JP6749167B2 - 樹脂モールド装置 - Google Patents
樹脂モールド装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6749167B2 JP6749167B2 JP2016143137A JP2016143137A JP6749167B2 JP 6749167 B2 JP6749167 B2 JP 6749167B2 JP 2016143137 A JP2016143137 A JP 2016143137A JP 2016143137 A JP2016143137 A JP 2016143137A JP 6749167 B2 JP6749167 B2 JP 6749167B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- mold
- cavity
- die
- piece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Description
また圧縮成形擦る場合には、ランナは不要であるが、キャビティ内に樹脂圧が伝わる難いため、樹脂をオーバーフローさせてモールドすることが行われる。しかしながら、このようなオーバーフローは成形後のワーク外周に樹脂残りが発生しやすく、後工程におけるハンドリングがし難くなる。
開閉可能に設けられた第1金型及び第2金型と、前記第1金型と前記第2金型との間に配置され、前記第1金型との間でワークをクランプする第3金型と、前記第1金型及び前記第3金型のクランプ面に各々形成された第1キャビティ凹部と、前記第1金型に設けられ、型閉じ動作に応じて移動することで前記第1キャビティ凹部に連続する第2キャビティ凹部が形成される可動キャビティ駒と、前記第2金型に設けられ、第1樹脂が装填される第1樹脂装填部及び前記第1樹脂と異なる種類の第2樹脂が装填される第2樹脂装填部と、前記第1樹脂を前記第3金型に形成された垂直ゲートを介して前記第1キャビティ凹部へ、前記第2樹脂を前記第2キャビティ凹部へ異なるタイミングで各々充填するトランスファ機構と、前記第3金型に形成された樹脂路を介して前記第2樹脂が充填される第3キャビティ凹部と、前記第2金型に設けられ、前記第3キャビティ凹部に連通する樹脂路を常時遮断する開閉可能な遮断部と、型締め機構の型閉じ動作によって前記遮断部を開放して前記第3キャビティ凹部への前記第2樹脂の充填を許容する樹脂路開放機構と、を具備し、前記第1,第2樹脂装填部に第1,第2樹脂が各々装填されワークが供給された前記第1金型と前記第2金型を型閉じ動作を行って前記ワークを前記第1金型と前記第3金型でクランプし、前記遮断部によって前記第2樹脂の第3キャビティ凹部への樹脂路を遮断しながら前記トランスファ機構により前記第1キャビティ凹部へ垂直ゲートを介して第1樹脂の充填動作を行うと共に前記第2キャビティ凹部に接続する樹脂路へ第2樹脂を圧送りし、前記樹脂路開放機構によって前記遮断部が開放されて前記第3キャビティ凹部へ前記第2樹脂が充填され、更なる型閉じ動作を行なうことで前記可動キャビティ駒が移動して形成される前記第2キャビティ凹部に、半硬化状態の前記第1樹脂に重ねて前記第2樹脂の充填動作が異なるタイミングで行われ、複数種類の樹脂モールドを1回の型閉じ動作で実現することを特徴とする。
また、第1キャビティ凹部に第1樹脂を充填している間は、遮断部によって第2樹脂の第3キャビティ凹部への樹脂路を遮断することで、任意のキャビティ凹部に対して必要な樹脂を必要なタイミングで充填することができる。
これにより、可動プラテンを固定プラテンに対して近づけることで最終型締めが行われる際に、型閉じにより突き押し機構を第1キャビティ凹部内に相対的に突き出させて半硬化状態の第1樹脂を離型させて形成される第2キャビティ凹部内に第2樹脂が充填されるので、樹脂どうしが混ざり合うことなく、硬化剤や硬化補助剤どうしが有効に混ざり合って加熱硬化させることができる。
これにより、第1キャビティ凹部に先に充填される第1樹脂が硬化し終わるまでに第2キャビティ凹部を形成して第2樹脂を充填して種類の異なる複数の樹脂どうしの界面の接着性が低下することなく樹脂モールドすることができる。
以下、本発明に係る樹脂モールド装置の好適な実施の形態について、図1乃至図9の添付図面を参照して詳述する。以下では、ワークWとして例えば基板(リードフレーム)1両面に半導体チップ2が実装(ワイヤボンディング実装、フリップチップ実装等)されたものが用いられる(図1参照)。
後述するように型締め動作が進んで、押しピン19eが押し上げ駒20b及び押し上げピン20aを介して上型3の押し上げ駒13bを押し上げることで可動キャビティ駒12が第2コイルばね14の付勢に抗して押し上げられるようになっている。この押しピン19eを設ける場合には、後述する動作のタイミングの調整のため、トランスファ機構19において押しピン19eの突出長をねじ込みやシム板の挿入などの調整構造によって可変とすることが好ましい。
中間型23は、上型3と下型4との間に配置され、上型3との間でワークWをクランプして樹脂モールドする。中間型23には、下型ランナ17cに金型開閉方向と貫通する垂直ゲート23a及び第1キャビティ凹部23bが彫り込まれている。第1キャビティ凹部23bは、上型3の第1キャビティ凹部12aと基板貫通孔(リードフレームのリード間の隙間、樹脂基板の貫通孔等)を通じて連通している。また、中間型23には、第3キャビティ凹部23c及びこれに連通する中間型ランナゲート23dが彫り込まれている。
尚、第1,第2樹脂24a,24bは、製品に応じて例えば、フィラーや添加材の組成が異なる樹脂、フィラーを含む樹脂と含まれない樹脂、シリコーン系の樹脂とエポキシ系の樹脂のように樹脂の種類が異なり樹脂特性が異なる樹脂等がパッケージの用途等に基づいて選択される。また、第1キャビティ凹部12a,23aに充填される第1樹脂24aは、第2キャビティ凹部に充填される第2樹脂24bより加熱硬化時間が長い樹脂が用いられる。
尚、これらのモールド金型に対する第1,第2樹脂24a,24b、中間型23、ワークWの供給の順番は前後してもよい。例えば中間型23にワークWをセットした状態でモールド金型に搬入してもよい。また、中間型23は第1,第2樹脂24a,24bがセットされた後、図示しないチャック機構により下型4に位置決めされているのが好ましい。
図8に示すように、下型プラテン6の上昇にともなって、押しピン19eが開口17dに進入して押し上げ駒20bを押し上げると、コイルばね20dを介して押し上げピン20aを押し上げる。このとき押し上げピン20aの先端は貫通孔9eに進入して押し上げ駒13bを押し上げ、これによってキャビティ駒支持プレート13cを、第2コイルばね14を押し縮めながら押し上げる。キャビティ駒支持プレート13cは、ストッパブロック13aが上型ブロック9に突き当たるまで上昇する。
また、下型プラテン6が下降することにより、コイルばね17fの付勢によりシャットオフピン支持プレート17eが上昇して、シャットオフピン21,22が相対的に上昇して、開放ピン11が相対的に上昇するので、中間型23より成形品を分離することもできる。
更に、中間型23を下型4より取り外すことで下型4からの不要樹脂の離型は容易に行うことができる。また、中間型23より成形品を取り出した後に残留する不要樹脂を除去してクリーニングすれば、中間型23を再度使用することができる。
また、LEDデバイスや光学系デバイスを樹脂モールドする場合、第1樹脂24aとしてレンズ用透明樹脂(エポキシ系樹脂)を用い、第2樹脂24bとして放熱性の高いフィラーを含有する樹脂(高熱伝導エポキシ系樹脂)を用いてもよいし、第1樹脂24aとしてレンズ用透明樹脂(シリコーン系樹脂)を用い、第2樹脂24bとして放熱用樹脂(高熱伝導エポキシ系樹脂)を用いてもよい。
或いは、パワーデバイス系等を樹脂モールドする場合には、第1樹脂24aとしてチップ封止用エポキシ系樹脂を用い、第2樹脂24bとして放熱性の高いフィラーを含有する樹脂(高熱伝導エポキシ系樹脂)を用いてもよい。
次に樹脂モールド装置の他例について、図10乃至図14を参照して説明する。
本実施例のワークWとしては、基板1の一方の面には半導体チップ2がフリップチップ実装され、他方の面には半導体チップ2がワイヤボンディング実装されている場合を例示して説明する。他方の面に搭載されるものには半導体チップ2に限らず、他の部品であってもよい。本実施例では、第1実施例に開示したシャットオフピン21,22やこれを開放させる開放ピン11は省略されている。第1実施例と同様に上型3を固定型、下型4を可動型として説明し、同一部材には同一番号を付して説明を援用するものとする。
次に下型4について説明する。下型プラテン6には環状の下型支持ブロック16が固定されている。この下型支持ブロック16に下型ブロック17が支持されている。下型プラテン6の下方には、トランスファ支持部18が設けられている。このトランスファ支持部18には、トランスファ機構19が支持されている。トランスファ機構19には異なるタイミングで樹脂を押圧する第1,第2プランジャ19a,19bが、例えばコイルばね19c,19dによりフローティング支持されている。尚、第1,第2プランジャ19a,19bは、これらを支持するコイルばね19c,19dに替えて油圧均等圧回路により支持されていてもよい。また、プランジャの数も2種類に限らすそれ以上設けてもよい。
モールド金型に対する第1,第2樹脂24a,24b、中間型23、ワークWがセットされた状態を図11に示す。押し上げピン20aの先端は中間型23の貫通孔23fに挿入された状態となっている。
尚、モールド金型に対する第1,第2樹脂24a,24b、中間型23、ワークWの供給の順番は前後してもよい。例えば中間型23にワークWをセットした状態でモールド金型に搬入してもよい。また、中間型23は図示しないチャック機構により下型4に位置決めされているのが好ましい。
また上型3及び中間型23に第1キャビティ凹部を設け、下型4にキャビティ駒押し上げ機構20を設けたが、下型4と中間型23に第1キャビティ凹部を設け上型3にキャビティ駒押し下げ機構を設けてもよい。
更には、上型3を固定型、下型4を可動型としたが、上型3が可動型で下型4が固定型であってもよい。
Claims (4)
- 開閉可能に設けられた第1金型及び第2金型と、
前記第1金型と前記第2金型との間に配置され、前記第1金型との間でワークをクランプする第3金型と、
前記第1金型及び前記第3金型のクランプ面に各々形成された第1キャビティ凹部と、
前記第1金型に設けられ、型閉じ動作に応じて移動することで前記第1キャビティ凹部に連続する第2キャビティ凹部が形成される可動キャビティ駒と、
前記第2金型に設けられ、第1樹脂が装填される第1樹脂装填部及び前記第1樹脂と異なる種類の第2樹脂が装填される第2樹脂装填部と、
前記第1樹脂を前記第3金型に形成された垂直ゲートを介して前記第1キャビティ凹部へ、前記第2樹脂を前記第2キャビティ凹部へ異なるタイミングで各々充填するトランスファ機構と、
前記第3金型に形成された樹脂路を介して前記第2樹脂が充填される第3キャビティ凹部と、
前記第2金型に設けられ、前記第3キャビティ凹部に連通する樹脂路を常時遮断する開閉可能な遮断部と、型締め機構の型閉じ動作によって前記遮断部を開放して前記第3キャビティ凹部への前記第2樹脂の充填を許容する樹脂路開放機構と、を具備し、
前記第1,第2樹脂装填部に第1,第2樹脂が各々装填されワークが供給された前記第1金型と前記第2金型を型閉じ動作を行って前記ワークを前記第1金型と前記第3金型でクランプし、前記遮断部によって前記第2樹脂の第3キャビティ凹部への樹脂路を遮断しながら前記トランスファ機構により前記第1キャビティ凹部へ垂直ゲート介して第1樹脂の充填動作を行うと共に前記第2キャビティ凹部に接続する樹脂路へ第2樹脂を圧送りし、前記樹脂路開放機構によって前記遮断部が開放されて前記第3キャビティ凹部へ前記第2樹脂が充填され、更なる型閉じ動作を行なうことで前記可動キャビティ駒が移動して形成される前記第2キャビティ凹部に、半硬化状態の前記第1樹脂に重ねて前記第2樹脂の充填動作が異なるタイミングで行われ、複数種類の樹脂モールドを1回の型閉じ動作で実現することを特徴とする樹脂モールド装置。 - 前記第1金型及び前記第2金型には、前記第1樹脂が前記第1キャビティ凹部に充填された後、型締め動作を続行することで前記可動キャビティ駒を移動させるキャビティ駒移動機構を備える請求項1記載の樹脂モールド装置。
- 可動プラテンには前記トランスファ機構及び前記第2金型が支持固定されており、対向する固定プラテンには前記第1金型が吊り下げ支持されており、前記第1金型には型締め動作により前記可動キャビティ駒を貫通して相対的に前記第1キャビティ凹部内に突き出される突き押し機構が設けられている請求項1又は請求項2記載の樹脂モールド装置。
- 前記第1キャビティ凹部に充填される前記第1樹脂は前記第2キャビティ凹部に充填される前記第2樹脂より加熱硬化時間が長い樹脂が用いられる請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の樹脂モールド装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016143137A JP6749167B2 (ja) | 2016-07-21 | 2016-07-21 | 樹脂モールド装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016143137A JP6749167B2 (ja) | 2016-07-21 | 2016-07-21 | 樹脂モールド装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018014412A JP2018014412A (ja) | 2018-01-25 |
JP6749167B2 true JP6749167B2 (ja) | 2020-09-02 |
Family
ID=61019530
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016143137A Active JP6749167B2 (ja) | 2016-07-21 | 2016-07-21 | 樹脂モールド装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6749167B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6678973B1 (ja) * | 2019-04-09 | 2020-04-15 | アサヒ・エンジニアリング株式会社 | 樹脂封止装置および樹脂封止方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4417096B2 (ja) * | 2003-12-24 | 2010-02-17 | Necエレクトロニクス株式会社 | 樹脂封止方法および樹脂封止装置 |
JP5025934B2 (ja) * | 2005-09-28 | 2012-09-12 | 克巳 小松 | テーピング機能を有するサポータ及びその製造方法 |
JP2011243801A (ja) * | 2010-05-19 | 2011-12-01 | Elpida Memory Inc | 半導体パッケージの製造装置及び製造方法 |
JP5776094B2 (ja) * | 2011-03-15 | 2015-09-09 | アピックヤマダ株式会社 | 樹脂モールド方法および樹脂モールド装置 |
-
2016
- 2016-07-21 JP JP2016143137A patent/JP6749167B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018014412A (ja) | 2018-01-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI593538B (zh) | 樹脂成型模具與樹脂成型裝置 | |
JP5824765B2 (ja) | 樹脂モールド方法及び樹脂モールド装置並びに供給ハンドラ | |
CN107170694B (zh) | 树脂封装装置、树脂封装方法及树脂封装产品的制造方法 | |
JP5776094B2 (ja) | 樹脂モールド方法および樹脂モールド装置 | |
KR102522168B1 (ko) | 수지 성형 장치 및 수지 성형품의 제조 방법 | |
WO2017081882A1 (ja) | 樹脂封止装置及び樹脂封止方法 | |
WO2017081881A1 (ja) | 樹脂封止装置及び樹脂封止方法 | |
KR20200141089A (ko) | 몰딩 금형 및 그것을 갖춘 수지 몰딩 장치 | |
JP6742273B2 (ja) | モールド金型及び樹脂モールド方法 | |
KR20190017684A (ko) | 수지 성형품의 반송 기구, 수지 성형 장치 및 수지 성형품의 제조 방법 | |
JP6749167B2 (ja) | 樹脂モールド装置 | |
JP6438794B2 (ja) | モールド金型、樹脂モールド装置及び樹脂モールド方法 | |
JP5958505B2 (ja) | 樹脂封止装置およびその封止方法 | |
JP6822901B2 (ja) | 樹脂モールド金型及び樹脂モールド装置 | |
JP5511724B2 (ja) | 電子部品の樹脂封止成形方法及び装置 | |
JP6208967B2 (ja) | Led装置の製造方法 | |
JP3612063B2 (ja) | 樹脂封止金型、それを用いた樹脂封止方法および樹脂封止装置 | |
TWI778332B (zh) | 樹脂成形裝置以及樹脂成形品的製造方法 | |
JP6693798B2 (ja) | 樹脂モールド装置及び樹脂モールド方法 | |
JP5659427B2 (ja) | 平行昇降機構および半導体製造装置 | |
JP2020108973A (ja) | 樹脂モールド装置及び樹脂モールド方法 | |
JP2009146929A (ja) | 半導体装置用樹脂封止装置および半導体装置の製造方法 | |
CN118266062A (en) | Resin sealing device, sealing mold, and resin sealing method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190311 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20191126 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191203 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200122 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200428 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200625 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200714 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200811 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6749167 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |