JP6739072B2 - 熱電変換モジュールの作製方法 - Google Patents
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さらに、このΠ型素子を複数個、直列配列することで高い起電力や大きな温度差を得ることができるようになる。
このように、熱電変換モジュールはこのN、P型を交互に並べる構造である為、モジュールの作製工程が複雑になる(特許文献1)。
また、素子の側面がガラスに覆われた状態で熱電変換素子を作り、高密度配列と電極接続の信頼性を高くし、さらに材料表面が大気中に露出されないため素子表面の酸化による劣化を防ぐ熱電変換モジュールが提案されている(特許文献4)。
その結果、板状の金属をバルクの熱電材料に対して良好な熱,電気的接触を得るためには、数ミリメートル程度の大きさが必要であることから素子を高密度化することは難しく、モジュールの面積が小さい場合には高い起電力を得ることができない。
さらに、放熱側に取り付けられている絶縁基板のために放熱性が低く、実際にモジュールを使用する際には、さらに放熱性を高めるためのヒートシンクや熱交換器が取り付けられるために、システムは複雑になる。
(1)
その側面が絶縁体に覆われ上面と底面が上部電極と下部電極を構成する柱状の同一導電型の半導体からなる熱電変換素子を絶縁基板にその底面が接するように格子状に配列された熱電変換素子モジュールの直列接続作製方法であって、
主部と足からなる電極パターンを前記絶縁基板の所定の位置に配置し、
前記電極パターンの主部に前記熱電変換素子の下部電極をその底面で接合し、
前記絶縁基板の斜め上方から対向して2回金属を蒸着し、
一の熱電変換素子の下部電極の当該電極パターンの足と次の熱電変換素子の上部電極を、当該足と前記次の熱電変換素子の側面とその間の絶縁基板を覆う前記蒸着した金属で接続し、
前記全ての熱電変換素子を直列に接続したことを特徴とする熱電変換素子モジュールの直列接続作製方法。
前記絶縁基板に配置された前記電極パターンの所定の位置は、前記斜め上方から見た場合に、手前の前記熱電変換素子の側面と奥の前記熱電変換素子の側面が所定の厚さで重なり合っていることを特徴とする(1)に記載の熱電変換素子モジュールの直列接続作製方法。
前記金属の蒸着をPVD法で行ったことを特徴とする(2)に記載の熱電変換素子モジュールの直列接続作製方法。
前記PVD法は真空蒸着法であることを特徴とする(3)に記載の熱電変換素子モジュールの直列接続作製方法。
前記同一導電型はP型またはN型であることを特徴とする(1)乃至(3)のいずれかに記載の熱電変換素子モジュールの作製方法。
その側面が絶縁体に覆われ上面と底面が上部電極と下部電極を構成する柱状の同一導電型の半導体からなる熱電変換素子を絶縁基板にその底面が接するように格子状に配列された熱電変換素子モジュールであって、
主部と足からなる電極パターンが前記絶縁基板の所定の位置に配置され、
前記電極パターンの主部に前記熱電変換素子の下部電極をその底面で接合され、
一の熱電変換素子の下部電極の当該電極パターンの足と次の熱電変換素子の上部電極が、当該足と前記次の熱電変換素子の側面とその間の絶縁基板を覆う蒸着した金属で接続され、
前記全ての熱電変換素子が直列に接続されていることを特徴とする熱電変換素子モジュール。
前記同一導電型はP型またはN型であることを特徴とする(6)に記載の熱電変換素子モジュール。
(1) N型素子とP型素子を交互に並べる構造に比べ、1キャリア素子のみで直列接続するユニレグ構造(1キャリア素子と金属を利用して直列接続を得る構造)である為、材料開発や製造プロセスを簡易化できる。
(3) その結果,単位面積当たりの起電力を向上させる事が可能。
(6) 素子自身が放熱フィンの構造をとるため、熱電発電に求められる放熱性が、ヒートシンク等の放熱構造を取らなくても良好。
図1に、X軸方向に3または4素子、Y軸方向に4素子を配列した熱電変換モジュール12を示した。
また、各熱電変換素子11の上面は上部電極14、底面は下部電極13として構成されている。
図では、矢印の方向に直列接続される電極パターン9が描かれている。
図2に示した各電極パターン21,22、23,24は配線であって熱電変換素子の底面と接する主部と所定の長さと方向を有する足(または髭)を有している。
この時、第1素子列5の各素子と第3素子列7の各素子は接続されておらず、また第1列と第2列、第2列と第3列、および、第3列と第4列の各間も接続されていない。
このようにして、第1素子列と第3素子列がそれぞれ直列接続される。
また、金属蒸着は実際の素子への蒸着ではなく、上述の3次元空間に配置された熱電変換素子に所定の角度で平行光源を当ててライティング処理を施して、その照射領域を金属蒸着領域とみなして解析を行った。
また、素子の導通に関しては、隣り合う下部電極と上部電極が電極パターンの足と、基板10の部分3および4と熱電変換素子の側面とが連続する擬制蒸着領域で覆われて接続されている状態を導通とした。
従って、回折・回り込みがない、または、あっても僅かな蒸着法であれば、いずれの方法であってもよい。
以下に、各工程の実施例の詳細を説明する。
まず、絶縁基板10を用意し、その上に電極パターン9を配置する。
電極パターンは予め絶縁基板に配線として印刷しておいてよい。
次に、準備した各電極パターンの上に熱電変換素子の下部電極を底面にして導電性接着剤やろう付けで固定する。
次に、上で準備した熱電変換素子モジュールの斜め方向1から熱電変換素子に金属蒸着する。
本実施例では、斜め方向1は、図1(c)の絶縁基板のX軸に対して時計回りに30度、絶縁基板平面に対し鉛直方向45度下方であった。
この方向と重なり具合は、熱電変換素子の直径と高さ、熱電変換素子の格子点間距離をパラメータとして適宜、決定すればよい。
図1(c)は、斜め方向1から金属蒸着後の熱電変換素子モジュールを上から見た図である。
さらに、上で準備した熱電変換素子モジュールの斜め方向1と下方に向けて対向する斜め方向2から熱電変換素子に金属蒸着する。
本実施例では、斜め方向2は、図1(c)に示す絶縁基板のX軸に対して反時計回りに150度、絶縁基板平面に対し鉛直方向45度下方であった。
図4にこの金属蒸着で蒸着された電極パターン24からなる第2素子列6をY方向と−Y方向から見た熱電変換素子の側面の領域を示す。
(1) 高密度・高起電力熱電変換モジュールの作製に利用でき、
(2) バルク材料から,マイクロスケールの熱電モジュールに適用が可能であって、
(3) 熱電変換素子のみに限らず,蒸着でその他素子の直列接続を実現可能である。
2 第2の斜め方向
3 第1の斜め方向から金属が蒸着される部分
4 第2の斜め方向から金属が蒸着される部分
5 第1素子列(3素子)
6 第2素子列(4素子)
7 第3素子列(3素子)
8 第4素子列(4素子)
9 電極パターン
10 絶縁基板
11 熱電変換素子
12 熱電変換素子モジュール
13 下部電極
14 上部電極
21 電極パターン1
22 電極パターン2
23 電極パターン3
24 電極パターン4
Claims (7)
- 側面が絶縁体に覆われ上面が上部電極を底面が下部電極を構成する柱状の同一導電型の半導体からなる複数の熱電変換素子の下部電極を、主部と足からなる電極パターンが格子状に配置された絶縁基板の前記電極パターンの主部に接合し、
前記複数の熱電変換素子を直列に接続するように、前記複数の熱電変換素子の各々が接合されている電極パターンの足と、当該熱電変換素子に隣接する一つの熱電変換素子の上部電極との間を、金属の蒸着により接続する
ことを特徴とする熱電変換素子モジュールの作製方法。 - 前記電極パターンが前記絶縁基板上の六角状格子点に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の熱電変換素子モジュールの作製方法。
- 前記金属の蒸着をPVD法で行うことを特徴とする請求項2に記載の熱電変換素子モジュールの作製方法。
- 前記PVD法は真空蒸着法であることを特徴とする請求項3に記載の熱電変換素子モジュールの作製方法。
- 前記同一導電型はP型またはN型であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の熱電変換素子モジュールの作製方法。
- 主部と足からなる電極パターンが格子状に配列された絶縁基板と、
側面が絶縁体に覆われ上面が上部電極を底面が下部電極を構成する柱状の同一導電型の半導体からなる複数の熱電変換素子と、
を有し、
前記複数の熱電変換素子の各々の下部電極は、前記電極パターンの主部と接合されており、
前記複数の熱電変換素子が直列に接続するように、前記複数の熱電変換素子の各々が接合されている電極パターンの足と、当該熱電変換素子に隣接する一つの熱電変換素子の上部電極との間が、蒸着による金属で接続されること
を特徴とする熱電変換素子モジュール。 - 前記同一導電型はP型またはN型であることを特徴とする請求項6に記載の熱電変換素子モジュール。
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