JP2006315035A - レーザーマーキング方法及びその装置 - Google Patents
レーザーマーキング方法及びその装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006315035A JP2006315035A JP2005140114A JP2005140114A JP2006315035A JP 2006315035 A JP2006315035 A JP 2006315035A JP 2005140114 A JP2005140114 A JP 2005140114A JP 2005140114 A JP2005140114 A JP 2005140114A JP 2006315035 A JP2006315035 A JP 2006315035A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- workpiece
- marking
- mark
- laser beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
【課題】 画像認識装置でも精度良く読み取れるマークを容易且つ安定に刻印することができる様にする。
【解決手段】 レーザー光12でワーク1表面にマークを刻印するレーザーマーキングにおいて、ワーク1の表面に照射するレーザー光12の合焦点位置bをワーク1の表面位置からずらした位置に制御して刻印を行う。これにより、レーザーパワーが変動してもワーク表面のフォーカスがぼけた集光点内でレーザーパワー密度が拡散してしまうため、残留物が発生しない様に刻印を行うことができ、目視でも画像認識装置でも良好にマークを識別することが可能となる。
【選択図】 図2
【解決手段】 レーザー光12でワーク1表面にマークを刻印するレーザーマーキングにおいて、ワーク1の表面に照射するレーザー光12の合焦点位置bをワーク1の表面位置からずらした位置に制御して刻印を行う。これにより、レーザーパワーが変動してもワーク表面のフォーカスがぼけた集光点内でレーザーパワー密度が拡散してしまうため、残留物が発生しない様に刻印を行うことができ、目視でも画像認識装置でも良好にマークを識別することが可能となる。
【選択図】 図2
Description
本発明は、パッケージ等に文字や記号等のマークをレーザー光によって刻印するレーザーマーキング方法及びその装置に関する。
電子部品等の製品(以下、ワークという。)には製造番号等のマークを刻印し、このマークによって製品管理を行う様になっている。マークの刻印は、例えば下記特許文献1に記載されているように、レーザー光が用いられる。
図5は、ワーク1の表面に、点aの集合としてマークが刻印された一例を示している。図示の例では数字の“2”が点aの集合として刻印されており、各点aの箇所にレーザー光が照射される。
従来のレーザーマーキング装置は、レーザー光でワーク表面に刻印を施す場合、図6に示す様に、レーザー光2がFθレンズ3によってワーク1表面でちょうど合焦点bを結ぶ位置となる様に、レンズ3とワーク1との間の距離WDが調整されている。このため、図5中の1点aの断面は、図7に示す様に、レーザー光2が当たった箇所が深く溶けて蒸発し、削られている。これにより、各点a内に当たった照明光が乱反射してワーク1の地色に比べ白っぽく見え、ワーク1の表面に刻印されているマークを識別することが可能となる。
レーザーマーキング装置で刻印されたマークは、従来は、製品検査員等が目視でマークを確認できることが前提であったため、目視で確認できるマークが刻印される様にレーザーマーキング装置が調整されている。しかし、近年では、省力化のために、マークを画像認識装置で読み取り、各種の製品管理を自動で行う様になってきているので、マークの刻印は、目視ばかりでなく、画像認識装置でも精度良く読み取れる様にしなければならなくなっている。
例えば、レーザーマーキングを行っているときに、図7に示す三角形の穴4の内部にワーク1の材料が蒸発せずに、図8に示す様に、残留物5がガラス化する等して残ると、残留物5と穴4の内壁面の反射率が異なるため、画像認識装置は、安定してマークの認識をすることができなくなってしまう。このため、残留物5が残らないようレーザーマーキングを行う必要があるが、これが困難である。その理由は、以下の通りである。
残留物5は、レーザーマーキングを行うレーザーパワーが強すぎても、弱すぎても発生してしまう。残留物5が発生しないレーザーパワーの許容範囲は±5%程度である。これに対し、レーザー発振器の出力は、±8%の範囲で変動する。従って、一定のレーザーパワーでマークを刻印する様に調整しても、マーク中の所々で、上記許容範囲を逸脱したレーザーパワーによる刻印が為されてしまう。
例えば、固体撮像素子を内部に封止したパッケージは、融点や沸点が高いセラミック製であるため、高出力のレーザー発振器を使用しなければならず、レーザーパワーを上記許容範囲内に制御するのが困難である。
本発明の目的は、目視ばかりでなく、画像認識装置でも精度良く読み取れるマークを容易且つ安定に刻印することができるレーザーマーキング方法及びその装置を提供することにある。
本発明のレーザーマーキング方法は、レーザー光でワーク表面にマークを刻印するレーザーマーキング方法において、前記ワーク表面に照射する前記レーザー光の合焦点位置を前記ワーク表面位置からずらした位置に制御して前記刻印を行うことを特徴とする。
本発明のレーザーマーキング方法は、前記レーザー光を前記ワーク表面でスキャンさせるスキャンスピードを、レーザー光の合焦点位置をワーク表面位置に合わせた状態で刻印を行うときのスキャンスピードより低いスピードとすることを特徴とする。
本発明のレーザーマーキング装置は、レーザー光でワーク表面にマークを刻印するレーザーマーキング装置において、前記ワーク表面に照射する前記レーザー光を集光するレンズと、前記ワーク表面と前記レンズとの間の距離調整を行い前記レーザー光の合焦点位置を前記ワーク表面位置からずらした位置に調整する距離調整手段を備えることを特徴とする。
本発明のレーザーマーキング装置は、前記レーザー光を前記ワーク表面でスキャンさせるスキャンスピードを、レーザー光の合焦点位置をワーク表面位置に合わせた状態で刻印を行うときのスキャンスピードより低いスピードに調整するスキャンスピード調整手段を備えることを特徴とする。
本発明によれば、レーザーパワーが変動してもワーク表面のフォーカスがぼけた集光点内でレーザーパワー密度が拡散してしまうため、残留物が発生しない様に刻印を行うことが可能となり、目視でも画像認識装置でも良好にマークを識別することが可能となる。
以下、本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。
図1は、本発明の一実施形態に係るレーザーマーキング装置の概略構成図である。このレーザーマーキング装置10は、レーザー光を出射するレーザー発振器11と、レーザー発振器11から出射されたレーザー光12を反射するガルバノミラー13と、図示しない制御装置からの指示によりガルバノミラー13を揺動して反射レーザー光をスキャン(走査)させるガルバノミラー駆動装置14と、ガルバノミラー13で反射されたレーザー光12を集光するFθレンズ15と、ワーク1とFθレンズ15との間の距離WDを調整する距離調整器16と、距離調整器16が後述のように調整されたときガルバノミラー13のスキャンスピードを調整するスキャンスピード調整手段17とを備える。スキャンスピード調整手段17は、上記の制御装置がソフトウェアによって実現してもよい。
図2は、距離調整器16の調整方法説明図である。従来のレーザーマーキング装置におけるワークとFθレンズとの間の距離WDは、図6に示す様に、レーザー光2がワーク1表面にちょうど合焦する距離としている。例えば、この距離を192mmとする。これに対し、本実施形態のレーザーマーキング装置10では、図2に示す様に、合焦点位置bより4mm程度ワーク1を離し、距離WDを196mmとする。
即ち、本実施形態のレーザーマーキング装置10では、フォーカスをボカシ若干ピンぼけの集光点をワーク1の表面に当て、マークの刻印を行う。尚、図2に示す例は、合焦点位置bよりワーク1を若干遠ざけたが、逆に、合焦点位置bよりFθレンズ15側にワーク1を近づけても良い。
斯かる構成のレーザーマーキング装置10でマークの刻印を行う場合、図示しない制御装置が、刻印するマークのデータに基づいてガルバノミラー駆動装置14を制御し、また、レーザー発振器11が所定パワーのレーザー光12を出射する。
このレーザー光12は、ガルバノミラー13で反射されると共にガルバノミラー13の揺動に従ってワーク1の表面を前記データに従ってスキャンする。これにより、図3に示す様に、点cの集合としてマーク(図示の例は数字の“2”)がワーク1の表面に刻印される。
レーザー発振器11から所定パワーのレーザー光12が出射されるのであるが、このレーザーパワーは、上述したように、変動する。しかし、本実施形態のレーザーマーキング装置10では、図3に示すマークを構成する各点cは、図5に示すマークを構成する点aより、若干面積が広がった面となる。このため、点cの断面を図4に示す様に、浅い穴cとしてワーク1の表面が削られ、レーザーパワーが±8%程度変動しても、レーザーパワーの密度は面(点)c内に拡散してしまい、残留物が発生しないレーザーパワーの許容範囲±5%内に収まってしまう。
本実施形態では、上述したように、フォーカスをぼかしたレーザー光12でマークをワーク1に刻印するが、更に、スキャンスピード調整手段17により、スキャンスピードを遅くする。例えば、図6に示すようにレーザー光の合焦点位置bで刻印するときのスキャンスピードに対して50%のスキャンスピードにする。
このようにスキャンスピードを低下させると、マークの単位面積当たりのドット数が増え、レーザーパワーに変動が生じてもマークの発色性(照明光が点c内に反射して見えるワーク1の地色に対する色)の悪化を低減することができる。また、スキャンスピードを低下させると、必然的にレーザーパワーも低く設定され、レーザー発振器11自体の発熱量が低減され、この影響で、レーザー発振器11の熱膨張が抑制され、マーク中のドット位置の変動も抑制される。
本発明によれば、目視でも画像認識装置でも良好に認識できるマークを容易且つ安定に刻印することができるため、レーザーマーキング装置として有用である。
1 ワーク
10 レーザーマーキング装置
11 レーザー発振器
12 レーザー光
13 ガルバノミラー
14 ガルバノミラー駆動装置
15 Fθレンズ
16 距離調整器
17 スキャンスピード調整手段
a,c マークを構成する1点
b 合焦点位置
10 レーザーマーキング装置
11 レーザー発振器
12 レーザー光
13 ガルバノミラー
14 ガルバノミラー駆動装置
15 Fθレンズ
16 距離調整器
17 スキャンスピード調整手段
a,c マークを構成する1点
b 合焦点位置
Claims (4)
- レーザー光でワーク表面にマークを刻印するレーザーマーキング方法において、前記ワーク表面に照射する前記レーザー光の合焦点位置を前記ワーク表面位置からずらした位置に制御して前記刻印を行うことを特徴とするレーザーマーキング方法。
- 前記レーザー光を前記ワーク表面でスキャンさせるスキャンスピードを、レーザー光の合焦点位置をワーク表面位置に合わせた状態で刻印を行うときのスキャンスピードより低いスピードとすることを特徴とする請求項1に記載のレーザーマーキング方法。
- レーザー光でワーク表面にマークを刻印するレーザーマーキング装置において、前記ワーク表面に照射する前記レーザー光を集光するレンズと、前記ワーク表面と前記レンズとの間の距離調整を行い前記レーザー光の合焦点位置を前記ワーク表面位置からずらした位置に調整する距離調整手段を備えることを特徴とするレーザーマーキング装置。
- 前記レーザー光を前記ワーク表面でスキャンさせるスキャンスピードを、レーザー光の合焦点位置をワーク表面位置に合わせた状態で刻印を行うときのスキャンスピードより低いスピードに調整するスキャンスピード調整手段を備えることを特徴とする請求項3に記載のレーザーマーキング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005140114A JP2006315035A (ja) | 2005-05-12 | 2005-05-12 | レーザーマーキング方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005140114A JP2006315035A (ja) | 2005-05-12 | 2005-05-12 | レーザーマーキング方法及びその装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006315035A true JP2006315035A (ja) | 2006-11-24 |
Family
ID=37536153
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005140114A Pending JP2006315035A (ja) | 2005-05-12 | 2005-05-12 | レーザーマーキング方法及びその装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006315035A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009082958A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Sunx Ltd | レーザ加工装置及びアキシコンレンズ |
US8643689B2 (en) | 2011-02-28 | 2014-02-04 | Ricoh Company, Ltd. | Image processing method and image processing apparatus |
JP2016205978A (ja) * | 2015-04-22 | 2016-12-08 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 回転角検出装置の製造方法 |
-
2005
- 2005-05-12 JP JP2005140114A patent/JP2006315035A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009082958A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Sunx Ltd | レーザ加工装置及びアキシコンレンズ |
US8643689B2 (en) | 2011-02-28 | 2014-02-04 | Ricoh Company, Ltd. | Image processing method and image processing apparatus |
JP2016205978A (ja) * | 2015-04-22 | 2016-12-08 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 回転角検出装置の製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6355908B1 (en) | Method and apparatus for focusing a laser | |
US7469831B2 (en) | Laser-based method and system for processing targeted surface material and article produced thereby | |
JP5146948B2 (ja) | 金属表面加工方法 | |
CN108620726B (zh) | 激光加工装置及激光加工方法 | |
JP5094337B2 (ja) | レーザ加工方法 | |
JP2005279659A (ja) | レーザマーキング方法、レーザマーキング装置、マーク読取方法 | |
WO2018012195A1 (ja) | レーザ加工方法およびレーザ加工装置 | |
JP2006315035A (ja) | レーザーマーキング方法及びその装置 | |
JP3323987B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP2001118757A (ja) | 微小ドットマークを有する半導体基材 | |
JP2007301610A (ja) | レーザ加工方法とレーザ加工装置 | |
JP2002224865A (ja) | レーザマーキング装置 | |
KR101724194B1 (ko) | 광섬유 레이저를 이용한 마킹시스템 | |
JP2009006339A (ja) | レーザ加工装置、及び、レーザ加工方法 | |
EP1034941B1 (en) | Laser printing method and apparatus | |
JP2008000782A (ja) | プロセスステージ及び該プロセスステージを備えたレーザ加工装置 | |
JP2003290959A (ja) | レーザ加工方法 | |
JP2006239703A (ja) | レーザ加工装置 | |
KR20150126810A (ko) | 자동 초점 조절 기능을 가진 레이저 마킹 장치 | |
JP2002244060A (ja) | レーザビーム走査装置 | |
KR20160107992A (ko) | 레이저 마킹 장치 | |
JP4719131B2 (ja) | レーザビームによる微小マーキング方法 | |
JP2006068760A (ja) | レーザマーキング方法及びレーザマーキング装置 | |
KR20170126835A (ko) | 자동 초점 조절 기능을 가진 레이저 마킹 장치 | |
JP4177730B2 (ja) | レーザ加工方法及び装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20061127 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20071108 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20071115 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20071122 |