JP6759001B2 - ガスセンサおよびガスセンサによるガス濃度測定方法 - Google Patents
ガスセンサおよびガスセンサによるガス濃度測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6759001B2 JP6759001B2 JP2016165735A JP2016165735A JP6759001B2 JP 6759001 B2 JP6759001 B2 JP 6759001B2 JP 2016165735 A JP2016165735 A JP 2016165735A JP 2016165735 A JP2016165735 A JP 2016165735A JP 6759001 B2 JP6759001 B2 JP 6759001B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- detection electrode
- sensor element
- electrode
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 title 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 250
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 99
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 99
- 239000007784 solid electrolyte Substances 0.000 claims description 66
- 239000003440 toxic substance Substances 0.000 claims description 41
- 231100000167 toxic agent Toxicity 0.000 claims description 36
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 31
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 19
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 16
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 239000011195 cermet Substances 0.000 claims description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 8
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 39
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 28
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 25
- 231100000572 poisoning Toxicity 0.000 description 24
- 230000000607 poisoning effect Effects 0.000 description 24
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 24
- 231100000614 poison Toxicity 0.000 description 23
- 230000007096 poisonous effect Effects 0.000 description 18
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 11
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- -1 oxygen ion Chemical class 0.000 description 10
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 10
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 9
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 9
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000004833 X-ray photoelectron spectroscopy Methods 0.000 description 8
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 8
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 8
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 7
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 7
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 6
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 6
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 5
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 5
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- GLUUGHFHXGJENI-UHFFFAOYSA-N Piperazine Chemical compound C1CNCCN1 GLUUGHFHXGJENI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 4
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 4
- 238000010587 phase diagram Methods 0.000 description 4
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 4
- WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N Acetonitrile Chemical compound CC#N WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910003803 Gold(III) chloride Inorganic materials 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 3
- RJHLTVSLYWWTEF-UHFFFAOYSA-K gold trichloride Chemical compound Cl[Au](Cl)Cl RJHLTVSLYWWTEF-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 3
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZHNUHDYFZUAESO-UHFFFAOYSA-N Formamide Chemical compound NC=O ZHNUHDYFZUAESO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910018885 Pt—Au Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910007541 Zn O Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 125000000118 dimethyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 2
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- YNPNZTXNASCQKK-UHFFFAOYSA-N Phenanthrene Natural products C1=CC=C2C3=CC=CC=C3C=CC2=C1 YNPNZTXNASCQKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGEZNRSVGBDHLK-UHFFFAOYSA-N [1,10]phenanthroline Chemical compound C1=CN=C2C3=NC=CC=C3C=CC2=C1 DGEZNRSVGBDHLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNJSVUASKKPAHC-UHFFFAOYSA-K [Cl-].ClC=1C(=NC2=C3N=CC=CC3=CC=C2C1)Cl.[Au+3].[Cl-].[Cl-] Chemical compound [Cl-].ClC=1C(=NC2=C3N=CC=CC3=CC=C2C1)Cl.[Au+3].[Cl-].[Cl-] PNJSVUASKKPAHC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 1
- 150000004696 coordination complex Chemical class 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 239000002272 engine oil additive Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000002808 molecular sieve Substances 0.000 description 1
- 125000002524 organometallic group Chemical group 0.000 description 1
- 229910002077 partially stabilized zirconia Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 239000010970 precious metal Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000007873 sieving Methods 0.000 description 1
- URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N sodium aluminosilicate Chemical compound [Na+].[Al+3].[O-][Si]([O-])=O.[O-][Si]([O-])=O URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N yttrium(III) oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Y+3].[Y+3] RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/4077—Means for protecting the electrolyte or the electrodes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/4067—Means for heating or controlling the temperature of the solid electrolyte
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/4073—Composition or fabrication of the solid electrolyte
- G01N27/4074—Composition or fabrication of the solid electrolyte for detection of gases other than oxygen
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/4075—Composition or fabrication of the electrodes and coatings thereon, e.g. catalysts
- G01N27/4076—Reference electrodes or reference mixtures
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
Description
図1は、本発明に係るガスセンサの実施の形態の例示である、ガスセンサ100を示す図である。
次に、センサ素子101を製造するプロセスについて、その概要を説明する。概略的にいえば、センサ素子101は、その具体的構成の相違によらず、ジルコニアなどの酸素イオン伝導性固体電解質をセラミックス成分として含むグリーンシートからなる積層体を形成し、該積層体を切断・焼成することによって作製される。酸素イオン伝導性固体電解質としては、例えば、イットリウム部分安定化ジルコニア(YSZ)などが例示される。
次に、センサ素子101における被毒物質のトラップについて説明する。センサ素子101においては、概略、素子内の温度プロファイルを工夫することにより、被測定ガス導入空間30内で被毒物質をトラップするようになっている。
被毒物質の融点T1の推定について例示する。図4は、係る推定に用いるガスセンサ200を示す図である。
X線源:モノクロAl;
管電圧、管電流:15kV、15mA;
レンズ条件:HYBRID(分析領域:600μm×1000μm);
電子線を照射しながら測定。
P2O5/(P2O5+ZnO)≒70wt%
となる。
実施例として、上述の実施の形態に係るガスセンサ100について、リン被毒試験の前後における感度特性(測定対象ガス成分の濃度に対するセンサ出力EMFの依存性)の評価を行った。また、比較例として、実験例で用いたガスセンサ200についても、リン被毒試験の前後における感度特性の評価を行った。リン被毒試験は、上述した実験例の場合と同じ条件で行った。なお、ガスセンサ100およびガスセンサ200ともに、X0=8.5mmであった。
C2H4:0ppm、50ppm、70ppm、100ppm、200ppm、300ppm、500ppm、700ppm、または1000ppm;
O2:10%;
H2O:5%;
N2:残余。
CO:0ppm、100ppm、300ppm、500ppm、700ppm、1000ppm、または2000ppm;
O2:10%;
H2O:5%;
N2:残余。
温度プロファイル2:T0=500℃、Tmax=650℃。
10 検知電極
20 基準電極
30 被測定ガス導入空間
30e (被測定ガス導入空間の)開口端
40 基準ガス導入空間
50 基準ガス導入層
70 電極保護層
81 ヒータ
82 ヒータ絶縁層
100、200 ガスセンサ
101、201 センサ素子
110 電位差計
Claims (3)
- 被測定ガス中の所定ガス成分を検知するための混成電位型のガスセンサであって、
酸素イオン伝導性の固体電解質を構成材料とするセンサ素子を備え、
前記センサ素子が、
前記センサ素子の先端部に開口端を有し素子長手方向に延在する被測定ガス導入空間と、
貴金属と酸素イオン伝導性を有する固体電解質とのサーメットからなり、前記被測定ガス導入空間において前記開口端とは反対側に設けられた検知電極と、
Ptと酸素イオン伝導性を有する固体電解質とのサーメットからなる基準電極と、
前記センサ素子を加熱するヒータと、
を備え、
前記センサ素子が、前記ヒータによって、前記開口端と前記検知電極との間に前記検知電極よりも高温でかつあらかじめ特定または推定された被毒物質の融点よりも高温となる高温箇所が存在し、前記開口端から前記検知電極に向かう向きにおいて前記高温箇所から前記検知電極に至るまでの間で温度が低下するように加熱された状態で、前記検知電極と前記基準電極との間の電位差に基づいて前記所定ガス成分の濃度を求める、
ことを特徴とするガスセンサ。 - 請求項1に記載のガスセンサであって、
前記検知電極を被覆する多孔質層である電極保護層、
をさらに備えることを特徴とするガスセンサ。 - 混成電位型のガスセンサにより被測定ガス中の所定ガス成分の濃度を測定する方法であって、
前記ガスセンサが酸素イオン伝導性の固体電解質を構成材料とするセンサ素子を備え、
前記センサ素子が、
前記センサ素子の先端部に開口端を有し素子長手方向に延在する被測定ガス導入空間と、
貴金属と酸素イオン伝導性を有する固体電解質とのサーメットからなり、前記被測定ガス導入空間において前記開口端とは反対側に設けられた検知電極と、
Ptと酸素イオン伝導性を有する固体電解質とのサーメットからなる基準電極と、
前記センサ素子を加熱するヒータと、
を備え、
前記センサ素子の先端部を前記被測定ガスに接触させるとともに、前記基準電極を基準ガスと接触させた状態で、前記ヒータによって、前記センサ素子を、前記開口端と前記検知電極との間に前記検知電極よりも高温でかつあらかじめ特定または推定された被毒物質の融点よりも高温となる高温箇所が存在し、前記開口端から前記検知電極に向かう向きにおいて前記高温箇所から前記検知電極に至るまでの間で温度が低下するように加熱したうえで、前記検知電極と前記基準電極との間の電位差に基づいて前記所定ガス成分の濃度を求める、
ことを特徴とするガスセンサによるガス濃度測定方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016165735A JP6759001B2 (ja) | 2016-08-26 | 2016-08-26 | ガスセンサおよびガスセンサによるガス濃度測定方法 |
DE102017007558.1A DE102017007558A1 (de) | 2016-08-26 | 2017-08-10 | Gassensor und gaskonzentrationsmessverfahren, bei dem dieser verwendet wird |
CN201710695224.2A CN107782770B (zh) | 2016-08-26 | 2017-08-15 | 气体传感器及利用气体传感器测定气体浓度的方法 |
US15/686,239 US10429338B2 (en) | 2016-08-26 | 2017-08-25 | Gas sensor and gas concentration measuring method using the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016165735A JP6759001B2 (ja) | 2016-08-26 | 2016-08-26 | ガスセンサおよびガスセンサによるガス濃度測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018031732A JP2018031732A (ja) | 2018-03-01 |
JP6759001B2 true JP6759001B2 (ja) | 2020-09-23 |
Family
ID=61166728
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016165735A Active JP6759001B2 (ja) | 2016-08-26 | 2016-08-26 | ガスセンサおよびガスセンサによるガス濃度測定方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10429338B2 (ja) |
JP (1) | JP6759001B2 (ja) |
CN (1) | CN107782770B (ja) |
DE (1) | DE102017007558A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6998801B2 (ja) * | 2018-03-12 | 2022-02-04 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ |
JP6999455B2 (ja) * | 2018-03-13 | 2022-01-18 | 日本碍子株式会社 | センサ素子及びガスセンサ |
JP7082922B2 (ja) * | 2018-08-03 | 2022-06-09 | 日本碍子株式会社 | センサ素子 |
JP7149166B2 (ja) * | 2018-11-15 | 2022-10-06 | 株式会社Soken | ガスセンサ |
JP7103930B2 (ja) * | 2018-12-25 | 2022-07-20 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ |
JP7122248B2 (ja) * | 2018-12-27 | 2022-08-19 | 日本碍子株式会社 | センサ素子 |
JP7040437B2 (ja) * | 2018-12-28 | 2022-03-23 | 株式会社デンソー | ガスセンサ素子及びガスセンサ |
JP2020165966A (ja) * | 2019-03-27 | 2020-10-08 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ及びセンサ素子 |
CN112197307B (zh) * | 2019-07-08 | 2022-09-20 | 青岛海尔智能技术研发有限公司 | 一种灶具、防干烧控制装置及方法 |
GB202302557D0 (en) * | 2023-02-22 | 2023-04-05 | Mcgowan Sensor Labs Ltd | A solid-state oxygen sensor chip |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002071632A (ja) | 2000-06-12 | 2002-03-12 | Denso Corp | ガスセンサ素子 |
JP4520648B2 (ja) * | 2001-01-31 | 2010-08-11 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ及びその製造方法 |
US8257576B2 (en) * | 2002-12-11 | 2012-09-04 | Delphi Technologies, Inc. | Ammonia gas sensors with lanthanide vanadate sensing electrode |
JP2006038496A (ja) | 2004-07-22 | 2006-02-09 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ及びその製造方法 |
JP2006133039A (ja) * | 2004-11-04 | 2006-05-25 | Riken Corp | 窒素酸化物センサ |
CN100353161C (zh) * | 2005-04-01 | 2007-12-05 | 许建民 | 电化学计时电位检测器 |
JP5119131B2 (ja) * | 2008-02-22 | 2013-01-16 | 日本特殊陶業株式会社 | アンモニアガスセンサ |
US8470147B2 (en) * | 2008-05-30 | 2013-06-25 | Caterpillar Inc. | Co-fired gas sensor |
CN103926298B (zh) * | 2008-12-01 | 2017-06-20 | Msa欧洲有限责任公司 | 具有离子液体电解质系统的电化学气体传感器 |
JP5204638B2 (ja) * | 2008-12-16 | 2013-06-05 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ |
JP5119212B2 (ja) * | 2009-07-01 | 2013-01-16 | 株式会社日本自動車部品総合研究所 | アンモニア濃度検出方法 |
JP2012173147A (ja) | 2011-02-22 | 2012-09-10 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ素子、及びガスセンサ |
JP5704326B2 (ja) * | 2011-03-28 | 2015-04-22 | 株式会社Ihi | トモグラフィ装置及びトモグラフィ計測方法 |
TWI657539B (zh) * | 2012-08-31 | 2019-04-21 | 日商半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置 |
JP6131166B2 (ja) * | 2012-11-22 | 2017-05-17 | 株式会社デンソー | ガスセンサ用の電極及びそれを用いたガスセンサ素子 |
CN103499627B (zh) * | 2013-10-18 | 2015-07-29 | 山东理工大学 | 一种检测卡那霉素残留的适配体传感器的制备方法 |
JP2015102384A (ja) * | 2013-11-22 | 2015-06-04 | 株式会社デンソー | 酸素センサ素子 |
JP6346524B2 (ja) * | 2014-08-29 | 2018-06-20 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサおよびガスセンサにおけるガス導入口の形成方法 |
-
2016
- 2016-08-26 JP JP2016165735A patent/JP6759001B2/ja active Active
-
2017
- 2017-08-10 DE DE102017007558.1A patent/DE102017007558A1/de active Pending
- 2017-08-15 CN CN201710695224.2A patent/CN107782770B/zh active Active
- 2017-08-25 US US15/686,239 patent/US10429338B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10429338B2 (en) | 2019-10-01 |
CN107782770A (zh) | 2018-03-09 |
CN107782770B (zh) | 2021-07-06 |
DE102017007558A1 (de) | 2018-03-01 |
US20180059046A1 (en) | 2018-03-01 |
JP2018031732A (ja) | 2018-03-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6759001B2 (ja) | ガスセンサおよびガスセンサによるガス濃度測定方法 | |
US8246800B2 (en) | Gas sensor | |
EP2980574B1 (en) | Gas sensor | |
JP5938133B1 (ja) | ガスセンサの検知電極、ガスセンサ、および、ガスセンサの製造方法 | |
US10816500B2 (en) | Gas sensor, method for producing conductive paste, and method for manufacturing gas sensor | |
JP5918434B1 (ja) | アンモニアガスセンサ、導電性ペーストの製造方法、および、ガスセンサの製造方法 | |
US10845327B2 (en) | Gas sensor | |
US10514355B2 (en) | Gas sensor | |
US10416111B2 (en) | Gas sensor | |
US20170184538A1 (en) | Ammonia gas sensor and method for measuring concentration of ammonia gas | |
CN110261462B (zh) | 气体传感器 | |
US11327043B2 (en) | Sensor element for gas sensor | |
JP5965564B1 (ja) | アンモニアガスセンサおよびアンモニアガスの濃度測定方法 | |
CN110261463B (zh) | 气体传感器 | |
JP6783706B2 (ja) | ガスセンサ素子に備わる電極の検査方法 | |
JP2019158554A (ja) | センサ素子及びガスセンサ | |
JP2018004652A (ja) | ガスセンサ | |
JP6386805B2 (ja) | 粒子状物質検出センサ素子及びこれを用いた粒子状物検出センサ | |
JP4040550B2 (ja) | 湿度センサ及びその製造方法 | |
JP6655515B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP2022139228A (ja) | アンモニアセンサの検知電極形成用ペーストおよびガスセンサ素子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190417 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200212 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200825 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200902 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6759001 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |