JP6743479B2 - 光源ユニット及びレーザユニット - Google Patents

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Description

本発明は、光源ユニット及びレーザユニットに関する。
光が出射される発光素子を光源として用いる際に、当該発光素子の光の利用効率を向上するために、マイクロレンズアレイを光学素子に対向して配置したマイクロレンズユニットを光源ユニットとして用いる構成が知られている(例えば特許文献1等参照)。
こうした光源ユニットに用いられるレンズアレイは、発光素子と、レンズアレイを構成するレンズとの位置がずれてしまうと、光の利用効率が低下してしまうため、発光素子とレンズアレイとの間の位置決め精度は高い精度が要求される。
こうした発光素子とレンズアレイとの間を精度良く固定する方法として、ハンダ付けによる接合の前に、液体の仮固定材を使用して仮止めし、接合時に加熱して仮固定材を除去する方法が考えられている。
しかしながら、仮固定材を使用して接合するときには、仮固定材の残渣が発光素子に流入してしまうおそれがあった。
本発明は、仮固定材が光学系に与える影響が抑制された光源ユニットの提供を目的とする。
前記課題を解決するための手段として本発明の光源ユニットは、光が出射される発光素子を一体に備えた基板部と、前記基板部に対向して配置され、光軸が前記光の光軸と一致するように前記発光素子に対向して設けられたレンズを備えたレンズアレイと、前記基板部の、前記発光素子よりも周縁側に位置し、接合材を用いて前記基板部側の接合面と前記レンズアレイ側の接合面とを一体に接合する接合部と、前記接合部と前記発光素子との間に形成されたエッジ部と、を有し、前記エッジ部は、前記基板部側の接合面から前記光の射出方向に凸の態様で起ちあがって形成される
本発明によれば、仮固定材が光学系に与える影響を抑制することができる。
本発明の第1実施形態にかかるレーザ装置の全体構成の一例を示す図である。 図1に示したマイクロレンズユニットの構成の一例を示す平面図である。 図1に示したマイクロレンズユニットの構成の一例を示す側断面図である。 マイクロレンズユニットの形成過程の一例について模式的に示した図である。 マイクロレンズユニットの形成時の仮固定材の動作例を示す図である。 第2実施形態にかかるマイクロレンズユニットの構成の一例を示す平面図である。 図6に示すマイクロレンズユニットの構成の一例を示す側断面図である。 第3実施形態にかかるマイクロレンズユニットの構成の一例を示す側断面図である。 第4実施形態にかかるマイクロレンズユニットの構成の一例を示す側断面図である。 マイクロレンズユニットの他の構成例を示す側断面図である。
本発明にかかる第1の実施形態として、図1にレーザユニットたるレーザ装置100を示す。
レーザ装置100は、レーザ光Lを射出するための光源ユニットたるレーザ光源10と、レーザ光源10から出射されたレーザ光Lを集光する集光光学系20と、集光されたレーザ光Lを伝送する光伝送路30と、を有している。
なお、以降の説明では、図1に示すように、レーザ光源10からのレーザ光Lの射出方向をZ方向として、Z方向に垂直な方向のうち、図1の上方側をY方向、紙面奥側をX方向とそれぞれ定める。
レーザ光源10は、Z方向にレーザ光Lを出射する発光素子としての面発光レーザ素子11を一体に備えた基板部12と、基板部12に対向して配置されたレンズアレイ13と、を有している。
レーザ光源10は、基板部12の面発光レーザ素子11よりも周縁側に位置し基板部12とレンズアレイ13とを一体に接合する接合部15と、接合部15と面発光レーザ素子11との間において基板部12とレンズアレイ13とのそれぞれに形成された段差部16と、を有している。
基板部12は、図2に示すように、中心部にVCSEL素子たる面発光レーザ素子11が形成されたVCSEL基板の本体部分である。面発光レーザ素子11は、+Z方向側の面に、アレイ状に形成された複数の発光点Pを有する発光部である。
基板部12の周縁部は、接合部15が当接する部分、言い換えると接合面121において、Au薄膜が形成されて、接合部15と一体に接合されている。
レンズアレイ13は、面発光レーザ素子11のそれぞれの発光点Pに対向して配置されたマイクロレンズ14を有するマイクロレンズアレイである。
マイクロレンズ14は、そのレンズ光軸OがZ方向と平行に、かつその焦点が発光点Pに一致するように、基板部12との間隔zが調整されている。つまり、マイクロレンズ14は、レンズ光軸Oがレーザ光Lの光軸と平行になるように調整されている。かかる構成により、マイクロレンズ14は、面発光レーザ素子11から射出されるレーザ光LをZ軸に平行な光へと偏向するコリメータレンズとしての機能を有している。
レンズアレイ13の−Z方向側の面には、接合部15が当接する部分、すなわち接合面131にAu薄膜が形成されており、接合部15と一体に接合されている。
光伝送路30は、−Z方向側の端部たる入射側端部30aと、出射側の端部である出射側端部30bと、を有している。
光伝送路30は、光ファイバであり、入射側端部30aに入射したスポット状に集光されたレーザ光Lを、反対側の端部である出射側端部30bへと導く導光路としての機能を有している。
集光光学系20は、レーザ光源10から出射されZ軸に平行なレーザ光Lを偏向して、光伝送路30の入射側端部30aへと集光する。
なお、集光光学系30は、本実施形態では凸レンズを用いているが、複数のレンズを用いたレンズ群であっても良い。
接合部15は、2つの対向した接合面たる接合面121と、接合面131とを接続するように設けられている。
言い換えると接合部15は、基板部12の段差部16が形成されていない本体部分と、レンズアレイ13の段差部16が形成されていない本体部分と、を接続するように、互いに間隔zを空けて接合材3で接合された部分である。
なお、ここでは接合材3としてハンダを用いるが、その他の接合材であっても良い。
段差部16は、接合面121と面発光レーザ素子11との間を結ぶ仮想的な線Aと交差するように基板部12上に形成された段差状の基板側突出部161と、接合面131とマイクロレンズ14との間を結ぶ仮想的な線Bと交差するようにレンズアレイ13上に形成された段差状のレンズ側突出部162と、を有している。図3(a)では特に、面発光レーザ素子11をと接合部15とを結ぶX軸に平行な線A、Bを、一例として示す。
基板側突出部161とレンズ側突出部162とは、それぞれ、高さzのXY平面に垂直な側壁面たる壁面161a、162aと、XY平面に平行な上部側の面たる上面161b、162bと、を有している。
すなわち基板側突出部161とレンズ側突出部162とは、その上面161bと上面162bとが互いに対向して、間隔zを空けて離間して配置されている。
言い換えれば、上面161bと上面162bとは、基板部12の本体部分とレンズアレイ13の本体部分との間隔zを接合部15の形成位置における間隔zと変化させる第1の面である。
また、壁面161a、162aは、上面161b、162bの外周縁側において上面161b、162bとエッジ部を形成して繋がっている第2の面である。
また、接合面121、131のそれぞれと同一平面上にあって上面161b、162bと逆側において壁面161a、162aと繋がっている第3の面を底面161c、162cとする。
このとき、壁面161a、162aと、上面161b、162b及び底面161c、162cとが角θを形成する。本実施形態では、特に角θ=90°である。
以上述べたように、段差部16は、接合面121及び接合面131の同一平面上からZ方向に凸の態様で形成された段差であり、接合面121及び接合面131の同一平面上に対して切り立った壁面161a、162aを有している。
また、かかる壁面161a、162aは、上面161b、162bとエッジ部を構成している。つまりエッジ部とは、図3(b)、(c)に破線で囲んで示すように、2つの面が接する位置において稜線が形成されるような角を形成している状態を示している。
なお、本実施形態におけるエッジ部は、図3(b)に示すように、上面161bが接合面121の同一平面上よりも高い位置にある場合についてのみ述べたが、図3(c)に示すように上面161bが接合面121の同一平面上よりも低い位置にある場合についてもエッジ部という表現を用いる。
また、後述するように、壁面161a、162aと、上面161b、162b及び底面161c、162cとが形成する角θは、鋭角であっても鈍角であっても良い。
この点について詳しく説明するために、まずかかる光源ユニット10の接合方法について説明する。なお、以降の説明では、1つの接合部15についてのみ述べて、その他の箇所については適宜説明を省略する。また、接合時の態様については−Z方向を鉛直方向として説明する。
まず、基板12の接合面121に形成されたAu薄膜上に、図4(a)に示すように液状の接着剤である仮固定材5aを塗布する。仮固定材5aは、自らの表面張力によって、+Z方向に凸の半球状になる。
仮固定材5aの上に、図4(b)のように固体の接合部材としてハンダシート3aを載置し、当該ハンダシート3aの上にさらに仮固定材5bを塗布する。
仮固定材5bは、塗布された状態では、図4(b)に示すようにハンダシート3aの上で半球状になるため、先に塗布した仮固定材5aと混合されてしまうことは無い。
かかる状態の基板12に対して、+Z方向側からレンズアレイ13を位置あわせを行いながら取付ける。このとき、図4(c)に示すように仮固定材5aと仮固定材5bとは、+Z方向側からの力を受けて、仮固定材5として混ざり合いながらXY平面に平行な方向に流れていく。
このように仮固定材5が濡れ性によって流動することによって、仮固定材5はレンズアレイ13と基板12との間隔zを均等にするように仮止め状態にできる。
仮止め状態において、光源ユニット10を還元雰囲気の溶融装置に入れて加熱すると、仮固定材5が蒸発するとともにハンダシート3aが溶融して、接合面131に向かって流出する。
仮固定材5は、ジプロピレングリコールが望ましいが、プロピレングリコール、ポリエチレングリコールなどでも良く、これらの材料の混合液でも良い。
あるいは、固体のポリエチレングリコールを加熱・溶融させて塗布するのでも良い。
このとき溶融したはんだは、接合面121、131にのみ濡れているから、XY平面には表面張力によってXY方向に一様に移動するため、精度良く位置決めすることができる。
このように表面張力による位置決めを行ったあと、冷却することで、ハンダシート3aが±Z方向に若干伸長して、固化する。このようにして接合部15が形成され、基板部12とレンズアレイ13とが接合部15によって接合された光源ユニット10となる。
ところで、仮固定材5の塗布量が必要十分なときは、図4(a)〜(c)に示したように、仮固定材5は接合面121、131の間に留められる。
しかしながら、かかる仮固定材5の塗布量は、必ずしも毎回必要十分な量供給できるとは限らず、不足した場合には接合が上手く行われないために、多少余裕を持った量が塗布されることが望ましい。
一方、仮固定材5の塗布量が過多の場合には、図5(b)に従来技術の参考例として示すように、仮固定材5が面発光レーザ素子11が配置された位置まで移動してしまうおそれがある。
仮固定材5は既に述べたように加熱によって蒸発して取り除かれるが、仮固定材5に混入した不純物や残渣による影響でレーザ光Lの光量が低下するなどの問題が生じるおそれがある。
かかる問題を解決するべく、本実施形態における光源ユニット10は、段差部16を有している。
段差部16のはたらきについて詳しく説明する。
壁面161a、162aは、接合部15の少なくとも一部を取り囲むように、XY平面からZ方向に向かって垂直に切り立っており、上面161b、162bとエッジ部を形成している。仮固定材5がXY平面に平行な方向に移動して壁面161a、162aの位置に到達したとき、壁面161a、162aがエッジ状に切り立っているので、仮固定材5は表面張力にしたがって上下方向に伸びていく。
このとき、間隔zの部分である上面161b、162bの入り口では、上面161b、162bと壁面161a、162aによって形成されたエッジ部で濡れ広がりが阻害されるので、間隔zの部分に入り込む際の抵抗力としてはたらく。
その結果、仮固定材5は、面発光レーザ素子11に向かって伸びていくよりも、矢印Cに示すように外周縁方向へ伸びていく方が容易であるから、図5(a)に示すように、上面161b、162bに濡れ広がらずに済む。
また、本実施形態における段差部16は、XY平面から突出した基板側突出部161とレンズ側突出部162とを有している。すなわち、上面161b、162bの接合面121、131とは反対側の端部にも、同様に161a、162aが形成されている。
すなわち、接合部15と面発光レーザ素子11との間には、複数のエッジ部が形成されている。
かかる構成により、かりに仮固定材5が上面161b、162bに濡れ広がり、−C方向へと広がっていったとしても、上面161b、162bにおいて接合部15と反対側の端部の壁面161a、162aによって形成されたエッジ部で、−C方向の移動は制限される。
以上述べたように、光源ユニット10は、段差部16によって仮固定材5が中心部たる面発光レーザ11に入り込むことを防ぐから、仮固定材5がレーザ光Lに与える影響が抑制される。
さらにまた、本実施形態における段差部16は、互いに当接しないように形成されている。具体的には、基板側突出部161と、レンズ側突出部162とは、互いに対向した位置に形成されるとともに、互いの上面161bと上面162bとが間隔zだけ離間して配置されている。
加えて、接合部15は、基板部12の重心に対して対称となるように、4点設けられている。
かかる構成によれば、基板部12とレンズアレイ13とが接合部15を介してのみ当接することとなるから、接合部15の形成時すなわち加熱時において、接合部15のハンダが溶融して、自動的に基板部12とレンズアレイ13との位置が調整される。
このように、接合部15を介してのみ当接する構成により、レンズアレイ13と基板部12との間がセルフアライン構造によって調整されるから、組立て時のコストが低減化される。
本発明の第2の実施形態として、他の光源ユニット10を考える。なお、以降の説明において、第1の実施形態と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。
光源ユニット10は、図6に示すように、面発光レーザ素子11が一体に形成された基板部12と、基板部12の周縁部に形成された接合部15と、接合部15を取り囲むように形成された段差部26と、を有している。
接合部15は、第2の実施形態では、図7に示すように、段差部26の間に配置されており、基板部12とレンズアレイ13との間隔zを保つように接合する。
第2の実施形態における接合部15と基板部12とが当接する面を接合面122、接合部15とレンズアレイ13とが当接する面を接合面132とする。
段差部26は、基板部12の+Z方向側の面に形成された基板側突出部261と、レンズアレイ13の−Z方向側に形成されたレンズ側突出部262と、を有している。
段差部26は、高さzのXY平面に垂直な側壁面たる壁面261a、262aと、XY平面に平行な上部側の面たる上面261b、262bと、を有している。
すなわち、本実施形態におけるエッジ部たる壁面261aは、接合面122からみたときに、接合面122と平行な面に対して不連続に形成されたエッジ部としての機能を有している。
同様に、壁面262aは、接合面132からみたときに接合面132と平行な面に対して不連続に形成されたエッジ部としての機能を有している。
本実施形態では、上面261bと上面262bとは、基板部12の本体とレンズアレイ13の本体との間隔zを接合部15の形成位置における間隔zと変化させる第1の面である。
また、壁面261a、262aは、上面261b、262bの外周縁側において上面261b、262bと接続された第2の面である。
また、上面261b、262bと逆側において壁面261a、262bと接続された第3の面を底面261c、262cとする。
このとき、壁面261a、262aと、上面261b、262b及び底面261c、262cとが角θを形成する。本実施形態では、第1の実施形態と同様に、角θ=90°である。
第2の実施形態においても同様に、仮固定材5は接合面122と平行な上面261b、262bと不連続に形成された壁面261a、262aによって形成されたエッジ部で移動を制限される。
かかる構成により、光源ユニット10は、段差部26によって仮固定材5が中心部たる面発光レーザ11に入り込むことを防ぐから、仮固定材5がレーザ光Lに与える影響が抑制される。
本発明の第3の実施形態を図8(a)、(b)に示す。
第3の実施形態は、第2の実施形態と同様に、接合部15が段差部36の間に配置されており、基板部12とレンズアレイ13との間隔zを保つように接合する。
また、段差部36は、接合部15と面発光レーザ11との間に形成されたエッジ部たる壁面361a、362aと、接合部15を挟んで壁面361a、362aとはそれぞれ逆側に形成された誘導部363、364と、を有している。
言い換えると誘導部363、364は、接合部15の周囲において、上面161b、162bと壁面161a、162aによって形成されたエッジ部のない部分に形成されている。あるいは、接合部15の周囲のうち、発光素子11に対して壁面361a、362aとは逆側に形成されるとしても良い。
かかる誘導部363、364は、それぞれ、接合部15の当接する接合面122、132と平行な面から連続して形成され、曲率を有する曲面状の誘導路である。
なお、ここで「連続して」とは、ある面が特異点を持たない、言い換えれば微分可能な曲面あるいは平面で構成されることを指している。
このような曲面では、角が形成されないために、仮固定材5が液体の場合にも、表面張力による抵抗が生じにくい。
誘導部363、364は、緩やかに曲がった曲面であるから、仮固定材5の塗布量が多いときにも、図8(b)に示すように、誘導部363、364においては表面張力が抵抗力とならない。一方、誘導部363、364と反対側の端部には、壁面361a、362aで形成されたエッジ部があるため、第1、第2の実施形態で説明したように、仮固定材5は−C方向への移動を制限される。
すなわち、仮固定材5は、誘導部363、364によって基板部12の外周縁側に誘導されるから、−C方向への移動が制限されて、仮固定材5がレーザ光Lに与える影響が抑制される。
なお、第3の実施形態においても、仮固定材5は壁面361a、362aによって−C方向への移動を制限される。
本発明の第4の実施形態について説明する。
なお、第4の実施形態においては、図9(a)に示すように、第3の実施形態にさらに溝部18を設けたものであるので、その他の構成については第3の実施形態と同一の符号を付して説明を適宜省略する。
溝部18は、段差部36に設けられた、断面が矩形の溝であり、接合面122、132に対して垂直に切り立った側壁部18aと、接合面122、132と平行な底面部18bと、を有している。
図9(b)に示すように、仮固定材5を塗布して、基板部12とレンズアレイ13とを互いに対向するように近づけると、上面361b、362bとその延長線上の面と側壁部18aで形成された角がエッジ部として機能することによって、仮固定部5は−C方向への移動を制限される。
かりに仮固定材5の塗布量が過多であった場合にも、壁面361a、362aの角がエッジ部として機能することによって、仮固定材5は−C方向への移動を制限される。
さらに、仮固定材5が溝部18内部に流れ込むことによって、仮固定材5のXY平面方向への移動をさらに抑制することができる。
第4の実施形態において、エッジ部は、基板部12及び/またはレンズアレイ13に形成された溝部18によって構成されている。
かかる構成により、表面張力によって仮固定材5の中心方向への移動が制限されるとともに、溝部18内に仮固定材5が流入することで、さらに仮固定材5の中心方向への移動が制限される。
本発明の他の変形例として、エッジ部がなす角θが垂直ではない場合について、図10(a)、(b)、(c)に示す。
図10(a)において、段差部16の接合部15側の側壁面163は、XY平面との間でなす角θ≦90°の鋭角である。
同様に、図10(b)において、段差部16の接合部15側の側壁面164は、XY平面にとの間でなす角θ≧90°の鈍角である。
このように、エッジ部は、XY平面と垂直でなくとも良いが、特に鈍角の場合には、あまりに大きな鈍角になると、表面張力による抵抗力が、仮固定材の濡れ性によって広がろうとする力に抗しきれなくなる。
そのため、かかるエッジ部がXY平面となす角θは、θ<120°程度であることがより望ましい。
また、図10(c)に示すように、接合面121、131がXY平面に平行ではなく、段差部16の接合部15側の側壁面165はZ方向に平行であって、接合面121、131の延長線との間でなす角θ≧90°の鈍角であっても良い。
また、上述の実施形態においては、Z方向に凸の態様で形成された段差部16を示したが、図10(d)に示すように、Z方向に凹んだ態様で形成されるとしても良い。
その場合にも、側壁面166は、不連続な面を有するエッジ部としての機能を有している。
以上、本発明の実施形態を説明したが、実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能である。
例えば、第1〜第4の実施形態において説明した複数のエッジ部を組み合わせて用いても良い。
また、第1〜第4の実施形態においては、基板部とレンズアレイの両側にエッジ部を形成したが、何れか一方に形成するとしても良い。
また、接合部は、はんだシート以外にも、はんだ粒を含んだはんだペーストや接着剤などであっても良い。
10 光源ユニット
11 発光素子
12 基板部
13 レンズアレイ
14 レンズ
15 接合部
16、26、36 段差部
18 溝部
18a 側壁部
100 レーザユニット
121、131 接合面
161 基板側突出部
161a 壁面
162 レンズ側突出部
162a 壁面
261a、262a 壁面
362a、362b 壁面
363、364 誘導部
Z 射出方向
特開2013−545280号公報

Claims (7)

  1. 光が出射される発光素子を一体に備えた基板部と、
    前記基板部に対向して配置され、光軸が前記光の光軸と一致するように前記発光素子に対向して設けられたレンズを備えたレンズアレイと、
    前記基板部の、前記発光素子よりも周縁側に位置し、接合材を用いて前記基板部側の接合面と前記レンズアレイ側の接合面とを一体に接合する接合部と、
    前記接合部と前記発光素子との間に形成されたエッジ部と、を有し、
    前記エッジ部は、前記基板部側の接合面から前記光の射出方向に凸の態様で起ちあがって形成される光源ユニット。
  2. 請求項1に記載の光源ユニットであって、
    前記エッジ部は、前記接合部の少なくとも一部を囲むように形成されたことを特徴とする光源ユニット。
  3. 請求項に記載の光源ユニットであって、
    前記接合部の周囲のうち、前記発光素子に対して前記エッジ部を挟んだ逆側に、前記接合面から連続して形成された曲率を有する誘導部を有することを特徴とする光源ユニット。
  4. 請求項1乃至3の何れか1つに記載の光源ユニットであって、
    前記エッジ部は、前記基板部及び/または前記レンズアレイに形成された溝で形成されていることを特徴とする光源ユニット。
  5. 請求項1乃至4の何れか1つに記載の光源ユニットであって、
    前記基板部と前記レンズアレイとは、前記接合部のみを介して互いに当接することを特徴とする光源ユニット。
  6. 請求項1乃至5の何れか1つに記載の光源ユニットであって、
    前記エッジ部は複数配置されることを特徴とする光源ユニット。
  7. 請求項1乃至6の何れか1つに記載の光源ユニットを有するレーザユニット
JP2016094849A 2016-05-10 2016-05-10 光源ユニット及びレーザユニット Active JP6743479B2 (ja)

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