JP6764134B2 - 感光性接着剤組成物 - Google Patents

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Description

本発明は、ラジカル架橋可能な部位が導入されたポリマーを含む、感光性接着剤組成物に関する。
近年、携帯電話機、ICカードなどの電子機器の高機能化及び小型化に伴い、半導体デバイスの高集積化が求められている。その手法として、半導体素子そのものの微細化、半導体素子間を縦方向に積み上げるスタック構造が検討されている。スタック構造の作製においては、半導体素子間の接合に接着剤が使用される。しかし、公知の接着剤として知られているアクリル樹脂、エポキシ樹脂及びシリコーン樹脂は耐熱性が250℃程度しかなく、メタルバンプの電極接合、イオン拡散工程など、250℃以上もの高温が求められるような工程では使用できないという問題がある。
特許文献1には、光半導体用接着剤に用いられるイソシアヌル環含有重合体、及びそれを含有する組成物が開示されている。該イソシアヌル環含有重合体は、アルカリ金属化合物の存在下でN−モノ置換イソシアヌル酸とジハロゲン化合物とを反応させるか、N,N’,N”−トリ置換イソシアヌル酸とシラン化合物とをヒドロシリル化反応させることにより得られることが記載されている。さらに、前記組成物は、光半導体用接着剤として、50℃〜250℃のオーブンで30分〜4時間加熱して接着させることができる、と記載されている。
一方、液晶ディスプレイ(LCD)、有機EL(OLED)ディスプレイに代表される薄型ディスプレイ(FPD)の市場が急速に拡大している。液晶ディスプレイは、表示パネルの基材としてガラス基板が用いられているが、さらに薄型化、軽量化、フレキシブル化、ロールトゥロール(Roll−to−Roll)プロセスによる加工コストの低減を目指し、プラスチック基板を用いたフレキシブルディスプレイの開発が行われている。しかし、公知のプラスチック基板に用いられる樹脂材料として知られているPET樹脂、PEN樹脂、PC樹脂は耐熱性が250℃程度しかなく、従来、薄膜トランジスタ(TFT)形成プロセスに必要とされた250℃以上の高温が求められる工程では使用できないという問題がある。
一方、特許文献2には、可視光の透過率が高く耐熱性及び耐溶剤性に優れた硬化膜が得られる組成物が開示されている。さらに同文献には、前記組成物は接着剤として使用できることも開示されている。
特開2008−143954号公報 国際公開第2013/035787号パンフレット
特許文献2に記載の組成物は、感光性の樹脂組成物ではない。したがって、特許文献2に記載の組成物を用いて形成される膜から、リソグラフィープロセスにより所望の形状を有するパターンを形成することはできない。リソグラフィープロセスによるパターニングが可能であること、及び接着の際、高温での加熱工程を必ずしも必要としないこと、これらの要件を同時に満たす接着剤組成物が求められている。
本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、組成物を構成する重合体として、特定の末端構造を有するポリマー、及び該特定の末端構造の代わりに末端にカルボキシ基又はヒドロキシ基を有するポリマーを、前者のポリマーよりも後者のポリマーを質量比でより多く含有することにより、上記温度での加熱工程を必要とせずに、所望の接着力を備えた該組成物が得られることを見出した。
すなわち、本発明の第一態様は、下記(A)成分、(B)成分、(C)成分及び(D)成分を含み、前記(B)成分を前記(A)成分よりも質量比でより多く含有する、感光性接着剤組成物である。
(A)成分:下記式(1)で表される構造単位を有し、末端に下記式(2)で表される構造を有するポリマー、
(B)成分:前記式(1)で表される構造単位を有し、末端にカルボキシ基又はヒドロキシ基を有するポリマー、
(C)成分:ラジカル型光重合開始剤
(D)成分:溶剤
Figure 0006764134



(これら式中、Xは炭素原子数1乃至6のアルキル基、ビニル基、アリル基又はグリシジル基を表し、m及びnはそれぞれ独立に0又は1を表し、Qは炭素原子数1乃至16の二価の炭化水素基を表し、Zは炭素原子数1乃至4の二価の連結基を表し、該二価の連結基は前記式(1)における−O−基と結合し、Rは水素原子又はメチル基を表す。)
前記式(1)においてQで表される二価の炭化水素基は、例えば、直鎖状もしくは分岐鎖状のアルキレン基、二重結合で結ばれた2つの炭素原子を含む基、又は置換基を少なくとも1つ有してもよい脂環式炭化水素基もしくは芳香族炭化水素基を主鎖に含む基を表す。
前記式(2)においてZで表される二価の連結基は、例えば、置換基としてヒドロキシ基を少なくとも1つ有してもよい、直鎖状又は分岐鎖状のアルキレン基を表す。
前記(A)成分と前記(B)成分の質量比は、好ましくは、1:2乃至1:20である。
前記感光性接着剤組成物は、さらに二官能(メタ)アクリレート及び/又は多官能チオールを含むことができる。
本発明の第二態様は、本発明の第一態様の感光性接着剤組成物を第一の基板上に塗布する工程、前記第一の基板上に塗布された感光性接着剤組成物を50℃乃至160℃の温度でプリベークする工程、前記プリベーク後に前記第一の基板上に形成された塗膜を露光する工程、前記露光後に前記塗膜を現像する工程、及び前記現像後に前記第一の基板に第二の基板を貼り付けた後、加熱し前記塗膜を熱硬化させる工程を有する、接着方法である。
本発明の感光性接着剤組成物は、ラジカル架橋可能な部位が末端に導入された重合体として、特定の末端構造を有するポリマー、及び該特定の末端構造の代わりに末端にカルボキシ基又はヒドロキシ基を有するポリマーを所定の質量比で含有し、さらにラジカル型光重合開始剤を含むため、250℃又はそれ以上の温度での加熱工程を必要とせず、優れた耐溶剤性を備えた硬化膜を形成できる。本発明の感光性接着剤組成物から形成される硬化膜は、透湿防止性にも優れている。さらに、本発明の感光性接着剤組成物は、高い接着力を有するため、半導体素子用、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)用、NEMS(Nano Electro Mechanical Systems)用、有機ELディスプレイ用及びイメージセンサ用の接着剤として有用である。
<(A)成分>
本発明の感光性接着剤組成物は、(A)成分として、前記式(1)で表される構造単位を有し、末端に前記式(2)で表される構造を有するポリマーを含む。このポリマーの重量平均分子量は、後述するゲルパーミエーションクロマトグラフィ(以下、本明細書ではGPCと略称する。)分析による、標準ポリスチレン換算値で、例えば1,000乃至50,000、好ましくは1,000乃至20,000である。
前記式(1)においてXで表される炭素原子数1乃至6のアルキル基は、例えばメチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、i−ブチル基、s−ブチル基、t−ブチル基、n−ペンチル基、1−メチル−n−ブチル基、2−メチル−n−ブチル基、3−メチル−n−ブチル基、1,1−ジメチル−n−プロピル基、1,2−ジメチル−n−プロピル基、2,2−ジメチル−n−プロピル基、1−エチル−n−プロピル基、n−ヘキシル基、1−メチル−n−ペンチル基、2−メチル−n−ペンチル基、3−メチル−n−ペンチル基、4−メチル−n−ペンチル基、1,1−ジメチル−n−ブチル基、1,2−ジメチル−n−ブチル基、1,3−ジメチル−n−ブチル基、2,2−ジメチル−n−ブチル基、2,3−ジメチル−n−ブチル基、3,3−ジメチル−n−ブチル基、1−エチル−n−ブチル基、2−エチル−n−ブチル基、1,1,2−トリメチル−n−プロピル基、1,2,2−トリメチル−n−プロピル基、1−エチル−1−メチル−n−プロピル基、1−エチル−2−メチル−n−プロピル基等が挙げられる。
前記式(1)においてQで表される炭素原子数1乃至16の二価の炭化水素基は、例えば、直鎖状もしくは分岐鎖状のアルキレン基、二重結合で結ばれた2つの炭素原子を含む基、又は置換基を少なくとも1つ有してもよい脂環式炭化水素基もしくは芳香族炭化水素基を主鎖に含む基である。そのような基として、下記式(a)乃至式(m)で表される基が例示される。
Figure 0006764134


前記式(2)においてZで表される炭素原子数1乃至4の二価の連結基は、例えば、置換基としてヒドロキシ基を少なくとも1つ有してもよい、直鎖状又は分岐鎖状のアルキレン基を表す。Zがそのようなアルキレン基を表す場合、前記式(2)で表される末端構造として、下記式(2−1)及び式(2−2)で表される構造が例示される。
Figure 0006764134


前記(A)成分のポリマーは、例えば、次の過程を経て合成される。トリアジントリオン構造を有するジエポキシ化合物と、2つのカルボキシ基又はヒドロキシ基を有する化合物とを反応させて、前記式(1)で表される構造単位、及び末端にカルボキシル基又はヒドロキシ基を有するポリマー中間体を得る。その後、前記末端を有するポリマー中間体とエポキシ基を有する(メタ)アクリレートとを反応させる。
<(B)成分>
本発明の感光性接着剤組成物は、(B)成分として、前記式(1)で表される構造単位を有し、末端にカルボキシ基又はヒドロキシ基を有するポリマーを含む。このポリマーの重量平均分子量は、後述するGPC分析による標準ポリスチレン換算値で、例えば1,000乃至50,000、好ましくは1,000乃至20,000、より好ましくは1,000乃至10,000である。
前記(B)成分のポリマーは、例えば、次の過程を経て合成される。トリアジントリオン構造を有するジエポキシ化合物と、2つのカルボキシ基又はヒドロキシ基を有する化合物とを反応させて、前記式(1)で表される構造単位、及び末端にカルボキシル基又はヒドロキシ基を有するポリマーを得る。
<(C)成分>
本発明の感光性接着剤組成物は、(C)成分としてラジカル型光重合開始剤を含む。その光重合開始剤としては、光硬化時に使用する光源の波長域に吸収をもつ化合物であれば特に限定されないが、例えば、tert−ブチルペルオキシ−iso−ブチレート、2,5−ジメチル−2,5−ビス(ベンゾイルジオキシ)ヘキサン、1,4−ビス[α−(tert−ブチルジオキシ)−iso−プロポキシ]ベンゼン、ジ−tert−ブチルペルオキシド、2,5−ジメチル−2,5−ビス(tert−ブチルジオキシ)ヘキセンヒドロペルオキシド、α−(iso−プロピルフェニル)−iso−プロピルヒドロペルオキシド、tert−ブチルヒドロペルオキシド、1,1−ビス(tert−ブチルジオキシ)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、ブチル−4,4−ビス(tert−ブチルジオキシ)バレレート、シクロヘキサノンペルオキシド、2,2’,5,5’−テトラ(tert−ブチルペルオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,3’,4,4’−テトラ(tert−ブチルペルオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,3’,4,4’−テトラ(tert−アミルペルオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,3’,4,4’−テトラ(tert−ヘキシルペルオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,3’−ビス(tert−ブチルペルオキシカルボニル)−4,4’−ジカルボキシベンゾフェノン、tert−ブチルペルオキシベンゾエート、ジ−tert−ブチルジペルオキシイソフタレート等の有機過酸化物;9,10−アントラキノン、1−クロロアントラキノン、2−クロロアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2−ベンズアントラキノン等のキノン類;ベンゾインメチル、ベンゾインエチルエーテル、α−メチルベンゾイン、α−フェニルベンゾイン等のベンゾイン誘導体;2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、1−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−1−[4−{4−(2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピオニル)ベンジル}−フェニル]−2−メチル−プロパン−1−オン、フェニルグリオキシリックアシッドメチルエステル、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−1−ブタノン、2−ジメチルアミノ−2−(4−メチル−ベンジル)−1−(4−モリホリン−4−イル−フェニル)−ブタン−1−オン等のアルキルフェノン系化合物;ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−ホスフィンオキサイド等のアシルホスフィンオキサイド系化合物;2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン、1−(O−アセチルオキシム)−1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]エタノン等のオキシムエステル系化合物が挙げられる。
上記ラジカル型光重合開始剤は、市販品として入手が可能であり、例えば、IRGACURE[登録商標]651、同184、同2959、同127、同907、同369、同379EG、同819、同819DW、同1800、同1870、同784、同OXE01、同OXE02、同250、同1173、同MBF、同TPO、同4265、同TPO(以上、BASF社製)、KAYACURE[登録商標]DETX、同MBP、同DMBI、同EPA、同OA(以上、日本化薬(株)製)、VICURE−10、同55(以上、STAUFFER Co.LTD製)、ESACURE KIP150、同TZT、同1001、同KTO46、同KB1、同KL200、同KS300、同EB3、トリアジン−PMS、トリアジンA、トリアジンB(以上、日本シイベルヘグナー(株)製)、アデカオプトマーN−1717、同N−1414、同N−1606(以上、(株)ADEKA製)が挙げられる。これらのラジカル型光重合開始剤は、単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明の感光性接着剤組成物におけるラジカル型光重合開始剤の含有量は、上記(A)成分及び(B)成分のポリマーの総含有量に対して、例えば0.01phr乃至30phr、好ましくは0.1phr乃至15phrである。この含有量の割合が下限値に満たない場合には、十分な硬化性が得られない。ここで、phrとは、ポリマーの質量100gに対する、ラジカル型光重合開始剤の質量を表す。
<(D)成分>
本発明の感光性接着剤組成物は溶剤を含む。その溶剤として、半導体デバイス製造工程で使用できる有機溶剤であれば特に限定されないが、例えば、シクロヘキサノン、メチルイソアミルケトン、2−ブタノン、2−ヘプタノン等のケトン類;エチレングリコール、エチレングリコールモノアセテート、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールモノアセテート、プロピレングリコール、プロピレングリコールモノアセテート、ジプロピレングリコール又はジプロピレングリコールモノアセテート、並びにこれらのモノメチルエーテル、モノエチルエーテル、モノプロピルエーテル、モノブチルエーテル、モノフェニルエーテル等の多価アルコール類及びその誘導体;ジオキサン等の環式エーテル類;γ−ブチロラクトン等のラクトン類;及び乳酸メチル、乳酸エチル、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、メトキシプロピオン酸メチル、エトキシプロピオン酸エチル、2−ヒドロキシイソ酪酸メチル等のエステル類が挙げられる。これらの有機溶剤は単独で用いてもよく、二種以上を混合して用いてもよい。本発明の感光性接着剤組成物から溶剤を除いた成分を固形分とすると、該感光性接着剤組成物に占める固形分の割合は、例えば1質量%乃至80質量%である。
<架橋性化合物>
本発明の感光性接着剤組成物は、必要に応じて、二官能(メタ)アクリレートを架橋性化合物として含有することができる。ここで二官能(メタ)アクリレートとは、分子の両端にアクリロイル基又はメタクリロイル基を有する化合物である。その化合物として、例えば、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジメタクリレート、トリシクロデカンジエタノールジアクリレート、及びトリシクロデカンジエタノールジメタクリレートが挙げられる。
上記二官能(メタ)アクリレートは、市販品として入手が可能であり、例えば、A−DCP、DCP(以上、新中村化学工業(株)製)が挙げられる。これらの化合物は、単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明の感光性接着剤組成物における二官能(メタ)アクリレートの含有量は、上記(A)成分及び(B)成分のポリマーの総含有量に対して、例えば5質量%乃至50質量%、好ましくは10質量%乃至30質量%である。
本発明の感光性接着剤組成物は、必要に応じて、更に、多官能チオールを架橋性化合物として含有することができる。ここで、多官能チオールとは、分子の末端に複数(例えば2つ、3つ又は4つ)のチオール基を有する化合物である。その化合物として、例えば、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)、1,4−ビス(3−メルカプトブチリルオキシ)ブタン、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチリルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトブチレート)、及びトリメチロールエタントリス(3−メルカプトブチレート)が挙げられる。
上記多官能チオールは、市販品として入手が可能であり、例えば、カレンズMT[登録商標]PE1、同BD1、同NR1(以上、昭和電工(株)製)が挙げられる。これらの化合物は、単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明の感光性接着剤組成物における多官能チオールの含有量は、上記(A)成分及び(B)成分のポリマーの総含有量に対して、例えば0.1質量%乃至15質量%、好ましくは0.5質量%乃至10質量%である。
<その他の添加剤>
本発明の感光性接着剤組成物は、必要に応じて、エポキシ化合物、光酸発生剤、熱酸発生剤、無機フィラー、界面活性剤などの添加剤をさらに含有することができる。

本発明の感光性接着剤組成物がエポキシ化合物を含む場合、そのエポキシ化合物として、例えば、1,4−ブタンジオールジグリシジルエーテル、1,2−エポキシ−4−(エポキシエチル)シクロヘキサン、グリセロールトリグリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル、2,6−ジグリシジルフェニルグリシジルエーテル、1,1,3−トリス[p−(2,3−エポキシプロポキシ)フェニル]プロパン、1,2−シクロヘキサンジカルボン酸ジグリシジルエステル、4,4’−メチレンビス(N,N−ジグリシジルアニリン)、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、トリメチロールエタントリグリシジルエーテル、トリグリシジル−p−アミノフェノール、テトラグリシジルメタキシレンジアミン、テトラグリシジルジアミノジフェニルメタン、テトラグリシジル−1,3−ビスアミノメチルシクロヘキサン、ビスフェノール−A−ジグリシジルエーテル、ビスフェノール−S−ジグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールテトラグリシジルエーテルレゾルシノールジグリシジルエーテル、フタル酸ジグリシジルエステル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル、テトラブロモビスフェノール−A−ジグリシジルエーテル、ビスフェノールヘキサフルオロアセトンジグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールジグリシジルエーテル、トリス−(2,3−エポキシプロピル)イソシアヌレート、モノアリルジグリシジルイソシアヌレート、ジグリセロールポリジグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、1,4−ビス(2,3−エポキシプロポキシパーフルオロイソプロピル)シクロヘキサン、ソルビトールポリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル、レゾルシンジグリシジルエーテル、1,6−へキサンジオールジグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、p−ターシャリーブチルフェニルグリシジルエーテル、アジピン酸ジグリシジルエーテル、o−フタル酸ジグリシジルエーテル、ジブロモフェニルグリシジルエーテル、1,2,7,8−ジエポキシオクタン、1,6−ジメチロールパーフルオロヘキサンジグリシジルエーテル、4,4’−ビス(2,3−エポキシプロポキシパーフルオロイソプロピル)ジフェニルエーテル、2,2−ビス(4−グリシジルオキシフェニル)プロパン、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3’,4’−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、3,4−エポキシシクロヘキシルオキシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)−3’,4’−エポキシ−1,3−ジオキサン−5−スピロシクロヘキサン、1,2−エチレンジオキシ−ビス(3,4−エポキシシクロヘキシルメタン)、4’,5’−エポキシ−2’−メチルシクロヘキシルメチル−4,5−エポキシ−2−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、エチレングリコール−ビス(3,4−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート)、ビス−(3,4−エポキシシクロヘキシルメチル)アジペート、及びビス(2,3−エポキシシクロペンチル)エーテルが挙げられる。さらに、グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレートなど、エポキシ基を有する(メタ)アクリレートの共重合体も、上記エポキシ化合物として挙げられる。
上記エポキシ化合物は、市販品として入手が可能であり、例えば、エポリード[登録商標]GT−401、同GT−403、同GT−301、同GT−302、同PB3600、セロキサイド[登録商標]2021P、同2000、同3000、EHPE3150、EHPE3150CE、サイクロマー[登録商標]M100(以上、(株)ダイセル製)、EPICLON[登録商標]840、同840−S、同N−660、同N−673−80M(以上、DIC(株)製)が挙げられる。
本発明の感光性接着剤組成物が光酸発生剤を含む場合、その光酸発生剤として、例えば、IRGACURE[登録商標]PAG103、同PAG108、同PAG121、同PAG203、同CGI725、GSID−26−1(以上、BASF社製)、WPAG−145、WPAG−170、WPAG−199、WPAG−281、WPAG−336、WPAG−367(以上、和光純薬工業(株)製)、TFEトリアジン、TME−トリアジン、MP−トリアジン、ジメトキシトリアジン、TS−91、TS−01((株)三和ケミカル製)が挙げられる。
本発明の感光性接着剤組成物が熱酸発生剤を含む場合、その熱酸発生剤として、例えば、K−PURE[登録商標]TAG−2689、同TAG−2690、同TAG−2700、同CXC−1612、同CXC−1614、同CXC−1615、同CXC−1821(以上、キングインダストリーズ社製)が挙げられる。
本発明の感光性接着剤組成物が無機フィラーを含む場合、その無機フィラーとして、例えば、シリカ、窒化アルミ二ウム、窒化ボロン、ジルコニア、アルミナなどのゾルが挙げられる。
本発明の感光性接着剤組成物が界面活性剤を含む場合、その界面活性剤として、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル類、ポリオキシエチレン・ポリオキシプロピレンブロックコポリマー類、ソルビタンモノラウレート、ソルビタンモノパルミテート、ソルビタンモノステアレート、ソルビタンモノオレエート、ソルビタントリオレエート、ソルビタントリステアレート等のソルビタン脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノパルミテート、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリオキシエチレンソルビタントリオレエート、ポリオキシエチレンソルビタントリステアレート等のポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル類等のノニオン系界面活性剤が挙げられる。
上記界面活性剤は、市販品として入手が可能であり、例えば、エフトップ[登録商標]EF301、同EF303、同EF352(以上、三菱マテリアル電子化成(株)製)、メガファック[登録商標]F171、同F173、同R−30、同R−30N、同R−40、同R−40−LM(以上、DIC(株)製)、フロラードFC430、同FC431(以上、住友スリーエム(株)製)、アサヒガード[登録商標]AG710、サーフロン[登録商標]S−382、同SC101、同SC102、同SC103、同SC104、同SC105、同SC106(以上、旭硝子(株)製)等のフッ素系界面活性剤、及びオルガノシロキサンポリマーKP341(信越化学工業(株)製)を挙げることができる。これらの界面活性剤は単独で用いてもよく、二種以上を組合せて用いてもよい。
<接着方法>
本発明の感光性接着剤組成物を用い、以下の工程、すなわち、本発明の感光性接着剤組成物を第一の基板上に塗布する工程、前記第一の基板上に塗布された感光性接着剤組成物を50℃乃至160℃の温度でプリベークする工程、前記プリベーク後に前記第一の基板上に形成された塗膜を露光する工程、前記露光後に前記塗膜を現像する工程、及び前記現像後に前記第一の基板に第二の基板を貼り付けた後、加熱し前記塗膜を熱硬化させる工程、を経て基板同士を接着することができる。
本発明の感光性接着剤組成物を第一の基板に塗布する方法として、例えば、スピンコート法、ポッティング法、ディップ法、フローコート法、インクジェット法、スプレー法、バーコート法、グラビアコート法、スリットコート法、ロールコート法、転写印刷法、刷毛塗り、ブレードコート法、及びエアーナイフコート法が挙げられる。
本発明の感光性接着剤組成物が塗布される第一の基板、及び該第一の基板に貼り付けられる第二の基板として、例えば、酸化珪素膜、窒化珪素膜又は酸化窒化珪素膜で被覆されたシリコンウェハー、窒化珪素基板、石英基板、水晶基板、無アルカリガラス基板、低アルカリガラス基板、結晶化ガラス基板、インジウム錫酸化物(ITO)膜又はインジウム亜鉛酸化物(IZO)膜が形成されたガラス基板、及びポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、トリアセチルセルロース(TAC)、ポリエチレン(PE)、ポリイミド(PI)、ポリアミド(PA)、ポリ塩化ビニル(PVC)、ポリシクロオレフィン(PCO)、ポリ塩化ビニリデン(PVDC)、ポリビニルアルコール(PVA)、ポリプロピレン(PP)、ポリカーボネート(PC)、ポリスチレン(PS)、ポリアクリロニトリル(PAN)、エチレン酢酸ビニル共重合体(EVA)、エチレンビニルアルコール共重合体(EVOH)、エチレンメタクリル酸共重合体(EMMA)又はポリメタクリル酸(PMMA)からなる基板、を挙げることができる。
前記プリベークは、前記第一の基板上に塗布された感光性接着剤組成物から溶剤を除去するために行われ、その結果、該組成物から流動性が失われた塗膜が前記基板上に形成される。
前記塗膜を露光する工程後、該塗膜を現像する工程前に、必要に応じて、例えば50℃乃至160℃の温度で露光後ベーク(Post Exposure Bake,PEBと略称される。)を行ってもよい。
前記塗膜を露光する際に使用される光源として、例えば、g線、h線、i線、ghi線ブロードバンド、及びKrFエキシマレーザーが挙げられる。
前記塗膜の現像に使用される現像液として、アルカリ性水溶液、及び前記感光性接着剤組成物に含まれる溶剤が挙げられる。アルカリ性水溶液として、例えば、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム等のアルカリ金属水酸化物の水溶液、水酸化テトラメチルアンモニウム、水酸化テトラエチルアンモニウム、コリン等の水酸化四級アンモニウムの水溶液、エタノールアミン、プロプルアミン、エチレンジアミン等のアミン水溶液を挙げることができる。現像液としてその他、フォトリソグラフィー工程に使用されるフォトレジスト溶液の溶剤として公知の有機溶剤を使用することができる。その有機溶剤として、例えば、プロプレングリコール1−モノメチルエーテル2−アセタート、1−メトキシ−2−プロパノール、シクロヘキサノン、及び2−プロパノールが挙げられる。これらの有機溶剤は単独で用いてもよく、二種以上を組合せて用いてもよい。
前記塗膜を現像後、前記第一の基板に第二の基板を貼り付けた後、前記塗膜を熱硬化させる際の加熱温度は例えば180℃乃至240℃、加熱時間は例えば30分乃至2時間である。また、前記第一の基板に第二の基板を貼り付ける際、100℃乃至200℃で加熱することが好ましい。
以下に、実施例に基づいて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。
以下に記載する合成例で得られたポリマーのGPC分析は、下記の装置を用い、測定条件は下記のとおりである。
装置:一体型高速GPCシステム HLC−8220GPC 東ソー(株)製
カラム:KF−G,KF804L
カラム温度:40℃
溶媒:テトラヒドロフラン(THF)
流量:1.0mL/分
標準試料:ポリスチレン
ディテクター:RI
<合成例1>
1,2−シクロヘキサンジカルボン酸127.99g、モノアリルジグリシジルイソシアヌル酸175.00g、及びベンジルトリエチルアンモニウムクロリド7.20gをプロピレングリコール1−モノメチルエーテル2−アセタート465.28gに溶解させた後、140℃で4時間反応させポリマーを含む溶液を得た。得られた溶液を室温に冷却後、メタクリル酸グリシジル28.71g及びベンジルトリエチルアンモニウムクロリド1.15gを本溶液に溶解させた後、140℃で3時間反応させポリマーを含む溶液を得た。得られたポリマーのGPC分析を行ったところ、標準ポリスチレン換算にて重量平均分子量は3,500であった。得られたポリマーは、下記式(1a)で表される構造単位及び末端に下記式(2a)で表される構造を有するポリマーであると考えられる。
Figure 0006764134


<合成例2>
1,2−シクロヘキサンジカルボン酸146.27g、モノアリルジグリシジルイソシアヌル酸200.00g、及びベンジルトリエチルアンモニウムクロリド4.11gをプロピレングリコール1−モノメチルエーテル2−アセタート350.38gに溶解させた後、140℃で4時間反応させポリマーを含む溶液を得た。得られたポリマーのGPC分析を行ったところ、標準ポリスチレン換算にて重量平均分子量は3,100であった。得られたポリマーは、下記式(1a)で表される構造単位を有するポリマーであると考えられる。
Figure 0006764134


<合成例3>
1,2−シクロヘキサンジカルボン酸138.15g、モノアリルジグリシジルイソシアヌル酸200.00g、及びベンジルトリエチルアンモニウムクロリド4.11gをプロピレングリコール1−モノメチルエーテル2−アセタート342.26gに溶解させた後、140℃で4時間反応させポリマーを含む溶液を得た。得られたポリマーのGPC分析を行ったところ、標準ポリスチレン換算にて重量平均分子量は4,100であった。得られたポリマーは、下記式(1a)で表される構造単位を有するポリマーであると考えられる。
Figure 0006764134


<調製例1>
合成例1で得られたポリマーを含む溶液を、陽イオン交換樹脂(15JWET、オルガノ(株))及び陰イオン交換樹脂(モノスフィアー550A、ムロマチテクノス(株))が充填されたボトル中に注入し、4時間撹拌させた。
<調製例2>
合成例2で得られたポリマーを含む溶液を、陽イオン交換樹脂(15JWET、オルガノ(株))及び陰イオン交換樹脂(モノスフィアー550A、ムロマチテクノス(株))が充填されたボトル中に注入し、4時間撹拌させた。
<調製例3>
合成例3で得られたポリマーを含む溶液を、陽イオン交換樹脂(15JWET、オルガノ(株))及び陰イオン交換樹脂(モノスフィアー550A、ムロマチテクノス(株))が充填されたボトル中に注入し、4時間撹拌させた。
<実施例1>
調製例1で得られたポリマーを含む溶液3.2g、調製例2で得られたポリマーを含む溶液10.40g、IRGACURE[登録商標]OXE01(BASF社製)0.022g、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート(新中村化学工業(株)製)0.33g、及びペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)(昭和電工(株)製)0.055gを、プロピレングリコール1−モノメチルエーテル2−アセタート5.53gに溶解させ組成物を調製した。その後、これを孔径3μmのポリエチレン製マイクロフィルターを用いてろ過して、感光性接着剤組成物を調製した。調製例1と調製例2のポリマー固形分の質量比は1:3であった。
<実施例2>
調製例1で得られたポリマーを含む溶液3.5g、調製例2で得られたポリマーを含む溶液17.30g、IRGACURE[登録商標]OXE01(BASF社製)0.023g、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート(新中村化学工業(株)製)0.34g、及びペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)(昭和電工(株)製)0.056gを、プロピレングリコール1−モノメチルエーテル2−アセタート8.28gに溶解させ組成物を調製した。その後、これを孔径3μmのポリエチレン製マイクロフィルターを用いてろ過して、感光性接着剤組成物を調製した。調製例1と調製例2のポリマー固形分の質量比は1:5であった。
<実施例3>
調製例1で得られたポリマーを含む溶液2.0g、調製例2で得られたポリマーを含む溶液13.35g、IRGACURE[登録商標]OXE01(BASF社製)0.014g、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート(新中村化学工業(株)製)0.21g、及びペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)(昭和電工(株)製)0.035gを、プロピレングリコール1−モノメチルエーテル2−アセタート5.08gに溶解させ組成物を調製した。その後、これを孔径3μmのポリエチレン製マイクロフィルターを用いて過して、感光性接着剤組成物を調製した。調製例1と調製例2のポリマー固形分の質量比は1:6であった。
<実施例4>
調製例1で得られたポリマーを含む溶液1.5g、調製例3で得られたポリマーを含む溶液13.34g、IRGACURE[登録商標]OXE01(BASF社製)0.010g、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート(新中村化学工業(株)製)0.15g、及びペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)(昭和電工(株)製)0.024gを、プロピレングリコール1−モノメチルエーテル2−アセタート5.49gに溶解させ組成物を調製した。その後、これを孔径3μmのポリエチレン製マイクロフィルターを用いてろ過して、感光性接着剤組成物を調製した。調製例1と調製例3のポリマー固形分の質量比は1:9であった。
<比較例1>
調製例1で得られたポリマーを含む溶液8.0g、調製例2で得られたポリマーを含む溶液7.85g、IRGACURE[登録商標]OXE01(BASF社製)0.052g、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート(新中村化学工業(株)製)0.77g、及びペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)(昭和電工(株)製)0.013gを、プロピレングリコール1−モノメチルエーテル2−アセタート6.51gに溶解させ組成物を調製した。その後、これを孔径3μmのポリエチレン製マイクロフィルターを用いてろ過して、光硬化性樹脂組成物を調製した。調製例1と調製例2のポリマー固形分の質量比は1:1であった。本比較例は、(B)成分のポリマーの含有量は前記(A)成分のポリマーの含有量と同じである。
<比較例2>
調製例1で得られたポリマーを含む溶液12.0g、調製例2で得られたポリマーを含む溶液3.53g、IRGACURE[登録商標]OXE01(BASF社製)0.077g、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート(新中村化学工業(株)製)1.16g、及びペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)(昭和電工(株)製)0.19gを、プロピレングリコール1−モノメチルエーテル2−アセタート6.71gに溶解させ組成物を調製した。その後、これを孔径3μmのポリエチレン製マイクロフィルターを用いてろ過して、光硬化性樹脂組成物を調製した。調製例1と調製例2のポリマー固形分の質量比は1:0.3であった。本比較例は、(B)成分のポリマーの含有量は前記(A)成分のポリマーの含有量よりも少ない。
<比較例3>
調製例1で得られたポリマーを含む溶液14.0g、IRGACURE[登録商標]OXE01(BASF社製)0.090g、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート(新中村化学工業(株)製)1.36、及びペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)(昭和電工(株)製)0.23gを、プロピレングリコール1−モノメチルエーテル2−アセタート6.31gに溶解させ組成物を調製した。その後、これを孔径3μmのポリエチレン製マイクロフィルターを用いてろ過して、光硬化性樹脂組成物を調製した。本比較例は、(B)成分のポリマーを含まない。
<比較例4>
調製例2で得られたポリマーを含む溶液14.0gをプロピレングリコール1−モノメチルエーテル2−アセタート5.17gに溶解させ組成物を調製した。その後、これを孔径3μmのポリエチレン製マイクロフィルターを用いてろ過して、樹脂組成物を調製した。本比較例は、(A)成分のポリマー及び(C)成分のラジカル型光重合開始剤を含まない。
〔溶剤への溶出試験〕
実施例1乃至実施例4で調製した感光性接着剤組成物を、シリコンウェハー上にスピンコーターを用いて塗布し、100℃でプリベークし、アライナー(PLA−501、キヤノン(株)製)を用い露光(i線、露光量:500mJ/cm)し、さらに100℃でベーク後、NMD−3(東京応化工業(株)製)にて現像し、さらに200℃でベークし膜厚5μmの膜を形成した。この膜をN−メチル2−ピロリドンに、23℃にて1分間浸漬した。実施例1乃至実施例4にて調製した感光性接着剤組成物から形成された膜は、浸漬前後での膜厚変化が5%以下であることから十分な溶剤耐性を確認した。
〔現像性試験〕
実施例1乃至実施例4で調製した感光性接着剤組成物、比較例1乃至比較例3で調製した光硬化性樹脂組成物、及び比較例4で調製した樹脂組成物を、シリコンウェハー上にスピンコーターを用いて塗布し、100℃でプリベークし、アライナー(PLA−501、キヤノン(株)製)を用い露光(i線、露光量:500mJ/cm)し、さらに100℃でベーク後、NMD−3(東京応化工業(株)製)にて現像した。露光部、及び未露光部の現像前後の膜厚を測定し、残膜率[(現像後の膜厚/現像前の膜厚)×100]を算出した結果を下記表1に示す。
Figure 0006764134


表1に示す結果から、実施例1乃至実施例4で調製した感光性接着剤組成物では露光部では膜が残り、未露光部では膜が残らないため、パターニング性を有することが確認された。一方、比較例1乃至比較例3で調製した光硬化性樹脂組成物では、実施例1乃至実施例4で調製した感光性接着剤組成物と比較して、現像成分の割合が少ないため、未露光部が十分に現像除去されず、膜が残った。比較例4で調製した樹脂組成物は光硬化成分が含まれていないため、露光部でも膜が残らなかった。
〔接着力評価〕
実施例1、実施例3及び実施例4で調製した感光性接着剤組成物を、4インチシリコンウェハー上にスピンコーターを用いて塗布し、100℃でプリベークを行って、アライナー(PLA−501、キヤノン(株)製)を用い露光(i線、露光量:500mJ/cm)し、さらに100℃でベーク後、NMD−3にて現像し膜厚5μmの膜を形成した。その後、貼り合せ装置(アユミ工業(株)製、VJ−300)を使用して、真空度10Pa以下、温度160℃、貼り合せ圧力1200kgの条件下で、前記シリコンウェハーを4インチガラスウェハーと接着させた後、200℃に加熱して前記膜を硬化させた。その接着させた2枚のウェハーをダイシング装置(ディスコ(株)製、DAD321)で1cm角に切断し、接着力評価サンプルを作製した。得られた接着力評価サンプルの両面にアラルダイト[登録商標]2014(ハンツマン・アドバンスト・マテリアルズ社製)を塗布し、接着力(せん断)測定用専用冶具に前記サンプルの両面を接着後、オートグラフ((株)島津製作所製、オートグラフAGS−100NX)で接着力(せん断)を評価した。接着力は5mm/分の引っ張り速度で測定した。その結果を下記表2に示す。表2中、接着力の値が2000N以上とは、サンプルの破断がアラルダイト2014の塗布部で発生しており、実施例1、実施例3及び実施例4で調製した感光性接着剤組成物の塗布部分で破断していないため、本感光性接着剤組成物の接着力は表2に記載する数値以上の接着力を有することを示す。実施例1、実施例3及び実施例4で調製した感光性接着剤組成物を用いて得られたサンプルは、十分な接着性を有することが確認された。
Figure 0006764134

Claims (6)

  1. 下記(A)成分、(B)成分、(C)成分及び(D)成分を含み、前記(B)成分を前記(A)成分よりも質量比でより多く含有する、感光性接着剤組成物。
    (A)成分:下記式(1)で表される構造単位を有し、末端に下記式(2)で表される構造を有するポリマー、
    (B)成分:前記式(1)で表される構造単位を有し、末端にカルボキシ基又はヒドロキシ基を有するポリマー、
    (C)成分:ラジカル型光重合開始剤
    (D)成分:溶剤
    Figure 0006764134



    (これら式中、Xは炭素原子数1乃至6のアルキル基、ビニル基、アリル基又はグリシジル基を表し、m及びnはそれぞれ独立に0又は1を表し、Qは炭素原子数1乃至16の二価の炭化水素基を表し、Zは炭素原子数1乃至4の二価の連結基を表し、該二価の連結基は前記式(1)における−O−基と結合し、Rは水素原子又はメチル基を表す。)
  2. 前記式(1)においてQで表される二価の炭化水素基は、直鎖状もしくは分岐鎖状のアルキレン基、二重結合で結ばれた2つの炭素原子を含む基、又は置換基を少なくとも1つ有してもよい脂環式炭化水素基もしくは芳香族炭化水素基を主鎖に含む基を表す、請求項1に記載の感光性接着剤組成物。
  3. 前記式(2)においてZで表される二価の連結基は、置換基としてヒドロキシ基を少なくとも1つ有してもよい、直鎖状又は分岐鎖状のアルキレン基を表す、請求項1又は請求項2に記載の感光性接着剤組成物。
  4. 前記(A)成分と前記(B)成分の質量比は1:2乃至1:20である、請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の感光性接着剤組成物。
  5. さらに二官能(メタ)アクリレート及び/又は多官能チオールを含む請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の感光性接着剤組成物。
  6. 請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の感光性接着剤組成物を第一の基板上に塗布する工程、前記第一の基板上に塗布された感光性接着剤組成物を50℃乃至160℃の温度でプリベークする工程、前記プリベーク後に前記第一の基板上に形成された塗膜を露光する工程、前記露光後に前記塗膜を現像する工程、及び前記現像後に前記第一の基板に第二の基板を貼り付けた後、加熱し前記塗膜を熱硬化させる工程を有する、接着方法。
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