JP2007270898A - 除振装置及び除振方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リニア駆動アクチュエータ12を、空気ばね式アクチュエータ1に搭載して除振装置10を構成し、このリニア駆動アクチュエータ12のアッパープレート16に除振対象物2の脚部4を載置する。姿勢制御部30の制御器32が、2軸傾斜センサ34から出力される検出値において2軸とも水平となるように、アクチュエータ18に油圧を与える油圧ポンプ36をフィードバック制御し、アクチュエータ18を伸縮させ、リニア駆動アクチュエータ12のアッパープレート16の姿勢を、脚部4の設置精度の悪さを相殺する姿勢に調整する。この後、空気ばね式アクチュエータ1を駆動して除振対象物2の振動を除振する。
【選択図】 図2
Description
Claims (5)
- 除振対象物の振動を除振する空気ばね式アクチュエータと、
前記空気ばね式アクチュエータに搭載され、その可動部に前記除振対象物が載置されたパラレルメカニズムと、
前記空気ばね式アクチュエータの駆動方向が前記除振対象物の移動方向と等しくなるように前記パラレルメカニズムを駆動して前記可動部の姿勢を制御する制御部と、
を備えたことを特徴とする除振装置。 - 前記パラレルメカニズムは、少なくも4本の直動型アクチュエータを有し、ピッチング方向、及びローリング方向の4自由度を持つリニア駆動アクチュエータであることを特徴とする請求項1に記載の除振装置。
- 前記パラレルメカニズムは、少なくも5本の直動型アクチュエータを有し、ピッチング方向、ローリング方向、及び鉛直方向の5自由度を持つリニア駆動アクチュエータであることを特徴とする請求項1に記載の除振装置。
- 前記パラレルメカニズムは、少なくも6本の直動型アクチュエータを有し、ピッチング方向、ローリング方向、鉛直方向、及びヨーイング方向の6自由度を持つリニア駆動アクチュエータであることを特徴とする請求項1に記載の除振装置。
- 空気ばね式アクチュエータに搭載されたパラレルメカニズムの可動部に除振対象物を載置し、
前記空気ばね式アクチュエータの駆動方向が前記除振対象物の移動方向と等しくなるように前記パラレルメカニズムを駆動して前記可動部の姿勢を制御部により制御した後、
前記空気ばね式アクチュエータを駆動して前記除振対象物の振動を除振することを特徴とする除振方法。
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KR20190083981A (ko) * | 2018-01-05 | 2019-07-15 | 가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지 | 제진 시스템 및 그 제진 시스템을 구비하는 광학 장치 |
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