JP6769146B2 - レーザ加工方法およびレーザ加工装置 - Google Patents
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Description
これにより、被加工領域の中央において単位面積当たりのエネルギー量を最も大きくすることができる。
これにより、たとえば、マーキングを行うことができる。
これにより、たとえば、溝を形成することができる。
これにより、平面視において曲線を有する加工形状(典型的には円形の穴)を被加工領域内に形成することができる。
これにより、平面視において多角形を有する加工形状を被加工領域内に形成することができる。
図1は、本実施の形態に係るレーザ加工装置の構成例を示す図である。図1を参照して、本発明の実施の形態に係るレーザ加工装置100は、コントローラ101と、ヘッド部102と、ケーブル103とを含む。
図8〜図17に、本発明の実施の形態に係るレーザ加工方法によるレーザ光の走査パターンの例を示す。図8を参照して、レーザ光の走査パターンは、被加工領域11aの中心部11bを中心として、形状の等しい複数の扇型を等角度に配置したパターンである。レーザ光は、被加工領域11aの中心部11bから被加工領域11aの周縁部へと走査され、被加工領域11aの周縁部において円弧または直線に沿って走査される。次に、レーザ光は、被加工領域11aの周縁部から被加工領域11aの中心部11bへと走査されて、被加工領域11aの中心部11bから被加工領域11aの周縁部へと再び走査される。レーザ光の軌跡は、被加工領域11aの中心部11bから放射状に広がり、被加工領域11aの周縁部では、破線状の(言い換えると断続的な)円周を形成する。
図18は、本発明の実施の形態に係るレーザ加工方法による加工の一例を示した模式図である。図18を参照して、たとえば、本発明の実施の形態に係るレーザ加工方法は、ワーク11の表面にコード15をマーキングするために利用することができる。コード15は、たとえば二次元に配置された複数のセル12を含む。被加工領域11aの各々に対してレーザ加工が施されることにより、各々のセル12が形成される。
Claims (16)
- レーザ光を発するレーザ光源と、前記レーザ光を走査する走査機構とを備えたレーザ加工装置によるレーザ加工方法であって、
被加工領域内において前記レーザ光を走査して、前記被加工領域内において穴の形成またはマーキングを行うステップを備え、
前記走査するステップは、
前記被加工領域の中の変向部において、前記レーザ光の走査方向を複数回変向することを含む、レーザ加工方法。 - 前記走査方向を前記変向部において前記変向することは、
前記変向部において、変向される前の走査方向に対して鋭角をなす方向に前記レーザ光の前記走査方向を変向することを含む、請求項1に記載のレーザ加工方法。 - 前記走査方向を前記変向部において前記変向することは、
前記レーザ光を前記変向部へと向かう向きに走査するごとに、前記変向部において、前記走査方向を変向することを含む、請求項1または請求項2に記載のレーザ加工方法。 - 前記走査するステップは、
前記走査方向を前記変向部において変向することと、前記走査方向を前記変向部よりも外側において変向することとを組み合わせることを含む、請求項1または請求項2に記載のレーザ加工方法。 - 前記走査するステップは、
前記変向部よりも外側の曲線上の点から前記変向部に向けて前記レーザ光を走査するステップ、および、前記変向部から前記曲線上の前記点に向けて前記レーザ光を走査するステップのうちの少なくとも一方を含む、請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のレーザ加工方法。 - 前記走査するステップは、
前記変向部を囲む多角形の辺上の点から前記変向部に向けて前記レーザ光を走査するステップ、および、前記変向部から前記多角形の前記辺上の点に向けて前記レーザ光を走査するステップのうちの少なくとも一方を含む、請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のレーザ加工方法。 - 前記変向部は、前記被加工領域の中央に位置する、請求項1から請求項6のいずれか1項に記載のレーザ加工方法。
- 次の被加工領域に対して前記走査するステップを実行することを繰り返して、複数のセルを形成するステップをさらに備える、請求項1から請求項7のいずれか1項に記載のレーザ加工方法。
- 前記複数のセルは、二次元に配置される、請求項8に記載のレーザ加工方法。
- 前記複数のセルは、一次元に配置される、請求項8に記載のレーザ加工方法。
- レーザ光を発するレーザ光源と、
前記レーザ光を走査する走査機構と、
前記走査機構を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、被加工領域の中の変向部において、前記レーザ光の走査方向を複数回変向するように、前記走査機構を制御して、記被加工領域内において穴の形成またはマーキングを行う、レーザ加工装置。 - 前記制御部は、変向される前の走査方向に対して鋭角をなす方向に、前記レーザ光の前記走査方向を変向するように前記走査機構を制御する、請求項11に記載のレーザ加工装置。
- 前記制御部は、
前記変向部から放射状に延びる複数の直線を含む走査パターンに従って前記レーザ光が走査されるように前記走査機構を制御する、請求項11または請求項12に記載のレーザ加工装置。 - 前記走査パターンは、前記レーザ光の走査方向を前記変向部よりも外側において折り返すパターンを含む、請求項13に記載のレーザ加工装置。
- 前記走査パターンは、
前記変向部を囲む曲線と前記変向部とを結ぶ直線を含む、請求項13または請求項14に記載のレーザ加工装置。 - 前記走査パターンは、
前記変向部と前記変向部を囲む多角形の辺とを結ぶ直線を含む、請求項13または請求項14に記載のレーザ加工装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016138630A JP6769146B2 (ja) | 2016-07-13 | 2016-07-13 | レーザ加工方法およびレーザ加工装置 |
EP17827326.4A EP3486026A4 (en) | 2016-07-13 | 2017-06-16 | LASER TREATMENT METHOD AND LASER TREATMENT APPARATUS |
PCT/JP2017/022337 WO2018012195A1 (ja) | 2016-07-13 | 2017-06-16 | レーザ加工方法およびレーザ加工装置 |
CN201780035844.1A CN109311125A (zh) | 2016-07-13 | 2017-06-16 | 激光加工方法以及激光加工装置 |
US16/221,675 US20190118289A1 (en) | 2016-07-13 | 2018-12-17 | Laser machining method and laser machining apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016138630A JP6769146B2 (ja) | 2016-07-13 | 2016-07-13 | レーザ加工方法およびレーザ加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018008291A JP2018008291A (ja) | 2018-01-18 |
JP6769146B2 true JP6769146B2 (ja) | 2020-10-14 |
Family
ID=60952954
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016138630A Active JP6769146B2 (ja) | 2016-07-13 | 2016-07-13 | レーザ加工方法およびレーザ加工装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20190118289A1 (ja) |
EP (1) | EP3486026A4 (ja) |
JP (1) | JP6769146B2 (ja) |
CN (1) | CN109311125A (ja) |
WO (1) | WO2018012195A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB201807830D0 (en) * | 2018-05-15 | 2018-06-27 | Renishaw Plc | Laser beam scanner |
KR102310466B1 (ko) * | 2019-06-27 | 2021-10-13 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 방법 |
EP3995237A1 (de) * | 2020-11-05 | 2022-05-11 | Siemens Energy Global GmbH & Co. KG | Bestrahlungsstrategie für die additive herstellung eines bauteils und entsprechendes bauteil |
CN116174968B (zh) * | 2023-03-24 | 2023-09-29 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种异形孔激光加工的直线型轨迹规划方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3557512B2 (ja) * | 1997-12-03 | 2004-08-25 | ミヤチテクノス株式会社 | 2次元バーコードのレーザマーキング方法 |
DE60124938T2 (de) * | 2000-10-26 | 2007-09-20 | Xsil Technology Ltd. | Steueurung von laserbearbeitung |
JP2002178157A (ja) * | 2000-12-07 | 2002-06-25 | Daido Steel Co Ltd | 肉盛溶接方法および肉盛溶接装置 |
DE10207288B4 (de) * | 2002-02-21 | 2005-05-04 | Newson Engineering Nv | Verfahren zum Bohren von Löchern mittels eines Laserstrahls in einem Substrat, insbesondere in einem elektrischen Schaltungsubstrat |
JP2007268576A (ja) | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Hitachi Via Mechanics Ltd | レーザ加工方法 |
JP5527526B2 (ja) * | 2010-02-24 | 2014-06-18 | マツダ株式会社 | レーザ溶接方法 |
JP5323874B2 (ja) | 2011-02-24 | 2013-10-23 | Hoya株式会社 | マスクブランク用ガラス基板、マスクブランク、マスクおよび反射型マスク並びにこれらの製造方法 |
JP6002392B2 (ja) * | 2012-01-20 | 2016-10-05 | パナソニック デバイスSunx株式会社 | レーザ加工装置 |
US20140273752A1 (en) * | 2013-03-13 | 2014-09-18 | Applied Materials, Inc. | Pad conditioning process control using laser conditioning |
US9358635B2 (en) * | 2013-12-19 | 2016-06-07 | Siemens Energy, Inc. | Rastered laser melting of a curved surface path with uniform power density distribution |
-
2016
- 2016-07-13 JP JP2016138630A patent/JP6769146B2/ja active Active
-
2017
- 2017-06-16 WO PCT/JP2017/022337 patent/WO2018012195A1/ja unknown
- 2017-06-16 EP EP17827326.4A patent/EP3486026A4/en active Pending
- 2017-06-16 CN CN201780035844.1A patent/CN109311125A/zh active Pending
-
2018
- 2018-12-17 US US16/221,675 patent/US20190118289A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20190118289A1 (en) | 2019-04-25 |
WO2018012195A1 (ja) | 2018-01-18 |
EP3486026A4 (en) | 2020-01-22 |
CN109311125A (zh) | 2019-02-05 |
EP3486026A1 (en) | 2019-05-22 |
JP2018008291A (ja) | 2018-01-18 |
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