JP6770357B2 - クリーンルーム用空調システム - Google Patents

Description

本発明はクリーンルーム用空調システムに関する。

産業用施設では、清浄度のクラスが異なる部屋が複数設置されていることが多い。例えば、その産業用施設として、食品工場や医薬品製造工場、病院、再生医療用施設、動物飼育施設等がある。これらに設置された部屋では、清浄度の低い部屋から高い部屋への空気の漏洩を抑制するため、隣り合う部屋同士の室圧に差が設けられるように室圧が管理される。クリーンルームの差圧を制御する方法としては、例えば、給気ダクトや排気ダクトに室圧制御用ダンパを設置し、当該室圧制御用ダンパの開度を調整することで、ダンパの通風抵抗を調整し、クリーンルームの室圧を制御する方法がある。

前記のような複数のクリーンルームを備えた施設では、作業者が、隣接するクリーンルーム同士を接続するドアを開閉して、室圧の異なるクリーンルーム間を移動することがある。このとき、作業者がドアを開閉すると、ドアを挟んだ両方のクリーンルームの室圧が変化することになる。そして、それぞれのクリーンルームに設置された室圧制御用ダンパは、それぞれのクリーンルームの室圧がそれぞれの設定室圧になるように、その開度を制御される。

しかし、それぞれのクリーンルーム同士の設定室圧差が大きいと、ドアの開放に伴う室圧変動も大きくなるため、室圧制御用ダンパの開度は大きく変化する。また、両クリーンルーム間での作業者の移動が終わり、ドアが再び閉められると、それぞれのクリーンルームの室圧は、室圧制御用ダンパの開度がドアを開ける前の定常状態における開度と異なるため、設定値との間に差が生じてしまう。そのため、さらに、室圧を回復するように室圧制御ダンパが制御されることになる。

これらのように、ドアが開閉されると、室圧制御用ダンパの開度は変化してしまう。そのため、一端ドアを開放し、再度ドアを閉じた時に室圧が設定値に戻るのに時間を要するという課題がある。そこで、例えばドアの開閉に伴って生じる室圧変動に対する室圧の回復性を向上させる技術が望まれている。

このような技術に関連して、特許文献１に記載の技術が知られている。特許文献１には、室圧制御室のドアの開閉を検知する開閉検知センサを設け、当該開閉検知センサからのドアの開信号により室圧コントローラの作動をいったん停止させ、室圧制御用ダンパの動作を一端停止し、続くドアの閉信号により前記室圧コントローラの作動を再度開始させ、室圧制御用ダンパの動作を再開させることが記載されている

特開昭６３−２４７５４２号公報（特に請求項１参照）

特許文献１に記載の技術は、室圧制御用ダンパを用いた室圧制御である。そのため、ダンパ羽がモータで駆動されることになるため、ダンパの羽の重さや通風抵抗により動作の遅れが発生する。さらには、ダンパ羽の開度での非線形な制御となるため、室圧制御の追従が悪くなることもある。特に、低風量時（ダンパを通過する風量が低い場合）では、ドア開閉を伴わない定常時においてもオーバーシュートが起こり、制御が不安定になる場合がある。

また、低風量時にドア開閉を伴う非定常の動作が発生した場合には、追従性の悪さから設定室圧に回復するまでに時間がかかったり、制御が一時的に困難になったりする場合がある。特に、後者のように制御が困難になった場合には、その後の室圧回復は制御が可能になってから行われることから、室圧の回復はさらなる時間が要される。従って、特許文献１に記載の技術においては、前記のようにドア開閉時に変動した室圧から設定室圧への回復に時間を要する課題がある。

本発明はこれらの課題に鑑みて為されたものであり、本発明が解決しようとする課題は、クリーンルーム内の連通口（例えばドア）を開閉した場合に、変動した室圧から設定室圧への回復時間の短いクリーンルーム用空調システムを提供することにある。

本発明者らは前記の課題を解決するべく鋭意検討した結果、以下のようにすることで前記課題を皆解決できることを見出して本発明を完成させた。即ち、本発明の要旨は、建屋内に配置された少なくとも二つのクリーンルームに前記建屋外の外気を導く給気ダクトと、前記給気ダクトを通流し、前記少なくとも二つのクリーンルームに外気を給気する給気装置と、前記少なくとも二つのクリーンルームのそれぞれの天井板に備えられ、前記少なくとも二つのクリーンルームからの排気を、前記少なくとも二つのクリーンルームの外部であって前記建屋の内部である天井裏に排気するとともに、回転速度を変更可能な排気ファンを備え、当該排気ファンの回転速度を制御することにより前記天井裏への排気量を制御可能な排気装置と、前記少なくとも二つのクリーンルームの室圧を測定する室圧計と、前記少なくとも二つのクリーンルームのうち、隣接するクリーンルーム同士であって、室圧差が設けられることで高圧側のクリーンルームと低圧側のクリーンルームとを構成するクリーンルーム同士を連通する、開閉可能な連通口と、前記連通口の開閉を検知する連通口開閉検知センサと、前記連通口開閉検知センサによって前記連通口が開かれたことを検知したときに、前記高圧側のクリーンルーム及び前記低圧側のクリーンルームのそれぞれに備えられた前記排気装置の制御をいったん停止し、当該停止の直前の状態で排気を継続するとともに、前記連通口が開かれた後、前記連通口が再び閉じられたことを検知したときに、前記高圧側のクリーンルーム及び前記低圧側のクリーンルームのそれぞれに備えられた前記排気装置の制御を再開する演算制御装置と、を備えることを特徴とする、クリーンルーム用空調システムに関する。

本発明によれば、クリーンルーム内の連通口（例えばドア）を開閉した場合に、変動した室圧から設定室圧への回復時間の短いクリーンルーム用空調システムを提供することができる。

第一実施形態のクリーンルーム用空調システムの全体図である。 第一実施形態のクリーンルーム用空調システムに備えられる天井排気ユニットの構成図である。 第一実施形態のクリーンルーム用空調システムにおいて行われる制御を示すフローチャートである。 第一実施形態のクリーンルーム用空調システムに備えられることが可能な天井排気ユニットの変形例である天井排気ユニットの構成図である。

以下、図面を適宜参照しながら、本発明を実施する形態（本実施形態）を説明する。なお、参照する各図はいずれも模式的なものであり、各図に示される部材の大きさや位置等の装置構成は、実際のものとは異なることがある。

［１．第一実施形態］
図１は、第一実施形態のクリーンルーム用空調システム１００（以下、単に「空調システム１００」ということがある）の全体図である。空調システム１００は、建屋４の内部に設置された二つのクリーンルーム１，２に対して適用されるものである。そして、詳細は後記するが、クリーンルーム１の室圧とクリーンルーム２の室圧との間には室圧差が設けられており、クリーンルーム１の側が高圧、クリーンルーム２の側が低圧になっている。

また、これらのクリーンルーム１，２からの排気は、クリーンルーム１，２の外部であって建屋４の内部である天井裏３に排気されるようになっている。また、クリーンルーム１，２同士を行き来可能なように、クリーンルーム１，２を連通するドア５（連通口）が設けられている。このドア５は開閉可能なものであるが、通常時には閉められており、これによりクリーンルーム１，２同士の室圧差が維持されている。一方で、一方のクリーンルームから他方のクリーンルームに作業員が移動する際に、このドア５が開けられて、作業員が移動することになる。

ドア５には、ドア５の開閉を検知するドア開閉検知センサ１０００が取り付けられている。そして、このドア開閉検知センサ１０００は、図１及び後記する図２において破線で示す電気信号線により、コントローラ５０（後記する）に接続されている。従って、コントローラ５０は、ドア５の開閉を、ドア開閉検知センサ１０００からの電気信号によって判断することができるようになっている。

空調システム１００は、給気側として、建屋４の外部の空気（外気）を空調したうえでクリーンルーム１，２に給気する取り込む空調機１１と、クリーンルーム１，２に給気される空気が一定の風量になるように制御する定風量制御装置１２と、クリーンルーム１，２に給気される空気から微粒子等を除去するＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Filter）フィルタ１３とを備えている。これらのうち、空調機１１には、外気中の塵埃等を除去するフィルタ１１ａと、クリーンルーム１，２に給気する空気の温度を制御する熱交換コイル１１ｂと、給気ダクト１０の内部を空気が通流するようにする給気ファン１１ｃとが備えられている。

空調機１１と定風量制御装置１２とクリーンルーム１，２とは、給気ダクト１０を介して接続されている。また、給気ダクト１０は、途中で分岐して、クリーンルーム１，２に接続されている。従って、空調機１１によって取り込まれた外気は、途中で分岐した給気ダクト１０を通流し、定風量制御装置１２及びＨＥＰＡフィルタ１３を経由して、クリーンルーム１，２にそれぞれ給気されることになる。このとき、定風量制御装置１２によって、クリーンルーム１，２には一定の風量で給気が行われることになる。なお、クリーンルーム１，２への給気は、それぞれの天井に形成された吹き出し口１４を通じて行われることになる。

また、空調システム１００は、排気側として、クリーンルーム１，２の内部の空気を天井裏３に排気する天井排気ユニット４０Ａ，４０Ｂと、天井裏３に排気された空気を外部に屋外排気として排気するための排気口７１とを備えている。天井排気ユニット４０Ａ，４０Ｂの構成については図２を参照しながら後記する。そして、天井排気ユニット４０Ａ，４０Ｂが、後記するコントローラ５０によって制御されることで、クリーンルーム１，２の室圧が制御されている。具体的な制御方法は図３を参照しながら後記する。また、排気口７１には、虫や大きな塵埃の侵入を防止するためのフィルタ（図示しない）が設置されている。

ここで、図２を参照しながら、空調システム１００に備えられる天井排気ユニット４０Ａについて説明する。

図２は、第一実施形態のクリーンルーム用空調システム１００に備えられる天井排気ユニット４０Ａの構成図である。天井排気ユニット４０Ａ，４０Ｂは同じ装置構成を有するため、ここでは説明の簡略化のために、クリーンルーム１に備えられた天井排気ユニット４０Ａを例に挙げる。従って、天井排気ユニット４０Ｂを構成する各部材の説明は省略するが、天井排気ユニット４０Ａにおける各部材に付した符号において「Ａ」の文字に代えて「Ｂ」を付した部材が、天井排気ユニット４０Ｂにおける同じ構成及び機能を有する部材に相当する。具体的には例えば、天井排気ユニット４０Ａを構成する排気ファン４１Ａと、天井排気ユニット４０Ｂを構成する排気ファン４１Ｂとは、同じ構成及び機能を有している。そして、天井排気ユニット４０Ｂを構成する各装置のうち、天井排気ユニット４０Ａと同じ作用を奏するものについては、その説明を省略する。

天井排気ユニット４０Ａは、クリーンルーム１の天井板６に形成された開口に嵌合するように天井板６に取り付けられている。そして、天井排気ユニット４０Ａによって、前記のようにクリーンルーム１内の空気が天井裏３に排気されている。天井排気ユニット４０Ａは、筒状の形状をしており、排気ファン４１Ａと、ＨＥＰＡフィルタ４２Ａと、気密ダンパ４３Ａと、粗塵フィルタ４５Ａと、カバー４６Ａと、吸い込み口２５Ａとを備えて構成される。これらのうち、排気ファン４１Ａと、ＨＥＰＡフィルタ４２Ａと、気密ダンパ４３Ａとは、筒状の筐体５１Ａに収容されており、その内部に支持固定されている。また、カバー４６Ａは、図示しない支持部材によって、筐体５１Ａに支持固定されている。気密ダンパ４３Ａは、通常運転時には全開になっており、クリーンルーム１の内部を消毒するとき等に全閉にされる。気密ダンパ４３Ａが全閉にされることで、クリーンルーム１の内部が気密になる。なお、この気密ダンパ４３Ａの開閉は、図２において破線で示す電気信号線を介して接続されたコントローラ５０（図１参照、図２では図示しない）によって制御される。

排気ファン４１Ａが駆動されると、クリーンルーム１の内部の空気は吸い込み口２５Ａを通じて天井排気ユニット４０Ａに吸い込まれる。天井排気ユニット４０Ａに吸い込まれた空気は、ＨＥＰＡフィルタ４２Ａによって微粒子等が除去された後、天井裏３に排気される。また、排気ファン４１Ａの停止時には、粗塵フィルタ４５Ａによって、天井裏３からの大きな塵埃の天井排気ユニット４０Ａへの侵入が防止される。また、カバー４６Ａによって、天井裏３からのネズミや虫等の天井排気ユニット４０Ａへの侵入が防止される。

また、天井排気ユニット４０Ａには、排気ファン４１Ａの駆動を制御する制御器４７Ａが備えられている。この制御器４７Ａは、後記する室圧計４４Ａとともに、図１及び図２において破線で示す電気信号線によって、コントローラ５０（図１参照、図２では図示しない）に接続されている。そして、制御器４７Ａは、このコントローラ５０からの制御信号によって、制御される。ここで、排気ファン４１Ａはインバータ制御されるものである。そのため、制御器４７Ａが排気ファン４１Ａの駆動周波数を制御してファンの回転速度を変化させることで、排気ファン４１Ａによる室圧制御が可能になっている。そして、室圧を高めたいときにはファン回転速度が遅くなるように、また、室圧を低くしたいときにはファン回転速度が速くなるように、排気ファン４１Ａの駆動が制御されている。

また、この排気ファン４１Ａの駆動を制御するために使用される、クリーンルーム１の内部の室圧を測定する室圧計４４Ａが、クリーンルーム１に備えられている。従って、具体的な制御方法は図３を参照しながら後記するが、室圧計４４Ａにより測定された室圧の測定値に基づいて、コントローラ５０が前記の排気ファン４１Ａの駆動を制御することになる。

図１に戻って、空調システム１００には、空調システム１００の制御を行うコントローラ５０が備えられている。このコントローラ５０には、図１において破線で示す電気信号線を通じて、前記の図２を参照しながら説明した室圧計４４Ａ，４４Ｂ、制御器４７Ａ，４７Ｂ及びドア開閉検知センサ１０００が接続されている。従って、コントローラ５０は、室圧計４４Ａ，４４Ｂによってクリーンルーム１，２の室圧を測定し、その測定値に基づいて、制御器４７Ａ，４７Ｂを制御するようになっている。また、ドア開閉検知センサ１０００のドア開閉検知に基づいて、制御器４７Ａ，４７Ｂを制御するようになっている。具体的な制御方法は、図３を参照しながら後記する。

なお、コントローラ５０は、いずれも図示しないが、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、Ｉ／Ｆ（インターフェイス）、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）、センサ回路、制御回路等を備え、ＲＯＭに格納されている所定の制御プログラムがＣＰＵによって実行されることにより具現化される。

図３は、第一実施形態のクリーンルーム用空調システム１００において行われる制御を示すフローチャートである。図３に示すフローは、特に断らない限り、図１に示したコントローラ５０によって行われる。このフローを構成する各ステップについて、図１及び図２を併せて適宜参照しながら説明する。

空調システム１００の運転時、コントローラ５０は、室圧計４４Ａ，４４Ｂによって、クリーンルーム１，２の室圧を監視している（ステップＳ１０１）。さらに、コントローラ５０は、クリーンルーム１，２のそれぞれの室圧が予め設定した設定室圧になるように、天井排気ユニット４０Ａ，４０Ｂの排気ファン４１Ａ，４１Ｂの駆動をそれぞれ制御している（ステップＳ１０１）。

これとともに、コントローラ５０は、ドア開閉検知センサ１０００により、ドア５が開けられたか否かを判断している（ステップＳ１０２）。即ち、前記の制御中、ドア開閉検知センサ１０００から、ドア５が開けられた旨の電気信号をコントローラ５０が受信した時に、コントローラ５０は、ドア５が開けられたことを検知することになる。

この判断の結果、クリーンルーム１，２のドア５が開けられていない場合（Ｎｏ方向）、ドア５が開けられるまでステップＳ１０２の判断が繰り返される。一方で、ドア５が開けられた旨の電気信号をコントローラ５０が受信することで（Ｙｓｅ方向）、ドア５が開けられたと判断した場合（ステップＳ１０３）、コントローラ５０は、排気ファン４１Ａ，４１Ｂの駆動制御をいったん停止する（ステップＳ１０４）。具体的には、コントローラ５０は、クリーンルーム１，２の室圧によらず、ドア開閉検知センサ１０００によってドア５が閉じられたと検知されるまで、排気ファン４１Ａ，４１Ｂの回転速度が当該停止直前の回転速度のまま維持されるように、排気ファン４１Ａ，４１Ｂに駆動が制御される。そして、これにより、クリーンルーム１，２の双方で排気が継続される。

ここで、ドア５が開けられると、ドア５を通じて、高圧側のクリーンルーム１から低圧側のクリーンルーム２に空気が流れ込むことになる。そして、クリーンルーム１からクリーンルーム２に空気が流れ込むことで、クリーンルーム１の室圧とクリーンルーム２の室圧とは略同じになる。即ち、ドア５が開けられることで、クリーンルーム１の室圧と、クリーンルーム２の室圧とは、速やかに略同じになる。

そして、コントローラ５０は、ステップＳ１０４での制御を行った後、ドア開閉検知センサ１０００により、ドア５が閉じられたか否かを判断している（ステップＳ１０５）。即ち、ドア開閉検知センサ１０００から、ドア５が閉じられた旨の電気信号をコントローラ５０が受信した時に、コントローラ５０は、ドア５が閉じられたことを検知することになる。

この判断の結果、クリーンルーム１，２のドア５が閉じられていない場合（Ｎｏ方向）、ドア５が閉じられるまでステップＳ１０５の判断が繰り返される。一方で、ドア５が閉じられた旨の電気信号をコントローラ５０が受信することで（Ｙｓｅ方向）、ドア５が閉じられたと判断した場合（ステップＳ１０５）、コントローラ５０は、前記のステップＳ１０４において停止していた排気ファン４１Ａ，４１Ｂの駆動制御を再開する（ステップＳ１０７）。具体的には、前記のステップＳ１０１と同様に、クリーンルーム１，２の室圧が設定室圧になるように排気ファン４１Ａ，４１Ｂの回転速度が制御される。これにより、ドア５が閉じられた後には、再度クリーンルーム１，２の室圧が設定室圧になるように制御され、クリーンルーム１，２同士の室圧差が回復される。

また、空調システム１００では、天井排気ユニット４０Ａ，４０Ｂを使用し、排気ダクトを使用せずに天井裏３への排気が行われている。そのため、ドア５が開かれた場合でも、従来のような狭い容積の排気ダクトを通じて、空気の行き来が生じるのではなく。広い天井裏３を介しているため、空気の行き来が生じることはほぼ無い。そのため、ドア５の開閉に伴うクリーンルーム１，２以外のクリーンルームへの空気の流れが生じることがなく、クリーンルーム１，２の安定した室圧制御が可能となる。さらには、排気ダクトが使用されていないため、試運転時に行われる各装置の微調整が容易になる。

そして、天井排気ユニット４０Ａ，４０Ｂでは、排気ファン４１の回転速度の制御が行われ、これにより、クリーンルーム１，２の室圧の制御が行われている。排気ファン４１Ａ，４１Ｂのモータ速度は、従来使用されていたダンパの開度を制御するためのモータ速度よりも速い。そのため、従来のようなダンパの開度調整ではなく、排気ファン４１Ａ，４１Ｂでモータ速度を制御してファンの回転速度を制御することで、従来使用されていたダンパよりも応答性に優れた室圧制御を行うことができる。そのため、ダンパの開度を制御することで室圧制御をしていた従来と比べて、追従性をより高めることができる。

また、ドア５の開放に伴う室圧変動を回復する際、天井排気ユニット４０Ａ，４０Ｂが前記のように良好な追従性を有するため、排気ファン４１Ａ，４１Ｂの回転速度の変更制御が速やかに行われ、回復が行われることになる。ただし、空調システム１００では、前記のように、ドア５が開けられたときに排気ファン４１Ａ，４１Ｂの制御がいったん停止されている。そして、再びドア５が閉じられたときに、天井排気ユニット４０Ａ，４０Ｂの制御が再開されている。このようにすることで、ドア５が開けられている間には、排気ファン４１Ａ，４１Ｂの回転速度はドア５を開ける前の定常時の回転速度に近い値に制御され、いったん変動したクリーンルーム１，２の室圧は、速やかに設定室圧付近に戻るように制御される。

この点について、従来技術と比較しながら説明する。

従来の技術として特許文献１に記載の発明においては、ドア５が開けられることで、クリーンルーム１，２の室圧は略同じになる。そして、ドア５が閉じられることで、クリーンルーム１，２のそれぞれにおいて、室圧制御ダンパの開度が調整されることで室圧の回復が図られる。ここで、本明細書では、ドア５が閉じられた時からクリーンルーム１，２の室圧の回復が行われて室圧が安定した時（定常時）までの時間を「回復時間」と定義する。

一方で、本実施形態に係る空調システム１００では、ドア５が閉じられた時からクリーンルーム１，２の室圧の回復が行われて室圧が安定した時までの時間、即ち回復時間が、従来よりも短くなっている。これは、天井排気ユニット４０Ａ，４０Ｂによる前記のような良好な追従性によるとともに、ドア５が開けられた時点で排気ファン４１Ａ，４１Ｂの駆動がいったん停止されていることによる。即ち、排気ファン４１Ａ，４１Ｂの駆動がいったん停止されていることで、クリーンルーム１，２の室圧は、前記のように、速やかに設定室圧付近に戻るように制御される。また、良好な追従性のため、ドア５が閉じられた後即座に室圧の回復が開始される。そのため、本実施形態に係る空調システム１００では、従来の技術として特許文献１に記載の発明と比べて、回復時間を短くすることができる。

また、特に低風量時において、従来使用されていた差圧制御ダンパでは、ドア開閉を伴わない定常時においてもオーバーシュートが起こり、室圧の制御が不安定になる場合がある。さらには、このような場合に、ドア開閉を伴う非定常の動作が発生した場合には、追従性の悪さから、設定室圧に回復するまでに時間がかかってしまったり、設定室圧に制御するのが一時的に困難になったりする可能性がある。しかし、天井排気ユニット４０Ａ，４０Ｂを用いた場合には、排気ファン４１Ａ，４１Ｂの回転速度によって風量を変化することができるため、低風量でも制御を行うことができる。また、低風量状態でドア５の開閉が行われた場合でも、ドア開閉検知センサ１０００との連動により、一端変動したクリーンルーム１，２の室圧は、速やかに設定室圧付近に制御される。これにより、省エネルギ性能を高めることもできる。

［２．変形例］
以上、本発明について実施形態を挙げて説明したが、本発明は前記の実施形態に何ら限定されるものではない。

例えば、天井排気ユニットの形態は、図２に示すものに代えて、図４に示すものであってもよい。
図４は、第一実施形態のクリーンルーム用空調システムに備えられることが可能な天井排気ユニットの変形例である天井排気ユニット４０Ｃの構成図である。この図４に示す天井排気ユニット４０Ｃは、前記の図１に示した空調システム１００において、天井排気ユニット４０Ａ，４０Ｂに代えて取り付け可能なものである。従って、天井排気ユニット以外の構成は前記の空調システム１００（図１参照）と同様なので、その装置構成の記載の図は省略する。

天井排気ユニット４０Ｃでは、排気ファン４１の上方であって排気ファン４１を囲うように形成された開口５３を覆うように、吐出蓋４８が備えられている。この吐出蓋４８の上面には、天井排気ユニット４０Ｃの鉛直方向に取り付けられた吐出ガイド５２が貫通している。そして、排気ファン４１Ｃの駆動停止中には、吐出蓋４８の側壁下端面と筐体５１の上面とが接触して、吐出蓋４８は筐体５１Ｃの上面に載置された状態になっている（図４に示す状態）。なお、この吐出ガイド５２の数は何本でもよいし、また、排気ファン４１Ｃを囲うような環状であってもよい。

この状態において、排気ファン４１Ｃの駆動を開始すると、排気ファン４１Ｃの駆動に伴って生じる空気の圧力（風圧）により、吐出ガイド５２に沿って吐出蓋４８は浮き上がる。これにより、筐体５１と吐出蓋４８との間に隙間が形成され、この隙間を通じて、クリーンルーム１，２から天井裏３への排気が行われるようになっている。なお、吐出ガイド５２の上側端部には、折り曲げ部５２ａが形成されている。そのため、浮き上がった吐出蓋４８は、この折り曲げ部５２ａに接触した時に、それ以上の浮き上がりが抑制される。そして、排気ファン４１Ｃの駆動が停止されると、吐出蓋４８はその自重によって下方に降りてきて、図４に示す状態に戻ることになる。

また、排気ファン４１Ｃの駆動停止中の図４に示す状態に戻って、吐出蓋４８の内側上面と、筐体５１の上面に対して高さを有して固定された電磁石４９とが接触するようになっている。この電磁石４９は、通電されることで金属（銅等）を吸着可能になっており、破線で示す電気信号線により接続されたコントローラ５０により、その通電が制御されるようになっている。そして、図示はしないが、吐出蓋４８の内側上面における、電磁石４９と接触する部分には、銅等の金属部材（図示しない）が配置されている。また、筐体５１の上面において、吐出蓋４８の側壁下端面と接触する部分には、気密性を確保するためのパッキン（図示しない）が備えられている。そして、電磁石４９を通電すると、吐出蓋４８が筐体５１に固定されて、吐出蓋４８の鉛直方向の移動が制限されるようになっている。

また、前記の内容の他にも、例えば図１において、建屋４には、排気口７１に代えて排気ファンを設けて、天井裏３から外部への排気が促されるようにしてもよい。

さらに、排気ファン４１による風量制御は、前記のような周波数を変化するのではなく、電圧やパルス等を変化させることで調整するようにしてもよい。

また、前記の実施形態では、室圧差が設けられているクリーンルーム１，２同士を連通させるものとしてドア５を例示したが、開けることで当該室圧差を失わせるようなものであれば、例えば窓など、どのようなものであってもよい。

さらに、前記の実施形態では、二つのクリーンルーム１，２が備えられている例を挙げたが、三つ以上のクリーンルームが備えられていてもよい。この場合、それぞれのクリーンルームの室圧を適宜監視して、必要な室圧制御を行えばよい。

１ クリーンルーム（高圧側のクリーンルーム）
２ クリーンルーム（低圧側のクリーンルーム）
３ 天井裏
４ 建屋
５ ドア（連通口）
１０ 給気ダクト
１１ 空調機（給気装置）
４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃ 天井排気ユニット（排気装置）
４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃ 排気ファン
４４Ａ，４４Ｂ 室圧計
４７Ａ，４７Ｂ 制御器
４８ 吐出蓋
４９ 電磁石
５０ コントローラ（演算制御装置）
５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃ 筐体
５３ 開口
１００ 空調システム
１０００ ドア開閉検知センサ（連通口開閉検知センサ）

Claims (2)

1. 建屋内に配置された少なくとも二つのクリーンルームに前記建屋外の外気を導く給気ダクトと、
   前記給気ダクトを通流し、前記少なくとも二つのクリーンルームに外気を給気する給気装置と、
   前記少なくとも二つのクリーンルームのそれぞれの天井板に備えられ、前記少なくとも二つのクリーンルームからの排気を、前記少なくとも二つのクリーンルームの外部であって前記建屋の内部である天井裏に排気するとともに、回転速度を変更可能な排気ファンを備え、当該排気ファンの回転速度を制御することにより前記天井裏への排気量を制御可能な排気装置と、
   前記少なくとも二つのクリーンルームの室圧を測定する室圧計と、
   前記少なくとも二つのクリーンルームのうち、隣接するクリーンルーム同士であって、室圧差が設けられることで高圧側のクリーンルームと低圧側のクリーンルームとを構成するクリーンルーム同士を連通する、開閉可能な連通口と、
   前記連通口の開閉を検知する連通口開閉検知センサと、
   前記連通口開閉検知センサによって前記連通口が開かれたことを検知したときに、前記高圧側のクリーンルーム及び前記低圧側のクリーンルームのそれぞれに備えられた前記排気装置の制御をいったん停止し、当該停止の直前の状態で排気を継続するとともに、
   前記連通口が開かれた後、前記連通口が再び閉じられたことを検知したときに、前記高圧側のクリーンルーム及び前記低圧側のクリーンルームのそれぞれに備えられた前記排気装置の制御を再開する演算制御装置と、を備えることを特徴とする、クリーンルーム用空調システム。
2. 前記排気装置は、
   前記排気ファンを収容する筐体と、
   前記排気ファンからみて空気の流れ方向下流側であって前記筐体に形成された開口を覆うように配置され、前記排気ファンの稼働により生じる風圧によって開くとともに、磁石に対して吸着可能な部位を備えた吐出蓋と、
   当該吐出蓋に形成された吸着部位を前記筐体の側に引きつける電磁石と、を備えて構成
   されていることを特徴とする、請求項１に記載のクリーンルーム用空調システム。

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