JP6735606B2 - 制振装置 - Google Patents
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Description
図1には、本実施形態に係る制振装置50が適用(実装)されたアクティブ除振台10が示されている。アクティブ除振台10は、架台12と、複数の弾性支持部材20と、載置台22と、振動センサ30と、制振装置50とを備えている。
制振装置50は、架台12の架台本体14と、載置台22の連結ベース26との間に設置されている。この制振装置50は、除振対象物24が振動を発生した場合に、除振対象物24及び載置台22の振動を低減するものである。
26 連結ベース(第2部材)
50 制振装置
60 アクチュエータ
64 湾曲板
66 圧電素子
82 軸部材
90 ナット(一対の把持部材)
94 弾性体
110 第1アクチュエータ(アクチュエータ)
130 弾性体
Claims (3)
- 第1部材と相対変位する第2部材を制振する制振装置であって、
圧電素子を有し、前記第1部材に支持されるとともに前記第2部材に連結され、前記圧電素子の伸縮に伴って前記第1部材に対して前記第2部材を押し引きし、前記第2部材に制振力を付与するアクチュエータと、
前記アクチュエータと前記第1部材との間、及び前記アクチュエータと前記第2部材との間の少なくとも一方に介在するゴムからなる弾性体と、
を備え、
前記アクチュエータは、前記第1部材と前記第2部材との間に配置されるとともに、該第2部材側に凸状に湾曲された湾曲板を有し、
前記圧電素子は、前記湾曲板の表面に設けられ、伸縮に伴って前記湾曲板の曲率を変化させる、
制振装置。 - 前記アクチュエータは、前記第2部材の片側にのみ配置される、
請求項1に記載の制振装置。 - 前記アクチュエータに設けられ、前記第2部材を貫通する軸部材と、
前記第2部材の両側に配置され、前記軸部材にそれぞれ固定される一対の挟持部材と、
を備え、
前記弾性体は、前記第2部材と前記一対の挟持部材との間にそれぞれ設けられる、
請求項1又は請求項2に記載の制振装置。
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