JP6752577B2 - Inkjet coating equipment and inkjet coating method - Google Patents

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Description

本発明は、複数のノズルからインクを着弾させるインクジェット塗布技術に関するものであり、一様な膜厚の塗布膜を形成することができるインクジェット塗布装置及びインクジェット塗布方法に関するものである。 The present invention relates to an inkjet coating technique for landing ink from a plurality of nozzles, and relates to an inkjet coating apparatus and an inkjet coating method capable of forming a coating film having a uniform film thickness.

近年のインクジェット塗布技術は、カラーフィルタ等のように基板上に格子状に形成された各画素にインクを吐出して形成するものへの用途以外に、例えば、液晶表示パネルの配向膜、タッチパネルの絶縁膜等、基板上に平坦な塗布膜を形成する用途にも使用されている（例えば、下記特許文献１参照）。これらの平坦な塗布膜は、従来ではフォトリソグラフィにより形成されていたが、近年では、図３に示すように、１枚の大きな基板Ｗから製品サイズの基板（以下、製品基板。基板Ｗ内の矩形領域が相当する。）を複数枚形成されることが多くなっていることから、製品基板間の周辺領域Ｒへの塗布を要しないインクジェット塗布が採用されている。すなわち、インクジェット塗布を行うことにより、フォトリソでは廃棄されてしまう周辺領域Ｒへの塗布をなくすることができるためため、使用するインクを節約することができる。 Recent inkjet coating technologies are used not only for color filters and the like, which are formed by ejecting ink to each pixel formed in a grid pattern on a substrate, for example, for an alignment film for a liquid crystal display panel and a touch panel. It is also used for forming a flat coating film on a substrate such as an insulating film (see, for example, Patent Document 1 below). These flat coating films have conventionally been formed by photolithography, but in recent years, as shown in FIG. 3, from one large substrate W to a product-sized substrate (hereinafter, product substrate. In the substrate W). Since a plurality of sheets (corresponding to a rectangular region) are often formed, an inkjet coating that does not require coating on the peripheral region R between the product substrates is adopted. That is, by performing the inkjet coating, it is possible to eliminate the coating on the peripheral region R, which is discarded in the photolithography, so that the ink used can be saved.

このインクジェット塗布は、図１３（ａ）に示すようなインクジェット塗布装置により行われる。すなわち、インクジェット塗布装置は、基板Ｗを載置するステージ１００と、インクを吐出する複数のノズルを有する塗布ユニット１０１とが備えられており、この塗布ユニット１０１がステージ１００上の基板Ｗに対して移動しつつインクを吐出することにより塗布膜Ｃが形成されるようになっている（図１３（ｂ））。 This inkjet coating is performed by an inkjet coating apparatus as shown in FIG. 13 (a). That is, the inkjet coating device includes a stage 100 on which the substrate W is placed and a coating unit 101 having a plurality of nozzles for ejecting ink, and the coating unit 101 relates to the substrate W on the stage 100. The coating film C is formed by ejecting ink while moving (FIG. 13 (b)).

具体的には、塗布ユニット１０１は、基板Ｗに対して相対的に特定方向（図の例ではＸ軸方向）に移動するガントリ部１０１ａを有しており、このガントリ部１０１ａに複数のノズル１０３ａを有するノズルユニット１０２が設けられている。このノズルユニット１０２は、図１４（ａ）に示すように、複数のノズル１０３ａを有するヘッドモジュール１０３が配列されて形成されている。このヘッドモジュール１０３は、特定方向（Ｘ軸方向）と直交する方向（Ｙ軸方向）に等間隔でノズル１０３ａが配列されており、特定方向と直交する方向に階段状に配置されている。すなわち、図１４（ｂ）に示すように、ヘッドモジュール１０３のノズル配列方向端部（ヘッドモジュール端部１０４）は、ノズル間隔寸法ｔよりも大きな寸法ｓを有しているため、２点鎖線に示すように、ヘッドモジュール１０３を単にＹ方向に一列に配列しただけでは、ヘッドモジュール端部１０４でノズル間隔寸法ｔが異なってしまう。そのため、ヘッドモジュール１０３を特定方向と直交する方向に階段状に配置することにより、ヘッドモジュール１０３のノズル間隔寸法ｔが特定方向と直交する方向にすべて等しく配列されるように設定されている。このように配置することにより、ノズル１０３ａを特定方向（Ｘ軸方向）から見ると、ノズル１０３ａがＹ軸方向に等間隔で１列に配列される。 Specifically, the coating unit 101 has a gantry portion 101a that moves in a specific direction (X-axis direction in the example of the figure) relative to the substrate W, and a plurality of nozzles 103a are provided in the gantry portion 101a. Nozzle unit 102 is provided. As shown in FIG. 14A, the nozzle unit 102 is formed by arranging head modules 103 having a plurality of nozzles 103a. In the head module 103, nozzles 103a are arranged at equal intervals in a direction (Y-axis direction) orthogonal to a specific direction (X-axis direction), and are arranged in a stepwise manner in a direction orthogonal to the specific direction. That is, as shown in FIG. 14 (b), the nozzle arrangement direction end portion (head module end portion 104) of the head module 103 has a dimension s larger than the nozzle spacing dimension t, so that the two-point chain line is formed. As shown, if the head modules 103 are simply arranged in a row in the Y direction, the nozzle spacing dimension t will be different at the head module end 104. Therefore, by arranging the head modules 103 in a stepwise manner in a direction orthogonal to the specific direction, the nozzle spacing dimensions t of the head module 103 are all set to be equally arranged in the direction orthogonal to the specific direction. By arranging in this way, when the nozzles 103a are viewed from a specific direction (X-axis direction), the nozzles 103a are arranged in a row at equal intervals in the Y-axis direction.

そして、すべてのノズル１０３ａには、インクを吐出すべき着弾位置が予め設定されており、それぞれのノズル１０３ａが、設定された着弾位置（設定着弾位置）に位置した時にインクが吐出されるようになっている。具体的には、設定着弾位置は、基板Ｗ上に格子状に設定されており、Ｘ軸方向には所定間隔毎であって、Ｙ軸方向にはノズル１０３ａの個数に対応する数に設定されている。すなわち、それぞれのＩＪモジュールが、ある設定着弾位置のＸ軸方向位置に位置したときにインクが吐出されることにより、そのＸ軸方向位置において、Ｙ軸方向に亘って一様な直線状のインク集合体が形成される。すなわち、基板Ｗに対してガントリ部１０１ａを相対的に特定方向に１回移動させて設定着弾位置にインクを吐出させることにより、直線状の塗布膜がＸ軸方向に連続的に形成されて、基板Ｗ上に一様で平坦な塗布膜Ｃが形成される。 The landing position at which the ink should be ejected is preset in all the nozzles 103a so that the ink is ejected when each nozzle 103a is located at the set landing position (set landing position). It has become. Specifically, the set landing positions are set in a grid pattern on the substrate W, at predetermined intervals in the X-axis direction, and set to a number corresponding to the number of nozzles 103a in the Y-axis direction. ing. That is, when each IJ module is positioned at a certain set landing position in the X-axis direction, the ink is ejected, so that the linear ink that is uniform over the Y-axis direction at the X-axis direction position. An aggregate is formed. That is, by moving the gantry portion 101a relatively once in a specific direction with respect to the substrate W and ejecting ink at the set landing position, a linear coating film is continuously formed in the X-axis direction. A uniform and flat coating film C is formed on the substrate W.

特開２０１０−００５６１９号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2010-005619

しかし、上記インクジェット塗布装置では、ノズル１０３ａの吐出不良が発生した場合、塗布ムラが生じるという問題があった。すなわち、上記インクジェット塗布装置では、１回の走査で塗布膜Ｃを形成するため、１つのノズル１０３ａからインクが吐出されない状態が生じると、そのノズル１０３ａの走査方向（Ｘ軸方向）にインクが供給されない領域（未塗布領域ｆ）が形成され（図１５（ａ））、その未塗布領域ｆが塗布膜Ｃの筋ムラとして残ってしまう。 However, the above-mentioned inkjet coating apparatus has a problem that coating unevenness occurs when ejection failure of the nozzle 103a occurs. That is, in the above-mentioned inkjet coating apparatus, since the coating film C is formed by one scanning, when the ink is not ejected from one nozzle 103a, the ink is supplied in the scanning direction (X-axis direction) of the nozzle 103a. An uncoated region (uncoated region f) is formed (FIG. 15A), and the uncoated region f remains as streak unevenness of the coating film C.

特に、近年では、速乾性のインクが使用されることが多いため、未塗布領域ｆが形成されると、未塗布領域ｆの周りに形成されたインク集合体Ｃ’は、図１５（ｂ）に示すように、未塗布領域ｆに濡れ広がろうとするが、表面張力を断ち切って未塗布領域ｆに濡れ広がる前にインク集合体Ｃ’の乾燥が進んでしまう。そのため、未塗布領域ｆは、インク供給されない領域として残るか、あるいは周りの領域に比べてインク量が極めて少ない領域として形成され、結果として筋ムラとして残ってしまうという問題があった。 In particular, in recent years, quick-drying inks are often used, so when the uncoated area f is formed, the ink aggregate C'formed around the uncoated area f is shown in FIG. 15 (b). As shown in the above, the ink aggregate C'is dried before the uncoated area f is wetted and spread before the surface tension is cut off and the uncoated area f is wetted. Therefore, there is a problem that the uncoated region f remains as a region where ink is not supplied, or is formed as a region where the amount of ink is extremely small as compared with the surrounding region, and as a result, remains as streak unevenness.

このように、塗布膜Ｃに筋ムラが形成されてしまうと、基板Ｗ１枚が不良基板Ｗとして廃棄されるため、多面取りが行われる大型の基板Ｗでは、その損失は大きなものとなっている。従来のインクジェット塗布装置でも、基板Ｗに塗布膜Ｃを形成する前に、テスト領域に吐出して不吐出ノズル１０３ａのチェックが行われる。チェックの結果、予め不吐出ノズル１０３ａが存在していることが確認されれば、ノズルユニット１０２をＸ軸方向だけでなくＹ軸方向にも移動させ、不吐出ノズル１０３ａの設定着弾位置に他のノズル１０３ａからインクを吐出させることにより未塗布領域ｆが形成されるのを抑えている。ところが、速乾性のインクの場合には、ノズルユニット１０２の走査時間が増加すると乾燥が進んでしまうため、Ｙ軸方向にも移動させる方法では筋ムラを抑えきることは困難であった。また、塗布中に突然、不吐出ノズル１０３ａが発生する場合があり、この場合には、現在塗布中の基板Ｗは廃棄せざるをえず、突然のノズル１０３ａの故障には対応できないという問題があった。 In this way, if streaks are formed on the coating film C, one substrate W is discarded as a defective substrate W, so that the loss is large in a large substrate W in which multi-chamfering is performed. .. Even in the conventional inkjet coating apparatus, the non-ejection nozzle 103a is checked by discharging the coating film C to the test region before forming the coating film C on the substrate W. As a result of the check, if it is confirmed in advance that the non-ejection nozzle 103a exists, the nozzle unit 102 is moved not only in the X-axis direction but also in the Y-axis direction, and another non-ejection nozzle 103a is set to the set landing position. The formation of the uncoated region f is suppressed by ejecting the ink from the nozzle 103a. However, in the case of quick-drying ink, the drying progresses as the scanning time of the nozzle unit 102 increases, so that it is difficult to suppress the streak unevenness by the method of moving the ink in the Y-axis direction as well. Further, a non-ejection nozzle 103a may suddenly occur during coating, and in this case, the substrate W currently being coated must be discarded, and there is a problem that a sudden failure of the nozzle 103a cannot be dealt with. there were.

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、塗布前及び塗布中に吐出不良ノズルが発生した場合でも、塗布膜に筋ムラが形成されるのを抑えることができるインクジェット塗布装置及び、インクジェット塗布方法を提供することを目的としている。 The present invention has been made in view of the above problems, and is an inkjet coating device capable of suppressing the formation of streak unevenness in the coating film even when a ejection failure nozzle occurs before and during coating. It is an object of the present invention to provide an inkjet coating method.

上記課題を解決するために本発明のインクジェット塗布装置は、インクを吐出する複数のノズルを有する塗布ユニットと、基板を載置するステージと、を備え、前記塗布ユニットと前記ステージとを特定方向に相対的に移動させつつ、予め設定された基板上の設定着弾位置に、この設定着弾位置毎に設定された設定塗布量のインクが供給されることにより基板上に塗布膜を形成するインクジェット塗布装置であって、前記塗布ユニットは、複数のノズルを有するメインノズルユニットと、前記特定方向に見て少なくとも前記メインノズルユニットのノズル位置に対応するノズルを有し、前記メインノズルユニットと同種のインクを吐出するサブノズルユニットと、を備え、前記サブノズルユニットは、前記メインノズルユニットと同じノズル配置を有しており、前記サブノズルユニットの各ノズルは、メインノズルユニットの各ノズルに対して特定方向に一致して設けられ、前記メインノズルユニットで吐出する着弾位置と、前記サブノズルユニットで吐出する着弾位置とが同じ前記設定着弾位置に設定されており、前記設定着弾位置には、前記メインノズルユニット及び前記サブノズルユニットのそれぞれ１度ずつインクが吐出されることにより前記設定塗布量のインクが供給されることを特徴としている。 In order to solve the above problems, the inkjet coating apparatus of the present invention includes a coating unit having a plurality of nozzles for ejecting ink and a stage on which a substrate is placed, and the coating unit and the stage are oriented in a specific direction. An inkjet coating device that forms a coating film on a substrate by supplying a set coating amount of ink set for each set landing position to a preset landing position on the substrate while moving them relatively. a is, the coating unit includes a main nozzle unit having a plurality of nozzles, the look in a particular direction have a nozzle corresponding to the nozzle position of at least the main nozzle unit, the ink of the main nozzle units of the same kind A sub-nozzle unit for discharging is provided, the sub-nozzle unit has the same nozzle arrangement as the main nozzle unit, and each nozzle of the sub-nozzle unit coincides with each nozzle of the main nozzle unit in a specific direction. The landing position discharged by the main nozzle unit and the landing position discharged by the sub nozzle unit are set to the same set landing position, and the main nozzle unit and the sub nozzle are set at the set landing position. It is characterized in that the set amount of ink is supplied by ejecting ink once for each unit.

上記インクジェット塗布装置によれば、メインノズルユニットとは別にサブノズルユニットが設けられているため、メインノズルユニット又はサブノズルユニットに吐出不良ノズルが存在した場合や塗布中に不吐出ノズルが発生した場合のいずれであっても、塗布膜に筋ムラが形成されるのを抑えることができる。すなわち、サブノズルユニットは、特定方向に見て少なくとも前記メインノズルユニットのノズル位置に対応するノズルを有しており、メインノズルユニットと同じ設定着弾位置に設定されている。そして、設定着弾位置には、メインノズルユニット及びサブノズルユニットの双方が１度ずつ吐出することにより設定着弾位置に規定のインク量（設定塗布量のインク量）が供給されるように設定されているため、それぞれ設定着弾位置では、メインノズルユニットの所定ノズルによってインクが吐出された後、さらに、特定方向に見て同一視されるサブノズルユニットのノズルからインクが吐出されることによってそれぞれの設定着弾位置に設定塗布量のインクが供給される。ここで、仮に、メインノズルユニットに不吐出ノズルが存在した場合でも、その不吐出ノズルが吐出すべき設定着弾位置には、メインノズルユニットからはインクが吐出されないが、次のサブノズルユニットからインクが吐出される。逆に、サブノズルユニットに不吐出ノズルが存在した場合でも、その設定着弾位置には先のメインノズルユニットからインクが吐出されている。すなわち、すべての設定着弾位置には、メインノズルユニット又はサブノズルユニットの少なくとも一方からインクが吐出されることになるため、設定着弾位置にインクが全く吐出されない状態を防止することができる。そして、すべての設定着弾位置には、少なくとも一方からインクが吐出されるため、不吐出ノズルの設定着弾位置は、周りの設定着弾位置に比べてインク量が少ない領域が形成されるが、不吐出ノズルの設定着弾位置にインクが全く吐出されない場合に比べて、表面張力の影響が小さくなり、周りの設定着弾位置から不吐出ノズルの設定着弾位置にインクが濡れ広がりやすい状態になる。したがって、不吐出ノズルの設定着弾位置のインクと周りの設定着弾位置のインクとが馴染んで一体化され、不吐出ノズルの設定着弾位置と周りの設定着弾位置との塗布膜の高低差がなくなり、ほぼ均一厚さの塗布膜が形成される。このように、速乾性のインクを用いた場合でも、吐出不良ノズルが存在した場合、塗布中に不吐出ノズルが発生した場合のいずれであっても、塗布膜に筋ムラが形成されるのを抑えることができる。 According to the above-mentioned inkjet coating device, since the sub-nozzle unit is provided separately from the main nozzle unit, either when there is a defective ejection nozzle in the main nozzle unit or the sub-nozzle unit or when a non-ejection nozzle occurs during coating. Even so, it is possible to suppress the formation of streak unevenness on the coating film. That is, the sub-nozzle unit has a nozzle corresponding to at least the nozzle position of the main nozzle unit when viewed in a specific direction, and is set to the same set landing position as the main nozzle unit. Then, the set landing position is set so that the specified amount of ink (the amount of ink of the set coating amount) is supplied to the set landing position by discharging both the main nozzle unit and the sub nozzle unit once. Therefore, at each set landing position, ink is ejected from a predetermined nozzle of the main nozzle unit, and then ink is ejected from the nozzle of the sub-nozzle unit which is identified when viewed in a specific direction. The set amount of ink is supplied to. Here, even if there is a non-ejection nozzle in the main nozzle unit, ink is not ejected from the main nozzle unit at the set landing position where the non-ejection nozzle should be ejected, but ink is discharged from the next sub-nozzle unit. It is discharged. On the contrary, even if the sub-nozzle unit has a non-ejection nozzle, ink is ejected from the previous main nozzle unit at the set landing position. That is, since ink is ejected from at least one of the main nozzle unit and the sub nozzle unit at all the set landing positions, it is possible to prevent a state in which ink is not ejected at all at the set landing positions. Since ink is ejected from at least one of the set landing positions, a region where the amount of ink is smaller than the surrounding set landing positions is formed at the set landing position of the non-ejection nozzle, but non-ejection Compared with the case where the ink is not ejected at the set landing position of the nozzle, the influence of the surface tension becomes smaller, and the ink tends to get wet and spread from the surrounding set landing position to the set landing position of the non-ejection nozzle. Therefore, the ink at the set landing position of the non-ejection nozzle and the ink at the set landing position around it are integrated and integrated, and the height difference of the coating film between the set landing position of the non-ejection nozzle and the set landing position around it is eliminated. A coating film having a substantially uniform thickness is formed. In this way, even when quick-drying ink is used, streaks are formed on the coating film regardless of whether there is a defective ejection nozzle or a non-ejection nozzle occurs during coating. It can be suppressed.

そして、この構成によれば、メインノズルユニットと同じ配置位置のサブノズルユニットのノズルから同一設定着弾位置に吐出させるようにすればよいため、メインノズルユニットで吐出する着弾位置と、サブノズルユニットで吐出する着弾位置とが同じ設定着弾位置とする設定を容易にすることができる。 Then, according to this configuration, since it is sufficient to discharge from the nozzle of the sub-nozzle unit at the same arrangement position as the main nozzle unit to the same set landing position, the landing position to be discharged by the main nozzle unit and the discharge at the sub-nozzle unit Setting that the landing position is the same It is possible to easily set the landing position.

また、前記メインノズルユニットのノズルから吐出される塗布量は、前記設定塗布量の半分の量であり、前記サブノズルユニットのノズルから吐出される塗布量は、前記設定塗布量の半分の量である構成にしてもよい。 The coating amount discharged from the nozzle of the main nozzle unit is half the set coating amount, and the coating amount discharged from the nozzle of the sub-nozzle unit is half the set coating amount. It may be configured.

この構成によれば、不吐出ノズルがメインノズルユニット及びサブノズルユニットのどちらに発生しても、ほぼ同様に不吐出ノズルの設定着弾位置のインクと周りの設定着弾位置のインクとが馴染む現象が得られ、筋ムラの発生を抑えることができる。 According to this configuration, regardless of whether the non-ejection nozzle is generated in the main nozzle unit or the sub-nozzle unit, the phenomenon that the ink at the set landing position of the non-ejection nozzle and the ink at the set landing position around the non-ejection nozzle are compatible with each other is obtained. Therefore, the occurrence of muscle unevenness can be suppressed.

また、前記塗布ユニットは、特定方向と直交する方向に延びるガントリ部を有しており、このガントリ部と前記ステージとは相対的に特定方向に移動するように形成されており、前記メインノズルユニット及び前記サブノズルユニットは、前記ガントリ部の特定方向の一方側に設けられ、前記メインノズルユニットと前記サブノズルユニットは、特定方向に隣接して配置されている構成にしてもよい。 Further, the coating unit has a gantry portion extending in a direction orthogonal to a specific direction, and the gantry portion and the stage are formed so as to relatively move in a specific direction, and the main nozzle unit. The sub-nozzle unit may be provided on one side of the gantry portion in a specific direction, and the main nozzle unit and the sub-nozzle unit may be arranged adjacent to each other in a specific direction.

この構成によれば、メインノズルユニットとサブノズルユニットが隣接して配置されているため、メインノズルユニットから設定着弾位置にインクが吐出された後、すぐにサブノズルユニットからその設定着弾位置にインクが吐出されるため、インクが乾燥する前に設定着弾位置に設定塗布量のインクを供給することができる。 According to this configuration, since the main nozzle unit and the sub-nozzle unit are arranged adjacent to each other, ink is ejected from the main nozzle unit to the set impact position and then immediately from the sub-nozzle unit to the set impact position. Therefore, the set amount of ink can be supplied to the set landing position before the ink dries.

また、上記課題を解決するために本発明のインクジェット塗布方法は、インクを吐出する複数のノズルを有する塗布ユニットと、基板を載置するステージと、を備え、前記塗布ユニットと前記ステージとを特定方向に相対的に一回移動させつつ、予め設定された基板上の設定着弾位置に、この設定着弾位置毎に設定された設定塗布量のインクを塗布して基板上に塗布膜を形成する塗布方法であって、前記塗布ユニットは、複数のノズルを有するメインノズルユニットとサブノズルユニットとを有しており、前記メインノズルユニットの各ノズルから、すべての前記設定着弾位置に前記設定塗布量よりも少量のインクを１度のみ吐出する第１塗布工程と、前記サブノズルユニットの各ノズルから、すべての前記設定着弾位置に前記設定塗布量よりも少量のインクを１度のみ吐出する第２塗布工程と、を有し、それぞれの前記設定着弾位置には、前記第１塗布工程と第２塗布工程によって前記設定塗布量のインクが供給されることを特徴としている。 Further, in order to solve the above problems, the inkjet coating method of the present invention includes a coating unit having a plurality of nozzles for ejecting ink and a stage on which a substrate is placed, and specifies the coating unit and the stage. Applying a set coating amount of ink set for each set landing position to a preset landing position on the substrate while moving the ink relatively once in the direction to form a coating film on the substrate. In the method, the coating unit has a main nozzle unit having a plurality of nozzles and a sub-nozzle unit, and the coating amount is higher than the set coating amount at all the set landing positions from each nozzle of the main nozzle unit. A first coating step of ejecting a small amount of ink only once, and a second coating step of ejecting a smaller amount of ink than the set coating amount to all the set landing positions from each nozzle of the sub-nozzle unit only once. , And the set landing position is characterized in that the set coating amount of ink is supplied by the first coating step and the second coating step.

上記インクジェット塗布方法によれば、それぞれの設定着弾位置に、第１塗布工程と第２塗布工程とによって、その設定着弾位置における設定供給量のインクが供給される。ここで、仮に、メインノズルユニットに不吐出ノズルが存在した場合でも、その不吐出ノズルが吐出すべき設定着弾位置には、メインノズルユニットからはインクが吐出されないが、次のサブノズルユニットからインクが吐出される。逆に、サブノズルユニットに不吐出ノズルが存在した場合でも、その設定着弾位置には先のメインノズルユニットからインクが吐出されている。すなわち、すべての設定着弾位置には、メインノズルユニット又はサブノズルユニットの少なくとも一方からインクが吐出されることになるため、設定着弾位置にインクが全く吐出されない状態を防止することができる。そして、すべての設定着弾位置には、少なくとも一方からインクが吐出されるため、不吐出ノズルの設定着弾位置は、周りの設定着弾位置に比べてインク量が少ない領域が形成されるが、不吐出ノズルの設定着弾位置にインクが全く吐出されない場合に比べて、表面張力の影響が抑えられ、周りの設定着弾位置から不吐出ノズルの設定着弾位置にインクが濡れ広がりやすい状態になる。したがって、不吐出ノズルの設定着弾位置のインクと周りの設定着弾位置のインクとが馴染んで一体化され、不吐出ノズルの設定着弾位置と周りの設定着弾位置との塗布膜の高低差がなくなり、ほぼ均一厚さの塗布膜が形成される。これにより、速乾性のインクを用いた場合でも、吐出不良ノズルが存在した場合、塗布中に不吐出ノズルが発生した場合のいずれであっても、塗布膜に筋ムラが形成されるのを抑えることができる。 According to the above-mentioned inkjet coating method, a set supply amount of ink at the set landing position is supplied to each set landing position by the first coating step and the second coating step. Here, even if there is a non-ejection nozzle in the main nozzle unit, ink is not ejected from the main nozzle unit at the set landing position where the non-ejection nozzle should be ejected, but ink is discharged from the next sub-nozzle unit. It is discharged. On the contrary, even if the sub-nozzle unit has a non-ejection nozzle, ink is ejected from the previous main nozzle unit at the set landing position. That is, since ink is ejected from at least one of the main nozzle unit and the sub nozzle unit at all the set landing positions, it is possible to prevent a state in which ink is not ejected at all at the set landing positions. Since ink is ejected from at least one of the set landing positions, a region where the amount of ink is smaller than the surrounding set landing positions is formed at the set landing position of the non-ejection nozzle, but non-ejection Compared to the case where ink is not ejected at the set landing position of the nozzle, the influence of surface tension is suppressed, and the ink tends to get wet and spread from the surrounding set landing position to the set landing position of the non-ejection nozzle. Therefore, the ink at the set landing position of the non-ejection nozzle and the ink at the set landing position around it are integrated and integrated, and the height difference of the coating film between the set landing position of the non-ejection nozzle and the set landing position around it is eliminated. A coating film having a substantially uniform thickness is formed. This suppresses the formation of streak unevenness in the coating film regardless of whether a quick-drying ink is used, a nozzle with poor ejection is present, or a non-ejection nozzle is generated during coating. be able to.

また、前記第１塗布工程におけるメインノズルユニットから吐出されるインク量は、前記設定塗布量の半分のインク量であり、前記第２塗布工程におけるサブノズルユニットから吐出されるインク量は、前記設定塗布量の半分のインク量である構成にしてもよい。 The amount of ink ejected from the main nozzle unit in the first coating step is half the amount of ink ejected from the set coating amount, and the amount of ink ejected from the sub-nozzle unit in the second coating step is the set coating amount. The amount of ink may be half the amount of ink.

この構成によれば、不吐出ノズルがメインノズルユニット及びサブノズルユニットのどちらに発生しても、ほぼ同様に不吐出ノズルの設定着弾位置のインクと周りの設定着弾位置のインクとが馴染む現象が得られ、筋ムラの発生を抑えることができる。 According to this configuration, regardless of whether the non-ejection nozzle is generated in the main nozzle unit or the sub-nozzle unit, the phenomenon that the ink at the set landing position of the non-ejection nozzle and the ink at the set landing position around the non-ejection nozzle become familiar can be obtained. Therefore, the occurrence of muscle unevenness can be suppressed.

本発明のインクジェット塗布装置及びインクジェット塗布方法によれば、塗布前及び塗布中に吐出不良ノズルが発生した場合でも、塗布膜に筋ムラが形成されるのを抑えることができる。 According to the inkjet coating apparatus and the inkjet coating method of the present invention, it is possible to suppress the formation of streak unevenness in the coating film even when a ejection failure nozzle occurs before and during coating.

本発明の一実施形態におけるインクジェット塗布装置を概略的に示す側面図である。It is a side view which shows typically the inkjet coating apparatus in one Embodiment of this invention. 上記インクジェット塗布装置を概略的に示す上面図である。It is a top view which shows the above-mentioned inkjet coating apparatus schematicly. 基板上に塗布膜が形成された状態を示す図である。It is a figure which shows the state which the coating film is formed on the substrate. ヘッド部をノズル側から見た図であり、メインノズルユニットとサブノズルユニットとが隣接されて構成されている図である。It is the figure which saw the head part from the nozzle side, and is the figure which is configured that the main nozzle unit and the sub-nozzle unit are adjacent to each other. 上記ヘッド部の一部を拡大した図である。It is an enlarged view of a part of the head part. 基板上にインクを塗布している経過状況を示す図である。It is a figure which shows the progress state of applying ink on a substrate. 上記インクジェット塗布装置の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the operation of the said inkjet coating apparatus. インクが基板上に塗布された状態を示す図であり、（ａ）は、メインノズルユニットから基板上にインクを塗布された直後の様子を示す図、（ｂ）は、メインノズルユニットから吐出されたインクが一体化された状態を示す図、（ｃ）は、メインノズルユニットで塗布された後、サブノズルユニットからインクを塗布された直後の様子を示す図、（ｄ）は、メインノズルユニットから吐出されたインクとサブノズルユニットから吐出されたインクとが一体化されて基板上に塗布膜が形成された状態を示す図である。It is a figure which shows the state which the ink was applied on the substrate, (a) is the figure which shows the state immediately after the ink was applied on the substrate from the main nozzle unit, (b) is ejected from the main nozzle unit. A diagram showing a state in which the ink is integrated, (c) is a diagram showing a state immediately after the ink is applied from the sub nozzle unit after being applied by the main nozzle unit, and (d) is a diagram showing a state immediately after the ink is applied from the main nozzle unit. It is a figure which shows the state which the ejected ink and the ink ejected from a sub-nozzle unit are integrated and the coating film is formed on the substrate. メインノズルユニットに不吐出ノズルが存在する場合の塗布状態を示す図であり、（ａ）は、メインノズルユニットで塗布された領域に未塗布領域が形成された状態を示す図である。（ｂ）は、メインノズルユニットで塗布された後、サブノズルユニットからインクを塗布された直後の様子を示す図、（ｃ）は、メインノズルユニットから吐出されたインクとサブノズルユニットから吐出されたインクとが馴染んで一体化される途中経過を示す図、（ｄ）は、最終的に塗布膜が形成された状態を示す図である。It is a figure which shows the coating state when the non-ejection nozzle exists in the main nozzle unit, and (a) is the figure which shows the state which the unapplied region is formed in the region coated by the main nozzle unit. (B) is a diagram showing the state immediately after the ink is applied from the sub-nozzle unit after being applied by the main nozzle unit, and (c) is the ink ejected from the main nozzle unit and the ink ejected from the sub-nozzle unit. FIG. 3D is a diagram showing a progress in which and are integrated with each other, and is a diagram showing a state in which a coating film is finally formed. サブノズルユニットに不吐出ノズルが存在する場合の塗布状態を示す図であり、（ａ）は、メインノズルユニットで塗布された後、インク集合体が形成された状態を示す図、（ｂ）は、メインノズルユニットで塗布された後、サブノズルユニットからインクが塗布された直後の様子を示す図、（ｃ）は、メインノズルユニットから吐出されたインクとサブノズルユニットから吐出されたインクとが馴染んで一体化される途中経過を示す図、（ｄ）は、最終的に塗布膜が形成された状態を示す図である。It is a figure which shows the coating state when a non-ejection nozzle exists in a sub-nozzle unit, (a) is a figure which shows the state which the ink aggregate was formed after coating by the main nozzle unit, (b) is a figure which shows. The figure showing the state immediately after the ink is applied from the sub-nozzle unit after being applied by the main nozzle unit, (c) shows that the ink ejected from the main nozzle unit and the ink ejected from the sub-nozzle unit are integrated. The figure which shows the progress of the conversion, (d) is the figure which shows the state which the coating film was finally formed. 他の実施形態におけるヘッド部のメインノズルユニットとサブノズルユニットとの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the main nozzle unit and the sub-nozzle unit of a head part in another embodiment. さらに、他の実施形態におけるヘッド部のメインノズルユニットとサブノズルユニットとの構成を示す図である。Further, it is a figure which shows the structure of the main nozzle unit and the sub-nozzle unit of the head part in another embodiment. 従来のインクジェット塗布装置を示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は上面図である。It is a figure which shows the conventional inkjet coating apparatus, (a) is a side view, (b) is a top view. 従来のインクジェット塗布装置のノズルユニットを示す図であり、（ａ）は、ノズル側から見た図、（ｂ）は、ヘッドモジュールの配列を示す図である。It is a figure which shows the nozzle unit of the conventional inkjet coating apparatus, (a) is the figure which looked at the nozzle side, (b) is the figure which shows the arrangement of the head module. 従来のインクジェット塗布装置で不吐出ノズルが存在した場合の塗布状態を示す図であり、（ａ）は、基板全体に形成された塗布膜を示す図、（ｂ）未塗布領域が存在する塗布膜の断面図である。It is a figure which shows the coating state when the non-ejection nozzle exists in the conventional inkjet coating apparatus, (a) is the figure which shows the coating film formed on the whole substrate, (b) is the coating film which has the uncoated region. It is a cross-sectional view of.

本発明のインクジェット塗布装置に係る実施の形態を図面を用いて説明する。 An embodiment of the inkjet coating apparatus of the present invention will be described with reference to the drawings.

図１は、インクジェット塗布装置の一実施形態を示す側面図であり、図２は、インクジェット塗布装置の上面図である。 FIG. 1 is a side view showing an embodiment of an inkjet coating device, and FIG. 2 is a top view of the inkjet coating device.

インクジェット塗布装置は、図１、図２に示すように、基板Ｗを載置するステージ１０と、基板Ｗにインクを塗布する塗布ユニット２とを有しており、塗布ユニット２がステージ１０に載置された基板Ｗ上を移動しつつ、インクを所定の着弾位置に吐出することにより、基板Ｗ上に平坦状の塗布膜Ｃが形成される。本実施形態では、図３に示すように、塗布膜Ｃ付きの基板（製品基板）が複数枚形成されるように、１枚の基板Ｗ上に複数箇所、平坦状の塗布膜Ｃが形成される。
この塗布膜Ｃは、液晶表示パネルの配向膜、タッチパネルの絶縁膜等であり、このインクジェット塗布装置は、基板Ｗ上に平坦な塗布膜Ｃを形成する用途であれば、あらゆる塗布膜Ｃを形成することができる。 As shown in FIGS. 1 and 2, the inkjet coating apparatus includes a stage 10 on which the substrate W is placed and a coating unit 2 for applying ink to the substrate W, and the coating unit 2 is mounted on the stage 10. A flat coating film C is formed on the substrate W by ejecting ink to a predetermined landing position while moving on the placed substrate W. In the present embodiment, as shown in FIG. 3, a flat coating film C is formed at a plurality of locations on one substrate W so that a plurality of substrates (product substrates) with the coating film C are formed. To.
The coating film C is an alignment film for a liquid crystal display panel, an insulating film for a touch panel, or the like, and this inkjet coating device forms any coating film C for the purpose of forming a flat coating film C on a substrate W. can do.

なお、以下の説明では、この塗布ユニット２が移動する方向をＸ軸方向（本実施形態の特定方向）、これと水平面上で直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸およびＹ軸方向の双方に直交する方向をＺ軸方向として説明を進めることとする。 In the following description, the direction in which the coating unit 2 moves is the X-axis direction (specific direction of the present embodiment), and the direction orthogonal to this in the horizontal plane is the Y-axis direction, the X-axis, and the Y-axis direction. The description will proceed with the direction orthogonal to the Z-axis direction as the Z-axis direction.

インクジェット塗布装置は、基台１を有しており、この基台１上にステージ１０、塗布ユニット２が設けられている。具体的には、基台１上に直方体形状のステージ１０が設けられており、このステージ１０をＹ軸方向に跨ぐように塗布ユニット２が設けられている。 The inkjet coating device has a base 1, and a stage 10 and a coating unit 2 are provided on the base 1. Specifically, a rectangular parallelepiped stage 10 is provided on the base 1, and a coating unit 2 is provided so as to straddle the stage 10 in the Y-axis direction.

ステージ１０は、基板Ｗを載置するものであり、載置された基板Ｗが水平な姿勢を維持した状態で載置されるようになっている。具体的には、ステージ１０の表面は、平坦に形成されており、その表面には、吸引孔が複数形成されている。この吸引孔には真空ポンプが接続されており、ステージ１０の表面に基板Ｗを載置した状態で真空ポンプを作動させることにより、吸引孔に吸引力が発生し、基板Ｗが水平な姿勢でステージ１０の表面に吸着保持できるようになっている。そして、基板Ｗには、アライメントマークが付されており、このアライメントマークをカメラ（不図示）で撮像することにより、後述の制御装置で記憶された設定着弾位置がアライメントマークに基づいた設定着弾位置に補正される。すなわち、補正されることにより、各ノズル毎の設定着弾位置と、ステージ１０上の基板Ｗの実際の着弾位置とが一致するようになっており、それぞれの設定着弾位置にインクが吐出されることにより、基板Ｗ上の所定の位置に平坦状の塗布膜Ｃが精度よく形成されるようになっている。 The stage 10 is for mounting the substrate W, and the mounted substrate W is mounted in a state of maintaining a horizontal posture. Specifically, the surface of the stage 10 is formed flat, and a plurality of suction holes are formed on the surface. A vacuum pump is connected to this suction hole, and by operating the vacuum pump with the substrate W placed on the surface of the stage 10, suction force is generated in the suction hole and the substrate W is in a horizontal position. It can be sucked and held on the surface of the stage 10. An alignment mark is attached to the substrate W, and by photographing the alignment mark with a camera (not shown), the set landing position stored in the control device described later is set based on the alignment mark. Is corrected to. That is, by being corrected, the set landing position for each nozzle and the actual landing position of the substrate W on the stage 10 are matched, and ink is ejected to each set landing position. As a result, the flat coating film C is accurately formed at a predetermined position on the substrate W.

また、塗布ユニット２は、基板Ｗ上にインクを着弾させて塗布するものであり、インクを吐出するヘッド部２１と、このヘッド部２１を支持するガントリ部２２とを有している。このガントリ部２２は、ステージ１０のＹ軸方向両外側に配置される脚部２２ａと、これらの脚部２２ａを連結しＹ軸方向に延びる石材製のビーム部材２２ｂとを有する略門型形状に形成されている。そして、このビーム部材２２ｂにヘッド部２１が取付けられており、ガントリ部２２は、ステージ１０をＹ軸方向に跨いだ状態でＸ軸方向に移動可能に取り付けられている。本実施形態では、基台１のＹ軸方向両端部分にはそれぞれＸ軸方向に延びるレール（不図示）が設置されており、脚部２２ａがこのレールにスライド自在に取り付けられている。そして、脚部２２ａにはリニアモータが取り付けられており、このリニアモータを駆動制御することにより、ガントリ部２２がＸ軸方向に移動し、任意の位置で停止できるようになっている。 Further, the coating unit 2 is for applying ink by landing it on the substrate W, and has a head portion 21 for ejecting ink and a gantry portion 22 for supporting the head portion 21. The gantry portion 22 has a substantially gantry shape having leg portions 22a arranged on both outer sides in the Y-axis direction of the stage 10 and a stone beam member 22b connecting these leg portions 22a and extending in the Y-axis direction. It is formed. A head portion 21 is attached to the beam member 22b, and the gantry portion 22 is attached so as to be movable in the X-axis direction while straddling the stage 10 in the Y-axis direction. In the present embodiment, rails (not shown) extending in the X-axis direction are installed at both ends of the base 1 in the Y-axis direction, and the legs 22a are slidably attached to the rails. A linear motor is attached to the leg portion 22a, and by driving and controlling the linear motor, the gantry portion 22 moves in the X-axis direction and can be stopped at an arbitrary position.

また、ビーム部材２２ｂは、両脚部２２ａを連結する柱状部材であり、石材で形成されている。このビーム部材２２ｂには、ヘッド部２１が取付けられている。具体的には、ビーム部材２２ｂの一方側の側面に、ヘッド部２１が取り付けられており、このヘッド部２１に設けられたノズルユニットのノズルがステージ１０の表面に向く姿勢で取付けられている。したがって、ガントリ部２２がＸ軸方向に移動又は停止するにしたがって、ヘッド部２１もそれに付随して移動又は停止を行うことができ、ガントリ部２２の移動量を調節することにより、ステージ１０の表面に載置された基板Ｗ上にヘッド部２１を位置させて基板Ｗ上にインクを吐出できるようになっている。 Further, the beam member 22b is a columnar member that connects both leg portions 22a, and is made of a stone material. A head portion 21 is attached to the beam member 22b. Specifically, the head portion 21 is attached to one side surface of the beam member 22b, and the nozzle of the nozzle unit provided on the head portion 21 is attached in a posture facing the surface of the stage 10. Therefore, as the gantry portion 22 moves or stops in the X-axis direction, the head portion 21 can also move or stop accordingly, and by adjusting the amount of movement of the gantry portion 22, the surface of the stage 10 The head portion 21 is positioned on the substrate W mounted on the substrate W so that ink can be ejected onto the substrate W.

また、ヘッド部２１は、図４に示すように、複数のノズルを一体化させたものであり、メインノズルユニット３０と、サブノズルユニット４０とを有している。本実施形態では、メインノズルユニット３０とサブノズルユニット４０とがＸ軸方向に互いに隣接して配置された状態で固定されている。すなわち、図４に示す例では、メインノズルユニット３０は、サブノズルユニット４０対して進行方向前側に配置されており、Ｘ軸方向に移動して塗布する際に最初に基板Ｗと対面する側に配置されて固定されている。 Further, as shown in FIG. 4, the head portion 21 is a combination of a plurality of nozzles, and has a main nozzle unit 30 and a sub nozzle unit 40. In the present embodiment, the main nozzle unit 30 and the sub nozzle unit 40 are fixed in a state of being arranged adjacent to each other in the X-axis direction. That is, in the example shown in FIG. 4, the main nozzle unit 30 is arranged on the front side in the traveling direction with respect to the sub nozzle unit 40, and is arranged on the side facing the substrate W first when moving in the X-axis direction and applying. It is fixed.

このメインノズルユニット３０は、複数のノズル３１ａを有しており、一方向に整列した状態で配置されている。具体的には、メインノズルユニット３０は、モジュールケーシング３５に、ピエゾ素子を駆動させてインクを吐出する複数のヘッドモジュール３１を備えて形成されており、このヘッドモジュール３１が一方向に配列された複数のノズル３１ａを有している。 The main nozzle unit 30 has a plurality of nozzles 31a and is arranged in a state of being aligned in one direction. Specifically, the main nozzle unit 30 is formed in a module casing 35 with a plurality of head modules 31 for driving a piezo element to eject ink, and the head modules 31 are arranged in one direction. It has a plurality of nozzles 31a.

そして、ヘッドモジュール３１は、それぞれが互いに重複する部分を有して階段状に配置されている。図４の例では、３つのヘッドモジュール３１が階段状に配列されている。すなわち、これらのヘッドモジュール３１は、ノズル配置間隔とヘッドモジュール３１の両端部分とでは寸法が異なっているため、図５に示すように、この両端部分の寸法分を相殺できるようにＸ軸方向にずらしつつＹ軸方向に配列される。すなわち、ヘッドモジュール３１の複数のノズル３１ａの配列方向をＹ軸方向に揃えて、ヘッドモジュール３１の両端部分の寸法分（寸法ｓ）を相殺できるようにヘッドモジュール３１を階段状に配置することにより、ヘッドモジュール３１単位で見ればＸ軸方向に見てヘッドモジュール３１のノズル３１ａがＹ軸方向に等間隔（寸法ｔ）で配置される。そして、この階段状に配置された３つのヘッドモジュール３１の集合体をヘッドモジュール３１の両端部分の寸法分（寸法ｓ）を相殺できるように繰り返しＹ軸方向に配置することにより、ヘッド部２１全体としてＸ軸方向に見て、すべてのノズル３１ａがＹ軸方向に沿って配列され、Ｘ軸方向から見てＹ軸方向に亘って等間隔で配置される。 The head modules 31 are arranged in a staircase pattern, each having a portion that overlaps with each other. In the example of FIG. 4, three head modules 31 are arranged in a staircase pattern. That is, since the dimensions of these head modules 31 are different between the nozzle arrangement interval and both end portions of the head module 31, as shown in FIG. 5, the dimensions of both end portions can be offset in the X-axis direction. They are arranged in the Y-axis direction while shifting. That is, by aligning the arrangement directions of the plurality of nozzles 31a of the head module 31 in the Y-axis direction and arranging the head modules 31 in a stepped manner so that the dimensions (dimensions s) of both end portions of the head module 31 can be offset. When viewed in units of the head module 31, the nozzles 31a of the head module 31 are arranged at equal intervals (dimension t) in the Y-axis direction when viewed in the X-axis direction. Then, by repeatedly arranging the aggregate of the three head modules 31 arranged in a stepped manner in the Y-axis direction so as to offset the dimensions (dimensions s) of both end portions of the head module 31, the entire head portion 21 is formed. All the nozzles 31a are arranged along the Y-axis direction when viewed in the X-axis direction, and are arranged at equal intervals along the Y-axis direction when viewed from the X-axis direction.

また、サブノズルユニット４０は、複数のノズル４１ａを有しており、一方向（本実施形態ではＹ軸方向）に整列した状態で配置されている。本実施形態では、上述のメインノズルユニット３０と同様の構成を有しており、ノズル４１ａの配置はメインノズルユニット３０のノズル３１ａ配置と同一に形成されている。すなわち、モジュールケーシング４５にヘッドモジュール４１がＸ軸方向及びＹ軸方向に順次ずらして階段状に配置され、この階段状の３つのヘッドモジュール４１がＹ軸方向に順次繰り返して配置されている。これにより、ヘッド部２１全体としてＸ軸方向に見て、すべてのノズル４１ａがＹ軸方向に沿って配列され、Ｙ軸方向に亘って等間隔で配置されている。 Further, the sub-nozzle unit 40 has a plurality of nozzles 41a and is arranged in a state of being aligned in one direction (Y-axis direction in the present embodiment). In this embodiment, the configuration is the same as that of the main nozzle unit 30 described above, and the arrangement of the nozzles 41a is the same as the arrangement of the nozzles 31a of the main nozzle unit 30. That is, the head modules 41 are sequentially arranged in the module casing 45 in the X-axis direction and the Y-axis direction in a stepped manner, and the three stepped head modules 41 are sequentially and repeatedly arranged in the Y-axis direction. As a result, all the nozzles 41a are arranged along the Y-axis direction when viewed in the X-axis direction as the entire head portion 21, and are arranged at equal intervals along the Y-axis direction.

また、サブノズルユニット４０は、Ｘ軸方向に見てメインノズルユニット３０のノズル３１ａ位置に対応するノズル４１ａを有している。対応するノズルとは、Ｘ軸方向に見て位置的に同一の位置に配置されるノズルを言う。図５に示す例では、ノズル３１ａ１に対応するノズルがノズル４１ａ１であり、ノズル３１ａ２に対応するノズルがノズル４１ａ２であり、ノズル３１ａ３に対応するノズルがノズル４１ａ３である。すなわち、サブノズルユニット４０の最端部のヘッドモジュール４１がメインノズルユニット３０の最端部のヘッドモジュール３１とＸ軸方向に見て同じ位置に設定されており、それぞれこれらの最端部のヘッドモジュール３１、４１を基準にして他のヘッドモジュール３１，４１が配置されている。したがって、Ｘ軸方向に見て、メインノズルユニット３０のノズル３１ａの位置とサブノズルユニット４０のノズル４１ａの位置とが一致しており、サブノズルユニット４０は、メインノズルユニット３０のノズル３１ａすべてに対して位置的に対応するノズル４１ａを有している。これにより、ヘッド部２１をＸ軸方向に移動させると、すべての設定着弾位置には、メインノズルユニット３０のノズル３１ａと、これと位置的に対応するサブノズルユニット４０のノズル４１ａとが通過することとなり、それぞれの設定着弾位置に対してメインノズルユニット３０及びサブノズルユニット４０の両方からインクを着弾させることができるようになっている。 Further, the sub-nozzle unit 40 has a nozzle 41a corresponding to the nozzle 31a position of the main nozzle unit 30 when viewed in the X-axis direction. The corresponding nozzle means a nozzle arranged at the same position when viewed in the X-axis direction. In the example shown in FIG. 5, the nozzle corresponding to the nozzle 31a1 is the nozzle 41a1, the nozzle corresponding to the nozzle 31a2 is the nozzle 41a2, and the nozzle corresponding to the nozzle 31a3 is the nozzle 41a3. That is, the head module 41 at the end of the sub-nozzle unit 40 is set at the same position as the head module 31 at the end of the main nozzle unit 30 in the X-axis direction, and the head modules at the ends of each are set. Other head modules 31, 41 are arranged with reference to 31, 41. Therefore, when viewed in the X-axis direction, the position of the nozzle 31a of the main nozzle unit 30 and the position of the nozzle 41a of the sub-nozzle unit 40 are the same, and the sub-nozzle unit 40 refers to all the nozzles 31a of the main nozzle unit 30. It has a positionally corresponding nozzle 41a. As a result, when the head portion 21 is moved in the X-axis direction, the nozzle 31a of the main nozzle unit 30 and the nozzle 41a of the sub-nozzle unit 40 corresponding to the nozzle 31a pass through all the set landing positions. Therefore, ink can be landed from both the main nozzle unit 30 and the sub nozzle unit 40 at each set landing position.

なお、メインノズルユニット３０とサブノズルユニット４０のノズル３１ａ、４１ａの配置は同一であるが、この同一とは、設計精度、組付け精度の影響は無視し、設計的に同一の位置という意味である。そして、対応するノズルとは、Ｘ軸方向（走査方向）に見て位置的に同一であり、あるノズルと設定着弾位置とに着目した場合、特定方向に１回走査させたときに、メインノズルユニット３０のノズル３１ａと、これに対応するサブノズルユニット４０のノズル４１ａの両方がその設定着弾位置にインクを着弾させることができ、インクの着弾位置に僅かなズレが生じても周りのインクと馴染んでインク同士を一体化させることができるノズル４１ａという意味である。 The arrangement of the nozzles 31a and 41a of the main nozzle unit 30 and the sub nozzle unit 40 is the same, but this same means that the positions are the same in terms of design, ignoring the influence of design accuracy and assembly accuracy. .. The corresponding nozzles are positionally the same when viewed in the X-axis direction (scanning direction), and when focusing on a certain nozzle and the set landing position, the main nozzle is scanned once in a specific direction. Both the nozzle 31a of the unit 30 and the corresponding nozzle 41a of the sub-nozzle unit 40 can land the ink at the set landing position, and even if there is a slight deviation in the landing position of the ink, it will be compatible with the surrounding ink. It means a nozzle 41a that can integrate inks with each other.

また、本実施形態のインクジェット塗布装置は装置全体の動作を統括する制御装置（不図示）を有している。この制御装置は、予め記憶されたプログラムに従って一連の塗布動作を実行すべく、各ユニットのサーボモータ、リニアモータ等の駆動装置を駆動制御するとともに塗布動作に必要な各種演算を行うものである。 Further, the inkjet coating device of the present embodiment has a control device (not shown) that controls the operation of the entire device. This control device drives and controls a drive device such as a servomotor or a linear motor of each unit in order to execute a series of coating operations according to a program stored in advance, and performs various calculations necessary for the coating operation.

この制御装置には、各ノズル３１ａ、４１ａから吐出されるインクの吐出位置（設定着弾位置）が記憶されており、この設定着弾位置がそれぞれのノズル３１ａ、４１ａ毎に設定されている。本実施形態では、図３に示すように、製品基板の多面取りに対応するように基板Ｗ上に複数の塗布膜Ｃが形成されるように設定されており、塗布膜Ｃが形成されるべき塗布領域にアライメントマークを基準とした設定着弾位置が設定されている。具体的には、Ｙ軸方向の設定着弾位置は、メインノズルユニット３０及びサブノズルユニット４０のＹ軸方向のノズル３１ａ、４１ａの間隔と同じになるように設定されており、Ｘ軸方向の設定着弾位置は、メインノズルユニット３０及びサブノズルユニット４０が１度の塗布動作（ガントリ部２２がＸ軸方向に１度走査する動作）で各塗布領域に平坦状の塗布膜Ｃが形成されるのに必要なインク量を供給できる程度に等間隔で設定されている。したがって、メインノズルユニット３０及びサブノズルユニット４０から吐出されたインクは、基板Ｗ上で互いに馴染んで一体化することにより、基板Ｗ上の所定の位置には平坦な塗布膜Ｃが形成されるようになっている。 The control device stores the ejection positions (set landing positions) of the ink ejected from the nozzles 31a and 41a, and the set landing positions are set for each of the nozzles 31a and 41a. In the present embodiment, as shown in FIG. 3, a plurality of coating films C are set to be formed on the substrate W so as to correspond to multi-chamfering of the product substrate, and the coating film C should be formed. The set landing position is set in the coating area with reference to the alignment mark. Specifically, the set landing position in the Y-axis direction is set to be the same as the distance between the nozzles 31a and 41a in the Y-axis direction of the main nozzle unit 30 and the sub-nozzle unit 40, and the set landing position in the X-axis direction is set. The position is necessary for the main nozzle unit 30 and the sub-nozzle unit 40 to form a flat coating film C in each coating region by one coating operation (an operation in which the gantry portion 22 scans once in the X-axis direction). It is set at equal intervals so that a large amount of ink can be supplied. Therefore, the inks ejected from the main nozzle unit 30 and the sub-nozzle unit 40 are integrated on the substrate W so as to form a flat coating film C at a predetermined position on the substrate W. It has become.

また、設定着弾位置に対するインクの塗布量（設定塗布量）も予め設定されており、各ノズル３１ａ、４１ａ毎に設定着弾位置に対するインクの吐出量も設定されている。この吐出量は、設定塗布量を超えない範囲で設定されている。本実施形態の吐出量は、設定塗布量の半分の量に設定されており、メインノズルユニット３０及びサブノズルユニット４０のそれぞれのノズル３１ａ、４１ａから１つの設定着弾位置に設定塗布量の半分の量のインク量が吐出されるように設定されている。すなわち、１つの設定着弾位置に対して、メインノズルユニット３０とサブノズルユニット４０の両方からインクが吐出されることにより設定着弾位置に対して設定塗布量のインクが供給されるようになっている。したがって、図６に示すように、１つの塗布領域についてみると、メインノズルユニット３０が通過した領域には、設定着弾位置に設定塗布量の半分のインクが供給される（図６において薄い色を付けた範囲）。そして、メインノズルユニット３０が通過した塗布領域に、今度はサブノズルユニット４０が通過することにより、残りの半分のインクが供給される（図６において濃い色を付けた範囲）。このように、メインノズルユニット３０及びサブノズルユニット４０からインクを吐出しつつガントリ部２２がＸ軸方向に１度走行することにより、すべての設定着弾位置には、メインノズルユニット３０から設定塗布量の半分の塗布量のインクが供給され、次いでサブノズルユニット４０から設定塗布量の半分の塗布量のインクが供給されることにより、供給されたインクが互いに馴染んで一体化し、基板Ｗ上の所定の位置に平坦な塗布膜Ｃが形成されるようになっている。 Further, the amount of ink applied to the set landing position (set amount of coating) is also set in advance, and the amount of ink ejected to the set landing position is also set for each of the nozzles 31a and 41a. This discharge amount is set within a range that does not exceed the set coating amount. The discharge amount of the present embodiment is set to half the set coating amount, and half the amount of the set coating amount is set at one set landing position from the nozzles 31a and 41a of the main nozzle unit 30 and the sub nozzle unit 40, respectively. The amount of ink is set to be ejected. That is, ink is ejected from both the main nozzle unit 30 and the sub-nozzle unit 40 for one set landing position, so that a set coating amount of ink is supplied to the set landing position. Therefore, as shown in FIG. 6, when looking at one coating area, half of the set coating amount of ink is supplied to the set landing position in the region where the main nozzle unit 30 has passed (a light color in FIG. 6). Attached range). Then, the sub-nozzle unit 40 passes through the coating area through which the main nozzle unit 30 has passed, so that the other half of the ink is supplied (the dark colored range in FIG. 6). In this way, the gantry unit 22 travels once in the X-axis direction while ejecting ink from the main nozzle unit 30 and the sub-nozzle unit 40, so that all the set landing positions have the set coating amount from the main nozzle unit 30. Half of the coating amount of ink is supplied, and then half of the set coating amount of ink is supplied from the sub-nozzle unit 40, so that the supplied inks become familiar with each other and are integrated, and a predetermined position on the substrate W. A flat coating film C is formed on the surface.

次にこのインクジェット塗布装置における動作について図７のフローチャートに基づいて説明する。 Next, the operation in this inkjet coating device will be described with reference to the flowchart of FIG.

まず、ステップＳ１により基板Ｗが搬入される。具体的には、ロボットハンド等により基板Ｗがステージ１０上に載置される。基板Ｗがステージ１０に載置されると、ステージ１０の吸引孔に吸引力を発生させることによりステージ１０上に基板Ｗが吸着保持される。そして、基板Ｗのアライメントマークが取り込まれ、このアライメントマークを基準に設定着弾位置が補正される。すなわち、ステージ１０上の基板に対して、各ノズル３１ａ、４１ａ毎に設定着弾位置、及び、吐出量（本実施形態では設定塗布量の半分）が設定される。 First, the substrate W is carried in by step S1. Specifically, the substrate W is placed on the stage 10 by a robot hand or the like. When the substrate W is placed on the stage 10, the substrate W is attracted and held on the stage 10 by generating a suction force in the suction holes of the stage 10. Then, the alignment mark of the substrate W is taken in, and the set landing position is corrected based on this alignment mark. That is, the set landing position and the discharge amount (half of the set coating amount in this embodiment) are set for each of the nozzles 31a and 41a with respect to the substrate on the stage 10.

なお、次の第１塗布工程に入る前に、テスト基板上に各ノズル３１ａ、４１ａから吐出を行って不吐出ノズルの有無の確認が行われる。 Before entering the next first coating step, discharge is performed from the nozzles 31a and 41a on the test substrate, and the presence or absence of non-discharge nozzles is confirmed.

次に、ステップＳ２により塗布工程が行われる。すなわち、ガントリ部２２がＸ方向に移動すると共にメインノズルユニット３０から設定着弾位置にインクＰが吐出される。この塗布工程は、第１塗布工程と第２塗布工程を有しており、それぞれの設定着弾位置に第１塗布工程と第２塗布工程を経ることで設定着弾位置へのインクの供給が完了する。すなわち、第１塗布工程により、すべての設定着弾位置に着弾が完了するのを待つことなく、第１塗布工程によりインクが着弾された設定着弾位置から順に第２塗布工程が開始されインクが着弾される。本実施形態では、メインノズルユニット３０とサブノズルユニット４０とが隣接して設けられているため、第１塗布工程で着弾してインクが供給された後、すぐに第２塗布工程によりその設定着弾位置にインクが供給される。 Next, the coating step is performed in step S2. That is, the gantry portion 22 moves in the X direction, and the ink P is ejected from the main nozzle unit 30 to the set landing position. This coating step includes a first coating step and a second coating step, and the supply of ink to the set landing position is completed by passing through the first coating step and the second coating step at each set landing position. .. That is, the second coating step is started in order from the set landing position where the ink was landed by the first coating step, and the ink is landed, without waiting for the landing to be completed at all the set landing positions by the first coating step. Ink. In the present embodiment, since the main nozzle unit 30 and the sub nozzle unit 40 are provided adjacent to each other, the landing position set by the second coating step immediately after landing in the first coating step and the ink is supplied. Ink is supplied to.

具体的には、第１塗布工程では、メインノズルユニット３０の各ノズル３１ａから、各ノズル３１ａに設定された設定着弾位置に設定塗布量の半分のインクＰが吐出される。これにより、メインノズルユニット３０が通過した塗布領域には、すべての設定着弾位置に設定塗布量の半分のインクＰが塗布される。そして、基板Ｗ上に塗布されたインクＰは、着弾位置から濡れ広がり（図８（ａ））、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に隣り合う設定着弾位置に着弾したインクＰと馴染み合って一体化されたインク集合体Ｃ’が形成される（図８（ｂ））。 Specifically, in the first coating step, half of the set coating amount of ink P is ejected from each nozzle 31a of the main nozzle unit 30 to the set landing position set for each nozzle 31a. As a result, half of the set coating amount of ink P is applied to all the set landing positions in the coating area through which the main nozzle unit 30 has passed. Then, the ink P applied on the substrate W spreads wet from the landing position (FIG. 8A), and becomes familiar with and integrated with the ink P landed at the set landing positions adjacent to each other in the X-axis direction and the Y-axis direction. The ink aggregate C'is formed (FIG. 8 (b)).

そして、第１塗布工程により着弾された設定着弾位置に対し、第２塗布工程が行われる。すなわち、ガントリ部２２がＸ軸方向に移動すると共にサブノズルユニット４０から設定着弾位置にインクＰが吐出される。本実施形態では、サブノズルユニット４０がメインノズルユニット３０に隣接して設けられているため、メインノズルユニット３０から設定着弾位置に塗布されると、その直後、すなわち、インク集合体Ｃ’が乾燥する前にサブノズルユニット４０からインクＰが吐出される。具体的には、サブノズルユニット４０の各ノズル４１ａから、各ノズル４１ａに設定された設定着弾位置に設定塗布量の半分のインクＰが吐出される。すなわち、メインノズルユニット３０がすでに着弾させた設定着弾位置に設定塗布量の半分のインクＰが吐出される。これにより、サブノズルユニット４０が通過した塗布領域には、すべての設定着弾位置に設定塗布量のインクＰが塗布される。具体的には、基板Ｗ上（正確には、メインノズルユニット３０により吐出されたインクＰ上）に塗布されたインクＰは、着弾位置から濡れ広がり（図８（ｃ））、メインノズルユニット３０により形成されたインク集合体Ｃ’、及び、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に隣り合う設定着弾位置に着弾したインクＰと馴染み合って一体化されることにより（図８（ｄ））、基板Ｗ上には平坦な塗布膜Ｃが形成される。 Then, the second coating step is performed with respect to the set landing position landed by the first coating step. That is, the gantry portion 22 moves in the X-axis direction, and the ink P is ejected from the sub-nozzle unit 40 to the set landing position. In the present embodiment, since the sub-nozzle unit 40 is provided adjacent to the main nozzle unit 30, when the sub-nozzle unit 40 is applied to the set landing position from the main nozzle unit 30, immediately after that, that is, the ink aggregate C'is dried. Ink P is ejected from the sub-nozzle unit 40 before. Specifically, half of the set coating amount of ink P is ejected from each nozzle 41a of the sub-nozzle unit 40 to the set landing position set for each nozzle 41a. That is, half of the set coating amount of ink P is ejected to the set landing position that the main nozzle unit 30 has already landed. As a result, the set coating amount of ink P is applied to all the set landing positions in the coating area through which the sub-nozzle unit 40 has passed. Specifically, the ink P applied on the substrate W (to be exact, on the ink P ejected by the main nozzle unit 30) wets and spreads from the landing position (FIG. 8 (c)), and the main nozzle unit 30 By being integrated with the ink aggregate C'formed by the above and the ink P landed at the set landing positions adjacent to each other in the X-axis direction and the Y-axis direction (FIG. 8 (d)), the substrate W A flat coating film C is formed on the top.

ここで、不吐出ノズル３１ａ、４１ａの存在をテスト基板上で確認した後、突然、不吐出ノズル３１ａ、４１ａが発生した場合でも、不吐出ノズル４１ａが発生しない場合と同様に平坦な塗布膜Ｃが形成される。すなわち、例えば、メインノズルユニット３０の１つのノズル３１ａからインクＰが吐出されない場合、図９に示すように、メインノズルユニット３０から設定着弾位置にインクＰが吐出されると、吐出されたインクＰ同士が馴染んで一体化される一方で、不吐出ノズル３１ａの部分だけが未塗布領域ｆとして形成される。すなわち、通常通り、設定着弾位置に吐出されたインクＰは、隣接するインクＰと馴染み合って一体化されることにより、未塗布領域ｆを挟んでインクＰのインク集合体Ｃ’が形成されるが、未塗布領域ｆにはインクＰが存在しないため、これらのインク集合体Ｃ’同士は表面張力を打ち破って一体化されることはなく、このままでは未塗布領域ｆが筋ムラとして残ってしまう（図９（ａ））。しかし、次のサブノズルユニット４０には、不吐出ノズル４１ａに対応するノズル４１ａが存在しており、サブノズルユニット４０から設定着弾位置にインクＰを吐出されると、不吐出ノズル４１ａの対応ノズル４１ａから未塗布領域ｆにインクＰが吐出される（図９（ｂ））。これにより、未塗布領域ｆを挟んで形成されていたインク集合体Ｃ’と、未塗布領域ｆにサブノズルユニット４０から吐出されたインクＰとが馴染み合うことにより、未塗布領域ｆを境界に分裂していたインク集合体Ｃ’が１つの塗布膜として一体化される（図９（ｃ））。そして、未塗布領域ｆでは、インク量が設定塗布量に満たないものの、不足するインク量は周りのインク量に比べて非常に僅かな量であるため、周りのインク集合体Ｃ’と補い合って１つの塗布膜Ｃとして形成される。そして、一体化されたインク集合体Ｃ’には表面張力が作用することにより、最終的に全体として平坦な塗布膜Ｃに形成される（図９（ｄ））。 Here, after confirming the existence of the non-ejection nozzles 31a and 41a on the test substrate, even if the non-ejection nozzles 31a and 41a suddenly occur, the flat coating film C is the same as when the non-ejection nozzles 41a do not occur. Is formed. That is, for example, when the ink P is not ejected from one nozzle 31a of the main nozzle unit 30, when the ink P is ejected from the main nozzle unit 30 at the set landing position, as shown in FIG. 9, the ejected ink P While they are familiar and integrated with each other, only the portion of the non-ejection nozzle 31a is formed as the uncoated region f. That is, as usual, the ink P ejected at the set landing position is integrated with the adjacent ink P so that the ink aggregate C'of the ink P is formed across the uncoated area f. However, since the ink P does not exist in the uncoated region f, these ink aggregates C'are not integrated by breaking the surface tension, and the uncoated region f remains as streak unevenness as it is. (Fig. 9 (a)). However, the next sub-nozzle unit 40 has a nozzle 41a corresponding to the non-ejection nozzle 41a, and when the ink P is ejected from the sub-nozzle unit 40 to the set landing position, the corresponding nozzle 41a of the non-ejection nozzle 41a Ink P is ejected to the uncoated area f (FIG. 9B). As a result, the ink aggregate C'formed across the uncoated region f and the ink P ejected from the sub-nozzle unit 40 become familiar with the uncoated region f, thereby splitting the uncoated region f as a boundary. The ink aggregate C'that has been formed is integrated as one coating film (FIG. 9 (c)). Then, in the uncoated area f, although the amount of ink is less than the set coating amount, the insufficient amount of ink is very small compared to the amount of surrounding ink, so that it complements the surrounding ink aggregate C'. It is formed as one coating film C. Then, a surface tension acts on the integrated ink aggregate C'to finally form a flat coating film C as a whole (FIG. 9 (d)).

また、サブノズルユニット４０に不吐出ノズル４１ａが発生した場合も同様に、メインノズルユニット３０から設定着弾位置にインクＰが吐出されることにより、設定塗布量の半分のインク量でインク集合体Ｃ’が形成される（図１０（ａ））。その後、サブノズルユニット４０から設定着弾位置にインクＰが吐出される（図１０（ｂ））。吐出されたインクＰは、メインノズルユニット３０により形成されたインク集合体Ｃ’、及び、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に隣り合う設定着弾位置に着弾したインクＰと馴染み合って一体化される（図１０（ｃ））。ここで、不吐出ノズル４１ａの設定着弾位置にはインクＰが吐出されないため、不吐出ノズル４１ａの設定着弾位置には、設定塗布量の半分のインク量しかなく、周りに比べてインク量が不足する。しかし、不足するインク量は周りのインク量に比べて非常に僅かな量であるため、周りのインク集合体Ｃ’と補い合って１つの塗布膜Ｃとして形成される。そして、一体化されたインク集合体Ｃ’には表面張力が作用することにより、全体として平坦な塗布膜Ｃに形成される（図１０（ｄ））。 Similarly, when the non-ejection nozzle 41a occurs in the sub-nozzle unit 40, the ink P is ejected from the main nozzle unit 30 to the set landing position, so that the ink aggregate C'is half the set coating amount. Is formed (FIG. 10 (a)). After that, the ink P is ejected from the sub-nozzle unit 40 to the set landing position (FIG. 10 (b)). The ejected ink P is integrated with the ink aggregate C'formed by the main nozzle unit 30 and the ink P landed at the set landing positions adjacent to each other in the X-axis direction and the Y-axis direction ( FIG. 10 (c). Here, since the ink P is not ejected to the set landing position of the non-ejection nozzle 41a, the ink amount is only half of the set coating amount at the set landing position of the non-ejection nozzle 41a, and the ink amount is insufficient compared to the surroundings. To do. However, since the amount of ink that is insufficient is very small compared to the amount of surrounding ink, it is formed as one coating film C by compensating with the surrounding ink aggregate C'. Then, a surface tension acts on the integrated ink aggregate C'to form a flat coating film C as a whole (FIG. 10 (d)).

次に、ステップＳ３により、基板Ｗの排出が行われる。具体的には、ロボットハンド等によりステージ１０に載置された基板Ｗが排出され、基板Ｗは後工程である乾燥装置に搬送される。 Next, the substrate W is discharged in step S3. Specifically, the substrate W placed on the stage 10 is discharged by a robot hand or the like, and the substrate W is conveyed to a drying device which is a subsequent process.

このように、上記実施形態におけるインクジェット塗布装置によれば、メインノズルユニット３０とは別にサブノズルユニット４０が設けられているため、メインノズルユニット３０又はサブノズルユニット４０に吐出不良ノズル３１ａ、４１ａが存在した場合や塗布中に不吐出ノズル４１ａが発生した場合のいずれであっても、塗布膜Ｃに筋ムラが形成されるのを抑えることができる。 As described above, according to the inkjet coating apparatus in the above embodiment, since the sub-nozzle unit 40 is provided separately from the main nozzle unit 30, the main nozzle unit 30 or the sub-nozzle unit 40 has ejection failure nozzles 31a and 41a. In either case or when the non-ejection nozzle 41a is generated during coating, it is possible to suppress the formation of streak unevenness in the coating film C.

また、上記実施形態では、メインノズルユニット３０とサブノズルユニット４０のモジュールケーシング３５，４５を独立させて設ける例について説明したが、モジュールケーシング３５，４５を共用にしてメインノズルユニット３０及びサブノズルユニット４０を設けるものであってもよい。すなわち、図１１に示すように、メインノズルユニット３０は、共通のモジュールケーシングに、図１１において白抜きのヘッドモジュール３１で形成されている。そして、ヘッドモジュール３１は、ヘッドモジュール３１の両端部分の寸法分を相殺できるように階段状に配置されており、この階段状に配置されたヘッドモジュール３１がＹ軸方向に繰り返し配列されている。すなわち、上記実施形態同様に、これらのヘッドモジュール３１の各ノズル３１ａは、Ｘ軸方向に見て等間隔に配置されている。 Further, in the above embodiment, an example in which the module casings 35 and 45 of the main nozzle unit 30 and the sub nozzle unit 40 are provided independently has been described, but the module casings 35 and 45 are shared to provide the main nozzle unit 30 and the sub nozzle unit 40. It may be provided. That is, as shown in FIG. 11, the main nozzle unit 30 is formed in a common module casing by a white head module 31 in FIG. The head modules 31 are arranged in a staircase pattern so that the dimensions of both end portions of the head module 31 can be offset, and the head modules 31 arranged in a staircase pattern are repeatedly arranged in the Y-axis direction. That is, as in the above embodiment, the nozzles 31a of these head modules 31 are arranged at equal intervals when viewed in the X-axis direction.

また、サブノズルユニット４０は、図１１においてハッチングを施した複数のヘッドモジュール４１で形成されており、共通のモジュールケーシング５５に、メインノズルユニット３０のヘッドモジュール３１に隣接して配置されている。そして、ヘッドモジュール４１のノズル４１ａの配置は、メインノズルユニット３０のノズル３１ａ配置と同一に形成されており、Ｘ軸方向に見て、ノズル４１ａは、Ｙ軸方向に亘って等間隔で配置されるノズル３１ａと同一の位置に配置されている。すなわち、サブノズルユニット４０は、メインノズルユニット３０のノズル３１ａすべてに対して位置的に対応するノズル４１ａを有するように形成されている（例えば、ノズル３１ａ１とノズル４１ａ１）。このような構成であっても、メインノズルユニット３０又はサブノズルユニット４０に吐出不良ノズル３１ａ、４１ａが存在した場合であっても、塗布膜Ｃに筋ムラが形成されるのを抑えることができる。そして、このような構成であれば、メインノズルユニット３０のヘッドモジュール３１とサブノズルユニット４０のヘッドモジュール４１とが隣接しており、上記実施形態に比べて、メインノズルユニット３０のノズル３１ａと、これに対応するサブノズルユニット４０のノズル４１ａとの距離を小さくすることができるため、ノズル３１ａからインクを着弾させた後、すぐにノズル４１ａからインクを着弾させることができる。したがって、メインノズルユニット３０から着弾させたインクが乾燥する前にサブノズルユニット４０からインクを着弾させることができるため、速乾性のインクを使用する場合に有効である。 Further, the sub-nozzle unit 40 is formed of a plurality of hatched head modules 41 in FIG. 11, and is arranged in a common module casing 55 adjacent to the head module 31 of the main nozzle unit 30. The arrangement of the nozzles 41a of the head module 41 is the same as the arrangement of the nozzles 31a of the main nozzle unit 30, and the nozzles 41a are arranged at equal intervals in the Y-axis direction when viewed in the X-axis direction. It is arranged at the same position as the nozzle 31a. That is, the sub-nozzle unit 40 is formed so as to have nozzles 41a that correspond to all the nozzles 31a of the main nozzle unit 30 (for example, nozzles 31a1 and nozzles 41a1). Even with such a configuration, even when the ejection defective nozzles 31a and 41a are present in the main nozzle unit 30 or the sub nozzle unit 40, it is possible to suppress the formation of streak unevenness in the coating film C. With such a configuration, the head module 31 of the main nozzle unit 30 and the head module 41 of the sub-nozzle unit 40 are adjacent to each other, and the nozzle 31a of the main nozzle unit 30 and this Since the distance between the sub-nozzle unit 40 and the nozzle 41a corresponding to the above can be reduced, the ink can be landed from the nozzle 41a immediately after the ink is landed from the nozzle 31a. Therefore, since the ink landed from the main nozzle unit 30 can be landed from the sub-nozzle unit 40 before the ink landed from the main nozzle unit 30, it is effective when the quick-drying ink is used.

また、上記実施形態では、メインノズルユニット３０及びサブノズルユニット４０双方のノズルがＸ軸方向において、１本ずつである例について説明したが、図１２に示すように、Ｘ軸方向において複数本存在するものであってもよい。すなわち、メインノズルユニット３０は、複数のヘッドモジュール３１（図１２の例では３つのヘッドモジュール３１）をＸ軸方向に重ねて形成されるモジュールユニット３２を有している。すなわち、モジュールユニット３２のノズル３１ａは、Ｘ軸方向に複数本存在しており、かつ、Ｘ軸方向に見て、同一の位置に等間隔で配置されている。そして、モジュールユニット３２が階段状に配置され、Ｙ軸方向に繰り返し配列されて形成されている。すなわち、ヘッドモジュール３１の複数のノズル３１ａの配列方向をＹ軸方向に一致させて、ヘッドモジュール３１の両端部分の寸法分を相殺できるようにモジュールユニット３２を階段状に配置することにより、Ｘ軸方向に見てモジュールユニット３２のノズル３１ａがＹ軸方向に等間隔に配置される。すなわち、メインノズルユニット３０のヘッドモジュール３１の各ノズル３１ａは、Ｘ軸方向に複数本存在しており、かつ、Ｘ軸方向に見て等間隔に配置されている。 Further, in the above embodiment, an example in which both the main nozzle unit 30 and the sub nozzle unit 40 have one nozzle each in the X-axis direction has been described, but as shown in FIG. 12, there are a plurality of nozzles in the X-axis direction. It may be a thing. That is, the main nozzle unit 30 has a module unit 32 formed by stacking a plurality of head modules 31 (three head modules 31 in the example of FIG. 12) in the X-axis direction. That is, a plurality of nozzles 31a of the module unit 32 exist in the X-axis direction, and are arranged at the same positions at equal intervals when viewed in the X-axis direction. The module units 32 are arranged in a staircase pattern and are repeatedly arranged in the Y-axis direction. That is, by aligning the arrangement directions of the plurality of nozzles 31a of the head module 31 in the Y-axis direction and arranging the module units 32 in a stepped manner so that the dimensions of both end portions of the head module 31 can be offset, the X-axis The nozzles 31a of the module unit 32 are arranged at equal intervals in the Y-axis direction when viewed in the direction. That is, a plurality of nozzles 31a of the head module 31 of the main nozzle unit 30 exist in the X-axis direction, and are arranged at equal intervals in the X-axis direction.

また、サブノズルユニット４０は、複数のノズル４１ａを有しており、一方向（本実施形態ではＹ軸方向）に整列した状態で配置されている。本実施形態では、上述のメインノズルユニット３０と同様の構成を有しており、ノズル４１ａの配置はメインノズルユニット３０のノズル４１ａ配置と同一に形成されている。すなわち、サブノズルユニット４０は、複数のヘッドモジュール４１（図１２の例では３つのヘッドモジュール４１）をＸ軸方向に重ねて形成されるモジュールユニット４２を有している。そして、このモジュールユニット４２がＸ軸方向及びＹ軸方向に順次ずらして階段状に配置され、この階段状のモジュールユニット４２がＹ軸方向に順次繰り返して配置されている。すなわち、サブノズルユニット４０のヘッドモジュール４１の各ノズル４１ａは、Ｘ軸方向に複数本存在しており、かつ、Ｘ軸方向に見て等間隔に配置されている。これにより、ヘッド部２１全体として、Ｘ軸方向に見て、すべてのノズル３１ａ、４１ａがＹ軸方向に沿って配列され、Ｙ軸方向に亘って等間隔で配置されている。そして、メインノズルユニット３０のノズル３１ａ１に対応するノズルが、サブノズルユニット４０のノズル４１ａ１であり、同様にノズル３１ａ２に対応するノズルがノズル４１ａ２となるように、サブノズルユニット４０には、メインノズルユニット３０の各ノズル３１ａに対応するノズル４１ａが存在している。 Further, the sub-nozzle unit 40 has a plurality of nozzles 41a and is arranged in a state of being aligned in one direction (Y-axis direction in the present embodiment). In the present embodiment, it has the same configuration as the main nozzle unit 30 described above, and the arrangement of the nozzles 41a is the same as the arrangement of the nozzles 41a of the main nozzle unit 30. That is, the sub-nozzle unit 40 has a module unit 42 formed by stacking a plurality of head modules 41 (three head modules 41 in the example of FIG. 12) in the X-axis direction. The module units 42 are sequentially displaced in the X-axis direction and the Y-axis direction and arranged in a staircase pattern, and the staircase-shaped module units 42 are sequentially and repeatedly arranged in the Y-axis direction. That is, a plurality of nozzles 41a of the head module 41 of the sub-nozzle unit 40 exist in the X-axis direction, and are arranged at equal intervals in the X-axis direction. As a result, all the nozzles 31a and 41a are arranged along the Y-axis direction as a whole of the head portion 21 when viewed in the X-axis direction, and are arranged at equal intervals in the Y-axis direction. The main nozzle unit 30 is attached to the sub-nozzle unit 40 so that the nozzle corresponding to the nozzle 31a1 of the main nozzle unit 30 is the nozzle 41a1 of the sub-nozzle unit 40 and the nozzle corresponding to the nozzle 31a2 is the nozzle 41a2. There is a nozzle 41a corresponding to each nozzle 31a.

このように、Ｘ軸方向において複数本存在する場合には、不吐出ノズルが発生した場合に筋ムラが形成されてしまう問題をさらに抑えることができる。すなわち、メインノズルユニット３０及びサブノズルユニット４０は、１回の走査で塗布膜Ｃを形成するため、上記実施形態のようにＸ軸方向にノズル３１ａ、４１ａが１本しかない場合には不吐出ノズルが存在するとＸ軸方向に不吐出領域が線状に形成される（図１３参照）。ところが、本実施形態のようにＸ軸方向にノズル３１ａ、４１ａを複数本備える場合には、Ｘ軸方向に延びる不吐出領域上に他のＸ軸方向に見て同一位置にあるノズル３１ａ、４１ａからインクを吐出することができるため、不吐出領域におけるインクの不足量を上記実施形態に比べて少なくすることができる。したがって、不吐出ノズルが存在しても塗布領域全体として設定着弾位置の設定塗布量に近いインク量を供給することができるため、より効果的に筋ムラが形成されるのを抑えることができる。 As described above, when a plurality of nozzles are present in the X-axis direction, it is possible to further suppress the problem that streak unevenness is formed when non-ejection nozzles occur. That is, since the main nozzle unit 30 and the sub nozzle unit 40 form the coating film C in one scanning, when there is only one nozzle 31a and 41a in the X-axis direction as in the above embodiment, the non-ejection nozzle Is present, a non-ejection region is formed linearly in the X-axis direction (see FIG. 13). However, when a plurality of nozzles 31a and 41a are provided in the X-axis direction as in the present embodiment, the nozzles 31a and 41a are located at the same position in the other X-axis directions on the non-ejection region extending in the X-axis direction. Since the ink can be ejected from the ink, the amount of ink shortage in the non-ejection region can be reduced as compared with the above-described embodiment. Therefore, even if the non-ejection nozzle is present, the ink amount close to the set coating amount at the set landing position can be supplied as the entire coating area, so that it is possible to more effectively suppress the formation of streak unevenness.

また、上記実施形態では、メインノズルユニット３０及びサブノズルユニット４０から吐出されるインクＰの塗布量が、設定塗布量の半分の量である場合について説明したが、設定塗布量よりも少ない量であって、メインノズルユニット３０及びサブノズルユニット４０の塗布量の合計が設定塗布量に設定されていればよい。例えば、メインノズルユニットから設定塗布量の７０％のインク量を吐出し、サブノズルユニット４０から残りの３０％のインク量を吐出するものであってもよい。なお、上記実施形態のように設定塗布量の半分に設定されていれば、メインノズルユニット３０又はサブノズルユニット４０のいずれに不吐出ノズル３１ａ、４１ａが発生しても、不吐出ノズル３１ａ、４１ａの設定着弾位置におけるインクＰが周りのインクＰと馴染む環境が同じ環境になり、不吐出ノズル３１ａ、４１ａが起因する筋ムラが形成されにくくすることができる。 Further, in the above embodiment, the case where the coating amount of the ink P ejected from the main nozzle unit 30 and the sub nozzle unit 40 is half the set coating amount has been described, but the amount is smaller than the set coating amount. Therefore, the total coating amount of the main nozzle unit 30 and the sub nozzle unit 40 may be set to the set coating amount. For example, the main nozzle unit may eject an ink amount of 70% of the set coating amount, and the sub nozzle unit 40 may eject the remaining 30% of the ink amount. If the coating amount is set to half as in the above embodiment, even if the non-ejection nozzles 31a and 41a occur in either the main nozzle unit 30 or the sub-nozzle unit 40, the non-ejection nozzles 31a and 41a The environment in which the ink P at the set landing position is compatible with the surrounding ink P becomes the same environment, and it is possible to prevent the formation of streak unevenness caused by the non-ejection nozzles 31a and 41a.

また、上記実施形態では、メインノズルユニット３０とサブノズルユニット４０とのノズル３１ａ、４１ａ配置が同一の場合について説明したが、完全に同一にする必要はなく、特定方向に見て、サブノズルユニット４０に、メインノズルユニット３０の各ノズル３１ａに対応するノズル４１ａが存在していればよい。すなわち、特定方向の１回の走査により、それぞれの設定着弾位置に、メインノズルユニット３０のノズル３１ａとサブノズルユニット４０のノズル４１ａから１度ずつ吐出できるように構成されていればよい。 Further, in the above embodiment, the case where the nozzles 31a and 41a of the main nozzle unit 30 and the sub nozzle unit 40 are arranged in the same manner has been described, but it is not necessary to make them completely the same, and the sub nozzle unit 40 is viewed in a specific direction. It is sufficient that the nozzles 41a corresponding to each nozzle 31a of the main nozzle unit 30 exist. That is, it suffices that the nozzle 31a of the main nozzle unit 30 and the nozzle 41a of the sub-nozzle unit 40 can be ejected once at each set landing position by one scanning in a specific direction.

また、上記実施形態では、メインノズルユニット３０及びサブノズルユニット４０は、ガントリ部２２の特定方向の一方側に設けられ、メインノズルユニット３０とサブノズルユニット４０は、特定方向に隣接して配置されている例について説明したが、メインノズルユニット３０とサブノズルユニット４０とがガントリ部２２を挟んで特定方向に異なる側に位置するように設けるものであってもよい。また、メインノズルユニット３０とサブノズルユニット４０とを別々の独立したガントリ部２２に設けるものであってもよい。いずれの場合でも、特定方向に見て、サブノズルユニット４０に、メインノズルユニット３０の各ノズル４１ａに対応するノズル４１ａが存在するように配置されていればよい。なお、上記実施形態のように、メインノズルユニット３０とサブノズルユニット４０とが隣接する位置に配置されていれば、メインノズルユニット３０から設定着弾位置に吐出された後、すぐにサブノズルユニット４０から当該設定着弾位置にインクを吐出することができるため、速乾性のインクを用いる場合には有効である。 Further, in the above embodiment, the main nozzle unit 30 and the sub nozzle unit 40 are provided on one side of the gantry portion 22 in a specific direction, and the main nozzle unit 30 and the sub nozzle unit 40 are arranged adjacent to each other in the specific direction. Although an example has been described, the main nozzle unit 30 and the sub nozzle unit 40 may be provided so as to be located on different sides in a specific direction with the gantry portion 22 interposed therebetween. Further, the main nozzle unit 30 and the sub nozzle unit 40 may be provided in separate and independent gantry portions 22. In any case, when viewed in a specific direction, the sub-nozzle unit 40 may be arranged so that the nozzles 41a corresponding to the nozzles 41a of the main nozzle unit 30 exist. If the main nozzle unit 30 and the sub-nozzle unit 40 are arranged at adjacent positions as in the above embodiment, the sub-nozzle unit 40 immediately ejects the ink from the main nozzle unit 30 to the set landing position. Since ink can be ejected to the set landing position, it is effective when quick-drying ink is used.

また、上記実施形態では、基板Ｗ上の塗布領域に直接インクを吐出して塗布膜Ｃを形成する例について説明したが、インクの流動性が高い場合には、次の塗布工程に入る前に、インクの濡れ広がりを抑えるために、上記インクジェット塗布装置によってそれぞれの塗布領域を囲う枠状部を形成し、その後、上記塗布工程で枠状部内にインクを吐出して塗布膜Ｃを形成するものであってもよい。 Further, in the above embodiment, an example in which the ink is directly ejected to the coating region on the substrate W to form the coating film C has been described, but when the fluidity of the ink is high, before starting the next coating step. In order to suppress the wet spread of the ink, a frame-shaped portion surrounding each coating region is formed by the above-mentioned inkjet coating device, and then the ink is ejected into the frame-shaped portion in the above-mentioned coating step to form the coating film C. It may be.

２ 塗布ユニット
１０ ステージ
２１ ヘッド部
２２ ガントリ部
３０ メインノズルユニット
３１ａ ノズル（メインノズルユニット）
４０ サブノズルユニット
４１ａ ノズル（サブノズルユニット）
Ｗ 基板
Ｃ 塗布膜
Ｃ’ インク集合体
Ｐ インク
ｆ 未塗布領域 2 Coating unit 10 Stage 21 Head part 22 Gantry part 30 Main nozzle unit 31a Nozzle (main nozzle unit)
40 Sub-nozzle unit 41a Nozzle (sub-nozzle unit)
W Substrate C Coating film C'Ink aggregate P Ink f Uncoated area

Claims (5)

インクを吐出する複数のノズルを有する塗布ユニットと、
基板を載置するステージと、
を備え、前記塗布ユニットと前記ステージとを特定方向に相対的に移動させつつ、予め設定された基板上の設定着弾位置に、この設定着弾位置毎に設定された設定塗布量のインクが供給されることにより基板上に塗布膜を形成するインクジェット塗布装置であって、
前記塗布ユニットは、複数のノズルを有するメインノズルユニットと、
前記特定方向に見て少なくとも前記メインノズルユニットのノズル位置に対応するノズルを有し、前記メインノズルユニットと同種のインクを吐出するサブノズルユニットと、
を備え、
前記サブノズルユニットは、前記メインノズルユニットと同じノズル配置を有しており、前記サブノズルユニットの各ノズルは、メインノズルユニットの各ノズルに対して特定方向に一致して設けられ、
前記メインノズルユニットで吐出する着弾位置と、前記サブノズルユニットで吐出する着弾位置とが同じ前記設定着弾位置に設定されており、
前記設定着弾位置には、前記メインノズルユニット及び前記サブノズルユニットのそれぞれ１度ずつインクが吐出されることにより前記設定塗布量のインクが供給されることを特徴とするインクジェット塗布装置。 A coating unit with multiple nozzles that eject ink,
The stage on which the board is placed and
The coating unit and the stage are relatively moved in a specific direction, and the ink of the set coating amount set for each set landing position is supplied to the preset landing position on the substrate. This is an inkjet coating device that forms a coating film on a substrate.
The coating unit includes a main nozzle unit having a plurality of nozzles and
A sub-nozzle unit having a nozzle corresponding to at least the nozzle position of the main nozzle unit when viewed in the specific direction and ejecting ink of the same type as the main nozzle unit.
With
The sub-nozzle unit has the same nozzle arrangement as the main nozzle unit, and each nozzle of the sub-nozzle unit is provided in a specific direction with respect to each nozzle of the main nozzle unit.
The landing position discharged by the main nozzle unit and the landing position discharged by the sub nozzle unit are set to the same set landing position.
An inkjet coating device, characterized in that the set coating amount of ink is supplied to the set landing position by ejecting ink once for each of the main nozzle unit and the sub nozzle unit. 前記メインノズルユニットのノズルから吐出される吐出量は、前記設定塗布量の半分の量であり、前記サブノズルユニットのノズルから吐出される吐出量は、前記設定塗布量の半分の量であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット塗布装置。 The discharge amount discharged from the nozzle of the main nozzle unit is half the amount of the set coating amount, and the discharge amount discharged from the nozzle of the sub nozzle unit is half the amount of the set coating amount. The inkjet coating apparatus according to claim 1. 前記塗布ユニットは、特定方向と直交する方向に延びるガントリ部を有しており、このガントリ部と前記ステージとは相対的に特定方向に移動するように形成されており、前記メインノズルユニット及び前記サブノズルユニットは、前記ガントリ部の特定方向の一方側に設けられ、前記メインノズルユニットと前記サブノズルユニットは、特定方向に隣接して配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェット塗布装置。 The coating unit has a gantry portion extending in a direction orthogonal to a specific direction, and the gantry portion and the stage are formed so as to relatively move in a specific direction, and the main nozzle unit and the said The first or second aspect of the present invention, wherein the sub-nozzle unit is provided on one side of the gantry portion in a specific direction, and the main nozzle unit and the sub-nozzle unit are arranged adjacent to each other in the specific direction. Inkjet coating device. インクを吐出する複数のノズルを有する塗布ユニットと、
基板を載置するステージと、
を備え、前記塗布ユニットと前記ステージとを特定方向に相対的に一回移動させつつ、予め設定された基板上の設定着弾位置に、この設定着弾位置毎に設定された設定塗布量のインクを塗布して基板上に塗布膜を形成する塗布方法であって、
前記塗布ユニットは、複数のノズルを有するメインノズルユニットと前記メインノズルユニットと同種のインクを吐出するサブノズルユニットとを有しており、前記サブノズルユニットは、前記メインノズルユニットと同じノズル配置を有しており、前記サブノズルユニットの各ノズルは、メインノズルユニットの各ノズルに対して特定方向に一致して設けられ、前記メインノズルユニットの各ノズルから、前記設定着弾位置に前記設定塗布量よりも少量のインクを１度のみ吐出する第１塗布工程と、
前記サブノズルユニットの各ノズルから、前記設定着弾位置に前記設定塗布量よりも少量のインクを１度のみ吐出する第２塗布工程と、を有し、
それぞれの前記設定着弾位置には、前記第１塗布工程と第２塗布工程によって前記設定塗布量のインクが供給されることを特徴とするインクジェット塗布方法。 A coating unit with multiple nozzles that eject ink,
The stage on which the board is placed and
The coating unit and the stage are relatively moved once in a specific direction, and a set coating amount of ink set for each set landing position is applied to a preset landing position on the substrate. It is a coating method in which a coating film is formed on a substrate by coating.
The coating unit has a main nozzle unit having a plurality of nozzles and a sub-nozzle unit that ejects ink of the same type as the main nozzle unit, and the sub-nozzle unit has the same nozzle arrangement as the main nozzle unit. Each nozzle of the sub-nozzle unit is provided in a specific direction with respect to each nozzle of the main nozzle unit, and is smaller than the set coating amount at the set landing position from each nozzle of the main nozzle unit. The first coating process, which ejects the ink of Nozzle only once,
Each nozzle of the sub-nozzle unit has a second coating step of ejecting a smaller amount of ink than the set coating amount to the set landing position only once.
An inkjet coating method characterized in that the set coating amount of ink is supplied to each of the set landing positions by the first coating step and the second coating step. 前記第１塗布工程におけるメインノズルユニットから吐出されるインクの吐出量は、前記設定塗布量の半分の量であり、前記第２塗布工程におけるサブノズルユニットから吐出されるインクの吐出量は、前記設定塗布量の半分の量であることを特徴とする請求項４に記載のインクジェット塗布方法。 The amount of ink ejected from the main nozzle unit in the first coating step is half the amount of the set coating amount, and the amount of ink ejected from the sub-nozzle unit in the second coating step is the set amount. The inkjet coating method according to claim 4 , wherein the amount is half the coating amount.
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