JP4185485B2

JP4185485B2 - 振動制御装置

Info

Publication number: JP4185485B2
Application number: JP2004371038A
Authority: JP
Inventors: 宏幸田中; 直明小林; 誠志小関
Original assignee: 株式会社昭和サイエンス
Priority date: 2004-12-22
Filing date: 2004-12-22
Publication date: 2008-11-26
Anticipated expiration: 2024-12-22
Also published as: JP2006177435A

Description

本発明は、減衰させるべき振動の方向と逆方向の振動を積極的に付与することで除振を行うアクティブ型の除振装置に関する。

電子顕微鏡などの高精度なスペックが要求される精密機器では、機器側に伝わり得る外来振動の絶縁を目的としてその精密機器の設置に例えばアクティブ型の除振装置などが利用されている（例えば特許文献１参照）。

アクティブ型の除振装置には、除振の対象物が搭載される除振台を移動可能に支持するために空気バネなどを適用したアクチュエータが一般に設けられている。このアクチュエータは、外部から加わる応力がバランスする状態になって初めて本来の位置制御機能を発揮するものであるが、それ自体としては作用力の平衡機能を有していない。

したがって、このようなアクチュエータに支持される除振台において、重力のような平衡力を利用できない水平方向の位置制御を行う場合には、参照バイアス、つまり除振台を平衡状態に移行させるための誘発力を積極的に空気バネなどに付与し初期圧縮を行う必要がある。
特開平５−３３８２６号公報

すなわち、上記したアクティブ型の除振装置では、実際の除振の開始時にアクチュエータをスタンバイ状態にセッティングするためには、参照バイアスを入力してから除振台が平衡状態に移行するまでに一定の時間を要するので、このセッティング時間の短縮化を図り装置の利便性を向上させることへの要請がある。
そこで本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、除振を開始するためのセットアップ動作を迅速に完了させることができる除振装置の提供を目的とする。

上記目的を達成するために、本発明に係る除振装置は、鉛直方向からみて矩形状に形成された除振台と、前記除振台を水平方向に移動させるための駆動力を発生させることが可能であって、かつ除振装置本体のセットアップ動作時に前記駆動力を、前記除振台を平衡状態へ移行させるための誘発力として発生させる始動機能を有する二つで一組の第１のアクチュエータと、前記除振台を水平方向に移動させるための駆動力を発生させることが可能であって、かつ前記始動機能を持たない二つで一組の第２のアクチュエータと、前記セットアップ動作時に前記一組の第１のアクチュエータを制御し、互いの絶対量が等しく且つ相対する方向に対の駆動力を発生させ、前記被除振部材に第１の方向に働くモーメントを付与する第１の制御手段と、前記第１の制御手段により制御される前記一組の第１のアクチュエータを通じて駆動された前記被除振部材の変位を検出するセンサと、前記センサによる検出結果に基づいて前記第１及び第２の全てのアクチュエータを個別に制御して、前記第１の方向に働くモーメントと相対する第２の方向に働くモーメントを前記被除振部材に付与し、この被除振部材を平衡状態でバランスさせる第２の制御手段と、を備え、前記一組の第１のアクチュエータは、鉛直方向からみて、前記除振台の一方の対角線上の位置で、かつ前記除振台の重心に対して互いに点対称の位置でそれぞれ駆動力を発生させ、前記一組の第２のアクチュエータは、鉛直方向からみて、前記除振台の他方の対角線上の位置で、かつ前記除振台の重心に対して互いに点対称の位置でそれぞれ駆動力を発生させる、ことを特徴とする。

すなわち、この発明によれば、除振を開始（始動）するにあたって、除振台を平衡状態に移行させるための誘発力として参照バイアスを入力する場合に、除振台には、軸力方向（並進方向）に応力が作用することなく、回転方向に力を伝えるモーメントのみが作用することになるので、所定の加重が加わった状態でバランスする除振台の初期の平衡状態への移行時間が短縮され、セットアップ動作を迅速に完了させることができる。

このように、本発明によれば、除振を開始するためのセットアップ動作を迅速に完了させることが可能な除振装置を提供することができる。

以下、本発明を実施するための形態を図面に基づき説明する。
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係る除振装置を示す斜視図、図２は、この除振装置が複数備えるアクチュエータとセンサとがユニット化された制振機構を示す断面図、図３は、この除振装置の主要部の構成を機能的に示す図、図４は、この除振装置の除振台に加わる作用を説明するための平面図である。なお、図１においては、除振装置の構造を視覚的に把握し易くするために、本除振装置によって支持される被除振部材のみを二点鎖線で示している。

図１〜図４に示すように、この実施形態の除振装置１は、アクティブ型の除振装置であって、床面へ固定された支持台３と、被除振部材としての除振台２と、中空ゴム体３７を有するアクチュエータＫ、Ｑ、Ｒ、Ｓ、１１、１２、１３、１４と、センサ２１、２２、２３、２５、２６、２７、２８と、アンプ３５、比較器３４及び空圧弁３８などを有し各部を統括的に制御する制御装置３６とを主に備える。ここで、本実施形態では、除振の対象となる被除振部材として除振台２を例にとって説明を行うが、無論、被除振部材は、当該除振台２、電子顕微鏡などの除振対象の機器本体、及び／又はこの機器の脚部を直接的に支持するために機器側に設けられた定盤などの支持台で構成されていてもよい。

アクチュエータＫ、１１及びセンサ２５と、アクチュエータＱ、１２及びセンサ２１、２６と、アクチュエータＲ、１３及びセンサ２２、２７と、アクチュエータＳ、１４及びセンサ２３、２８とは、それぞれユニット化された４つの制振機構を構成している。これらユニットされた制振機構の底部は、上面が矩形（四角形）状に形成されることの多い支持台３上の四隅に底部プレート１６を介して固定され、これらの制振機構の上部は、上部プレート１５を通じて除振台２を下方から支持するようにこの除振台２の四隅に固定されている。なお、上記した支持台３を除振装置１が必ずしも備える必要はなく、例えば支持台３を除振装置１の構成部品から削除し、上記制振機構の底部プレート１６を床面に直接固定するようにしてもよい。

アクチュエータＫ、Ｑ、Ｒ、Ｓは、図１及び図４に示すように、この除振台２を、水平方向（除振台２における除振対象物の搭載面に沿った方向：±ｘ及び±ｙ方向）に移動可能に支持する。また、アクチュエータＫ、Ｑ、Ｒ、Ｓは、図４に示すように、除振台２の重心Ｇに対し鉛直方向からみて点対称の位置（除振台２の重心Ｇを水平方向から挟む位置）に少なくとも一組（本実施形態では二組）配置されている。一方、アクチュエータ１１、１２、１３、１４は、除振台２を、鉛直方向（除振台２における除振対象物の搭載面と直交する方向：Ｚ方向）に移動可能に支持する。センサ２１、２２、２３は、除振台２の水平方向の変位（変位量）を検出する。また、センサ２５、２６、２７、２８は、除振台２の鉛直方向の変位（変位量）を検出する。制御装置３６は、センサ２５、２６、２７、２８の検出結果に基づき、鉛直方向において除振台２を所定の位置及び姿勢に定位させるようにアクチュエータ１１、１２、１３、１４を個別に駆動制御する。

また、制御装置３６は、センサ２１、２２、２３の検出結果に基づき、水平方向において除振台２を所定の位置及び姿勢に定位させるようにアクチュエータＫ、Ｑ、Ｒ、Ｓを個別に駆動制御する。すなわち、除振台２を水平方向に移動させる外力が加わると、除振台２の水平方向の変位が、センサ２１、２２、２３によって水平変位量として検出される。また、この検出された水平変位量は、図３に示すように、比較器３４にて０点（基準位置）の基準電位と比較され、この比較結果として得られた制御信号（後記空圧弁の開閉量を制御する信号）が、アンプ３５で増幅された後、空圧弁３８に出力される。したがって、アクチュエータＫ、Ｑ、Ｒ、Ｓは、このような制御に対応した駆動力（移動量）で駆動（移動）制御される。

除振台２の水平方向への移動制御について詳述すると、アクチュエータＫ、Ｑ、Ｒ、Ｓのうち、アクチュエータＫ、Ｒの組は、除振装置１本体のセットアップ動作を開始させるための始動機能付（参照バイアス入力機能付）アクチュエータであって、図４に示すように、除振台２を＋θ方向（図４中の反時計方向）に回転させる駆動力を発生させ、また、アクチュエータＱ、Ｓの組は、除振台２を−θ方向（図４中の時計方向）に回転させる駆動力を発生させる。さらに詳細には、アクチュエータＫ単体は、図４中の除振台２のポイントＫを−ｘ方向に押す駆動力を発生させることが可能であり、また、アクチュエータＲ単体は、図４中の除振台２のポイントＲをｘ方向に押す駆動力を発生させることが可能である。さらに、アクチュエータＱ単体は、図４中の除振台２のポイントＱを＋ｙ方向に押す駆動力を発生させることが可能であり、また、アクチュエータＳ単体は、図４中の除振台２のポイントＳを−ｙ方向に押す駆動力を発生させることが可能である。

制御装置３６は、センサ２１、２２、２３による除振台２の水平方向の変位の検出結果に基づいて、除振台２に対し＋θ方向又は−θ方向に働くモーメントを演算により求める。また、制御装置３６は、センサ２１、２２、２３による検出結果、すなわち、演算により求めた除振台２に加わるモーメントに基づいて、全てのアクチュエータＫ、Ｑ、Ｒ、Ｓを個別に制御して、この除振台２に対して＋θ方向又は−θ方向に働くモーメントを除振台２に付与し、この後、アクチュエータＫ、Ｑ、Ｒ、Ｓによる四方向から所定の荷重が加わった除振台２を平衡状態でバランスさせる。

ここで、外来振動が除振台２に加わり、除振台２が所定の基準位置（ホームポジション）から移動したとすると、センサ２１、２２、２３は、除振台２の基準位置に対する位置ずれを検出し、比較器３４により、センサ２１、２２、２３の出力の目標位置（原点＝０）からの差を取って、アクチュエータＫ、Ｑ、Ｒ、Ｓに対する制御量を演算する。さらに、空圧弁３８にその制御量がフィードバックされ、アクチュエータＫ、Ｑ、Ｒ、Ｓによって、除振台２が目標位置に定位する（振動を０に収束する）ように水平位置制御が行われる。上記したセンサ２１、２２、２３から出力される信号は、制御座標に変換して用いられる。

次に、本実施形態の除振装置１による参照バイアスが入力されてから除振台２が平衡状態に移行しセットアップ動作が完了するまでの作用について図４に加え、図５ａ〜図５ｃ及び図６ａ〜図６ｃに基づきその説明を行う。ここで、図５ａは、除振装置１の参照バイアス入力時に除振台２に与えられる作用を模式的に示す平面図、図５ｂは、図５ａに示した状態から回転方向のフィードバック制御が機能した場合に除振台に加わる作用を模式的に示す平面図、図５ｃは、図５ｂに示した状態から並進方向のフィードバック制御が機能した場合に除振台に加わる作用を模式的に示す平面図である。また、図６ａは、図５ａに示した方式の比較対象となる他の方式の参照バイアス入力時に除振台２に与えられる作用を模式的に示す平面図、図６ｂは、図６ａに示した状態から回転方向のフィードバック制御が機能した場合に除振台２に加わる作用を模式的に示す平面図、図６ｃは、図６ｂに示した状態から並進方向のフィードバック制御が機能した場合に除振台に加わる作用を模式的に示す平面図である。

ここで、アクチュエータＫ、Ｑ、Ｒ、Ｓは、図５（ａ）に例示するように、重心Ｇを基準として±ｘ方向及び±ｙ方向において、ピッチＬを空けて配置されている。つまり、アクチュエータＱ、Ｓは、重心Ｇを基準に点対称の位置に各々配置され、同様にアクチュエータＫ、Ｒも、重心Ｇを基準に点対称の位置に各々配置されている。また、制御装置３６は、重心Ｇを基準として、除振台２に対し＋θ方向のモーメントが働くようにアクチュエータＫ、Ｒを駆動制御することが可能である。さらに、制御装置３６は、重心Ｇを基準として、除振台２に対し−θ方向のモーメントが働くようにアクチュエータＱ、Ｓを駆動制御することが可能である。

このような除振装置１では、そのセットアップ時において、図５ａに示すように、制御装置３６は、互いに点対称の位置にある一方の組のアクチュエータＫ、Ｒを制御し、互いの絶対量が等しく且つ相対する方向（±ｘ方向）に一対の駆動力（基本単位の駆動力を１×Ｐとして２×Ｐの駆動力）を発生させ、除振台２に対し＋θ方向に働くモーメントを参照バイアス（初期入力値）として付与する。詳細には、制御装置３６は、重心Ｇを基準として、除振台２に＋θ方向のモーメントが生ずるように、アクチュエータＫを−ｘ方向へ駆動力２Ｐで駆動させるとともに、アクチュエータＲを＋ｘ方向へ駆動力２Ｐで駆動させる。

この結果、図５ｂに示すように、制御装置３６により除振台２に回転方向（±θ方向）のフィードバック制御が機能した場合、センサ２１、２２、２３による除振台２の変位の検出結果、つまり、除振台２に加わるモーメントの演算結果に基づいて、全てのアクチュエータＫ、Ｑ、Ｒ、Ｓが個別に制御され、除振台２に対し＋θ方向に働くモーメントと相対する−θ方向に働くモーメントが付与される。詳細には、セットアップの過渡期において、制御装置３６は、図５ｂに示すように、−θ方向に働くモーメントを除振台２に付与するために、アクチュエータＱ、Ｓから駆動力Ｐ（０＋１Ｐ）を発生させ、一方、＋θ方向に働くモーメントを除振台２に付与するために、アクチュエータＫ、Ｒから駆動力Ｐ（２Ｐ−１Ｐ）を発生させる。ここで、本実施形態の除振装置１では、回転方向のフィードバック制御が機能した時点で既に、除振台２が平衡状態でバランスしようとする作用が生じる。したがって、図５ｃに示すように、除振台２に並進方向（±ｘ方向及び±ｙ方向）のフィードバック制御をほとんど機能させることなく、アクチュエータＫ、Ｑ、Ｒ、Ｓからそれぞれ均一の駆動力Ｐが加わった平衡状態で除振台２がバランスすることになる。これにより、本実施形態の除振装置１によれば、除振台２が初期の平衡状態へ移行する際の時間が短縮され、セットアップ動作を迅速に完了させることができる。

さらに、ここで、本実施形態の除振装置１による除振台２の制振方法を数式を用いて説明する。
すなわち、図４に示すように、除振台２の重心Ｇを座標の原点とする直交座標系で与えたアクチュエータＫ、Ｑ、Ｒ、Ｓの座標位置を、（ｘ₁，ｙ₁）（ｘ₂，ｙ₂）（ｘ₃，ｙ₃）（ｘ₄，ｙ₄）とすると、アクチュエータＫ、Ｑ、Ｒ、Ｓのローカル的な操作力（軸力）ｕ₁、ｕ₂、ｕ₃、ｕ₄と、除振台２に加わる直交座標系での操作力ｕ_x、ｕ_y、ｕ_θとの関係は、下記の数式１で与えられる。

上述したように、除振台２は、制御装置３６によるフィードバック制御によって重心Ｇの位置が変位０となるように位置制御される。したがって、除振台２に付与される直交座標系のｘ方向の操作力ｕ_x、ｙ方向の操作力ｕ_y、モーメントｕ_θは、外乱のない状態で０に収束されることになる。

ここで、除振台２の回転方向（±θ方向）の力の釣り合いは、
ｕ_θ＝ｙ₁＊ｕ₁＋ｘ₂＊ｕ₂−ｙ₃＊ｕ₃−ｘ₄＊ｕ₄…数式（２）
で表すことができる。
図５ａに示すように、アクチュエータＫ、Ｒを制御して、除振台２に対してｕ₁＋ｕ₃＝ａの駆動力（図５ａでは駆動力２Ｐ＋２Ｐ）を参照バイアスとして付与する。除振台２に回転を生じさせないためには、ｕ_θが０になる必要があるから、数式（２）は、
ｙ₁＊ｕ₁−ｙ₃＊ｕ₃＝−ｘ₂＊ｕ₂＋ｘ₄＊ｕ₄…数式（３）
となる。
ここで、除振台２の重心Ｇは、図４に示すように、アクチュエータＫの位置とアクチュエータＲの位置との中心にあることから、
ｘ₂＝−ｘ₄、ｙ₃＝−ｙ₁…数式（４）
が成り立ち、
数式（４）を数式（３）に代入すると、
ｙ₁＊（ｕ₁＋ｕ₃）＝ｘ₄＊（ｕ₂＋ｕ₄）…数式（５）
となる。

アクチュエータＫ、Ｒからの参照バイアス入力後、除振台２に対し回転方向のフィードバック制御が機能すると、アクチュエータＱ、Ｓが制御され、
ｕ₂＋ｕ₄＝ｂ…数式（６）
の駆動力（２Ｐ＋２Ｐ）が生じることになる。
この数式（６）とａ（＝ｕ₁＋ｕ₃）とを数式（５）に代入すると、
ｂ＝ａ＊（ｙ₁／ｘ₄）…数式（７）
で表すことができる。
したがって、数式（７）から明らかなように、除振装置１によれば、参照バイアスの入力の際に、除振台２には、軸力方向（並進方向）に応力が作用することなく（直行座標系の操作力を拘束することなく）、回転方向に力を伝えるモーメントのみが作用することになるので、所定の加重が加わった状態でバランスする除振台の初期の平衡状態への移行時間が短縮され、セットアップ動作を迅速に完了させることができる。

次に、本実施形態の図５ａ〜図５ｃに示した方式と、上記図６ａ〜図６ｃで例示した方式との違いについて考察してみる。
図６ａ〜図６ｃに例示した方式では、制御装置３６は、アクチュエータＱのみを＋ｘ方向へ駆動力４Ｐで駆動させるように参照バイアス（初期入力値）を付与する（図６ａ参照）。この瞬間において、除振台２が−ｘ方向に移動する軸力（並進力）が生じることになる。この後、図６ｂに示すように、除振台２に回転方向（±θ方向）のフィードバック制御が制御装置３６を通じて与えられる場合、除振台２を＋θ方向に回転させる回転モーメントの他にも、除振台２を並進方向（−ｘ方向）に変位させる応力が作用している。なお、この際、除振台２に作用している＋θ方向のモーメントを打ち消すために、アクチュエータＲは、−ｘ方向に駆動力１Ｐを発生させることが望ましいものの、＋ｘ方向にのみ駆動力を発生させる仕様となっているため、実際には、アクチュエータＲの動作は、停止状態（駆動力０Ｐ）となる。さらに、図６ｃに示すように、除振台２に並進方向（±ｘ方向及び±ｙ方向）のフィードバック制御が制御装置３６を通じて与えられ、除振台２が最終的に平衡状態でバランスするまでに、比較的多くの時間を要することになる。詳述すると、参照バイアス入力後、除振台２に回転と並進が同時に生じ、その結果、回転方向と並進方向の両方の制御を用いて、ようやく系全体がバランスすることになる。また、このような方式をとる除振装置の場合、結果的にアクチュエータＱ、Ｒ、Ｓにとって必要な駆動力（１Ｐ）の４倍の大きさの駆動力（４Ｐ）を、発生させ得る高スペックなアクチュエータ（図６ａなどに例示されるアクチュエータＫ）が必要となる。

このような考察結果から明らかなように、図５ａ〜図５ｃにて詳細に示した本実施形態の除振装置１によれば、除振開始前の参照バイアスの入力に際して、アクチュエータＫ、Ｑ、Ｒ、Ｓに支持された除振台２には、軸力方向の応力がほとんど作用することなく、モーメントのみが作用することになるので、参照バイアスを入力されてから除振台２が平衡状態に移行するまでの時間が短縮され、セットアップ動作を迅速に完了させることができる。

（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態を図７ａ及び図７ｂに基づき説明する。ここで、本実施形態の除振装置は、第１の実施形態で説明した除振装置１と同様のハードウェア構成を有し、第１の実施形態とは参照バイアスの入力方式のみが異なる。ここで、図７ａは、第２の実施形態に係る除振装置の参照バイアス入力時に除振台に与えられる作用を模式的に示す平面図、図７ｂは、図７ａに示した状態からフィードバック制御が機能した場合に除振台に与えられる作用を模式的に示す平面図、図７ｃは、図７ｂに示したフィードバック制御後、除振台が平衡状態でバランスしている態様を示す平面図である。

本実施形態では、一方の組のアクチュエータＫ、Ｒ、及び他方の組のアクチュエータＱ、Ｓの４つのアクチュエータ全てが、除振装置１本体のセットアップ動作を開始させるための始動機能付（参照バイアス入力機能付）アクチュエータである。
すなわち、除振装置１本体のセットアップ時には、図７ａに示すように、二組配置されたうちの一方の組のアクチュエータＫ、Ｒを制御し、互いの絶対量が等しく且つ相対する±ｘ方向に一対の駆動力（基本単位の駆動力１×Ｐ）を発生させ、除振台２に＋θ方向に働くモーメントを付与すると同時に、他方の組のアクチュエータＱ、Ｓを制御し、互いの絶対量（１Ｐ）が等しく且つ相対する±ｙ方向に一対の駆動力を発生させ、＋θ方向に働くモーメントと絶対量（１Ｐ）が等しく且つ方向が相対する−θ方向に働くモーメントをこの除振台２に付与するようにして、参照バイアス（初期入力値）が入力される。

つまり、本実施形態では、図７ｂに示すように、各アクチュエータＫ、Ｑ、Ｒ、Ｓが駆動力Ｐを発生させて系全体が最終的にバランスする状態と最初から同じ作用が除振台２に与えられるように参照バイアスが付与される。さらに、制御装置３６を通じてフィードバック制御が与えられても、除振台２には、ほとんど並進も回転も作用しないことになる。詳細には、図７ｂに示すように、Δで表される制御量（Δｍは±θ方向の除振台２の変位制御量、Δｘ及びΔｙは、±ｘ方向及び±ｙ方向の除振台２の変位制御量）は０に近い小さい値になる。

したがって、本実施形態によれば、参照バイアスの入力に際して、除振台２に作用し得る軸力及び回転モーメントが系全体で（除振台２上で）バランス良く相殺されるため（図７ｃ参照）、除振を実際に開始させるまでのセッティング時間を短縮させることができる。

以上、本発明を各実施の形態により具体的に説明したが、本発明はこれらの実施形態にのみ限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。例えば、上述した実施形態では、アクチュエータが空気バネを用いて構成されていたが、これに代えて、油圧装置や圧電素子などを用いてアクチュエータを構成してもよい。また、本実施形態では、例えば水平方向に移動制御を行うアクチュエータが２組だけ設けられていたが、勿論３組以上のアクチュエータを備える除振装置を本発明として適用してもよい。

本発明の第１の実施形態に係る除振装置を示す斜視図。図１の除振装置が複数備えるアクチュエータとセンサとがユニット化された制振機構を示す断面図。図１の除振装置の主要部の構成を機能的に示す図。図１の除振装置の除振台に加わる作用を説明するための平面図。図１の除振装置の参照バイアス入力時に除振台に与えられる作用を模式的に示す平面図。図５ａに示した状態から回転方向のフィードバック制御が機能した場合に除振台に与えられる作用を模式的に示す平面図。図５ｂに示した状態から並進方向のフィードバック制御が機能した場合に除振台に与えられる作用を模式的に示す平面図。図５ａに示した方式の比較対象となる他の方式の参照バイアス入力時に除振台に与えられる作用を模式的に示す平面図。図６ａに示した状態から回転方向のフィードバック制御が機能した場合に除振台に与えられる作用を模式的に示す平面図。図６ｂに示した状態から並進方向のフィードバック制御が機能した場合に除振台に与えられる作用を模式的に示す平面図。本発明の第２の実施形態に係る除振装置の参照バイアス入力時に除振台に与えられる作用を模式的に示す平面図。図７ａに示した状態からフィードバック制御が機能した場合に除振台に与えられる作用を模式的に示す平面図。図７ｂに示したフィードバック制御後、除振台が平衡状態でバランスしている態様を示す平面図。

符号の説明

１…除振装置、２…除振台、３…支持台、３６…制御装置、Ｋ，Ｑ，Ｒ，Ｓ，１１，１２，１３，１４…アクチュエータ、２１，２２，２３，２５，２６，２７，２８…センサ、３４…比較器、３６…制御装置、３７…中空ゴム体、３８…空圧弁。

Claims

鉛直方向からみて矩形状に形成された除振台と、
前記除振台を水平方向に移動させるための駆動力を発生させることが可能であって、かつ除振装置本体のセットアップ時に前記駆動力を、前記除振台を平衡状態へ移行させるための誘発力として発生させる始動機能を有する二つで一組の第１のアクチュエータと、
前記除振台を水平方向に移動させるための駆動力を発生させることが可能であって、かつ前記始動機能を持たない二つで一組の第２のアクチュエータと、
前記セットアップ時に前記一組の第１のアクチュエータを制御し、互いの絶対量が等しく且つ相対する方向に対の駆動力を発生させ、前記被除振部材に第１の方向に働くモーメントを付与する第１の制御手段と、
前記第１の制御手段により制御される前記一組の第１のアクチュエータを通じて駆動された前記被除振部材の変位を検出するセンサと、
前記センサによる検出結果に基づいて前記第１及び第２の全てのアクチュエータを個別に制御して、前記第１の方向に働くモーメントと相対する第２の方向に働くモーメントを前記被除振部材に付与し、この被除振部材を平衡状態でバランスさせる第２の制御手段と、を備え、
前記一組の第１のアクチュエータは、鉛直方向からみて、前記除振台の一方の対角線上の位置で、かつ前記除振台の重心に対して互いに点対称の位置でそれぞれ駆動力を発生させ、
前記一組の第２のアクチュエータは、鉛直方向からみて、前記除振台の他方の対角線上の位置で、かつ前記除振台の重心に対して互いに点対称の位置でそれぞれ駆動力を発生させる、
ことを特徴とする除振装置。