JP6764231B2 - 半導体ナノ粒子の製造方法、および、半導体ナノ粒子 - Google Patents
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- 工程a)溶媒中に、所定の結晶面が露出するシード粒子を分散させる工程と、
工程b)溶媒中において、前記シード粒子の結晶面に、平板状の第1の半導体層、該シード粒子と同じ部材により構成される平板状のシード層、および平板状の第2の半導体層、を順次エピタキシャル成長する工程と、
工程c)前記シード粒子および前記シード層をエッチング処理により除去して、前記第1および第2の半導体層を相互に分離する工程と、
を有する半導体ナノ粒子の製造方法。 - 前記第1および第2の半導体層の面内方向における最大幅は、20nm以下である請求項1記載の半導体ナノ粒子の製造方法。
- 前記シード粒子および前記シード層は、ZnOSを含み、
前記第1および第2の半導体層各々は、窒化物半導体を含む、請求項1または2記載の半導体ナノ粒子の製造方法。 - 前記第1および第2の半導体層各々は、InGaNを含む請求項3記載の半導体ナノ粒子の製造方法。
- 前記第1および第2の半導体層各々は、さらにInAlNを含む請求項4記載の半導体ナノ粒子の製造方法。
- 前記工程a)において、選択的光エッチング処理により、前記シード粒子の所定の結晶面を露出する請求項1〜5いずれか1項記載の半導体ナノ粒子の製造方法。
- さらに、工程d)溶媒中において、相互に分離した前記第1および第2の半導体層各々を、第3の半導体層により被覆する工程と、を有する請求項1〜6いずれか1項記載の半導体ナノ粒子の製造方法。
- 前記第3の半導体層は、InAlNを含む請求項7記載の半導体ナノ粒子の製造方法。
- ZnOSを含むシード粒子であって、粒径が20nm以下であり、所定の結晶面が露出するシード粒子と、
前記シード粒子の結晶面上にエピタキシャル成長した、窒化物半導体を含む平板状の第1の半導体層と、
前記第1の半導体層上にエピタキシャル成長した、前記シード粒子と同じ部材により構成される平板状のシード層と、
前記シード層上にエピタキシャル成長した、窒化物半導体を含む平板状の第2の半導体層と、
を含む半導体ナノ粒子。
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