、
前記試料台の試料載置面に対向配置され、質量分析をする分析部と、
前記試料載置面に向けてイオンビームを照射可能に設けられたイオンビーム源と、
前記試料載置面と前記分析部の間の対象領域にアシストエネルギーを供給するアシストエネルギー源と、
前記対象領域にレーザ光を照射するレーザ光源と、
を備える質量分析装置。
(2)
前記アシストエネルギー源から供給するエネルギーは、質量分析する目的元素の第一イオン化エネルギーよりも小さい(1)に記載の質量分析装置。
(3)
前記アシストエネルギー源は、前記レーザ光よりもパワー密度の低い前記アシストエネルギーを供給する、(1)または(2)に記載の質量分析装置。
(4)
前記アシストエネルギー源は、UVランプ、LED、レーザ装置、プラズマ発生装置、マイクロ波発振器、及び電子線源のうち少なくともいずれか1つを備える(1)乃至(3)のいずれかに記載の質量分析装置。
(5)
前記レーザ光の照射タイミングと、前記アシストエネルギーの供給タイミングを制御する制御部を更に有する、(1)乃至(4)のいずれかに記載の質量分析装置。
(6)
試料にイオンビームを照射して前記試料をスパッタすることと、
前記スパッタにより前記試料から放出される粒子を励起するアシストエネルギーを前記粒子に供給することと、
前記粒子をイオン化するレーザ光を前記粒子に照射することと、
を備える質量分析方法。
(7)
前記レーザ光を照射する期間中は、前記アシストエネルギーを供給する、(6)に記載の質量分析方法。
(8)
前記アシストエネルギーは、質量分析する目的元素の第一イオン化エネルギーよりも小さい、(6)または(7)に記載の質量分析方法。
(9)
前記アシストエネルギーは、前記レーザ光よりもパワー密度が低い、(6)乃至(8)のいずれかに記載の質量分析方法。
Claims (4)
- 試料を保持可能に設けられた試料台と、
前記試料台の試料載置面に対向配置され、質量分析をする分析部と、
前記試料載置面に向けてイオンビームを照射することにより前記試料をスパッタ可能に設けられたイオンビーム源と、
前記試料載置面と前記分析部の間の対象領域にアシストエネルギーを供給するアシストエネルギー源と、
前記対象領域にレーザ光を照射するレーザ光源と、
を備え、
前記アシストエネルギー源は、UVランプ、LED、レーザ装置、プラズマ発生装置、マイクロ波発振器、及び電子線源のうち少なくともいずれか1つを備え、前記レーザ光が照射される位置である前記対象領域に向けて、前記イオンビームの照射により前記試料がスパッタされて前記試料から放出される粒子に対して、少なくとも前記レーザ光を照射する期間中、前記アシストエネルギーを供給することで、イオン化を促進させるとともに、前記アシストエネルギー源から供給するエネルギーは、質量分析する目的元素の第一イオン化エネルギーよりも小さく、前記レーザ光よりもパワー密度が低い、
スパッタ中性粒子質量分析装置。 - 前記アシストエネルギーはイオン化を促進できる程度のエネルギーを有する請求項1のスパッタ中性粒子質量分析装置。
- 前記レーザ光の照射タイミングと、前記アシストエネルギーの供給タイミングを制御する制御部を更に有する、請求項1または2に記載のスパッタ中性粒子質量分析装置。
- 試料にイオンビームを照射して前記試料をスパッタすることと、
前記スパッタにより前記試料から放出される粒子を励起するアシストエネルギーを前記粒子に供給することと、
質量分析をする分析部と前記試料との間の対象領域に、前記粒子をイオン化するレーザ光を前記粒子に、照射し、イオン化を起こすことと、を備え、
前記アシストエネルギーは、UV、LED、レーザ、プラズマ、マイクロ波、または電子であり、質量分析する目的元素の第一イオン化エネルギーよりも小さく、前記レーザ光よりもパワー密度が低く、前記レーザ光が照射される位置である前記対象領域に向けて、照射され、前記イオンビームの照射により前記試料がスパッタされて前記試料から放出される粒子に対して、少なくとも前記レーザ光を照射する期間中、供給されることで、イオン化を促進させる、
スパッタ中性粒子質量分析方法。
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