JP6794985B2 - 固体撮像装置および固体撮像装置の駆動方法 - Google Patents
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Description
1.第1の実施の形態(接地電位生成部を常時動作させた場合の例)
2.第2の実施の形態(接地電位生成部を間欠動作させた場合の例)
3.第3の実施の形態(画素アレイ部が形成されたウェル領域に第1の接地線を接続する場合の例)
[固体撮像装置の構成]
図1は、本技術の第1の実施の形態における固体撮像装置10の構成例を示す図である。この固体撮像装置10は、画素アレイ部100と、垂直駆動部200と、水平転送部300と、接地電位生成部400と、参照電圧生成部500と、参照電圧補正部600とを備える。
図2は、本技術の第1の実施の形態における画素110の構成例を示す図である。この画素110は、光電変換部111と、電荷転送部113と、電荷保持部115と、電荷排出部114と、増幅部116と、選択部117と、オーバーフロードレイン112とを備える。なお、オーバーフロードレイン112、電荷転送部113、電荷排出部114、増幅部116および選択部117は、NチャンネルMOSトランジスタにより構成される。
オーバーフロードレイン制御信号線OFDからオン信号が入力されるとオーバーフロードレイン112は導通し、光電変換部111のカソードに電源電圧Vddが印加される。これにより、光電変換部111に蓄積された電荷が排出され、画素110は初期化、すなわちリセットされる。その後、露光量に応じた電荷が新たに生成されて、光電変換部111に蓄積される。すなわち、露光が開始される。
図3は、本技術の第1の実施の形態における水平転送部300の構成例を示す図である。この水平転送部300は、定電流電源310と、アナログデジタル変換部(ADC:Analog Digital Converter)320と、画像信号転送部330とを備える。
図4は、本技術の第1の実施の形態におけるアナログデジタル変換部320の構成例を示す図である。同図のアナログデジタル変換部320は、比較部329と、カウント部326とを備える。
図5は、本技術の第1の実施の形態における参照電圧生成部500の構成例を示す図である。この参照電圧生成部500は、カウント部510と、デジタルアナログ変換部(DAC:Digital Analog Converter)520と、抵抗530とを備える。
図6は、本技術の第1の実施の形態におけるAD変換動作の一例を示す図である。同図は、アナログデジタル変換部320におけるAD変換の様子を表したものである。また、同図は、アナログデジタル変換部320に入力された画素110の出力信号Vo、参照電圧Vramp、比較部329の出力およびカウント部326の出力ならびに低接地電位Vssの関係を表したものである。同図において、低接地電位Vssの波形に記載された破線は、0Vの電位を表すものである。また、同図に表したAD変換動作は、前述した画素110からのリセット信号の出力に伴い開始される。
まず、画素110からリセット信号が出力信号Voとして出力される(T1)。リセット信号が安定した後に参照電圧生成部500のカウント部510がダウンカウントを開始し、参照電圧Vrampがランプ形状に低下、すなわち直線的に低下する。同時に、カウント部326がダウンカウントを開始する(T2)。その後、出力信号Voおよび参照電圧Vrampが一致した時、比較部329の出力がHレベルからLレベルに遷移する。これにより、カウント部326はダウンカウントを停止する(T3)。カウント部510は、ダウンカウントを継続し、所定の期間の経過後に、ダウンカウントを停止する(T4)。その後、カウント部510が初期化されるとともに比較部329の出力もLレベルからHレベルに遷移する(T5)。一方、カウント部326は、カウント値を保持する。これによりカウント部326にリセット電圧に相当するデジタル値が保持される。
次に、画素110から画像信号が出力信号Voとして出力される(T6)。その後、このVoが安定するまで待機する。
セトリング期間の経過後、カウント部510のダウンカウントが開始され、再度参照電圧Vrampがランプ形状に低下する。同時に、カウント部326は、アップカウントを開始する(T7)。その後、Voおよび参照電圧Vrampが一致して、比較部329の出力がHレベルからLレベルに遷移する。これにより、カウント部326はアップカウントを停止する(T8)。カウント部510は、ダウンカウントを継続し、所定の期間の経過後に、ダウンカウントを停止する(T9)。その後、カウント部510が初期化されるとともに比較部329の出力もLレベルからHレベルに遷移する(T10)。一方、カウント部326は、カウント値を保持する。このカウント値は、AD変換された画像信号として画像信号転送部330により水平転送される。
図7は、本技術の第1の実施の形態における低接地電位の変化を示す図である。同図は、画素110、水平転送部300の定電流電源310およびアナログデジタル変換部320、接地電位生成部400、参照電圧生成部500ならびに参照電圧補正部600の信号等の関係を表した図である。便宜上、同図の接地電位生成部400は、並列に接続された負電圧電源402およびキャパシタ403により構成される例を想定する。
図8は、本技術の第1の実施の形態における補正前の参照電圧を示す図である。同図は、出力信号Vo、補正前の参照電圧Vramp、比較部329の出力および低接地電位Vssの関係を表したものである。なお、参照電圧Vrampおよび比較部329の出力の波形に記載された破線は、出力信号Voが変化しなかった場合の波形を表したものである。同図に表したように、低接地電位VssにΔVssの変化が生じたことにより、出力信号VoにΔVoの変化が生じる。このVoと補正前の参照電圧Vrampが比較されるため、比較部329の出力がHレベルからLレベルに遷移する時期がT8からT8'に変化し、AD変換された画像信号に誤差を生じることとなる。
図10は、本技術の第1の実施の形態における参照電圧補正部600を例示する図である。同図におけるaの参照電圧補正部600は、定電流電源602および609と、NチャンネルMOSトランジスタ608と、PチャンネルMOSトランジスタ606および607と、抵抗603乃至605と、キャパシタ611とを備える。
図11は、本技術の第1の実施の形態における参照電圧補正処理の処理手順の一例を示す図である。まず、画素110が画像信号を水平転送部300に対して出力する(ステップS901)。次に、参照電圧生成部500が参照電圧を生成する(ステップS902)。次に、参照電圧補正部600が参照電圧の補正を行う(ステップS903)。最後に、アナログデジタル変換部320が補正された参照電圧に基づいて画像信号のAD変換を行う(ステップS904)。
上述の実施の形態では、接地電位生成部400が常時、低接地電位Vssの生成を行っていた。これに対し、本技術の第2の実施の形態では、画像信号のAD変換を行う期間に、接地電位生成部400の動作を停止させる。これにより、接地電位生成部400が発生するノイズの影響を低減する。
図12は、本技術の第2の実施の形態における固体撮像装置10の構成例を示す図である。この固体撮像装置10は、接地電位制御部700を備える点で、図1において説明した固体撮像装置10と異なる。
図13は、本技術の第2の実施の形態における参照電圧の補正を示す図である。同図は、低接地電位Vss、出力信号Vo、補正前の参照電圧Vrampおよび補正後の参照電圧Vrampの関係を表したものである。接地電位制御部700は、アナログデジタル変換部320がAD変換を行う期間に、接地電位生成部400を制御して低接地電位Vssの生成を停止させる。アナログデジタル変換部320のAD変換が終了した後、接地電位制御部700は、接地電位生成部400を制御して低接地電位Vssの生成を再開させる。接地電位制御部700は、この制御をライン毎に繰返し行い、接地電位生成部400を間欠動作させる。このため、同図の低接地電位Vssは、接地電位生成部400が動作を停止した期間に変化する。この変化の影響を受け、出力信号VoにΔVoの変化が生じる。そこで、参照電圧補正部600により参照電圧の補正を行う。同図に表したように、ΔVoの変化に応じて参照電圧Vrampを補正し、AD変換後の画像信号の変動を低減することができる。
上述の第1の実施の形態では、画素アレイ部とそれ以外の部分を同一の半導体チップに形成していた。これに対し、本技術の第3の実施の形態では、これらを異なる半導体チップに形成する。これにより、低接地電位Vssおよび接地電位GNDの分離を容易にすることができる。
図14は、本技術の第3の実施の形態における固体撮像装置10の構成例を示す図である。この固体撮像装置10は、画素アレイチップ810と、周辺回路チップ820とを備える。
(1)第1の接地線に印加される第1の接地電位に基づいて動作し、照射された光に応じたアナログの画像信号を出力する画素と、
第2の接地線に印加される前記第1の接地電位より高い第2の接地電位に基づいて動作し、前記アナログの画像信号からデジタルの前記画像信号への変換を行う際の基準となる参照電圧に基づいて前記変換を行うアナログデジタル変換部と、
前記第2の接地電位に基づいて動作し、前記参照電圧を生成する参照電圧生成部と、
前記第1の接地電位の変化に応じて前記生成された前記参照電圧を補正して前記アナログデジタル変換部に供給する参照電圧補正部と
を具備する固体撮像装置。
(2)前記第1の接地電位を生成して前記第1の接地線に印加する接地電位生成部をさらに具備する前記(1)に記載の固体撮像装置。
(3)前記アナログデジタル変換部における前記変換の際に前記参照電圧生成部における前記第1の接地電位の生成動作を停止させる接地電位制御部をさらに具備する前記(2)に記載の固体撮像装置。
(4)前記アナログデジタル変換部は、
前記アナログの画像信号および前記参照電圧を比較することにより前記アナログの画像信号および前記参照電圧の一致の検出を行う比較部と、
前記比較部における前記比較の開始から前記検出までの期間にカウントを行い、カウント値を前記デジタルの画像信号として出力するカウント部と
を備える
前記(1)から(3)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(5)前記画素および前記アナログデジタル変換部に同一の電源電圧が印加される前記(1)から(4)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(6)行列形状に配置される複数の前記画素と、
1行に配置された複数の前記画素から出力された前記アナログの画像信号に対してそれぞれ前記変換を行う複数の前記アナログデジタル変換部と、
を具備し、
前記参照電圧補正部は、前記複数のアナログデジタル変換部のそれぞれに同一の前記補正された前記参照電圧を供給する
前記(1)から(5)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(7)前記画素と前記アナログデジタル変換部および前記参照電圧生成部とは異なる半導体チップに形成されるとともに前記画素が形成された前記半導体チップのウェル領域に前記第1の接地電位が印加される前記(1)から(6)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(8)第1の接地線に印加される第1の接地電位に基づいて動作し、照射された光に応じたアナログの画像信号を出力する画像信号出力手順と、
第2の接地線に印加される前記第1の接地電位より高い第2の接地電位に基づいて動作し、前記アナログの画像信号からデジタルの前記画像信号への変換を行う際の基準となる参照電圧に基づいて前記変換を行うアナログデジタル変換手順と、
前記第2の接地電位に基づいて動作し、前記参照電圧を生成する参照電圧生成手順と、
前記第1の接地電位の変化に応じて前記生成された前記参照電圧を補正して前記アナログデジタル変換部に供給する参照電圧補正手順と
を具備する固体撮像装置の駆動方法。
100 画素アレイ部
110 画素
200 垂直駆動部
300 水平転送部
303 第2の接地線
310 定電流電源
320 アナログデジタル変換部
326、510 カウント部
329 比較部
330 画像信号転送部
400 接地電位生成部
401 第1の接地線
500 参照電圧生成部
520 デジタルアナログ変換部
530 抵抗
600 参照電圧補正部
700 接地電位制御部
810 画素アレイチップ
811、821 ウェル領域
820 周辺回路チップ
Claims (8)
- 第1の接地線に印加される第1の接地電位に基づいて動作し、照射された光に応じたアナログの画像信号を出力する画素と、
第2の接地線に印加される前記第1の接地電位より高い第2の接地電位に基づいて動作し、前記アナログの画像信号からデジタルの前記画像信号への変換を行う際の基準となる参照電圧に基づいて前記変換を行うアナログデジタル変換部と、
前記第2の接地電位に基づいて動作し、前記参照電圧を生成する参照電圧生成部と、
前記第1の接地電位の変化に応じて前記生成された前記参照電圧を補正して前記アナログデジタル変換部に供給する参照電圧補正部と
を具備する固体撮像装置。 - 前記第1の接地電位を生成して前記第1の接地線に印加する接地電位生成部をさらに具備する請求項1記載の固体撮像装置。
- 前記アナログデジタル変換部における前記変換の際に前記接地電位生成部における前記第1の接地電位の生成動作を停止させる接地電位制御部をさらに具備する請求項2記載の固体撮像装置。
- 前記アナログデジタル変換部は、
前記アナログの画像信号および前記参照電圧を比較することにより前記アナログの画像信号および前記参照電圧の一致の検出を行う比較部と、
前記比較部における前記比較の開始から前記検出までの期間にカウントを行い、カウント値を前記デジタルの画像信号として出力するカウント部と
を備える
請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記画素および前記アナログデジタル変換部に同一の電源電圧が印加される請求項1記載の固体撮像装置。
- 行列形状に配置される複数の前記画素と、
1行に配置された複数の前記画素から出力された前記アナログの画像信号に対してそれぞれ前記変換を行う複数の前記アナログデジタル変換部と
を具備し、
前記参照電圧補正部は、前記複数のアナログデジタル変換部のそれぞれに同一の前記補正された前記参照電圧を供給する
請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記画素と前記アナログデジタル変換部および前記参照電圧生成部とは異なる半導体チップに形成されるとともに前記画素が形成された前記半導体チップのウェル領域に前記第1の接地電位が印加される請求項1記載の固体撮像装置。
- 第1の接地線に印加される第1の接地電位に基づいて動作し、照射された光に応じたアナログの画像信号を出力する画像信号出力手順と、
第2の接地線に印加される前記第1の接地電位より高い第2の接地電位に基づいて動作し、前記アナログの画像信号からデジタルの前記画像信号への変換を行う際の基準となる参照電圧に基づいて前記変換を行うアナログデジタル変換手順と、
前記第2の接地電位に基づいて動作し、前記参照電圧を生成する参照電圧生成手順と、
前記第1の接地電位の変化に応じて前記生成された前記参照電圧を補正して前記変換を行うアナログデジタル変換部に供給する参照電圧補正手順と
を具備する固体撮像装置の駆動方法。
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