JP6729352B2 - エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 - Google Patents
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Description
(1)シリコンウェーハの表面にシリコンエピタキシャル層をエピタキシャル成長させるエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法であって、
第1ロードロックチャンバから、チャンバ内が窒素ガス置換され続ける搬送チャンバに1枚のシリコンウェーハを搬入する第1工程と、
前記搬送チャンバから、プロセスチャンバに前記1枚のシリコンウェーハを搬入する第2工程と、
前記プロセスチャンバ内にて前記1枚のシリコンウェーハの表面にシリコンエピタキシャル層を形成する第3工程と、
前記プロセスチャンバから、前記シリコンエピタキシャル層を形成した前記1枚のシリコンウェーハを前記搬送チャンバへ搬出し、次いで第2ロードロックチャンバへ搬出する第4工程と、
前記プロセスチャンバを、塩化水素を含むガスで気相エッチングするクリーニング工程と、を含み、
前記クリーニング工程を、前記第1工程、前記第2工程、前記第3工程および前記第4工程による一連の成長処理を同一条件で所定回数繰り返し行った前後に行い、
前記一連の成長処理を前記所定回数行う間の前記搬送チャンバ内の窒素ガスの総置換回数と、前記一連の成長処理における最大処理回数との対応関係を予め求め、前記所定回数を前記最大処理回数の範囲内とすることを特徴とする、エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。
本実施形態に従うエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法は、シリコンウェーハの表面にシリコンエピタキシャル層をエピタキシャル成長させるエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法である。ここで、本実施形態に従う製造方法を説明するにあたり、図1を用いて既述の一般的な枚葉式エピタキシャル装置の符号を参照する。
第1工程では、第1ロードロックチャンバ100から、チャンバ内が窒素ガス置換され続ける搬送チャンバ200に1枚のシリコンウェーハ10を搬入する。なお、シリコンウェーハ10を搬入する際には、格納容器400からシリコンウェーハ10が1枚ずつ取り出されるか、あるいは、シリコンウェーハ格納容器400が第1ロードロックチャンバ100に取り込まれるのは前述のとおりである。また、シリコンウェーハ10を搬送チャンバ200内に搬入する際に、ゲートバルブ150が開放され、搬送チャンバ200内の搬送装置によりシリコンウェーハ10は第1ロードロックチャンバ100から搬送チャンバ200内に搬入される。この搬入後、ゲートバルブ150は閉塞される。ゲートバルブ150が開放される時間は通常5〜15程度であり、他のゲートバルブについても同様である。
第2工程では、搬送チャンバ200から、プロセスチャンバ300に当該シリコンウェーハ10を搬入する。シリコンウェーハ10を搬入する際に、ゲートバルブ250が開放され、搬入チャンバ200内の搬送装置によりシリコンウェーハ10は搬送チャンバ200からプロセスチャンバ300内に搬入される。この際、搬送装置により、プロセスチャンバ300内のサセプタ310にシリコンウェーハ10を載置することができる。シリコンウェーハ10をプロセスチャンバ300に搬入する際のチャンバ内の温度は、通常650℃以上800℃以下程度である。
第3工程では、プロセスチャンバ300内にて当該1枚のシリコンウェーハ10の表面にシリコンエピタキシャル層20を形成する。例えば、水素をキャリアガスとして、ジクロロシラン、トリクロロシランなどのソースガスをプロセスチャンバ300内に導入し、使用するソースガスによっても成長温度は異なるが、1000〜1200℃の範囲の温度でのCVD法によりシリコンウェーハ10上にエピタキシャル成長させることができる。こうして、エピタキシャルシリコンウェーハ1を作製することができる。
第4工程では、プロセスチャンバ300から、シリコンエピタキシャル層20を形成した前記1枚のシリコンウェーハ10(すなわち、エピタキシャルシリコンウェーハ1)を搬送チャンバ200へ搬出し、次いで第2ロードロックチャンバ(図示せず)へ搬出する。すなわち、作製したエピタキシャルシリコンウェーハ1は、上述した第1工程および第2工程とは反対の順序により、搬送チャンバ200を経て、プロセスチャンバ300からロードロックチャンバに搬送して、保管用の格納容器内に格納する。
クリーニング工程では、プロセスチャンバ300を、塩化水素を含むガスで気相エッチングする。気相エッチングを行う時間は、マルチデポ処理回数に応じて適宜設定することができる。より具体的には、プロセスチャンバ300の内部を所定の温度にまで加熱して、塩化水素を含むガスを流通させ、エピタキシャル成長を経てプロセスチャンバ300の内部に付着堆積したシリコンを気相エッチングする。例えば、プロセスチャンバ300の内部を900℃以上1200℃以下程度とし、塩化水素を含むガスを10秒以上1500秒以下で流通させればよい。
ここで、本実施形態では、上述の前記一連の成長処理を前記所定回数行う間の搬送チャンバ200内の窒素ガスの総置換回数(以下、「総置換回数」)と、一連の成長処理における最大処理回数(最大マルチデポ回数)との対応関係を予め求め、所定回数(マルチデポ処理回数)を最大処理回数の範囲内とする。
したがって、マルチデポ処理回数を経た後の、搬送チャンバ200の窒素ガスによる総置換回数は、以下の式のとおりとなる。
まず、マルチデポ処理のプロセス前半と、プロセス後半での裏面クモリの発生状況の相違を確認するため、以下の実験を行った。
第1ロードロックチャンバ100からシリコンウェーハ10をプロセスチャンバ300内に搬入し、水素ベークを行った後、1130℃にて、シリコンのエピタキシャル膜を2μm成長させてエピタキシャルシリコンウェーハ1を作製し、これを第2ロードロックチャンバまで搬出する一連の成長処理を行った。この一連の成長処理を15デポ目まで繰り返した。搬出および搬入に要する搬送時間および成長処理時間を含めて、1デポあたり200秒であった。なお、原料ソースガスとしてはトリクロロシランガスを用い、また、ドーパントガスとしてジボランガス、キャリアガスとして水素ガスを用いている。
搬送チャンバ200における窒素ガスのパージ流量を、条件1から18%増大させた以外は、条件1と同様にして、マルチデポ処理法により15デポ目まで繰り返してエピタキシャルシリコンウェーハを作製した。なお、パージ流量の増大に併せて搬送チャンバの圧力を調整し、搬送チャンバ200とプロセスチャンバ300との圧力バランスを条件1と同程度に保った。
実験例1と同様にして、搬送チャンバ200における窒素ガスのパージ流量を変更しつつ、搬送チャンバ内の窒素パージによる総置換回数と、最大マルチデポ回数との関係を求めた。結果を図4に示す。図4に基づき、総置換回数に応じてマルチデポ処理数を設定することにより、裏面クモリの発生を防止することができることが確認できた。
10 シリコンウェーハ
20 シリコンエピタキシャル層
50 ゲートバルブ
100 (第1)ロードロックチャンバ
150 ゲートバルブ
200 搬送チャンバ
210 導入管
220 排出管
250 ゲートバルブ
300 プロセスチャンバ
310 サセプタ
400 格納容器
Claims (2)
- シリコンウェーハの表面にシリコンエピタキシャル層をエピタキシャル成長させるエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法であって、
第1ロードロックチャンバから、チャンバ内が窒素ガス置換され続ける搬送チャンバに1枚のシリコンウェーハを搬入する第1工程と、
前記搬送チャンバから、プロセスチャンバに前記1枚のシリコンウェーハを搬入する第2工程と、
前記プロセスチャンバ内にて前記1枚のシリコンウェーハの表面にシリコンエピタキシャル層を形成する第3工程と、
前記プロセスチャンバから、前記シリコンエピタキシャル層を形成した前記1枚のシリコンウェーハを前記搬送チャンバへ搬出し、次いで第2ロードロックチャンバへ搬出する第4工程と、
前記プロセスチャンバを、塩化水素を含むガスで気相エッチングするクリーニング工程と、を含み、
前記クリーニング工程を、前記第1工程、前記第2工程、前記第3工程および前記第4工程による一連の成長処理を同一条件で所定回数繰り返し行った前後に行い、
前記一連の成長処理を前記所定回数行う間の前記搬送チャンバ内の窒素ガスの総置換回数と、前記一連の成長処理における最大処理回数との対応関係を予め求め、前記所定回数を前記最大処理回数の範囲内とし、
前記最大処理回数を、前記エピタキシャルシリコンウェーハへの裏面クモリが発生する閾値回数に基づき定めることを特徴とする、エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。 - 前記対応関係を予め求めるにあたり、前記搬送チャンバにおける窒素ガスパージ流量を変更するとともに、該窒素ガスパージ流量の変更に応じて前記搬送チャンバの排気速度を調整する、請求項1に記載のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。
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