JP6764134B2 - 感光性接着剤組成物 - Google Patents
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Description
(A)成分:下記式(1)で表される構造単位を有し、末端に下記式(2)で表される構造を有するポリマー、
(B)成分:前記式(1)で表される構造単位を有し、末端にカルボキシ基又はヒドロキシ基を有するポリマー、
(C)成分:ラジカル型光重合開始剤
(D)成分:溶剤
(これら式中、Xは炭素原子数1乃至6のアルキル基、ビニル基、アリル基又はグリシジル基を表し、m及びnはそれぞれ独立に0又は1を表し、Qは炭素原子数1乃至16の二価の炭化水素基を表し、Zは炭素原子数1乃至4の二価の連結基を表し、該二価の連結基は前記式(1)における−O−基と結合し、R1は水素原子又はメチル基を表す。)
本発明の感光性接着剤組成物は、(A)成分として、前記式(1)で表される構造単位を有し、末端に前記式(2)で表される構造を有するポリマーを含む。このポリマーの重量平均分子量は、後述するゲルパーミエーションクロマトグラフィ(以下、本明細書ではGPCと略称する。)分析による、標準ポリスチレン換算値で、例えば1,000乃至50,000、好ましくは1,000乃至20,000である。
本発明の感光性接着剤組成物は、(B)成分として、前記式(1)で表される構造単位を有し、末端にカルボキシ基又はヒドロキシ基を有するポリマーを含む。このポリマーの重量平均分子量は、後述するGPC分析による標準ポリスチレン換算値で、例えば1,000乃至50,000、好ましくは1,000乃至20,000、より好ましくは1,000乃至10,000である。
本発明の感光性接着剤組成物は、(C)成分としてラジカル型光重合開始剤を含む。その光重合開始剤としては、光硬化時に使用する光源の波長域に吸収をもつ化合物であれば特に限定されないが、例えば、tert−ブチルペルオキシ−iso−ブチレート、2,5−ジメチル−2,5−ビス(ベンゾイルジオキシ)ヘキサン、1,4−ビス[α−(tert−ブチルジオキシ)−iso−プロポキシ]ベンゼン、ジ−tert−ブチルペルオキシド、2,5−ジメチル−2,5−ビス(tert−ブチルジオキシ)ヘキセンヒドロペルオキシド、α−(iso−プロピルフェニル)−iso−プロピルヒドロペルオキシド、tert−ブチルヒドロペルオキシド、1,1−ビス(tert−ブチルジオキシ)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、ブチル−4,4−ビス(tert−ブチルジオキシ)バレレート、シクロヘキサノンペルオキシド、2,2’,5,5’−テトラ(tert−ブチルペルオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,3’,4,4’−テトラ(tert−ブチルペルオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,3’,4,4’−テトラ(tert−アミルペルオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,3’,4,4’−テトラ(tert−ヘキシルペルオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,3’−ビス(tert−ブチルペルオキシカルボニル)−4,4’−ジカルボキシベンゾフェノン、tert−ブチルペルオキシベンゾエート、ジ−tert−ブチルジペルオキシイソフタレート等の有機過酸化物;9,10−アントラキノン、1−クロロアントラキノン、2−クロロアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2−ベンズアントラキノン等のキノン類;ベンゾインメチル、ベンゾインエチルエーテル、α−メチルベンゾイン、α−フェニルベンゾイン等のベンゾイン誘導体;2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−1−[4−{4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)ベンジル}−フェニル]−2−メチル−プロパン−1−オン、フェニルグリオキシリックアシッドメチルエステル、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−1−ブタノン、2−ジメチルアミノ−2−(4−メチル−ベンジル)−1−(4−モリホリン−4−イル−フェニル)−ブタン−1−オン等のアルキルフェノン系化合物;ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイド等のアシルホスフィンオキサイド系化合物;2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン、1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン等のオキシムエステル系化合物が挙げられる。
本発明の感光性接着剤組成物は溶剤を含む。その溶剤として、半導体デバイス製造工程で使用できる有機溶剤であれば特に限定されないが、例えば、シクロヘキサノン、メチルイソアミルケトン、2−ブタノン、2−ヘプタノン等のケトン類;エチレングリコール、エチレングリコールモノアセテート、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールモノアセテート、プロピレングリコール、プロピレングリコールモノアセテート、ジプロピレングリコール又はジプロピレングリコールモノアセテート、並びにこれらのモノメチルエーテル、モノエチルエーテル、モノプロピルエーテル、モノブチルエーテル、モノフェニルエーテル等の多価アルコール類及びその誘導体;ジオキサン等の環式エーテル類;γ−ブチロラクトン等のラクトン類;及び乳酸メチル、乳酸エチル、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、メトキシプロピオン酸メチル、エトキシプロピオン酸エチル、2−ヒドロキシイソ酪酸メチル等のエステル類が挙げられる。これらの有機溶剤は単独で用いてもよく、二種以上を混合して用いてもよい。本発明の感光性接着剤組成物から溶剤を除いた成分を固形分とすると、該感光性接着剤組成物に占める固形分の割合は、例えば1質量%乃至80質量%である。
本発明の感光性接着剤組成物は、必要に応じて、二官能(メタ)アクリレートを架橋性化合物として含有することができる。ここで二官能(メタ)アクリレートとは、分子の両端にアクリロイル基又はメタクリロイル基を有する化合物である。その化合物として、例えば、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジメタクリレート、トリシクロデカンジエタノールジアクリレート、及びトリシクロデカンジエタノールジメタクリレートが挙げられる。
本発明の感光性接着剤組成物は、必要に応じて、エポキシ化合物、光酸発生剤、熱酸発生剤、無機フィラー、界面活性剤などの添加剤をさらに含有することができる。
本発明の感光性接着剤組成物がエポキシ化合物を含む場合、そのエポキシ化合物として、例えば、1,4−ブタンジオールジグリシジルエーテル、1,2−エポキシ−4−(エポキシエチル)シクロヘキサン、グリセロールトリグリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル、2,6−ジグリシジルフェニルグリシジルエーテル、1,1,3−トリス[p−(2,3−エポキシプロポキシ)フェニル]プロパン、1,2−シクロヘキサンジカルボン酸ジグリシジルエステル、4,4’−メチレンビス(N,N−ジグリシジルアニリン)、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、トリメチロールエタントリグリシジルエーテル、トリグリシジル−p−アミノフェノール、テトラグリシジルメタキシレンジアミン、テトラグリシジルジアミノジフェニルメタン、テトラグリシジル−1,3−ビスアミノメチルシクロヘキサン、ビスフェノール−A−ジグリシジルエーテル、ビスフェノール−S−ジグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールテトラグリシジルエーテルレゾルシノールジグリシジルエーテル、フタル酸ジグリシジルエステル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル、テトラブロモビスフェノール−A−ジグリシジルエーテル、ビスフェノールヘキサフルオロアセトンジグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールジグリシジルエーテル、トリス−(2,3−エポキシプロピル)イソシアヌレート、モノアリルジグリシジルイソシアヌレート、ジグリセロールポリジグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、1,4−ビス(2,3−エポキシプロポキシパーフルオロイソプロピル)シクロヘキサン、ソルビトールポリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル、レゾルシンジグリシジルエーテル、1,6−へキサンジオールジグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、p−ターシャリーブチルフェニルグリシジルエーテル、アジピン酸ジグリシジルエーテル、o−フタル酸ジグリシジルエーテル、ジブロモフェニルグリシジルエーテル、1,2,7,8−ジエポキシオクタン、1,6−ジメチロールパーフルオロヘキサンジグリシジルエーテル、4,4’−ビス(2,3−エポキシプロポキシパーフルオロイソプロピル)ジフェニルエーテル、2,2−ビス(4−グリシジルオキシフェニル)プロパン、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3’,4’−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、3,4−エポキシシクロヘキシルオキシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)−3’,4’−エポキシ−1,3−ジオキサン−5−スピロシクロヘキサン、1,2−エチレンジオキシ−ビス(3,4−エポキシシクロヘキシルメタン)、4’,5’−エポキシ−2’−メチルシクロヘキシルメチル−4,5−エポキシ−2−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、エチレングリコール−ビス(3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート)、ビス−(3,4−エポキシシクロヘキシルメチル)アジペート、及びビス(2,3−エポキシシクロペンチル)エーテルが挙げられる。さらに、グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレートなど、エポキシ基を有する(メタ)アクリレートの共重合体も、上記エポキシ化合物として挙げられる。
本発明の感光性接着剤組成物を用い、以下の工程、すなわち、本発明の感光性接着剤組成物を第一の基板上に塗布する工程、前記第一の基板上に塗布された感光性接着剤組成物を50℃乃至160℃の温度でプリベークする工程、前記プリベーク後に前記第一の基板上に形成された塗膜を露光する工程、前記露光後に前記塗膜を現像する工程、及び前記現像後に前記第一の基板に第二の基板を貼り付けた後、加熱し前記塗膜を熱硬化させる工程、を経て基板同士を接着することができる。
装置:一体型高速GPCシステム HLC−8220GPC 東ソー(株)製
カラム:KF−G,KF804L
カラム温度:40℃
溶媒:テトラヒドロフラン(THF)
流量:1.0mL/分
標準試料:ポリスチレン
ディテクター:RI
1,2−シクロヘキサンジカルボン酸127.99g、モノアリルジグリシジルイソシアヌル酸175.00g、及びベンジルトリエチルアンモニウムクロリド7.20gをプロピレングリコール1−モノメチルエーテル2−アセタート465.28gに溶解させた後、140℃で4時間反応させポリマーを含む溶液を得た。得られた溶液を室温に冷却後、メタクリル酸グリシジル28.71g及びベンジルトリエチルアンモニウムクロリド1.15gを本溶液に溶解させた後、140℃で3時間反応させポリマーを含む溶液を得た。得られたポリマーのGPC分析を行ったところ、標準ポリスチレン換算にて重量平均分子量は3,500であった。得られたポリマーは、下記式(1a)で表される構造単位及び末端に下記式(2a)で表される構造を有するポリマーであると考えられる。
1,2−シクロヘキサンジカルボン酸146.27g、モノアリルジグリシジルイソシアヌル酸200.00g、及びベンジルトリエチルアンモニウムクロリド4.11gをプロピレングリコール1−モノメチルエーテル2−アセタート350.38gに溶解させた後、140℃で4時間反応させポリマーを含む溶液を得た。得られたポリマーのGPC分析を行ったところ、標準ポリスチレン換算にて重量平均分子量は3,100であった。得られたポリマーは、下記式(1a)で表される構造単位を有するポリマーであると考えられる。
1,2−シクロヘキサンジカルボン酸138.15g、モノアリルジグリシジルイソシアヌル酸200.00g、及びベンジルトリエチルアンモニウムクロリド4.11gをプロピレングリコール1−モノメチルエーテル2−アセタート342.26gに溶解させた後、140℃で4時間反応させポリマーを含む溶液を得た。得られたポリマーのGPC分析を行ったところ、標準ポリスチレン換算にて重量平均分子量は4,100であった。得られたポリマーは、下記式(1a)で表される構造単位を有するポリマーであると考えられる。
合成例1で得られたポリマーを含む溶液を、陽イオン交換樹脂(15JWET、オルガノ(株))及び陰イオン交換樹脂(モノスフィアー550A、ムロマチテクノス(株))が充填されたボトル中に注入し、4時間撹拌させた。
合成例2で得られたポリマーを含む溶液を、陽イオン交換樹脂(15JWET、オルガノ(株))及び陰イオン交換樹脂(モノスフィアー550A、ムロマチテクノス(株))が充填されたボトル中に注入し、4時間撹拌させた。
合成例3で得られたポリマーを含む溶液を、陽イオン交換樹脂(15JWET、オルガノ(株))及び陰イオン交換樹脂(モノスフィアー550A、ムロマチテクノス(株))が充填されたボトル中に注入し、4時間撹拌させた。
調製例1で得られたポリマーを含む溶液3.2g、調製例2で得られたポリマーを含む溶液10.40g、IRGACURE[登録商標]OXE01(BASF社製)0.022g、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート(新中村化学工業(株)製)0.33g、及びペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)(昭和電工(株)製)0.055gを、プロピレングリコール1−モノメチルエーテル2−アセタート5.53gに溶解させ組成物を調製した。その後、これを孔径3μmのポリエチレン製マイクロフィルターを用いてろ過して、感光性接着剤組成物を調製した。調製例1と調製例2のポリマー固形分の質量比は1:3であった。
調製例1で得られたポリマーを含む溶液3.5g、調製例2で得られたポリマーを含む溶液17.30g、IRGACURE[登録商標]OXE01(BASF社製)0.023g、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート(新中村化学工業(株)製)0.34g、及びペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)(昭和電工(株)製)0.056gを、プロピレングリコール1−モノメチルエーテル2−アセタート8.28gに溶解させ組成物を調製した。その後、これを孔径3μmのポリエチレン製マイクロフィルターを用いてろ過して、感光性接着剤組成物を調製した。調製例1と調製例2のポリマー固形分の質量比は1:5であった。
調製例1で得られたポリマーを含む溶液2.0g、調製例2で得られたポリマーを含む溶液13.35g、IRGACURE[登録商標]OXE01(BASF社製)0.014g、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート(新中村化学工業(株)製)0.21g、及びペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)(昭和電工(株)製)0.035gを、プロピレングリコール1−モノメチルエーテル2−アセタート5.08gに溶解させ組成物を調製した。その後、これを孔径3μmのポリエチレン製マイクロフィルターを用いて過して、感光性接着剤組成物を調製した。調製例1と調製例2のポリマー固形分の質量比は1:6であった。
調製例1で得られたポリマーを含む溶液1.5g、調製例3で得られたポリマーを含む溶液13.34g、IRGACURE[登録商標]OXE01(BASF社製)0.010g、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート(新中村化学工業(株)製)0.15g、及びペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)(昭和電工(株)製)0.024gを、プロピレングリコール1−モノメチルエーテル2−アセタート5.49gに溶解させ組成物を調製した。その後、これを孔径3μmのポリエチレン製マイクロフィルターを用いてろ過して、感光性接着剤組成物を調製した。調製例1と調製例3のポリマー固形分の質量比は1:9であった。
調製例1で得られたポリマーを含む溶液8.0g、調製例2で得られたポリマーを含む溶液7.85g、IRGACURE[登録商標]OXE01(BASF社製)0.052g、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート(新中村化学工業(株)製)0.77g、及びペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)(昭和電工(株)製)0.013gを、プロピレングリコール1−モノメチルエーテル2−アセタート6.51gに溶解させ組成物を調製した。その後、これを孔径3μmのポリエチレン製マイクロフィルターを用いてろ過して、光硬化性樹脂組成物を調製した。調製例1と調製例2のポリマー固形分の質量比は1:1であった。本比較例は、(B)成分のポリマーの含有量は前記(A)成分のポリマーの含有量と同じである。
調製例1で得られたポリマーを含む溶液12.0g、調製例2で得られたポリマーを含む溶液3.53g、IRGACURE[登録商標]OXE01(BASF社製)0.077g、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート(新中村化学工業(株)製)1.16g、及びペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)(昭和電工(株)製)0.19gを、プロピレングリコール1−モノメチルエーテル2−アセタート6.71gに溶解させ組成物を調製した。その後、これを孔径3μmのポリエチレン製マイクロフィルターを用いてろ過して、光硬化性樹脂組成物を調製した。調製例1と調製例2のポリマー固形分の質量比は1:0.3であった。本比較例は、(B)成分のポリマーの含有量は前記(A)成分のポリマーの含有量よりも少ない。
調製例1で得られたポリマーを含む溶液14.0g、IRGACURE[登録商標]OXE01(BASF社製)0.090g、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート(新中村化学工業(株)製)1.36、及びペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)(昭和電工(株)製)0.23gを、プロピレングリコール1−モノメチルエーテル2−アセタート6.31gに溶解させ組成物を調製した。その後、これを孔径3μmのポリエチレン製マイクロフィルターを用いてろ過して、光硬化性樹脂組成物を調製した。本比較例は、(B)成分のポリマーを含まない。
調製例2で得られたポリマーを含む溶液14.0gをプロピレングリコール1−モノメチルエーテル2−アセタート5.17gに溶解させ組成物を調製した。その後、これを孔径3μmのポリエチレン製マイクロフィルターを用いてろ過して、樹脂組成物を調製した。本比較例は、(A)成分のポリマー及び(C)成分のラジカル型光重合開始剤を含まない。
実施例1乃至実施例4で調製した感光性接着剤組成物を、シリコンウェハー上にスピンコーターを用いて塗布し、100℃でプリベークし、アライナー(PLA−501、キヤノン(株)製)を用い露光(i線、露光量:500mJ/cm2)し、さらに100℃でベーク後、NMD−3(東京応化工業(株)製)にて現像し、さらに200℃でベークし膜厚5μmの膜を形成した。この膜をN−メチル2−ピロリドンに、23℃にて1分間浸漬した。実施例1乃至実施例4にて調製した感光性接着剤組成物から形成された膜は、浸漬前後での膜厚変化が5%以下であることから十分な溶剤耐性を確認した。
実施例1乃至実施例4で調製した感光性接着剤組成物、比較例1乃至比較例3で調製した光硬化性樹脂組成物、及び比較例4で調製した樹脂組成物を、シリコンウェハー上にスピンコーターを用いて塗布し、100℃でプリベークし、アライナー(PLA−501、キヤノン(株)製)を用い露光(i線、露光量:500mJ/cm2)し、さらに100℃でベーク後、NMD−3(東京応化工業(株)製)にて現像した。露光部、及び未露光部の現像前後の膜厚を測定し、残膜率[(現像後の膜厚/現像前の膜厚)×100]を算出した結果を下記表1に示す。
実施例1、実施例3及び実施例4で調製した感光性接着剤組成物を、4インチシリコンウェハー上にスピンコーターを用いて塗布し、100℃でプリベークを行って、アライナー(PLA−501、キヤノン(株)製)を用い露光(i線、露光量:500mJ/cm2)し、さらに100℃でベーク後、NMD−3にて現像し膜厚5μmの膜を形成した。その後、貼り合せ装置(アユミ工業(株)製、VJ−300)を使用して、真空度10Pa以下、温度160℃、貼り合せ圧力1200kgの条件下で、前記シリコンウェハーを4インチガラスウェハーと接着させた後、200℃に加熱して前記膜を硬化させた。その接着させた2枚のウェハーをダイシング装置(ディスコ(株)製、DAD321)で1cm角に切断し、接着力評価サンプルを作製した。得られた接着力評価サンプルの両面にアラルダイト[登録商標]2014(ハンツマン・アドバンスト・マテリアルズ社製)を塗布し、接着力(せん断)測定用専用冶具に前記サンプルの両面を接着後、オートグラフ((株)島津製作所製、オートグラフAGS−100NX)で接着力(せん断)を評価した。接着力は5mm/分の引っ張り速度で測定した。その結果を下記表2に示す。表2中、接着力の値が2000N以上とは、サンプルの破断がアラルダイト2014の塗布部で発生しており、実施例1、実施例3及び実施例4で調製した感光性接着剤組成物の塗布部分で破断していないため、本感光性接着剤組成物の接着力は表2に記載する数値以上の接着力を有することを示す。実施例1、実施例3及び実施例4で調製した感光性接着剤組成物を用いて得られたサンプルは、十分な接着性を有することが確認された。
Claims (6)
- 下記(A)成分、(B)成分、(C)成分及び(D)成分を含み、前記(B)成分を前記(A)成分よりも質量比でより多く含有する、感光性接着剤組成物。
(A)成分:下記式(1)で表される構造単位を有し、末端に下記式(2)で表される構造を有するポリマー、
(B)成分:前記式(1)で表される構造単位を有し、末端にカルボキシ基又はヒドロキシ基を有するポリマー、
(C)成分:ラジカル型光重合開始剤
(D)成分:溶剤
(これら式中、Xは炭素原子数1乃至6のアルキル基、ビニル基、アリル基又はグリシジル基を表し、m及びnはそれぞれ独立に0又は1を表し、Qは炭素原子数1乃至16の二価の炭化水素基を表し、Zは炭素原子数1乃至4の二価の連結基を表し、該二価の連結基は前記式(1)における−O−基と結合し、R1は水素原子又はメチル基を表す。) - 前記式(1)においてQで表される二価の炭化水素基は、直鎖状もしくは分岐鎖状のアルキレン基、二重結合で結ばれた2つの炭素原子を含む基、又は置換基を少なくとも1つ有してもよい脂環式炭化水素基もしくは芳香族炭化水素基を主鎖に含む基を表す、請求項1に記載の感光性接着剤組成物。
- 前記式(2)においてZで表される二価の連結基は、置換基としてヒドロキシ基を少なくとも1つ有してもよい、直鎖状又は分岐鎖状のアルキレン基を表す、請求項1又は請求項2に記載の感光性接着剤組成物。
- 前記(A)成分と前記(B)成分の質量比は1:2乃至1:20である、請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の感光性接着剤組成物。
- さらに二官能(メタ)アクリレート及び/又は多官能チオールを含む請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の感光性接着剤組成物。
- 請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の感光性接着剤組成物を第一の基板上に塗布する工程、前記第一の基板上に塗布された感光性接着剤組成物を50℃乃至160℃の温度でプリベークする工程、前記プリベーク後に前記第一の基板上に形成された塗膜を露光する工程、前記露光後に前記塗膜を現像する工程、及び前記現像後に前記第一の基板に第二の基板を貼り付けた後、加熱し前記塗膜を熱硬化させる工程を有する、接着方法。
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