JP6745654B2 - 非球面レンズの計測装置 - Google Patents
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Description
10…干渉計、
20…サンプル、
30…CGH、
40…ヌルミラー、
50…制御手段。
Claims (4)
- 干渉計と;
CGHと;
測定対象である非球面レンズを設置するサンプル台と;
ヌルミラーと;
使用する場合に、上記CGHの光軸が上記干渉計が出射する光と平行になるように上記干渉計と上記サンプル台との間の第1の領域の内に上記CGHを移動すること、及び、使用しない場合に、上記第1の領域の外に上記CGHを移動するように構成されたCGH移動手段と;
使用する場合に、上記ヌルミラーの光軸が上記干渉計が出射する光と平行になるように上記干渉計が出射し上記非球面レンズを透過した光が通過する第2の領域内に上記ヌルミラーを移動すること、及び、使用しない場合に、上記第2の領域の外に上記ヌルミラーを移動するように構成されたヌルミラー移動手段と;
を有することを特徴とする非球面レンズを測定対象とする計測装置。 - 請求項1において、
上記干渉計が出射する光と上記CGHの光軸とが平行になっているときに、上記ヌルミラーを上記第2の領域以外の領域に移動するように、上記ヌルミラー移動手段を制御し、一方、上記干渉計が出射する光が上記ヌルミラーの光軸と平行になっているときに、上記第1の領域の外に、上記CGHを移動するように、上記CGH移動手段を制御する制御手段を有することを特徴とする非球面レンズを測定対象とする計測装置。 - 請求項1において、
上記CGH移動手段は、回転運動または直線運動によって上記CGHを移動する手段であり、また、上記ヌルミラー移動手段は、回転運動または直線運動によって上記ヌルミラーを移動する手段であることを特徴とする非球面レンズを測定対象とする計測装置。 - 請求項3において、
上記CGH移動手段及び上記ヌルミラー移動手段は、自動的または手動で移動させることを特徴とする非球面レンズを測定対象とする計測装置。
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JP2016123527A JP6745654B2 (ja) | 2016-06-22 | 2016-06-22 | 非球面レンズの計測装置 |
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JP2016123527A JP6745654B2 (ja) | 2016-06-22 | 2016-06-22 | 非球面レンズの計測装置 |
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