JP6749998B2 - レーザ装置、レーザ装置の制御方法 - Google Patents
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Description
2.CO2レーザ装置を用いた極端紫外光生成システムの説明:比較例
2.1 構成
2.2 動作
2.3 課題
3.実施形態1
3.1 構成
3.2 動作
3.3 作用・効果
4.実施形態2
4.1 構成
4.2 動作
4.3 作用・効果
5.実施形態3
5.1 構成
5.2 動作
5.3 作用・効果
6.実施形態4
6.1 構成
6.2 動作
6.3 作用・効果
以下に説明される実施形態は、本開示のいくつかの例を示すものであって、本開示の内容を限定するものではない。また、各実施形態で説明される構成及び動作の全てが本開示の構成及び動作として必須であるとは限らない。
なお、同一の構成要素には同一の参照符号を付して、重複する説明を省略する。
本開示の実施形態は、レーザ装置に関するものである。例えば、極端紫外光生成システムに用いられ、光源から出射したCO2レーザ光が適切な位置から極端紫外光生成装置のチャンバに入射し得るCO2レーザ装置に関するものである。なお、以下の説明において、極端紫外光をEUV光という場合がある。従って、極端紫外光生成装置をEUV光生成装置という場合があり、極端紫外光生成システムをEUV光生成システムという場合がある。また、以下の説明では、レーザ装置として、CO2レーザ装置を例に説明する。
2.1 構成
図1に、本比較例の例示的なCO2レーザ装置を用いたEUV光生成システムの構成を概略的に示す。本比較例の、EUV光生成システム100は、EUV光生成装置1及びCO2レーザ装置3を含むシステムである。本比較例のEUV光生成装置1は、少なくとも1つのCO2レーザ装置3と共に用いられる。また、本比較例のEUV光生成システム100は、露光装置6と共に用いられる。
露光制御部61から出力するバースト信号は、上記のようにコントローラCPに入力する。コントローラCPは、ターゲットセンサ27によって撮像されたターゲットTGのイメージデータやバースト信号等に基づいて、ターゲット供給部26を制御し、上記のようにターゲットTGが出力されるタイミング、ターゲットTGの出力方向等を制御する。また、コントローラCPは、露光制御部61から入力するバースト信号に基づいて、マスターオシレータMOにバースト信号を出力する。マスターオシレータMOは、当該バースト信号によりバースト動作をし、バースト信号がオンの場合、連続したパルス状のCO2レーザ光301を出射する。マスターオシレータMOから出射するパルス状のCO2レーザ光301は、第1ミラーM1で反射して、第1パワーアンプPA1に入射して増幅される。第1パワーアンプPA1から出射するパルス状のCO2レーザ光301は、第1ビームスプリッタBS1で一部が反射して分離され、他の一部は第1ビームスプリッタBS1を透過する。第1ビームスプリッタBS1を透過するCO2レーザ光301は、第2ミラーM2及び第3ミラーM3で反射され、第2パワーアンプPA2に入射して増幅される。第2パワーアンプPA2から出射するパルス状のCO2レーザ光301は、第2ビームスプリッタBS2で一部が反射されて分離され、他の一部は第2ビームスプリッタBS2を透過する。第2ビームスプリッタBS2を透過するCO2レーザ光301は、第4ミラーM4及び第5ミラーM5で反射され、第3ビームスプリッタBS3で一部が反射して分離され、他の一部は第3ビームスプリッタBS3を透過する。第3ビームスプリッタBS3を透過するCO2レーザ光301は、チャンバ2のウィンドウ21からチャンバ2内に入射する。
図3は、マスターオシレータMOからCO2レーザ光301が出射する期間、及び、赤外線ラインセンサが画像を取得する期間を示す図である。なお、以下の説明において、赤外線ラインセンサとは、第1赤外線ラインセンサIS1から第4赤外線ラインセンサIS4のいずれかを示す。また、画像処理部とは、第1画像処理部IP1から第4画像処理部IP4のいずれかを示す。また、ミラーとは、第1ミラーM1、第3ミラーM3、第4ミラーM4及び第5ミラーM5のいずれかを示す。また、図3において、四角で囲まれ斜線で示される期間は、赤外線ラインセンサがCO2レーザ光301の断面画像を取得する期間を示す。
次に実施形態1にかかるCO2レーザ装置を用いたEUV光生成システムを、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明では、ビームスプリッタBSは、第1ビームスプリッタBS1から第4ビームスプリッタBS4のいずれかを示す。また、上述において説明した構成と同様の構成については、同一の符号を付し、特に説明する場合を除き、重複する説明を省略する。
図4は、図1におけるCO2レーザ光301の位置や角度を調節する要部を本実施形態に合わせて一般化した図である。また、図5は、本実施形態のCO2レーザ光301の位置や角度を調節する手順を示すフローチャートである。図4に示すように、本実施形態においても、比較例と同様にして、コントローラCPにバースト信号が入力する。
図4に示すビームスプリッタBSで分離されたCO2レーザ光301の一部は、図4では不図示のレンズにより集光または転写され赤外線ラインセンサISに入射する。赤外線ラインセンサISは、比較例のステップSP01と同様にして、ステップSP11において、CO2レーザ光301の断面画像を1水平ラインずつスキャンして、画素毎の画像信号を出力し続ける。この画像信号が入力する画像処理部IPは、比較例のステップSP02と同様にして、ステップSP12において、ビーム関連情報を1画面分ごとに出力し、当該ビーム関連情報はコントローラCPに入力する。次にステップSP13において、コントローラCPは入力するバースト信号がオンであるか否かを判断する。バースト信号がオンではない場合、コントローラCPは、ミラーMを制御せずに次のビーム関連情報が入力するまで待機する。一方、バースト信号がオンである場合、比較例のステップSP03と同様にして、ステップSP14において、コントローラCPは入力したビーム関連情報に基づきミラーMを制御する。このときマスターオシレータMOに入力するバースト信号もオンであるため、マスターオシレータMOはバーストオンとなり連続したパルス状のCO2レーザ光301が出射している。このようにミラーMの傾きを調節することで、ビームスプリッタBSを透過するCO2レーザ光301の重心位置が所定の目標位置となるようにフィードバック制御することができる。
本実施形態では、コントローラCPは、バースト信号がオンである場合にビーム関連情報に基づきミラーMを制御する。従って、本実施形態では、コントローラCPは、赤外線ラインセンサISがCO2レーザ光の断面画像を取得する期間の少なくとも一部とマスターオシレータMOからCO2レーザ光が出射する期間とが重なる状態で、ミラーMを制御する。本実施形態のCO2レーザ装置3によれば、ノイズに基づくビーム関連情報に基づいてミラーを制御することが抑制され得、マスターオシレータMOから出射したCO2レーザ光が不適切な位置からEUV光生成装置のチャンバに入射することが抑制され得る。
次に実施形態2にかかるCO2レーザ装置を用いたEUV光生成システムを、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明では、上述において説明した構成と同様の構成については、同一の符号を付し、特に説明する場合を除き、重複する説明を省略する。
図6は、図1におけるCO2レーザ光301の位置や角度を調節する要部を本実施形態に合わせて一般化した図である。図6に示すように、本実施形態のCO2レーザ装置は、露光制御部61からのバースト信号が画像処理部IPに入力する点において、比較例のCO2レーザ装置3と異なる。
図7は、本実施形態のCO2レーザ光301の位置や角度を調節する手順を示すフローチャートである。図6に示すビームスプリッタBSで分離されたCO2レーザ光301の一部は、図6で不図示のレンズにより集光または転写され赤外線ラインセンサISに入射する。赤外線ラインセンサISは、比較例のステップSP01と同様にして、ステップSP21において、CO2レーザ光301の断面画像を1水平ラインずつスキャンして、画素毎に画像信号を出力し続ける。この画像信号が入力する画像処理部IPは、ステップSP22において、露光制御部61からのバースト信号がオンであるか否かを判断する。露光制御部61からのバースト信号がオフの場合、画像処理部IPは、ステップSP23において、ビーム関連情報が無効な情報であること示す無効情報をコントローラCPに出力する。バースト信号がオンである場合、画像処理部IPは、比較例のステップSP02と同様にして、ステップSP24において、ビーム関連情報を1画面分ごとに出力し、当該ビーム関連情報はコントローラCPに入力する。次にステップSP25において、コントローラCPは画像処理部IPから入力する情報が無効な情報か有効な情報かを判断する。画像処理部IPから無効情報が入力する場合、コントローラCPは、情報が無効であるとして、ミラーMを制御せずに次のビーム関連情報が入力するまで待機する。一方、画像処理部IPから無効情報が入力せずビーム関連情報が入力する場合、コントローラCPは、ビーム関連情報が有効なものとして、比較例のステップSP03と同様にして、ステップSP26において、入力したビーム関連情報に基づきミラーMを制御する。こうして、ビームスプリッタBSを透過するCO2レーザ光301の重心位置が所定の目標位置となるようにフィードバック制御が適正になされる。このとき、コントローラCPにもバースト信号が入力しており、コントローラCPからマスターオシレータMOに入力するバースト信号に基づき、マスターオシレータMOはバーストオンである。上記のようにコントローラCPからマスターオシレータMOに入力するバースト信号は、露光制御部61からコントローラCPに入力するバースト信号に基づいている。従って、本実施形態では、画像処理部IPには、マスターオシレータMOをバースト動作させるバースト信号が入力していると理解することができる。
本実施形態では、画像処理部IPにバースト信号が入力するため、バースト信号がオンではない場合、画像処理部IPが画像処理を行わない構成とし得る。この場合、画像処理部IPの負荷を軽減することができる。また、画像処理部IPに入力するバースト信号がオンではない場合、画像処理部IPがコントローラCPに無効情報をコントローラCPに出力する。従って、マスターオシレータMOがバーストオンではない期間に赤外線ラインセンサISが取得した画像データに基づくビーム関連情報に基づいて、コントローラCPがミラーMを制御することが抑制され得る。このため、本実施形態のCO2レーザ装置3によれば、ノイズに基づくビーム関連情報に基づいてミラーを制御することが抑制され得、マスターオシレータMOから出射したCO2レーザ光が不適切な位置からEUV光生成装置のチャンバに入射することが抑制され得る。
次に実施形態3にかかるCO2レーザ装置を用いたEUV光生成システムを、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明では、上述において説明した構成と同様の構成については、同一の符号を付し、特に説明する場合を除き、重複する説明を省略する。
図8は、図1におけるCO2レーザ光301の位置や角度を調節する要部を本実施形態に合わせて一般化した図である。図8に示すように、本実施形態のCO2レーザ装置3は、コントローラCPにバースト信号変更通知が入力する点において、比較例のCO2レーザ装置3と異なる。バースト信号変更通知とは、露光制御部61から出力するバースト信号がオンとなるタイミング及び当該バースト信号がオフとなるタイミングを示す通知である。
まず、コントローラCPがバースト信号変更通知を受信した際の手順について説明する。図11は、コントローラCPが、バースト信号変更通知に基づいて、マスターオシレータMOのバーストオン時刻と、マスターオシレータMOのバーストオフ時刻とを記録する手順を示すフローチャートである。ステップSP311において、コントローラCPがバースト信号変更通知を受信する。すると、ステップSP312において、コントローラCPは、バースト信号変更通知を受信した時刻と、マスターオシレータMOをバーストオンとする通知なのかバーストオフとする通知なのかを図9に示すテーブルに記録する。バーストオンとする通知の場合マスターオシレータMOからCO2レーザ光301を出射させ、バーストオフとする通知の場合マスターオシレータMOからCO2レーザ光301の出射を停止する。
本実施形態では、コントローラCPは、過去にマスターオシレータMOからCO2レーザ光301が出射した出射時間帯を複数有する履歴情報を有している。そして、コントローラCPは、赤外線ラインセンサISがCO2レーザ光301の断面画像を取得した取得時間帯と履歴情報におけるいずれかの出射時間帯とが重なる場合にビーム関連情報に基づいてミラーMを制御する。従って、画像処理部IPの処理能力が低い場合であっても、コントローラCPに入力したビーム関連情報が過去のいずれかのバーストオン時に赤外線ラインセンサISが画像取得した情報に基づくものであるか否かを適切に判断し得る。従って、より適切にノイズに基づくビーム関連情報に基づいてミラーが制御されることが抑制され得る。このため、マスターオシレータMOから出射したCO2レーザ光が不適切な位置からEUV光生成装置のチャンバに入射することがより適切に抑制され得る。
次に実施形態4にかかるCO2レーザ装置を用いたEUV光生成システムを、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明では、上述において説明した構成と同様の構成については、同一の符号を付し、特に説明する場合を除き、重複する説明を省略する。
図15は、図1におけるCO2レーザ光301の位置や角度を調節する要部を本実施形態に合わせて一般化した図である。図15に示すように、本実施形態のCO2レーザ装置3は、画像処理部IPがビーム関連情報と共に有効データまたは無効データのインデックス情報を出力する点において、比較例のCO2レーザ装置3と異なる。
図16は、本実施形態のCO2レーザ光301の位置や角度を調節する手順を示すフローチャートである。図15に示すビームスプリッタBSで分離されたCO2レーザ光301の一部は、図15で不図示のレンズにより集光または転写され赤外線ラインセンサISに入射する。赤外線ラインセンサISは、比較例のステップSP01と同様にして、ステップSP41において、CO2レーザ光301の断面画像を1水平ラインずつスキャンして、画素毎に画像信号を出力し続ける。この画像信号が入力する画像処理部IPは、ステップSP42において赤外線ラインセンサISが受光した全画素のうち、所定の輝度以上の画素数を計測する。この所定の輝度は、例えば、赤外線ラインセンサISが計測可能なダイナミックレンジの30%とされる。そして、画像処理部IPは、ステップSP43において、計測した画素数が所定の画素数以上であるか否かを判断する。この所定の画素数は、例えば、正常時に赤外線ラインセンサISがCO2レーザ光301の断面画像をスキャンする場合における上記所定の輝度以上となる画素数の70%以上とされる。ステップSP43において計測した画素数が所定の画素数以上である場合、画像処理部は、ステップSP44において有効データを示す有効情報と、ビーム関連情報とを出力する。一方、ステップSP43において計測した画素数が所定の画素数以上とならない場合、画像処理部は、ステップSP45において無効データを示す無効情報を出力する。
従って、本実施形態では、画像処理部IPが、所定の輝度の画素数が所定の画素数以上とならない場合に、ビーム関連情報と共に無効データを示すインデックスを出力し、コントローラCPは、インデックスデータが無効データである場合にミラーMを制御しない。この様に、所定の輝度の画素数が所定の画素数以上とならない場合、SN比(signal-noise ratio)が低い傾向にある。SN比が低いと、ミラーMを本来調節すべき位置に調節することができない可能性が高くなる。従って、本実施形態のCO2レーザ装置3によれば、ミラーMが不適切に制御されることが抑制され得、マスターオシレータMOから出射したCO2レーザ光が不適切な位置からEUV光生成装置のチャンバに入射することが抑制され得る。
Claims (6)
- バースト動作によってレーザ光を出射する光源と、
前記レーザ光の断面画像を一定期間かけて一定周期毎に取得する光センサと、
前記光センサから出力される前記断面画像にかかる画像信号を入力して前記レーザ光にかかるビーム関連情報を出力する画像処理部と、
前記レーザ光の進行方向を調節するビーム進行方向調節部と、
前記光センサが前記断面画像を取得する期間の少なくとも一部と前記光源から前記レーザ光が出射する期間とが重なる場合に、前記ビーム関連情報に基づいて前記ビーム進行方向調節部を制御するコントローラと、
を備え、
前記コントローラは、過去に前記光源から前記レーザ光が出射した出射時間帯を複数有する履歴情報を保持し、前記画像処理部から前記ビーム関連情報が入力する時刻から前記光センサが前記断面画像を取得した取得時間帯を算出し、前記取得時間帯の全てと前記履歴情報におけるいずれかの出射時間帯とが重なる場合に前記ビーム関連情報に基づいて前記ビーム進行方向調節部を制御するレーザ装置。 - 前記レーザ光はCO2レーザ光とされ、
前記光センサは赤外線ラインセンサとされる
請求項1に記載のレーザ装置。 - 前記画像処理部には、前記光源をバースト動作させるバースト信号が入力し、
前記画像処理部は、前記バースト信号がオフである場合に前記ビーム関連情報が無効である無効情報を前記コントローラに出力する
請求項1に記載のレーザ装置。 - 前記画像処理部は、前記光センサが取得する画像における前記断面画像となる領域が所定の大きさ以上である場合に前記ビーム関連情報を出力する
請求項1に記載のレーザ装置。 - 前記画像処理部は、前記光センサが取得する画像における前記断面画像となる領域が所定の大きさ以上ではない場合、出力する情報が無効である無効情報を出力する
請求項4に記載のレーザ装置。 - バースト動作によってレーザ光を出射する光源と、
前記レーザ光の断面画像を一定期間かけて一定周期毎に取得する光センサと、
前記光センサから出力される前記断面画像にかかる画像信号を入力して前記レーザ光にかかるビーム関連情報を出力する画像処理部と、
前記レーザ光の進行方向を調節するビーム進行方向調節部と、
前記光センサが前記断面画像を取得する期間の少なくとも一部と前記光源から前記レーザ光が出射する期間とが重なっている場合に、前記ビーム関連情報に基づいて前記ビーム進行方向調節部を制御するコントローラと、
を備えるレーザ装置の制御方法であって、
前記コントローラは、過去に前記光源から前記レーザ光が出射した出射時間帯を複数有する履歴情報を保持し、前記画像処理部から前記ビーム関連情報が入力する時刻から前記光センサが前記断面画像を取得した取得時間帯を算出し、前記取得時間帯の全てと前記履歴情報におけるいずれかの出射時間帯とが重なる場合に前記ビーム関連情報に基づいて前記ビーム進行方向調節部を制御する
レーザ装置の制御方法。
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