JP2010224338A - Device and method for manufacturing sealing structure - Google Patents

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攻 宮内
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing device of sealing structure which can prevent peeling and facilitate cutting. <P>SOLUTION: The manufacturing device 1 of the sealing structure is provided with: a discharge head 4 which discharges a frit material F to a substrate K; moving mechanisms 3, 5 which relatively move the substrate K and the discharge head 4; and a control unit 7 which controls the discharge head 4 and the moving mechanisms 3, 5 so that the frit material F is applied on the substrate K in the frame shape of a closed loop, wherein the control unit 7 stops discharge of the frit material F, makes the discharge head 4 from which the discharge of the frit material F is stopped face an area between the closed loop in the frame shape and a cutting line outside the frame shape on the substrate K, and controls the discharge head 4 and the moving mechanisms 3, 5 so that the discharge head 4 which faces the area is moved in the direction to be separated from the substrate K. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、封止構造体の製造装置及び封止構造体の製造方法に関し、特に、塗布対象物にフリット材を塗布する封止構造体の製造装置及び封止構造体の製造方法に関する。   The present invention relates to a sealing structure manufacturing apparatus and a sealing structure manufacturing method, and more particularly to a sealing structure manufacturing apparatus and a sealing structure manufacturing method for applying a frit material to an application target.

封止構造体の製造装置は、液晶表示装置、有機EL(Electro Luminescence)表示装置及び電子放出表示装置等の様々な封止構造体を製造するために用いられている。この製造装置は、塗布対象物に対してシール材(封止材)を吐出する吐出ヘッドを備えており、その吐出ヘッドと塗布対象物とを相対移動させながら、塗布対象物上にシール材を塗布し、所定の塗布パターン(シールパターン)を描画する。   2. Description of the Related Art Sealing structure manufacturing apparatuses are used to manufacture various sealing structures such as liquid crystal display devices, organic EL (Electro Luminescence) display devices, and electron emission display devices. The manufacturing apparatus includes a discharge head that discharges a sealing material (sealing material) to an application target, and the sealing material is placed on the application target while relatively moving the discharge head and the application target. Application is performed, and a predetermined application pattern (seal pattern) is drawn.

例えば、2枚の基板を貼り合わせて封止構造体を製造する場合、製造装置は1枚の基板に対して所定領域を囲むように矩形状にシール材を塗布し、基板上に矩形状の塗布パターンを描画する。このとき、基板上に塗布されたシール材は塗布開始位置と塗布終了位置とで重なるため、2枚の基板の貼り合わせ時に重複部分のシール材が表示領域に侵入することがある。これを防止するため、シール材の塗布開始位置及び塗布終了位置を矩形状の塗布パターン外にして塗布を行う技術が提案されてる(例えば、特許文献1参照)。   For example, when manufacturing a sealing structure by bonding two substrates together, the manufacturing apparatus applies a sealing material in a rectangular shape so as to surround a predetermined region with respect to one substrate, and the rectangular shape is formed on the substrate. Draw a coating pattern. At this time, since the sealing material applied on the substrate overlaps at the application start position and the application end position, the overlapping seal material may enter the display area when the two substrates are bonded together. In order to prevent this, a technique has been proposed in which application is performed with the application start position and application end position of the sealing material outside the rectangular application pattern (see, for example, Patent Document 1).

また、塗布終了位置では、通常、吐出ヘッドのノズルを上昇させて退避させるが、そのノズルを上昇させる際にフリット材の粘度により糸引きと呼ばれる状態が発生し、その部分が他に比べ厚くなってしまう。これは、2枚の基板を貼り合わせる際にシール材が2枚の基板に挟まれて潰れるものであれば、その部分のシール材の幅が大きくなること以外に問題となることはない。   Also, at the application end position, the nozzle of the ejection head is usually raised and retracted, but when the nozzle is raised, a state called stringing occurs due to the viscosity of the frit material, and that part becomes thicker than the others. End up. If the sealing material is sandwiched between the two substrates and crushed when the two substrates are bonded together, there is no problem except that the width of the sealing material at that portion is increased.

特開2003−43499号公報JP 2003-43499 A

しかしながら、シール材として例えばガラスフリットペーストなどのフリット材を用いて貼り合わせ時にレーザ溶着を行う場合には、基板上に塗布されたフリット材が焼成されて貼り合わせ時に潰れなくなるため、基板上のフリット材が部分的に厚くなると、レーザ溶着後にその厚い箇所に応力が集中して剥がれが生じてしまう。   However, when performing laser welding at the time of bonding using a frit material such as glass frit paste as a sealing material, the frit material applied on the substrate is baked and does not crush at the time of bonding. When the material is partially thick, stress is concentrated on the thick portion after laser welding, and peeling occurs.

また、フリット材が塗布パターンの外周にある切断ライン(割断ライン)上に存在すると、基板を切断することが困難となり、場合によっては切断することができないこともある。さらに、切断による力がフリット材部分に加えられ、そのフリット材部分から剥がれが発生してしまうこともある。   In addition, if the frit material is present on a cutting line (cutting line) on the outer periphery of the coating pattern, it becomes difficult to cut the substrate, and in some cases, it cannot be cut. Further, a force due to the cutting is applied to the frit material portion, and peeling may occur from the frit material portion.

本発明は上記に鑑みてなされたものであり、その目的は、剥がれの防止及び切断の容易化を実現することができる封止構造体の製造装置及び封止構造体の製造方法を提供することである。   The present invention has been made in view of the above, and an object thereof is to provide a sealing structure manufacturing apparatus and a sealing structure manufacturing method capable of preventing peeling and facilitating cutting. It is.

本発明の実施の形態に係る第1の特徴は、封止構造体の製造装置において、塗布対象物に対してフリット材を吐出する吐出ヘッドと、塗布対象物と吐出ヘッドとを相対移動させる移動機構と、塗布対象物上にフリット材を閉ループの枠形状に塗布するように吐出ヘッド及び移動機構を制御する制御手段とを備え、制御手段は、フリット材の吐出を停止させ、フリット材の吐出が停止した吐出ヘッドを塗布対象物における枠形状の閉ループと枠形状の閉ループ外にある切断ラインとの間の領域に対向させ、その領域に対向した吐出ヘッドを塗布対象物に対して離間する方向に移動させるように、吐出ヘッド及び移動機構を制御することである。   A first feature according to an embodiment of the present invention is that, in a sealing structure manufacturing apparatus, a discharge head that discharges a frit material to an application target, and a movement that relatively moves the application target and the discharge head And a control means for controlling the discharge head and the moving mechanism so that the frit material is applied in a closed-loop frame shape on the application target. The control means stops the discharge of the frit material and discharges the frit material. The discharge head that has stopped is opposed to the area between the frame-shaped closed loop and the cutting line outside the frame-shaped closed loop in the application object, and the discharge head opposed to the area is separated from the application object. The ejection head and the moving mechanism are controlled so as to be moved.

本発明の実施の形態に係る第2の特徴は、封止構造体の製造方法において、塗布対象物とその塗布対象物に対してフリット材を吐出する吐出ヘッドとを相対移動させ、塗布対象物上にフリット材を閉ループの枠形状に塗布する塗布工程を有し、塗布工程では、フリット材の吐出を停止させ、フリット材の吐出が停止した吐出ヘッドを塗布対象物における枠形状の閉ループと枠形状の閉ループ外にある切断ラインとの間の領域に対向させ、その領域に対向した吐出ヘッドを塗布対象物に対して離間する方向に移動させることである。   A second feature according to the embodiment of the present invention is that, in the manufacturing method of the sealing structure, the application object and the discharge head that discharges the frit material to the application object are relatively moved, and the application object is obtained. A coating process for coating the frit material in a closed loop frame shape. In the coating process, the ejection of the frit material is stopped, and the ejection head in which the discharge of the frit material is stopped is connected to the frame-shaped closed loop and the frame on the coating object. It is to make it face the area | region between the cutting lines outside a closed loop of a shape, and to move the discharge head facing the area | region to the direction spaced apart with respect to a coating target object.

本発明によれば、剥がれの防止及び切断の容易化を実現することができる。   According to the present invention, it is possible to prevent peeling and facilitate cutting.

本発明の実施の一形態に係る封止構造体の製造装置の概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematic structure of the manufacturing apparatus of the sealing structure which concerns on one Embodiment of this invention. 図1に示す封止構造体の製造装置が行う塗布動作を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the application | coating operation | movement which the manufacturing apparatus of the sealing structure shown in FIG. 1 performs. 図2の一部分を拡大して示す説明図である。It is explanatory drawing which expands and shows a part of FIG. 図1に示す封止構造体の製造装置が備える吐出ヘッドのノズルと基板の表面とのギャップを説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the gap of the nozzle of the discharge head with which the manufacturing apparatus of the sealing structure shown in FIG. 1 is provided, and the surface of a board | substrate.

本発明の実施の一形態について図面を参照して説明する。   An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1に示すように、本発明の実施の形態に係る封止構造体の製造装置1は、塗布対象物としての基板Kが載置されるステージ2と、そのステージ2を保持して移動させるステージ移動機構3と、ステージ2上の基板Kに対してフリット材Fを吐出する吐出ヘッド4と、その吐出ヘッド4を保持して移動させるヘッド移動機構5と、ステージ移動機構3及びヘッド移動機構5を支持する架台6と、各部を制御する制御ユニット7とを備えている。   As shown in FIG. 1, the manufacturing apparatus 1 of the sealing structure body which concerns on embodiment of this invention hold | maintains and moves the stage 2 in which the board | substrate K as a coating target object is mounted. A stage moving mechanism 3; a discharge head 4 that discharges the frit material F to the substrate K on the stage 2; a head moving mechanism 5 that holds and moves the discharge head 4; the stage moving mechanism 3 and the head moving mechanism; 5, and a control unit 7 that controls each part.

ステージ2は、ステージ移動機構3上に積層され、X軸方向及びY軸方向(図1参照)に移動可能に設けられている。このステージ2はステージ移動機構3によりX軸方向及びY軸方向に移動する。ステージ2の載置面には、ガラス基板等の基板Kが自重により載置されるが、これに限るものではなく、例えば、その基板Kを保持するため、静電チャックや吸着チャック等の機構が設けられてもよい。   The stage 2 is stacked on the stage moving mechanism 3 and is provided so as to be movable in the X-axis direction and the Y-axis direction (see FIG. 1). The stage 2 is moved in the X-axis direction and the Y-axis direction by the stage moving mechanism 3. A substrate K such as a glass substrate is placed on the placement surface of the stage 2 by its own weight. However, the present invention is not limited to this. For example, a mechanism such as an electrostatic chuck or an adsorption chuck is used to hold the substrate K. May be provided.

ステージ移動機構3は、ステージ2をX軸方向に移動させるステージX軸移動機構3aと、そのステージX軸移動機構3aを介してステージ2をY軸方向に移動させるステージY軸移動機構3bとを備えている。   The stage moving mechanism 3 includes a stage X-axis moving mechanism 3a that moves the stage 2 in the X-axis direction, and a stage Y-axis moving mechanism 3b that moves the stage 2 in the Y-axis direction via the stage X-axis moving mechanism 3a. I have.

ステージX軸移動機構3aは、ステージ2をX軸方向に案内して移動させる移動機構である。このステージX軸移動機構3aはステージY軸移動機構3b上に設けられ、制御ユニット7に電気的に接続されている。ステージX軸移動機構3aとしては、例えば、モータを駆動源とする送りネジ移動機構やリニアモータを駆動源とするリニアモータ移動機構等が用いられる。   The stage X-axis movement mechanism 3a is a movement mechanism that guides and moves the stage 2 in the X-axis direction. This stage X-axis moving mechanism 3 a is provided on the stage Y-axis moving mechanism 3 b and is electrically connected to the control unit 7. As the stage X-axis moving mechanism 3a, for example, a feed screw moving mechanism using a motor as a driving source, a linear motor moving mechanism using a linear motor as a driving source, or the like is used.

ステージY軸移動機構3bは、ステージX軸移動機構3aをY軸方向に案内して移動させる移動機構である。このステージY軸移動機構3bは架台6上に設けられ、制御ユニット7に電気的に接続されている。ステージY軸移動機構3bとしては、例えば、モータを駆動源とする送りネジ移動機構やリニアモータを駆動源とするリニアモータ移動機構等が用いられる。   The stage Y-axis moving mechanism 3b is a moving mechanism that guides and moves the stage X-axis moving mechanism 3a in the Y-axis direction. The stage Y-axis moving mechanism 3 b is provided on the gantry 6 and is electrically connected to the control unit 7. As the stage Y-axis moving mechanism 3b, for example, a feed screw moving mechanism using a motor as a driving source, a linear motor moving mechanism using a linear motor as a driving source, or the like is used.

吐出ヘッド4は、フリット材Fを吐出するためのノズル4aを有するディスペンサヘッドである。この吐出ヘッド4は、所定の圧力により先端部であるノズル4aからフリット材Fを吐出する。吐出ヘッド4はノズル4aがステージ2に向けられて設置され、制御ユニット7に電気的に接続されている。このような吐出ヘッド4の近傍には、レーザ変位計8が固定して設けられている。このレーザ変位計8は、ステージ2上の基板Kの表面に対してレーザ光を照射し、その基板Kの表面までの離間距離を測定する。   The discharge head 4 is a dispenser head having a nozzle 4 a for discharging the frit material F. This discharge head 4 discharges the frit material F from the nozzle 4a which is a front-end | tip part with a predetermined pressure. The discharge head 4 is installed with the nozzle 4 a facing the stage 2 and is electrically connected to the control unit 7. A laser displacement meter 8 is fixed in the vicinity of the ejection head 4. The laser displacement meter 8 irradiates the surface of the substrate K on the stage 2 with laser light and measures the separation distance to the surface of the substrate K.

ヘッド移動機構5は、吐出ヘッド4をZ軸方向(図1参照)に移動させるヘッドZ軸移動機構5aと、吐出ヘッド4をヘッドZ軸移動機構5aを介してX軸方向に移動可能に支持し、X軸方向に沿って移動させるヘッドX軸移動機構5bと、そのヘッドX軸移動機構5bを支持する支持部材5cとを備えている。   The head moving mechanism 5 supports a head Z-axis moving mechanism 5a that moves the discharge head 4 in the Z-axis direction (see FIG. 1), and the discharge head 4 so as to be movable in the X-axis direction via the head Z-axis moving mechanism 5a. And a head X-axis moving mechanism 5b that moves along the X-axis direction and a support member 5c that supports the head X-axis moving mechanism 5b.

ヘッドZ軸移動機構5aは、吐出ヘッド4を支持してステージ2の載置面に直交するZ軸方向に吐出ヘッド4を移動させる移動機構である。このヘッドZ軸移動機構5aとしては、例えば、モータを駆動源とする送りネジ移動機構やリニアモータを駆動源とするリニアモータ移動機構等が用いられる。   The head Z-axis moving mechanism 5 a is a moving mechanism that supports the discharge head 4 and moves the discharge head 4 in the Z-axis direction orthogonal to the mounting surface of the stage 2. As the head Z-axis moving mechanism 5a, for example, a feed screw moving mechanism using a motor as a driving source, a linear motor moving mechanism using a linear motor as a driving source, or the like is used.

ヘッドX軸移動機構5bは、吐出ヘッド4をX軸方向に移動可能に支持しており、その吐出ヘッド4をX軸方向、すなわち支持部材5cに沿って移動させる移動機構である。このヘッドX軸移動機構5bとしては、例えば、モータを駆動源とする送りネジ移動機構やリニアモータを駆動源とするリニアモータ移動機構等が用いられる。   The head X-axis moving mechanism 5b is a moving mechanism that supports the discharge head 4 so as to be movable in the X-axis direction, and moves the discharge head 4 along the X-axis direction, that is, along the support member 5c. As the head X-axis moving mechanism 5b, for example, a feed screw moving mechanism using a motor as a driving source, a linear motor moving mechanism using a linear motor as a driving source, or the like is used.

支持部材5cは、ヘッドX軸移動機構5b、すなわち吐出ヘッド4を支持する門型のコラムである。この支持部材5cは、その延伸部がX軸方向に沿うように位置付けられ、その脚部が架台6の上面に固定されて架台6上に設けられている。なお、ヘッドX軸移動機構5bは延伸部の前面(図1中)に設けられている。   The support member 5 c is a portal column that supports the head X-axis moving mechanism 5 b, that is, the ejection head 4. The support member 5 c is positioned so that its extending portion extends along the X-axis direction, and its leg portion is fixed on the upper surface of the gantry 6 and provided on the gantry 6. The head X-axis moving mechanism 5b is provided on the front surface (in FIG. 1) of the extending portion.

制御ユニット7は架台6の内部に設けられている。この制御ユニット7は、各部を集中的に制御するマイクロコンピュータ等の制御部、及び、フリット塗布に関する塗布情報や各種のプログラム等を記憶する記憶部等を備えている。塗布情報は、所定の塗布パターンや描画速度(基板Kの移動速度)等に関する情報を含んでいる。   The control unit 7 is provided inside the gantry 6. The control unit 7 includes a control unit such as a microcomputer that centrally controls each unit, and a storage unit that stores application information and various programs related to frit coating. The application information includes information on a predetermined application pattern, a drawing speed (moving speed of the substrate K), and the like.

制御ユニット7は、塗布情報や各種のプログラムに基づいてステージ移動機構3及びヘッド移動機構5を制御し、吐出ヘッド4を塗布開始位置に位置付け、その後、ステージ移動機構3及び吐出ヘッド4を制御し、吐出ヘッド4のノズル4aとステージ2上の基板Kとを基板Kの表面に沿って所定のギャップを維持しつつ相対移動させながら、その基板Kの表面にフリット材Fを塗布する。このとき、制御ユニット7は、レーザ変位計8により測定された離間距離によるフィードバック制御を行うことによって、吐出ヘッド4のノズル4aと基板Kの表面とのギャップを所定のギャップに保つように制御している。   The control unit 7 controls the stage moving mechanism 3 and the head moving mechanism 5 based on the application information and various programs, positions the ejection head 4 at the application start position, and then controls the stage movement mechanism 3 and the ejection head 4. The frit material F is applied to the surface of the substrate K while relatively moving the nozzle 4a of the ejection head 4 and the substrate K on the stage 2 along the surface of the substrate K while maintaining a predetermined gap. At this time, the control unit 7 controls the gap between the nozzle 4 a of the ejection head 4 and the surface of the substrate K to be a predetermined gap by performing feedback control based on the separation distance measured by the laser displacement meter 8. ing.

次に、前述の製造装置1が行う塗布動作について説明する。   Next, the application | coating operation | movement which the above-mentioned manufacturing apparatus 1 performs is demonstrated.

製造装置1は、例えば、図2に示すように、ステージ2上の基板Kに対してフリット材Fを塗布して、長方形状の塗布パターンを4つ連続的に描画する。長方形状の塗布パターン毎に、製造装置1は塗布情報に基づいてステージ2上の基板Kに対して例えば時計回りにフリット材Fを線状に塗布し、長方形状の塗布パターンを描画する。この塗布パターンに関する塗布パターンデータは、塗布情報の一部として記憶部に記憶されている。   For example, as illustrated in FIG. 2, the manufacturing apparatus 1 applies a frit material F to the substrate K on the stage 2 and continuously draws four rectangular application patterns. For each rectangular application pattern, the manufacturing apparatus 1 linearly applies the frit material F to the substrate K on the stage 2 based on the application information, for example, to draw a rectangular application pattern. Application pattern data relating to this application pattern is stored in the storage unit as part of application information.

詳述すると、まず、制御ユニット7は、塗布情報に基づいてステージ移動機構3及びヘッド移動機構5を制御し、吐出ヘッド4のノズル4aを塗布開始位置A1に移動させ、ヘッドZ軸移動機構5aを制御し、レーザ変位計8による測定結果に応じて吐出ヘッド4のノズル4aと基板Kの表面とのギャップが所定のギャップ(例えば数十μm程度)になる位置に吐出ヘッド4を移動させる。   More specifically, first, the control unit 7 controls the stage moving mechanism 3 and the head moving mechanism 5 based on the application information, moves the nozzle 4a of the ejection head 4 to the application start position A1, and the head Z axis moving mechanism 5a. And the ejection head 4 is moved to a position where the gap between the nozzle 4a of the ejection head 4 and the surface of the substrate K becomes a predetermined gap (for example, about several tens of μm) according to the measurement result by the laser displacement meter 8.

その後、制御ユニット7は、塗布情報に基づいてステージ移動機構3及び吐出ヘッド4を制御し、吐出ヘッド4のノズル4aに対してステージ2上の基板KをX軸方向及びY軸方向に移動させながら、そのノズル4aからステージ2上の基板Kの表面にフリット材Fを吐出する吐出動作を行い、基板K上にフリット材Fを時計回りで線状に塗布し、長方形状の塗布パターンを描画する。   Thereafter, the control unit 7 controls the stage moving mechanism 3 and the ejection head 4 based on the application information, and moves the substrate K on the stage 2 in the X-axis direction and the Y-axis direction with respect to the nozzle 4a of the ejection head 4. However, a discharge operation is performed to discharge the frit material F from the nozzle 4a onto the surface of the substrate K on the stage 2, and the frit material F is applied to the substrate K in a line in a clockwise direction to draw a rectangular application pattern. To do.

ここで、長方形状の塗布パターンは、4つの直線部及び4つのコーナ部により構成されている(図2参照)。この塗布パターンの4つのコーナ部は円弧形状となる。これは、フリット材Fの塗布ラインの幅及び厚さが一定となるようにステージ移動機構3が制御されるので、コーナ部が直角とならないためである。   Here, the rectangular application pattern is composed of four linear portions and four corner portions (see FIG. 2). The four corners of this coating pattern are arcuate. This is because the stage moving mechanism 3 is controlled so that the width and thickness of the application line of the frit material F are constant, and the corner portion does not become a right angle.

また、図2及び図3に示すように、塗布開始位置A1は長方形状の塗布パターンの第1直線部L1にあり、塗布終了位置A2は長方形状の塗布パターンの閉ループとその閉ループ外にある切断ラインSとの間の第1領域内、例えば、各切断ラインSと塗布パターンのコーナ部C1との間の領域内にある。切断ラインSは、長方形状の塗布パターンの外周に設けられたラインであって、基板Kを塗布パターン毎に格子状に切断して分割するためのラインである。   Also, as shown in FIGS. 2 and 3, the application start position A1 is at the first linear portion L1 of the rectangular application pattern, and the application end position A2 is a closed loop of the rectangular application pattern and a cut outside the closed loop. It exists in the 1st area | region between the lines S, for example, in the area | region between each cutting line S and the corner part C1 of a coating pattern. The cutting line S is a line provided on the outer periphery of the rectangular coating pattern, and is a line for cutting and dividing the substrate K into a grid pattern for each coating pattern.

特に、塗布終了位置A2は、前述の第1領域に含まれる領域であって、塗布パターンの第1直線部L1から伸びる第1仮想線Laと第2直線部L2から伸びる第2仮想線Lbとそれらの第1直線部L1及び第2直線部L2を連通するコーナ部C1とにより囲まれる第2領域内にある。   In particular, the application end position A2 is an area included in the first area described above, and includes a first imaginary line La extending from the first straight line portion L1 and a second imaginary line Lb extending from the second straight line portion L2 of the application pattern. It exists in the 2nd area | region enclosed by the corner part C1 which connects those 1st linear part L1 and the 2nd linear part L2.

このような塗布開始位置A1から塗布終了位置A2までフリット材Fが線状に基板K上に塗布される。制御ユニット7は、長方形状の塗布パターンの閉ループを形成可能なタイミングで吐出ヘッド4のフリット材Fの吐出を停止させ、フリット材Fの吐出が停止した吐出ヘッド4を基板K上の第2領域に対向させ、その閉ループ外に対向した吐出ヘッド4を基板Kに対して離間する方向(例えば、図1中の上方向)に移動させるように、吐出ヘッド4、ステージ移動機構3及びヘッド移動機構5を制御する。   The frit material F is linearly applied on the substrate K from the application start position A1 to the application end position A2. The control unit 7 stops the discharge of the frit material F of the discharge head 4 at a timing at which a closed loop of the rectangular coating pattern can be formed, and the discharge head 4 that has stopped discharging the frit material F is moved to the second region on the substrate K. The discharge head 4, the stage moving mechanism 3, and the head moving mechanism are moved so that the discharge head 4 facing the outside of the closed loop is moved in a direction away from the substrate K (for example, upward in FIG. 1). 5 is controlled.

これにより、塗布終了位置A2が基板K上の第2領域内となり、加えて、吐出ヘッド4のノズル4aは吐出停止後もY軸方向(図3中の上方向)に移動し、ノズル4aの糸引きによるフリット材Fは図3中の上方向に伸びて基板K上に塗布されるため、吐出停止位置(供給停止位置)から塗布終了位置A2まで伸びるフリット材Fの塗布ラインは、図3中の上方向に向かって徐々に細くなっていく。このとき、フリット材Fの供給は停止しているため、その塗布ラインの厚さも徐々に薄くなっていく。したがって、フリット材Fの塗布ラインは、長方形状の塗布パターンの閉ループを形成後、塗布終了位置A2に向かって徐々に細くさらに薄くなっていくので、閉ループ外に存在するフリット材Fの厚さは、接合に寄与する閉ループ部分のフリット材Fに比べ薄くなる。   As a result, the application end position A2 is in the second region on the substrate K. In addition, the nozzle 4a of the ejection head 4 moves in the Y-axis direction (upward in FIG. 3) even after ejection is stopped. Since the frit material F by stringing extends upward in FIG. 3 and is applied onto the substrate K, the application line of the frit material F extending from the discharge stop position (supply stop position) to the application end position A2 is shown in FIG. It gradually becomes thinner toward the inside. At this time, since the supply of the frit material F is stopped, the thickness of the coating line gradually decreases. Accordingly, the application line of the frit material F is formed so as to gradually become thinner and thinner toward the application end position A2 after forming the closed loop of the rectangular application pattern, so that the thickness of the frit material F existing outside the closed loop is It becomes thinner than the frit material F in the closed loop portion that contributes to the joining.

このように、塗布終了位置A2が塗布パターンの閉ループ外となり、糸引きにより閉ループ部分のフリット材Fが部分的に厚くなることが抑止され、さらに、閉ループ外に存在するフリット材Fの厚さが、接合に寄与する閉ループ部分のフリット材Fに比べ薄くなるので、レーザ溶着による封止後に部分的に厚い箇所に応力が集中して剥がれが発生してしまうことが防止される。また、フリット材Fが塗布パターンの外周にある切断ラインS上に存在しなくなるため、基板Kを切断することが容易になる。さらに、切断による力がフリット材F部分に加えられこともないので、そのフリット材F部分から剥がれが発生してしまうことが防止される。   In this way, the application end position A2 is outside the closed loop of the application pattern, and it is suppressed that the frit material F in the closed loop portion is partially thickened by thread drawing, and the thickness of the frit material F existing outside the closed loop is further reduced. Since it is thinner than the frit material F in the closed loop portion that contributes to joining, it is possible to prevent the stress from being concentrated on a partially thick portion after the sealing by laser welding and causing peeling. Further, since the frit material F does not exist on the cutting line S on the outer periphery of the coating pattern, the substrate K can be easily cut. Further, since the force due to the cutting is not applied to the frit material F portion, it is possible to prevent the frit material F portion from peeling off.

特に、閉ループ外に存在するフリット材Fの厚さが、接合に寄与する閉ループ部分のフリット材Fに比べ薄くなることから、フリット材Fが塗布された基板Kと他の基板がフリット材Fを介して貼り合わされる場合、それらの基板Kと他の基板とがほぼ平行となるので、封止不良などの接合不良を抑止することができる。なお、閉ループ外に存在するフリット材Fの厚さが、接合に寄与する閉ループ部分のフリット材Fに比べ厚くなると、基板Kと他の基板とが平行とならず、レーザ溶着が困難となるため、接合不良が発生してしまう。   In particular, since the thickness of the frit material F existing outside the closed loop is thinner than the frit material F in the closed loop portion that contributes to the joining, the substrate K to which the frit material F is applied and the other substrate use the frit material F. When these are bonded together, the substrate K and the other substrate are substantially parallel to each other, so that a bonding failure such as a sealing failure can be suppressed. If the thickness of the frit material F existing outside the closed loop is larger than that of the frit material F in the closed loop portion that contributes to bonding, the substrate K and the other substrate are not parallel, and laser welding becomes difficult. , Bonding failure occurs.

ここで、フリット材Fの吐出停止のタイミングは、長方形状の塗布パターンの閉ループを形成可能なタイミングであればよく、加えて、フリット材Fの吐出を停止させてから糸引きによるフリット材Fが切断ラインSに交差しないタイミングである。このタイミングは、フリット材Fの粘度や描画スピードなどに応じて実験的に求められて設定される。   Here, the discharge stop timing of the frit material F may be any timing at which a closed loop of a rectangular coating pattern can be formed. In addition, after the discharge of the frit material F is stopped, the frit material F by string drawing is stopped. This is the timing at which the cutting line S is not crossed. This timing is experimentally determined and set according to the viscosity of the frit material F, the drawing speed, and the like.

このような塗布動作中、図4に示すように、吐出ヘッド4のノズル4aと基板Kの表面とのギャップGは例えば数十μm程度に一定に維持されおり、そのノズル4aは基板K上のフリット材Fの表面をならしながら移動する。したがって、フリット材Fの断面形状は台形状となり、基板K上のフリット材Fの厚さは一定でその上面は平坦となる。これにより、フリット材Fが塗布された基板Kと他の基板がフリット材Fを介して貼り合わされる場合、フリット材Fが塗布された基板Kと他の基板とはほぼ平行となり、さらに、基板K上のフリット材Fと他の基板との接触面積はそのフリット材Fの上面が平坦でない場合と比べて大きくなるので、封止不良などの接合不良を抑止することができる。   During such a coating operation, as shown in FIG. 4, the gap G between the nozzle 4a of the ejection head 4 and the surface of the substrate K is kept constant at, for example, about several tens of μm. Move while leveling the surface of the frit material F. Therefore, the cross-sectional shape of the frit material F is trapezoidal, the thickness of the frit material F on the substrate K is constant, and its upper surface is flat. As a result, when the substrate K coated with the frit material F and another substrate are bonded together via the frit material F, the substrate K coated with the frit material F and the other substrate are substantially parallel to each other. Since the contact area between the frit material F on K and the other substrate is larger than the case where the upper surface of the frit material F is not flat, it is possible to suppress a bonding failure such as a sealing failure.

最後に、フリット材Fが塗布された基板Kは、焼成炉により仮焼成されてそのフリット材Fに含まれる樹脂がとばされ、さらに、本焼成されて固められる。これにより、基板K上のフリット材Fの厚さは焼成前に比べて1/2程度となるが、その幅は維持される。その後、フリット材Fが塗布された基板Kと他の基板がフリット材Fを介して合わされ、そのフリット材Fがレーザ照射により他の基板に溶着される。これにより、基板Kと他の基板とはフリット材Fにより接合される。   Finally, the substrate K on which the frit material F has been applied is temporarily fired in a firing furnace, the resin contained in the frit material F is blown off, and is further fired and hardened. As a result, the thickness of the frit material F on the substrate K is about ½ of that before firing, but the width is maintained. Thereafter, the substrate K coated with the frit material F and another substrate are joined together via the frit material F, and the frit material F is welded to the other substrate by laser irradiation. Thereby, the board | substrate K and another board | substrate are joined by the frit material F. FIG.

以上説明したように、本発明の実施の形態によれば、塗布終了位置A2が基板K上の第2領域内となることで糸引きにより閉ループ部分のフリット材Fが部分的に厚くなることが抑止され、さらに、閉ループ外に存在するフリット材Fの厚さが接合に寄与する閉ループ部分のフリット材Fの厚さ以下になるので、レーザ溶着による封止後に部分的に厚い箇所に応力が集中して剥がれが発生してしまうことが防止される。また、フリット材Fが塗布パターンの外周にある切断ラインS上に存在しなくなるため、基板Kを切断することが容易になる。さらに、切断による力がフリット材F部分に加えられこともないので、そのフリット材F部分から剥がれが発生してしまうことが防止される。したがって、剥がれの防止及び切断の容易化を実現することができる。   As described above, according to the embodiment of the present invention, when the application end position A2 is in the second region on the substrate K, the frit material F in the closed loop portion is partially thickened by string drawing. Further, since the thickness of the frit material F existing outside the closed loop is equal to or less than the thickness of the frit material F in the closed loop portion that contributes to the joining, stress is concentrated on a partially thick portion after sealing by laser welding. Thus, peeling is prevented from occurring. Further, since the frit material F does not exist on the cutting line S on the outer periphery of the coating pattern, the substrate K can be easily cut. Further, since the force due to the cutting is not applied to the frit material F portion, it is possible to prevent the frit material F portion from peeling off. Therefore, prevention of peeling and facilitation of cutting can be realized.

特に、塗布終了位置A2が基板K上の第2領域内にある場合には、フリット材Fが塗布パターンの4つの直線部を延長して形成される長方形領域から突出することがないので、切断ラインSを塗布パターン側に移動することが可能であり、切断ラインSの変更を容易に行うことができる。また、切断ラインSとフリット材Fとの離間距離は十分あるため、切断位置が切断ラインSから多少ずれたとしても、切断による力がフリット材F部分にかかることが抑えられるので、剥がれの発生をより確実に抑止することができる。   In particular, when the application end position A2 is in the second region on the substrate K, the frit material F does not protrude from the rectangular region formed by extending the four straight portions of the application pattern, so that cutting is performed. The line S can be moved to the coating pattern side, and the cutting line S can be easily changed. In addition, since the separation distance between the cutting line S and the frit material F is sufficient, even if the cutting position is slightly deviated from the cutting line S, it is possible to suppress the force due to the cutting from being applied to the frit material F portion, so that peeling occurs. Can be suppressed more reliably.

なお、本発明は、前述の実施の形態に限るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。例えば、前述の実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施の形態に亘る構成要素を適宜組み合わせてもよい。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. For example, some components may be deleted from all the components shown in the above-described embodiment. Furthermore, you may combine the component covering different embodiment suitably.

前述の実施の形態においては、長方形状の塗布パターンを用いているが、これに限るものではなく、例えば正方形や円形等の他の形状の塗布パターンを用いるようにしてもよく、その形状は限定されない。また、1つの吐出ヘッド4を用いているが、これに限るものではなく、複数の吐出ヘッド4を用いるようにしてもよく、その個数は限定されない。   In the above-described embodiment, a rectangular coating pattern is used. However, the present invention is not limited to this. For example, a coating pattern having another shape such as a square or a circle may be used, and the shape is limited. Not. Further, although one ejection head 4 is used, the present invention is not limited to this, and a plurality of ejection heads 4 may be used, and the number is not limited.

1…封止構造体の製造装置、3…ステージ移動機構(移動機構)、4…吐出ヘッド、5…ヘッド移動機構(移動機構)、7…制御ユニット、F…フリット材、K…基板(塗布対象物)   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Manufacturing apparatus of sealing structure, 3 ... Stage moving mechanism (moving mechanism), 4 ... Discharge head, 5 ... Head moving mechanism (moving mechanism), 7 ... Control unit, F ... Frit material, K ... Substrate (coating) Object)

Claims (6)

塗布対象物に対してフリット材を吐出する吐出ヘッドと、
前記塗布対象物と前記吐出ヘッドとを相対移動させる移動機構と、
前記塗布対象物上に前記フリット材を閉ループの枠形状に塗布するように前記吐出ヘッド及び前記移動機構を制御する制御手段と、
を備え、
前記制御手段は、前記フリット材の吐出を停止させ、前記フリット材の吐出が停止した前記吐出ヘッドを前記塗布対象物における前記枠形状の閉ループと前記枠形状の閉ループ外にある切断ラインとの間の領域に対向させ、前記領域に対向した前記吐出ヘッドを前記塗布対象物に対して離間する方向に移動させるように、前記吐出ヘッド及び前記移動機構を制御することを特徴とする封止構造体の製造装置。
An ejection head for ejecting a frit material to an application object;
A moving mechanism for relatively moving the object to be coated and the ejection head;
Control means for controlling the ejection head and the moving mechanism so as to apply the frit material in a closed loop frame shape on the application object;
With
The control means stops the discharge of the frit material, and the discharge head in which the discharge of the frit material has stopped is disposed between the closed loop of the frame shape and the cutting line outside the closed loop of the frame shape on the application target. The sealing structure is characterized in that the discharge head and the moving mechanism are controlled so as to face the region and move the discharge head facing the region in a direction away from the application target. Manufacturing equipment.
前記制御手段は、前記塗布対象物上の塗布開始位置から、前記切断ラインと前記枠形状のコーナ部との間にある塗布終了位置まで前記フリット材を塗布するように前記吐出ヘッド及び前記移動機構を制御することを特徴とする請求項1記載の封止構造体の製造装置。 The control means is configured to apply the frit material and the moving mechanism so as to apply the frit material from an application start position on the application object to an application end position between the cutting line and the frame-shaped corner portion. The apparatus for manufacturing a sealing structure according to claim 1, wherein: 前記制御手段は、前記塗布対象物上の塗布開始位置から、前記枠形状の閉ループ外にある塗布終了位置であって、前記枠形状の第1直線部から伸びる第1仮想線と前記枠形状の第2直線部から伸びる第2仮想線とそれらの第1直線部及び第2直線部を連通するコーナ部とにより囲まれる領域内の塗布終了位置まで前記フリット材を塗布するように前記吐出ヘッド及び前記移動機構を制御することを特徴とする請求項1記載の封止構造体の製造装置。 The control means is a coating end position outside the closed loop of the frame shape from a coating start position on the coating object, and a first imaginary line extending from the first linear portion of the frame shape and the frame shape The discharge head and the discharge head so as to apply the frit material to a coating end position in a region surrounded by a second imaginary line extending from the second straight portion and a corner portion communicating with the first straight portion and the second straight portion; The apparatus for manufacturing a sealing structure according to claim 1, wherein the moving mechanism is controlled. 塗布対象物と前記塗布対象物に対してフリット材を吐出する吐出ヘッドとを相対移動させ、前記塗布対象物上に前記フリット材を閉ループの枠形状に塗布する塗布工程を有し、
前記塗布工程では、前記フリット材の吐出を停止させ、前記フリット材の吐出が停止した前記吐出ヘッドを前記塗布対象物における前記枠形状の閉ループと前記枠形状の閉ループ外にある切断ラインとの間の領域に対向させ、前記領域に対向した前記吐出ヘッドを前記塗布対象物に対して離間する方向に移動させることを特徴とする封止構造体の製造方法。
An application step of relatively moving an application object and a discharge head that discharges the frit material with respect to the application object, and applying the frit material on the application object in a closed-loop frame shape;
In the application step, the discharge of the frit material is stopped, and the discharge head in which the discharge of the frit material is stopped is disposed between the frame-shaped closed loop and the cutting line outside the frame-shaped closed loop in the application target. A method for manufacturing a sealing structure, wherein the discharge head facing the region is moved in a direction away from the application target.
前記塗布工程では、前記塗布対象物上の塗布開始位置から、前記切断ラインと前記枠形状のコーナ部との間にある塗布終了位置まで前記フリット材を塗布することを特徴とする請求項4記載の封止構造体の製造方法。 5. The frit material is applied in the application step from an application start position on the application object to an application end position between the cutting line and the frame-shaped corner portion. Manufacturing method of the sealing structure. 前記塗布工程では、前記塗布対象物上の塗布開始位置から、前記枠形状の閉ループ外にある塗布終了位置であって、前記枠形状の第1直線部から伸びる第1仮想線と前記枠形状の第2直線部から伸びる第2仮想線とそれらの第1直線部及び第2直線部を連通するコーナ部とにより囲まれる領域内の塗布終了位置まで前記フリット材を塗布することを特徴とする請求項4記載の封止構造体の製造方法。 In the application step, a first imaginary line extending from the first straight line portion of the frame shape and an application end position outside the closed loop of the frame shape from the application start position on the application object, and the frame shape The frit material is applied to a coating end position in a region surrounded by a second imaginary line extending from the second straight portion and a corner portion communicating with the first straight portion and the second straight portion. Item 5. A method for producing a sealing structure according to Item 4.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2013053032A (en) * 2011-09-02 2013-03-21 Asahi Glass Co Ltd Airtight member and method for producing the same
JP2013069499A (en) * 2011-09-21 2013-04-18 Hitachi Plant Technologies Ltd Paste coating device and paste coating method

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