JP2019061829A - 質量分析装置及び質量分析方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】電子放出効率の低下を抑制できる質量分析装置及び質量分析方法を提供する。【解決手段】実施形態にかかる質量分析装置は、チャンバと、分析部と、を備える。チャンバは、分析室と、電子源室と、通路と、を備え、減圧可能に構成される。分析室は、分析対象の試料ガスを導入可能に構成される。電子源室は、電子源を収容する。通路は、前記電子源室と前記分析室との間に設けられ、電子が通過可能に構成される。分析部は、前記分析室内に配され、前記電子によりイオン化された前記試料ガスが導入されるイオン検出器を備える。【選択図】 図1
Description
本発明の実施形態は、質量分析装置及び質量分析方法に関する。
質量分析装置として、四重極電極を用いた四重極質量分析装置が知られている。四重極質量分析装置は、例えば、四重極電極及びイオン電流検出器を備える分析部と、電子源であるフィラメントと、を備える。分析部及びフィラメントは減圧可能な分析室に収容される。このような質量分析装置は、分析室に導入された測定対象である試料ガスを、フィラメントから放出される電子によりイオン化し、イオン化したガス種を四重極電極に通して質量ごとに選別し、イオン電流検出器にてイオン電流を検出することで、試料ガスの質量分析を行う。
本発明が解決しようとする課題は、電子源の電子放出効率の低下を抑制できる質量分析装置及び質量分析方法を提供することである。
実施形態にかかる質量分析装置は、チャンバと、分析部と、を備える。チャンバは、分析室と、電子源室と、通路と、を備え、減圧可能に構成される。分析室は、分析対象の試料ガスを導入可能に構成される。電子源室は、電子源を収容する。通路は、前記電子源室と前記分析室との間に設けられ、電子が通過可能に構成される。分析部は、前記分析室内に配され、前記電子によりイオン化された前記試料ガスが導入されるイオン検出器を備える。
以下に、第1実施形態に係る質量分析装置100及び質量分析方法について図1を参照して説明する。図1は本実施形態にかかる質量分析装置100の構成を示す説明図である。図中矢印X軸,Y軸,及びZ軸は、互いに直交する3方向を示す。本実施形態において、検出軸C1に沿う第1方向はX軸に平行であり、電子軸C2に沿う第2方向はZ軸に平行である。
質量分析装置100は、四重極質量分析装置である。図1に示すように、質量分析装置100は、チャンバ10と、減圧装置20(20a、20b)と、開閉装置30と、試料ガス供給部40と、電子供給部50と、分析部60と、制御部70と、を備える。
チャンバ10は、分析室11と、電子源室12と、を内部に有し、分析室11と電子源室12との間を区画する遮蔽部材である隔壁13を備える。
分析室11は例えば円柱状の空間であり、試料ガスを導入可能に構成され、減圧装置20によって減圧可能に構成されている。分析室11の第1方向における基端側に、測定対象の試料ガスを導入する試料ガス供給部40が配される。電子源室12は、分析室11の外側、例えば本実施形態においては分析室11の所定カ所の上方に配される。
電子源室12は、例えば直方体状の空間であり、減圧装置20によって減圧可能に構成されている。電子源室12と分析室11とは、分析室11を構成する壁の一部である隔壁13により仕切られている。
減圧装置20は、分析室11や電子源室12を減圧可能に構成される。本実施形態においては、分析室11及び電子源室12に、それぞれ減圧装置20a,20bが設けられ、分析室11及び電子源室12がそれぞれ減圧可能に構成されている。減圧装置20a、20bは、例えば分析室11や電子源室12を真空引きする真空ポンプを備える。減圧装置20a、20bは、制御部70に接続され、分析室11及び電子源室12の圧力が調整可能に構成されている。例えば、制御部70により、電子源室12の圧力が分析室11の圧力よりも低くなるように調整される。例えば分析室11の圧力は1×10−4〜1×10−3Torr程度であり、電子源室12の圧力は1×10−6〜1×10−5Torr程度に設定される。
隔壁13は、分析室11及び電子源室12間を遮蔽し、試料ガスが電子源室12側に流通することを規制するとともに、電子が通過可能に構成された通路を有する。例えば、隔壁13は、電子源室12と分析室11とを仕切るとともに、電子が通過可能に構成された通路としてのオリフィス13aを有する、板状部材である。
オリフィス13aは、隔壁13を厚さ方向に貫通する孔である。一例として、オリフィス13aは、電子が通過でき、ガスが電子源室12側に抵抗なく入らない程度の大きさに構成されている。オリフィス13aは、例えば10数ミリ以下、好ましくは数ミリ以下、より好ましくは1ミリ以下の、円形状に構成される。隔壁13には、オリフィス13aを開閉する開閉装置30が設けられている。
開閉装置30は、オリフィス13aを塞ぐ第1位置及びオリフィス13aを開放する第2位置の間を移動可能に構成された可動シャッタ31と、可動シャッタ31を駆動する駆動部32と、可動シャッタ31の移動方向を案内するガイド部材33と、を備える。可動シャッタ31は、例えばオリフィス13aに対向配置された際にオリフィス13aを完全に覆う面積を有する板状に構成されている。開閉装置30は、駆動部32により可動シャッタ31を往復移動させることで、オリフィス13aを開閉する。
試料ガス供給部40は、分析室11の第1方向における一端側の壁に形成された試料ガス供給口41を備える。試料ガス供給部40は、例えば試料ガス供給口41が分析対象のガスを分析室11内に供給可能に設けられている。試料ガス供給部40と対象チャンバを接続する流路は図示しない開閉部材により開閉可能に構成されている。制御部70が開閉部材を開閉することで、測定対象の試料ガスを試料ガス供給口41から分析室11内に供給する。
試料ガス供給口41から分析部60に向かって延びる検出軸C1において、X軸の基端側である一次側からX軸の先端側である二次側に向かって、試料ガス供給口41、イオン化領域A1、光学系(レンズ)61、及び四重極フィルタ62のロッド電極62aが、順番に配置されている。
試料ガス供給部40と分析部60の間に配されるイオン化領域A1を通り、検出軸C1と交差する方向に、電子軸C2が設定されている。電子ビームB1の照射方向である電子軸C2は、電子源室12からオリフィス13aを通ってイオン化領域A1に向かって延びる。
本実施形態において、一例として、第1方向に沿う検出軸C1と、第2方向に沿う電子軸C2とが、直交している。
本実施形態において、一例として、第1方向に沿う検出軸C1と、第2方向に沿う電子軸C2とが、直交している。
分析部60は、分析室11内の検出軸C1に沿って、イオン化領域A1の二次側に配された光学系(レンズ)61と、光学系(レンズ)61の二次側に設けられた四重極フィルタ62と、四重極フィルタ62の二次側に設けられたイオン検出器63と、を備える。分析部60は、イオン化領域A1の二次側において光学系(レンズ)61、四重極フィルタ62、イオン検出器63の順番に配置されている。
光学系(レンズ)61は、電圧が印加される1以上の電極を備える。光学系(レンズ)61は、イオン化領域A1でイオン化された試料ガスの軌道とエネルギーを調整し、四重極フィルタ62に効率的に入射させる。
四重極フィルタ62は、四本のロッド電極62aと、四重極電源部62bと、を備える。制御部70の制御により四重極電源部62bを駆動して、四本のロッド電極62aに電圧が印加される。四重極フィルタ62は、四本のロッド電極62aの間をイオンが通過する際に質量分離する。
イオン検出器63は、例えば電子増倍管64を備えるイオン電流検出器65である。イオン検出器63は四重極フィルタ62の二次側に配される。イオン検出器63は、四重極フィルタ62を通過して質量分離されたイオンの数を、電子増倍管64で増幅し、イオン電流検出器65で検出し、検出したデータを制御部70に送る。
電子供給部50は、フィラメント51が設置されるフィラメント設置部51aと、引き出し電極52と、分析室11内に配される加速電極53と、を備える。フィラメント51、引き出し電極52、及び加速電極53は、検出軸C1と交差するとともに電子軸C2に沿って、順番に配置されている。
電子源としてのフィラメント51は、電子源室12に配置される。フィラメント51は電源に接続され、通電により電子を放出可能に構成されている。例えばフィラメント51は、酸素、セシウム、ガリウム、金、ビスマス、アルゴン、クリプトン、またはキセノンなどのイオンを生成する。
電子源としてのフィラメント51は、電子源室12に配置される。フィラメント51は電源に接続され、通電により電子を放出可能に構成されている。例えばフィラメント51は、酸素、セシウム、ガリウム、金、ビスマス、アルゴン、クリプトン、またはキセノンなどのイオンを生成する。
引き出し電極52は、電子源室12のフィラメント51よりも第2方向の先方、すなわち本実施形態においては下方に、配される。引き出し電極52は、1以上の電極を備える。引き出し電極52は、所定の電圧が印加されることで、フィラメント51との間に電界を形成する。この電界によりフィラメント51で生成された電子を引き出し、イオン化領域A1に案内する。
加速電極53は、分析室11内において、電子源室12の第2方向の先方、すなわち本実施形態においては直下に、位置するイオン化領域A1の、さらに第2方向の先方に、配置される。加速電極53は、1以上の電極を備える。加速電極53は、所定の電圧が印加されることで、引き出し電極52との間に電界を形成し、この電界により、フィラメント51で生成されたイオンを引き出して加速することで、所定の電子軸C2に沿う電子ビームB1を形成する。
上記のように構成された電子供給部50は、フィラメント51から、加熱、高電圧印加、あるいはプラズマを用いた処理などにより、電子を生成する。電子軸C2は、鉛直方向である第2方向に沿い、例えば水平に延びる検出軸C1に対して直交している。検出軸C1と電子軸C2とは、イオン化領域A1において交差している。本実施形態においては、検出軸C1と電子軸C2とは直交している。
ここで、イオン化領域A1とは、試料ガスG1がフィラメント51から放出された電子と衝突してイオン化する領域であり、装置により適宜設定される。イオン化領域A1において、試料ガスの流れ方向である検出軸C1と電子の供給方向である電子軸C2とが交差する。本実施形態において、分析室11内の試料ガス供給口41と分析部60の四重極フィルタ62との間であって電子源室12の電子軸C2の先方である、下方の領域がイオン化領域A1となる。
制御部70は、質量分析装置100の各部に信号線Sを介して接続され、質量分析装置100の各部の動作を制御する。例えば制御部70は、減圧装置20や開閉装置30、フィラメント51に接続される電源部、等に接続されている。制御部70は、電子供給部50や分析部60における各種レンズや電極へ印加される電圧の大きさや印加のタイミングを制御する。
次に、本実施形態にかかる質量分析方法について図1を参照して説明する。本実施形態にかかる質量分析方法は、分析室11内のイオン化領域A1に試料ガスG1を導入することと、イオン化領域A1に電子ビームB1を照射することにより試料ガスG1をイオン化することと、イオン化されたガスを質量分析することと、を備える。
まず、制御部70は試料ガス供給部40を駆動し、試料ガスG1を分析室11に導入する。また。制御部70は、電子供給部50を駆動することで、電子ビームB1をイオン化領域A1に向けて照射する。具体例として、制御部70はフィラメント51に通電することでフィラメント51から電子を放出させる。また、制御部70は、開閉装置30の可動シャッタ31を開くことで、オリフィス13aを開通させる。さらに制御部70は、引き出し電極52及び加速電極53にそれぞれ所定の電圧を印加することで電界を形成し、電子ビームB1を形成する。電子ビームB1は、可動シャッタ31の移動によって開放されたオリフィス13aを通ってイオン化領域A1に照射される。
分析室11に導入された試料ガスG1の粒子はイオン化領域A1において、電子軸C2の方向に照射される電子ビームB1により、イオン化される。イオン化された試料ガスG1は、レンズ系61により軌道とエネルギーが調整され分析部60に引き込まれる。イオンは四重極フィルタ62で質量ごとに選別され、イオン検出器63に導入される。イオン検出器63に導入されたイオンは電子増倍管64において増幅され、イオン電流検出器65において計測される。イオン電流検出器65は計測したデータを制御部70に送信し、制御部70は当該データから質量分析結果を得る。
本実施形態にかかる質量分析装置100及び質量分析方法によれば、試料ガスG1が導入される分析室11と、フィラメント51が収容される電子源室12とを遮蔽部材である隔壁13で仕切ることで、流路抵抗を増加させ、試料ガスG1が分析室11から電子源室12に流入するのを防止する。このため、フィラメント51が試料ガスG1と反応することを抑制し、フィラメント51の電子放出効率の低下を抑制し、信号強度の変動を抑制することで、高い検出性能を確保できる。また、フィラメント51が試料ガスG1により反応すること、例えば酸化やシアン化等を防ぐことで、フィラメント51を長持ちさせ、メンテナンスの回数を低減できる。
また、上記実施形態にかかる質量分析装置100及び質量分析方法は、フィラメント51を収容する電子源室12を、減圧し、例えば分析室11よりもさらに低い圧力とすることで、フィラメント51と試料ガスG1との反応を抑制できる。特に、上記実施形態にかかる質量分析装置100及び質量分析方法によれば、電子ビームB1を照射していない時には開閉装置30でオリフィス13aを閉じることで、フィラメント51を試料ガスG1との反応から効果的に保護することができる。また、分析室11及び電子源室12の圧力を設定するうえで、オリフィス13aの流路抵抗を増加させると、電子源室12を効率良く減圧できる。
例えば、試料ガス供給部40や電子供給部50、分析部60などの各部の構成は、本実施形態の構造に限られるものではなく、一般的に知られている他の構造を有するものに置き換えることも可能である。例えば減圧装置を分析室11と電子源室12のそれぞれに設ける構成を例示したがこれに限られるものではなく、共通の減圧装置により分析室11及び電子源室12を減圧してもよい。この場合、減圧装置の排気量、電子源室と減圧装置との間のコンダクタンス、分析室と減圧装置との間のコンダクタンス、をそれぞれ調整することで、所望の圧力を得ることができる。
また、上述の構成要素の他に電極やレンズ等を必要に応じて構成要素の追加及び削減が可能である。例えば引き出し電極52は電子源室12内に配される例を示したが、これに限られるものではなく、例えば引き出し電極52を分析室11に配置してもよい。
例えば上記実施形態においては、通路を構成する部材として板状部材である隔壁13を例示したが、これに限られるものではなく、例えばパイプ状の部材など、他の構成も適用可能である。また、上記実施形態においては、円柱状の通路を構成するオリフィス13aを例示したが、これに限られるものではない。例えば、オリフィス13aはテーパ形状に構成されていてもよい。すなわち、一方、例えば電子源室12側に流路が広くなる円錐台形状の通路も適用可能である。また、オリフィス13aの断面形状は上記実施形態において例示された円形に限らず、多角形形状、スリット状としてもよい。あるいは、通路を構成する部材として、複数の孔を有する網状の部材を用いることも可能である。
また、上述の構成要素の他に電極やレンズ等を必要に応じて構成要素の追加及び削減が可能である。例えば引き出し電極52は電子源室12内に配される例を示したが、これに限られるものではなく、例えば引き出し電極52を分析室11に配置してもよい。
例えば上記実施形態においては、通路を構成する部材として板状部材である隔壁13を例示したが、これに限られるものではなく、例えばパイプ状の部材など、他の構成も適用可能である。また、上記実施形態においては、円柱状の通路を構成するオリフィス13aを例示したが、これに限られるものではない。例えば、オリフィス13aはテーパ形状に構成されていてもよい。すなわち、一方、例えば電子源室12側に流路が広くなる円錐台形状の通路も適用可能である。また、オリフィス13aの断面形状は上記実施形態において例示された円形に限らず、多角形形状、スリット状としてもよい。あるいは、通路を構成する部材として、複数の孔を有する網状の部材を用いることも可能である。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
10…チャンバ、11…分析室、12…電子源室、13…隔壁、13a…オリフィス、20(20a、20b)…減圧装置、30…開閉装置、31…可動シャッタ、32…駆動部、33…ガイド部材、40…試料ガス供給部、41…試料ガス供給口、50…電子供給部、51…フィラメント、51a…フィラメント設置部、52…引き出し電極、53…加速電極、60…分析部、61…レンズ系、62…四重極フィルタ、62a…ロッド電極、62b…四重極電源部、63…イオン検出器、64…電子増倍管、65…イオン電流検出器、70…制御部、100…質量分析装置、A1…イオン化領域、B1…電子ビーム、C1…検出軸、C2…電子軸、G1…試料ガス。
Claims (5)
- 分析対象の試料ガスを導入可能に構成された分析室と、電子源を収容する電子源室と、前記電子源室と前記分析室との間に設けられ、電子が通過可能に構成された通路を備え、減圧可能に構成された、チャンバと、
前記分析室内に配され、前記電子によりイオン化された前記試料ガスが導入されるイオン検出器を備える分析部と、
を備える質量分析装置。 - 前記分析部は、イオン化された前記試料ガスを質量分離する四重極フィルタと、を備え、
前記チャンバは、分析対象の前記試料ガスが供給される試料ガス供給口を有し、
前記電子源室から前記通路を通過した前記電子は、前記試料ガス供給口と前記四重極フィルタとの間の領域を通る、請求項1記載の質量分析装置。 - 前記通路を開閉する開閉装置を備える、請求項1または請求項2に記載の質量分析装置。
- 前記電子源室内の圧力を、前記分析室内の圧力よりも低くする、制御部を備える、請求項1乃至3のいずれかに記載の質量分析装置。
- 分析室に、試料ガスを導入することと、
前記試料ガスの流通を抑制するとともに電子が通過可能に構成された遮蔽部材によって前記分析室と隔てられた電子源室から、前記分析室中の前記試料ガスに、前記電子を照射することと、
前記分析室に設けられた分析部により前記試料ガスのイオン電流を検出することと、を備える質量分析方法。
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- 2017-09-26 JP JP2017184616A patent/JP2019061829A/ja active Pending
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