JP6770344B2 - 酸素製造方法および酸素製造装置 - Google Patents

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Description

本発明は、酸素製造方法および酸素製造装置に関するものである。
現在、半導体製造工場では、半導体製造過程での酸化反応工程に用いられる酸素として高純度の酸素、具体的にはメタンおよび亜酸化窒素の濃度が低い酸素が求められている。しかし、一般的な空気分離装置による酸素製造方法では、メタンおよび亜酸化窒素は低圧精留塔の液体酸素に濃縮されるため、製品酸素中のメタンおよび亜酸化窒素濃度は高くなる。
メタンが除去された酸素を製造する手段として、触媒を用いた触媒反応により原料空気中の炭化水素、水素および一酸化窒素等の不純物を除去した後、吸着剤と接触せしめて、水分、炭酸ガス等の不純物を吸着除去することにより得られるクリーン・ドライ空気を酸素製造のための原料空気として用いることが考えられる。係るクリーン・ドライ空気を製造する技術は特許文献1に提案されている。しかしながら、該方法では亜酸化窒素が除去されるのかが不明であり、さらにはクリーン・ドライ空気を製造するために約350℃〜450℃まで原料空気を昇温する必要があり、電力コストの面でも改善の余地があった。
一方、特許文献2には一酸化炭素および水素を含有しない超高純度窒素を製造する方法として、原料空気から触媒を用いた酸化反応により一酸化炭素および水素を除去した後、得られた精製空気を精留して窒素を得る方法が記載されている。また特許文献2には、上記反応温度を250℃以上とすることにより、原料空気からメタンを除去できることが示唆されている。
空気中に典型的にはメタンは約2ppm、亜酸化窒素は約0.50ppm含まれているが、これらの成分は空気分離装置において低圧精留塔の液体酸素に濃縮されて高濃度となる。安全性の観点から、空気分離装置の運転管理においてメタンおよび亜酸化窒素の液体酸素中の許容される最大の濃度はメタン468ppmおよび亜酸化窒素100ppmと非特許文献1にて規定されており、安全性の観点からも、製品となる液体酸素中に濃縮するメタンおよび亜酸化窒素濃度が低い酸素製造方法および装置の開発が望まれている。
特開2002−346330号公報 特開2001−033156号公報
空気分離装置におけるリボイラ/コンデンサの安全な運転管理指針 有限責任中間法人日本産業・医療ガス協会出版、平成20年6月、p.31
本発明の目的は、メタンおよび亜酸化窒素の含有量が低い酸素を得るために好適な酸素製造方法および酸素製造装置を提供することにある。
本発明は、以下に示す酸素製造方法および製造装置を提供する。
[1] 原料空気中の少なくとも水分を吸着除去する第1の吸着工程と、前記第1の吸着工程後の原料空気中の少なくともメタンおよび亜酸化窒素を触媒反応に供する触媒反応工程と、前記触媒反応工程後の原料空気の精留によって酸素を得る精留工程と、を備えた酸素製造方法。
[2] 前記触媒反応工程における触媒反応の温度が250℃未満である[1]に記載の酸素製造方法。
[3] 前記触媒反応で用いる触媒がパラジウム系触媒を含む、[1]または[2]に記載の酸素製造方法。
[4] 前記触媒がさらに白金系触媒を含む、[3]に記載の酸素製造方法。
[5] 前記精留工程が、第1精留塔での精留により、前記触媒反応工程後の原料空気から酸素富化液化空気を分離する第1精留工程と、第2精留塔での精留により、前記酸素富化液化空気の少なくとも一部から酸素を分離する第2精留工程と、を備えた[1]〜[4]のいずれかに記載の酸素製造方法。
[6] 原料空気中の少なくとも水分を吸着除去するための第1吸着塔と、前記第1吸着塔を経た原料空気中の少なくともメタンおよび亜酸化窒素を触媒反応に供するための触媒塔と、前記触媒塔を経た原料空気を精留することにより酸素を得るための精留部と、を備えた酸素製造装置。
[7] 前記触媒塔は、250℃未満の温度で触媒反応を行うための触媒塔である[6]に記載の酸素製造装置。
[8] 前記触媒がパラジウム系触媒を含む、[6]または[7]に記載の酸素製造装置。
[9] 前記触媒がさらに白金系触媒を含む、[8]に記載の酸素製造装置。
[10] 前記精留部が、前記触媒反応後の原料空気から精留により酸素富化液化空気を分離するための第1精留塔と、前記酸素富化液化空気の少なくとも一部から精留により酸素を分離するための第2精留塔と、を備えた[6]〜[9]のいずれかに記載の酸素製造装置。
本発明によれば、メタンおよび亜酸化窒素の含有量が低い酸素を提供することができる。
本発明に係る、原料空気を精製するための装置の構成の一例を示す概略図である。 本発明に係る、深冷分離装置の構成の一例を示す概略図である。
以下、実施の形態を示しながら、本発明に係る酸素製造方法および酸素製造装置について詳細に説明する。
本発明に係る酸素製造方法は、原料空気中の少なくとも水分を吸着除去する第1の吸着工程と、第1の吸着工程後の原料空気中の少なくともメタンおよび亜酸化窒素を触媒反応に供する触媒反応工程とを含む精製空気生成工程、ならびに前記触媒反応工程後の原料空気の精留によって酸素を得る精留工程とを含む。
図1は、本発明に係る原料空気を精製するための装置の構成の一例を示す概略図である。図1に示される装置は、外部から取り入れられた原料空気中の少なくとも水分を吸着除去するための第1吸着塔7および8から構成される第1吸着塔ユニットAと、第1吸着塔ユニットAを経た原料空気中の少なくともメタンおよび亜酸化窒素を触媒反応に供するための触媒塔11とを含む。図1に示される装置は、上記第1の吸着工程および触媒反応工程を実施するための装置である。
図2は、本発明に係る、深冷分離装置の構成の一例を示す概略図である。図2に示す装置は、触媒塔11を経た精製空気を精留するための、第1精留塔41および第2精留塔42から構成される精留部を含む。図2に示される装置は、上記精留工程を実施するための装置である。
以下、各工程について詳細に説明する。
(1)第1の吸着工程
本工程は、原料空気中の少なくとも水分を吸着除去する工程である。図1を参照して、本工程は、水分を除去するための吸着剤が充填された塔である、第1吸着塔7または8に原料空気を導入する操作により実施することができる。
第1の吸着工程において第1吸着塔7または8に導入される原料空気としては、例えば外部から取り入れられ、フィルター1を介して清浄化された後に圧縮機2により圧縮された空気を用いることができる。
第1吸着塔7および8には、少なくとも原料空気に含まれる水分を除去するための吸着剤が充填される。吸着剤としては、例えば、アルミナゲル、合成ゼオライト(モレキュラシーブス)等が挙げられる。吸着剤としては原料空気中の水分を吸着できればよく、アルミナゲルや合成ゼオライト(モレキュラシーブス)以外の充填剤を用いることもできる。合成ゼオライト(モレキュラシーブス)を吸着剤として用いた場合には、触媒塔11に充填される触媒の触媒毒となる酸化硫黄も除去することができる。例えばアルミナゲルと合成ゼオライト(モレキュラシーブス)を組み合わせて用いることもできる。
第1吸着塔ユニットAは、少なくとも第1吸着塔7および8から構成されることが好ましい。第1吸着塔7および8の2塔を備えることにより、一塔を第1の吸着工程に使用し、その間他の塔を後述する再生ガスを用いて、吸着剤に吸着した水分および酸化硫黄を脱着する工程(再生工程)により再生することができる。再生工程が終了した塔は第1の吸着工程に使用され、第1の吸着工程に使用された塔は再生工程により再生される。このように第1の吸着工程に用いられる塔を切り替えることが可能なため、第1の吸着工程を連続して行うことが可能となる。第1吸着塔ユニットAは3塔以上の吸着塔で構成されても良い。
図1に示されるように、原料空気は、降温され、原料空気中の凝縮水が凝縮水分離器6により除去された後に第1吸着塔7または8に導入されることが好ましい。原料空気が降温されることにより、原料空気中の水分の分圧が下がるため、第1吸着塔7および8のサイズダウン、ならびに第1吸着塔7および8に充填される吸着剤の量を減少させることが可能となる。原料空気の冷却手段としては特に制限はないが、原料空気の熱エネルギーを回収するために、排熱回収器3において後述する再生ガスと間接熱交換させることが好ましい。排熱回収器3出口の原料空気温度に応じて、冷媒との間接熱交換により原料空気を降温させるアフタークーラー4または冷却水との間接熱交換により原料空気を降温させる第1原料空気冷却器5のいずれか、あるいは両方をさらに備えることもできる。第1の吸着工程は、好ましくは10℃以上40℃以下で行われる。
(2)触媒反応工程
本工程は、第1の吸着工程後の原料空気中の少なくともメタンおよび亜酸化窒素を触媒反応に供する触媒反応を行う工程である。図1を参照して、本工程は、例えば第1の吸着工程後の原料空気を昇温手段にて所定の温度まで昇温した後、触媒塔11に導入し、第1の吸着工程後の原料空気中に含まれる少なくともメタンおよび亜酸化窒素を触媒反応させる操作により実施することができる。
触媒塔11における触媒反応の温度は、250℃未満の温度とすることができる。本発明では、上記第1の吸着工程によって、原料空気中の水分が除去されており、原料空気は反応活性の高い乾燥状態であるため、触媒塔11での触媒反応温度を250℃未満という低い温度設定とすることができる。250℃以上の温度に原料空気を昇温することは、原料空気昇温のために昇温手段が要する電力を増加させる。原料空気を250℃未満まで昇温する手段としては特に制限はないが、ヒーター10を用いることができる。また触媒塔11を経た原料空気(精製空気)の熱エネルギーを回収するために、昇温手段としてさらに原料空気熱交換器9を設け、原料空気熱交換器9において、第1の吸着工程を経た原料空気と、触媒塔11を経た原料空気(精製空気)とを間接熱交換させることにより熱回収を行うことが好ましい。原料空気熱交換器9の出口温度(すなわち、ヒーター10に導入される原料空気の温度)が高くなれば、原料空気熱交換器9を経た原料空気を250℃未満の反応温度まで昇温するための昇温手段(ヒーター10)が要する電力を削減することができる。
上記触媒反応において用いられる触媒としては、パラジウム系触媒を用いることができる。パラジウム系触媒を用いることにより、効率的にメタンおよび亜酸化窒素を転化することができる。また触媒として、さらに白金系触媒を用いることができる。原料空気中に水素および一酸化炭素が含まれている場合には、水素および一酸化炭素は白金系触媒により転化されるため、パラジウム系触媒が一酸化炭素および水素の触媒反応に用いられることを軽減でき、これによりパラジウム系触媒によるメタン、あるいは、さらに亜酸化窒素の転化率を高めることができる。
上記触媒反応において、メタンは、原料空気中に含まれる酸素と反応することにより二酸化炭素と水に転化される。亜酸化窒素は、熱分解反応により窒素と酸素に転化される。該触媒反応により、メタンと亜酸化窒素の含有量が少ない精製空気が生成される。また、原料空気中に水素および一酸化炭素が含まれている場合は、水素は水に転化され、一酸化炭素は二酸化炭素に転化される。該触媒反応により、メタン、亜酸化窒素、水素および一酸化炭素の含有量が少ない精製空気が生成される。また、原料空気中に含まれるエタン、アセチレン、エチレン、プロパン、プロピレンおよびC4以上の炭化水素も、該触媒反応によって原料空気中に含まれる酸素と反応することにより二酸化炭素と水に転化される。
(3)精留工程
本工程は、触媒反応工程後の原料空気(精製空気)の精留によって酸素を得る工程である。図2を参照して、本工程は、例えば精製空気を第1精留塔41および第2精留塔42から構成される精留部に導入する操作により実施することができる。第1精留塔41は、精製空気から精留により酸素富化液化空気を分離する第1精留工程を行うための精留塔であり、第2精留塔42は、酸素富化液化空気の少なくとも一部から精留により酸素を分離する第2精留工程を行うための精留塔である。
第1精留工程において、触媒反応工程後の原料空気(精製空気)を第1精留塔41に導入することにより、これを低沸点成分である窒素と高沸点成分である酸素富化液化空気と分離することができる。本実施形態においては、第1精留塔41の運転圧力は、圧縮機2の出口における原料空気の圧力に依存しており、通常、圧縮機2の出口圧力から第1精留塔41に至るまでの各機器および配管等において生じる圧力損失を差し引いた圧力となる。酸素富化液化空気とは、大気中における酸素濃度20.95vol.%と比較して酸素成分が富んだ空気(酸素富化空気)が液化したものをいう。
第1精留工程においては、第1精留塔41の塔上段部の窒素ガスの少なくとも一部を、経路46を介して導出した後、第2精留塔42内に配設されたコンデンサ43に導入することができる。コンデンサ43において、第2精留塔42の塔底部に貯液された液化酸素と経路46を介して導入される窒素ガスとが間接熱交換され、液化酸素の一部が気化して酸素ガスになると共に、窒素ガスの少なくとも一部が液化されて液化窒素となる。該液化窒素は、例えば経路47を介してコンデンサ43から導出された後、一部が経路48を介して第1精留塔41に還流液として供給され、残部が経路49を介して第2精留塔42の上段部に還流液として供給される。
触媒反応工程後の精製空気は、経路31を介して主熱交換器40に導入し、主熱交換器40において対向する低温の酸素ガス等との間接熱交換により液化温度付近まで冷却した後、経路32を介して第1精留塔41に導入することができる。第1精留塔41に導入された精製空気の少なくとも一部は上昇ガスとなり、第1精留塔41の精留部44において経路48を介して供給される還流液と向流接触する。これにより、低沸点成分である窒素は第1精留塔41の上段部へと分離され、高沸点成分である酸素富化液化空気は第1精留塔41の下段部へと分離される。
第2精留工程において、第1精留塔41の下段部に貯液された酸素富化液化空気の少なくとも一部を、経路50を介して導出した後、第2精留塔42へと導入することにより、上記酸素富化液化空気を低沸点成分である窒素と高沸点成分である酸素とに分離することができる。第2精留塔42の運転圧力は、第1精留塔41の運転圧力と比較して低く制御されており、好ましくは0.05MPaG以上0.5MPaG以下の圧力にて制御され、より好ましくは0.1MPaG以上0.4MPaG以下の圧力にて制御される。
第2精留工程に用いる還流液として、液化窒素タンク51に貯液された液化窒素や、タービンを搭載した窒素液化装置(図示せず)により製造された液化窒素を用いることができる。この還流液は、経路52を介して第2精留塔42に導入することができる。経路50を介して第2精留塔42に導入された酸素富化液化空気のうち少なくとも一部は上昇ガスとなり、第2精留塔42の精留部45A、45Bおよび45Cにおいて、経路49および経路52を介して供給される還流液と向流接触する。これにより、低沸点成分である窒素は第2精留塔42の上段部へと分離され、高沸点成分である酸素は第2精留塔42の下段部に分離され、第2精留塔42の塔底には液化酸素が貯液される。
第2精留塔42の塔底に貯液された液化酸素を、経路53を介して製品液体酸素として導出することができる。必要に応じて該製品液体酸素をポンプ等の昇圧手段(図示せず)により昇圧した後、主熱交換器40において精製空気と間接熱交換させることにより昇温した後、昇圧された酸素ガスとして導出することもできる(図示せず)。
第2精留塔42の下段部に分離した酸素を、経路56を介して酸素ガスとして導出することもできる。該酸素ガスを、主熱交換器40において精製空気と間接熱交換することにより昇温した後、製品酸素ガスとして経路60を介して導出することができる。必要に応じて該製品酸素ガスを、酸素圧縮機等(図示せず)で昇圧した後、昇圧された製品酸素ガスとして導出することもできる。
第2精留塔42の上段部から、経路55を介して酸素富化ガスを廃ガスとして導出することができる。該廃ガスを、主熱交換器40において精製空気と間接熱交換することにより昇温した後、廃ガスとして経路59を介して導出することができる。該廃ガスの少なくとも一部を、再生ガスとして第1吸着塔ユニットAおよび後述する第2吸着塔ユニットBへと導入することができる(図1参照)。
第1精留塔41の上段部から、経路57を介して窒素ガスを導出することができる。該窒素ガスを、主熱交換器40において精製空気と間接熱交換することにより昇温した後、経路61を介して高圧製品窒素ガスとして導出することができる。必要に応じて、液化窒素タンク51から液体窒素を導出し、蒸発器62で気化した後に経路63を介して高圧製品窒素ガスとして導出することもできる。ここでいう高圧とは、第2精留塔42の運転圧力よりも高い圧力をいう。
第2精留塔42の塔頂部から、経路54を介して窒素ガスを導出することができる。該窒素ガスを、主熱交換器40において精製空気と間接熱交換することにより昇温した後、経路58を介して低圧製品窒素ガスとして導出することができる。ここでいう低圧とは、第2精留塔42の運転圧力以下の圧力のことをいう。
第1精留塔41としては、その精留部44に一般的な精留板、規則充填物、不規則充填物等を備えた一般的な低温精留のための精留塔を使用することができる。
第2精留塔42は、精留塔内に第1精留塔41から経路46を介して導入される窒素ガスと第2精留塔42塔底部に貯液された液化酸素との間の熱交換を行い、該窒素ガスを液化窒素へと凝縮し、該液化酸素を酸素ガスへと蒸発させるコンデンサ43と、精留部45A、45Bおよび45Cに一般的な精留板、規則充填物、不規則充填物等とを備えた、一般的な低温精留のための精留塔を使用することができる。
主熱交換器40は、精製空気と第1精留塔41および第2精留塔42から導出される低温のガスとを間接熱交換するためのものであり、例えばプレートフィン型の熱交換器を用いることができる。
(4)その他の工程
(i)第2の吸着工程
本工程は、触媒塔11を経た精製空気中の少なくとも水分および二酸化炭素を吸着除去する工程である。触媒塔11を経た精製空気は、通常メタン等の転化により生じた水分および二酸化炭素を含有している。精製空気中の水分および二酸化炭素は、主熱交換器40内で固化し、熱交換器40の流路を閉塞させる恐れがあるため、本工程において除去することが好ましい。図1を参照して、本工程は、水分および二酸化炭素を除去するための吸着剤が充填された塔である第2吸着塔13および14から構成される第2吸着塔ユニットBに、触媒塔11を経た精製空気を導入する操作により実施することができる。第2の吸着工程は通常、精留工程の前に実施される。
第2吸着塔13および14には、少なくとも触媒塔11を経た精製空気に含まれる水分および二酸化炭素を除去するための吸着剤が充填される。吸着剤としては、例えば、合成ゼオライト(モレキュラシーブス)が挙げられる。吸着剤としては触媒塔11を経た精製空気に含まれる水分および二酸化炭素を吸着できればよく、合成ゼオライト(モレキュラシーブス)以外の充填剤を用いることもできる。例えばアルミナゲルと合成ゼオライト(モレキュラシーブス)を組み合わせて用いることもできる。
第2吸着塔ユニットBは、少なくとも第2吸着塔13および14から構成されることが好ましい。第2吸着塔13および14の2塔を備えることにより、一塔を水分および二酸化炭素吸着の工程に使用し、その間他の塔を、再生ガスを用いて吸着剤に吸着した水分および二酸化炭素を脱着する再生工程により再生することができる。再生工程が終了した塔は、水分および二酸化炭素吸着の工程に使用され、水分および二酸化炭素吸着の工程に使用された塔は再生工程により再生される。このように精製空気中の水分および二酸化炭素の吸着の工程に用いられる塔を切り替えることが可能なため、該水分および二酸化炭素の吸着の工程を連続して行うことが可能となり、精製空気中の水分および二酸化炭素が主熱交換器40内で固化し、熱交換器40の流路を閉塞させることをより確実に防止できる。第2吸着塔ユニットBは3塔以上の吸着塔で構成されても良い。
触媒塔11を経た精製空気は、原料空気熱交換器9において、第1の吸着工程を経た原料空気と間接熱交換させることにより降温させた後に第2吸着塔ユニットBに導入されることが好ましい。原料空気熱交換器9出口における精製空気の温度に応じて、原料空気熱交換器9を経た精製空気を第2原料空気冷却器12へと導入し、冷却水と間接熱交換することによりさらに降温させた後、第2吸着塔ユニットBに導入することもできる。精製空気が降温されることにより、精製空気中の水分の分圧が下がり、かつ、吸着剤の二酸化炭素の吸着容量が増加するため、第2吸着塔13および14のサイズダウン、ならびに第2吸着塔13および14に充填される吸着剤の量を減少させることが可能となる。第2の吸着工程は、好ましくは10℃以上40℃以下で行われる。
(ii)再生ガス供給工程
本工程は、経路59を介して導出された廃ガス(図2参照)の少なくとも一部を、第1吸着塔ユニットAおよび第2吸着塔ユニットBの再生工程に用いる再生ガス(図1参照)として供給する工程である。再生ガスは、好ましくは排熱回収器3に導入され、圧縮機2により圧縮された空気と間接熱交換されることにより昇温される。排熱回収器3を経た再生ガスは、第2再生ヒーター15によりさらに昇温され、第2吸着塔ユニットBへと供給され、第2吸着塔13または14の再生工程に用いられる。第2吸着塔ユニットBを経た再生ガスは、必要に応じて第1再生ヒーター16によりさらに昇温された後、第1吸着塔ユニットAに供給され、第1吸着塔ユニットAにおいて第1吸着塔7または8の再生工程に用いられる。
以下、実施例を示して本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらの例によって限定されるものではない。
〔1〕精製空気の生成
図1に記載の構成を有する装置を用いて、下記の条件にて第1の吸着工程を経た原料空気中に含まれるメタンおよび亜酸化窒素の転化率の検証実験を行い、転化率について評価した。なお、[NL]は、標準状態に換算したガスの体積[L]を表している。
(転化率の検証実験条件)
原料空気流量:150NL/min、
原料空気圧力:0.785MPaG、
原料空気中のメタン濃度:2.0vol.ppm、
原料空気中の亜酸化窒素濃度:0.50vol.ppm、
触媒:パラジウム系触媒および白金系触媒
パラジウム系触媒の空間速度:13780h−1
白金系触媒の空間速度:13780h−1
酸化温度:150℃、170℃、190℃、210℃および247℃。
(メタンおよび亜酸化窒素転化率の評価基準)
◎:メタンの転化率が99.5%以上、かつ、亜酸化窒素の転化率が65%以上である、
○:メタンの転化率が90%以上99.5%未満、かつ、亜酸化窒素の転化率が40%以上65%未満である、
△:メタンの転化率が90%未満、かつ、亜酸化窒素の転化率が40%未満である。
検証実験の結果を以下の表1に示す。
Figure 0006770344
表1に示す通り、メタンは、反応温度190℃において99%が水と二酸化炭素へと転化し、反応温度247℃においては100%近い転化率が確認された。亜酸化窒素については反応温度190℃において約60%転化することが確認された。反応温度が170℃を下回ると転化率はメタンおよび亜酸化窒素ともに減少し、150℃においては亜酸化窒素の転化率は3.8%と低い値となった。この結果から、触媒塔11における好適な反応温度は、好ましくは約190℃以上、より好ましくは約210℃以上であることが示された。なお、250℃を超えると昇温手段10の負担を大きくするか、あるいは原料空気熱交換器9を、さらに1基用意する必要があるため、設備のメンテナンスや耐久性、コスト面および電力消費量の面等において、改善の余地が生じる。
〔2〕酸素の製造1
図1および図2に記載の構成を有する装置を用いて、下記の条件にて製品酸素中のメタンおよび亜酸化窒素濃度のシミュレーションを行い、評価した。なお、[Nm]は、標準状態に換算したガスの体積[m]を表している。
(実施例1に係る酸素製造のシミュレーション条件)
原料空気流量:3300Nm/h、
原料空気圧力:0.785MPaG、
製品液化酸素流量:600Nm/h、
製品液化酸素圧力:0.20MPaG、
原料空気中のメタン濃度:2.0vol.ppm、
原料空気中の亜酸化窒素濃度:0.50vol.ppm、
触媒塔11に用いた触媒:パラジウム系触媒および白金系触媒
触媒塔11における触媒反応温度:247℃。
(実施例2および3に係る酸素製造のシミュレーション条件)
実施例2については、製品酸素を液化酸素流量300Nm/h、酸素ガス流量300Nm/hとしたこと以外は実施例1と同じ条件であり、実施例3については、製品酸素を酸素ガス流量600Nm/hとしたこと以外は実施例1と同じ条件でシミュレーションを行った。
(比較例1〜3に係る酸素製造のシミュレーション条件)
メタンおよび亜酸化窒素の触媒反応を行わない以外は、比較例1は実施例1と同じ条件で、比較例2は実施例2と同じ条件で、比較例3は実施例3と同じ条件でシミュレーションを行った。
(メタンおよび亜酸化窒素濃度の評価基準)
○:メタン濃度が1.0vol.ppm未満、かつ、亜酸化窒素濃度が2.0vol.ppm未満である、
△:メタン濃度が1.0vol.ppm以上、かつ、亜酸化窒素濃度が2.0vol.ppm以上である。
シミュレーションの結果を以下の表2に示す。表中の「液」とは、図2に示される製品液化酸素を意味し、表中の「ガス」とは、図2に示される製品酸素ガスを意味する。表3においても同様である。
Figure 0006770344
表2に示す通り、実施例1、実施例2、および実施例3の全ての実施例において製品酸素(製品液化酸素および製品酸素ガス)中のメタン濃度は1.0vol.ppm未満であり、かつ亜酸化窒素濃度も2.0vol.ppm未満であり、メタンおよび亜酸化窒素の含有量が低い酸素を得ることができた。一方、触媒反応工程を有しない比較例1〜3については、酸素中のメタン濃度および亜酸化窒素濃度は共に高い値であった。
〔3〕酸素の製造2
前記酸素の製造1と同じ評価基準において、触媒塔11における触媒反応温度を210℃へと変更した以外は前記酸素の製造1と同条件で製品酸素中のメタンおよび亜酸化窒素濃度のシミュレーションを行い、評価した。シミュレーションの結果を以下の表3に示す。
Figure 0006770344
表3に示す通り、触媒塔11における触媒反応温度を210℃とした場合においても、実施例4〜6全ての実施例において、製品酸素中のメタン濃度は1.0vol.ppm未満であり、かつ亜酸化窒素濃度も、実施例4および6では2.0vol.ppm未満であり、実施例4と比較して製品液化酸素中に亜酸化窒素成分が濃縮する条件である実施例5においても1.8vol.ppmという低い値であり、メタンおよび亜酸化窒素の含有量が低い酸素を得ることができることができた。一方、触媒反応工程を有しない比較例4〜6については、酸素中のメタン濃度および亜酸化窒素濃度は共に高い値であった。
1: フィルター
2: 圧縮機
3: 排熱回収器
4: アフタークーラー
5: 第1原料空気冷却器
6: 凝縮水分離器
7,8: 第1吸着塔
9: 原料空気熱交換器
10: 昇温手段
11: 触媒塔
12: 第2原料空気冷却器
13,14: 第2吸着塔
15: 第2再生ヒーター
16: 第1再生ヒーター
31,32,46,47,48,49,50,52,53,54,55,56,57,58,59,60,61,63: 経路
40: 主熱交換器
41: 第1精留塔
42: 第2精留塔
43: コンデンサ
44: 第1精留塔41の精留部
45A,45B,45C: 第2精留塔42の精留部
51: 液化窒素タンク
62: 蒸発器
A: 第1吸着塔ユニット
B: 第2吸着塔ユニット

Claims (8)

  1. 原料空気中の少なくとも水分を吸着除去する第1の吸着工程と、
    前記第1の吸着工程後の原料空気中の少なくともメタンおよび亜酸化窒素を触媒反応に供する触媒反応工程と、
    前記触媒反応工程後の原料空気の精留によって酸素を得る精留工程と、を備えた酸素製造方法であって、
    前記触媒反応工程における触媒反応の温度が170℃以上250℃未満である酸素製造方法
  2. 前記触媒反応で用いる触媒がパラジウム系触媒を含む、請求項に記載の酸素製造方法。
  3. 前記触媒がさらに白金系触媒を含む、請求項に記載の酸素製造方法。
  4. 前記精留工程が、
    第1精留塔での精留により、前記触媒反応工程後の原料空気から酸素富化液化空気を分離する第1精留工程と、
    第2精留塔での精留により、前記酸素富化液化空気の少なくとも一部から酸素を分離する第2精留工程と、を備えた請求項1〜のいずれか1項に記載の酸素製造方法。
  5. 原料空気中の少なくとも水分を吸着除去するための第1吸着塔と、
    前記第1吸着塔を経た原料空気中の少なくともメタンおよび亜酸化窒素を触媒反応に供するための触媒塔と、
    前記触媒塔を経た原料空気を精留することにより酸素を得るための精留部と、を備えた酸素製造装置であって、
    前記触媒塔は、170℃以上250℃未満の温度で触媒反応を行うための触媒塔である酸素製造装置
  6. 前記触媒がパラジウム系触媒を含む、請求項に記載の酸素製造装置。
  7. 前記触媒がさらに白金系触媒を含む、請求項に記載の酸素製造装置。
  8. 前記精留部が、
    前記触媒反応後の原料空気から精留により酸素富化液化空気を分離するための第1精留塔と、
    前記酸素富化液化空気の少なくとも一部から精留により酸素を分離するための第2精留塔と、を備えた請求項のいずれか1項に記載の酸素製造装置。
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