JP6710828B2 - 熱伝導シート、および、熱伝導シートの製造方法 - Google Patents

熱伝導シート、および、熱伝導シートの製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、熱伝導シート、および、熱伝導シートの製造方法に関する。
電子機器や素子等から発生する熱をヒートシンクに伝熱するための熱伝導シートとして、従来、アクリル系樹脂に熱伝導性が高い炭化ケイ素や水酸化アルミニウム等の熱伝導フィラーを充填した熱伝導シートが使用されている(特許文献1を参照)。
この種の熱伝導シートにおいては、発熱体である電子機器や素子等になるべく隙間なく、かつ、荷重をかけずに密着させるために、低硬度であることが求められている。しかし、硬度が低くなると取り扱い性が悪くなるとともに、圧縮変形後に復元力が働き難くなるため、発熱体やヒートシンクとの密着性が低下する等の問題が生じる。
そこで、低硬度シートに補強用の薄膜シートを貼り合わせた構成の熱伝導シートが提案されている(特許文献2を参照)。このような熱伝導シートでは、薄膜シートにより強度が付与され、取扱い性が向上するとともに、低硬度シートの過度な圧縮変形を抑制することが期待された。
特開2005−226007号公報 特許第3434186号公報
しかし、低硬度シートと補強用の薄膜シートとを単に貼り合わせた構成では、両者の界面接合性が不十分であり、圧縮変形時に低硬度シートと薄膜シートとの接合面がずれる場合がある。この場合には、圧縮変形された低硬度シートが薄膜シートからはみ出して復元せず、もって、熱伝導シートと被着物との密着性が十分に得られないという問題がある。
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、熱伝導シートを複層構造とした場合でも、層間の接合性が高い熱伝導シート、及びその製造方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するためになされた本発明は、低硬度層と、前記低硬度層の片面又は両面に積層され前記低硬度層より硬度が高い補強層と備える熱伝導シートであって、前記低硬度層は、アクリルポリマー18〜25質量%と、平均粒径60μm〜100μmの炭化ケイ素30〜35質量%と、平均粒径10μm〜50μmの水酸化アルミニウム15〜23質量%と、平均粒径1μm〜2μmの水酸化マグネシウム18〜30質量%と、可塑剤1〜5質量%とを含有し、前記補強層は、アクリルポリマー20〜30質量%と、平均粒径10〜50μmの水酸化アルミニウム60〜80質量%とを含有し、前記低硬度層と前記補強層とが互いに接合した境界部分からなり、前記低硬度層と前記補強層とが互いに入り込み混合した状態で重合あるいは架橋しつつ硬化した接合境界部を備えている。

このような構成によれば、低硬度層と補強層とが互いに入り込んだ接合境界部が、低硬度層と補強層とを強固に連結する役割を果たすから、両層間の接合性が向上する。すなわち、低硬度層が押し潰された場合でも、低硬度層が補強層からずれることが抑制されることにより低硬度層の過度な変形が防止され、熱伝導シートの被着物に対する密着性が保持される。
上記熱伝導シートは、以下の構成を備えていてもよい。
炭化ケイ素の一部は、補強層に入り込む形で接合境界部に配されている構成としてもよい。
このような構成によれば、砥粒であり粒径が大きい炭化ケイ素が補強層に入り込んで引っ掛かるから、両層間の接合性がさらに向上する。
また、低硬度層の両面に一対の補強層が積層されるとともに、一対の補強層のうち一方側に、平均粒径1〜2μmの水酸化マグネシウム15〜20質量%が含まれている構成としてもよい。
このような構成によれば、熱伝導シートの表裏両面に剥離用のシートを設けた場合に、一方側の補強層が他方側と比較して剥離シートから剥離し易くなる。このように、剥離性に差を持たせることにより、伝熱シートを被着物に貼り付ける際に剥離し易い側の剥離シートを選択的に剥すことができるから、作業性が向上する。
また上記熱伝導シートを得るための製造方法は (メタ)アクリル酸エステルを含むモノマーを重合してなるポリマーと、(メタ)アクリル酸エステルと、を含むアクリル系樹脂、多官能モノマー、重合開始剤、可塑剤、炭化ケイ素、水酸化アルミニウム及び水酸化マグネシウムを含有する前記低硬度層の組成物材料と、(メタ)アクリル酸エステルを含むモノマーを重合してなるポリマーと、(メタ)アクリル酸エステルと、を含むアクリル系樹脂、多官能モノマー、重合開始剤及び水酸化アルミニウム含む前記補強層の組成物材料と、をそれぞれ別個に混合する混合工程と、前記混合工程により混合された各混合物を、複数の吐出口を有するダイヘッドを介して、互いに向かい合う一対の高分子フィルムの間に向けて同時に押し出す形で積層する押出工程と、前記押出工程により押し出された積層物を加熱して硬化させる硬化工程と、を実行する。
このような製造方法によれば、各混合物が一対の高分子フィルムの間に向けて押し出された際に、隣り合って押し出された各混合物同士は未だ粘度が低いため、その境界付近において互いに入り込むように混ざり合う。そしてその後、硬化工程において加熱されると、隣り合う混合物(層)の混ざり合った組成物材料同士が反応し、重合あるいは架橋しつつ硬化する。これにより上述したような接合境界部を有する熱伝導シートを得ることができる。
上記製造方法においては、押出工程において、低硬度層の組成物材料の混合物は、補強層の組成物材料の混合物よりも粘度が高くなる構成としてもよい。
このような構成とすると、低硬度層の比較的粘度が高い混合物中に含まれている粒径が大きい炭化ケイ素が、隣接する補強層の比較的粘度が低い混合物に向けて容易に移動し、一部が接合境界部または補強層の組成物材料中に食い込む。その後硬化工程により硬化されることにより、炭化ケイ素の一部が補強層に入り込む形で接合境界部に配された熱伝導シートを実現することができる。
本発明によれば、熱伝導シートを複層とした場合でも、層間の接合性が高い熱伝導シート、及びその製造方法を提供することができる。
本発明の一実施形態に係る熱伝導シートの構成を模式的に表した断面図 同じく熱伝導シートの構成を模式的に表した側面図 他の実施形態の熱伝導シートの構成を模式的に表した側面図 コーターを模式的に表した概念図 ダイヘッドを模式的に表した断面図 圧縮率と圧縮力の関係を示す図
図1は本発明の一実施形態にかかる熱伝導シート10を模式的に表した断面図である。以下の説明においては、図1の上方を上、下方を下とする。図1に示される熱伝導シート10は、低硬度層11の上下両面に、低硬度層11より硬度が高い第1補強層12および第2補強層13がそれぞれ積層されてなる。また、低硬度層11と第1補強層12との境界部には、後述する第1接合境界部18が形成されている。さらに、低硬度層11と第2補強層13との境界部には、後述する第2接合境界部19が形成されている。
低硬度層11は、母材としてのアクリルポリマー14Aに炭化ケイ素15、水酸化アルミニウム16、水酸化マグネシウム17が分散されてなる。また第1補強層12は、母材としてのアクリルポリマー14Bに水酸化アルミニウム16が分散されてなる。さらに第2補強層13は、母材としてのアクリルポリマー14Bに水酸化アルミニウム16、および、水酸化マグネシウム17が分散されてなる。
本発明においてアクリルポリマーとは、(メタ)アクリル酸エステルを含むモノマーを重合してなるポリマーと、(メタ)アクリル酸エステルと、を含むアクリル系樹脂を重合または共重合させてなるものである。
(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えば、エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレート、i−プロピル(メタ)アクリレート、n―ブチル(メタ)アクリレート、i―ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、n−ヘキシル(メタ)アクリレート、n−アミル(メタ)アクリレート、i−アミル(メタ)アクリレート、オクチル(メタ)アクリレート、i−オクチル(メタ)アクリレート、i−ミリスチル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、ノニル(メタ)アクリレート、i―ノニル(メタ)アクリレート、i―デシル(メタ)アクリレート、トリデシル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、i―ステアリル(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらは、(共)重合する際に単独で用いる他、2種類以上を併用してもよい。
アクリルポリマーは、上述したアクリル系樹脂に、多官能モノマー、重合開始剤、可塑剤等の添加剤を適宜添加し、加熱硬化させることにより得られる。
多官能モノマーとしては、例えば、分子内に2つ以上の(メタ)アクリロイル基を有するもの等があげられる。分子内に2つの(メタ)アクリロイル基を有する2官能(メタ)アクリレートモノマーとしては、例えば1,3−ブチレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルジ(メタ)アクリレート、2−エチル−2−ブチル−プロパンジオール(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコール変性トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、ステアリン酸変性ペンタエリスリトールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、2,2−ビス[4−(メタ)アクリロキシジエトキシフェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(メタ)アクリロキシプロポキシフェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(メタ)アクリロキシテトラエトキシフェニル]プロパン等があげられる。
3官能(メタ)アクリレートモノマーとしては、例えばトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリス[(メタ)アクリロキシエチル]イソシアヌレート等があげられ、4官能以上の(メタ)アクリレートモノマーとしては、例えばジメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールエトキシテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等があげられる。
これらの多官能モノマーのうち、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレートなどが好ましい。
上述した多官能モノマーは、アクリル系樹脂20〜25重量部に対し、低硬度層においては0.005〜0.015重量部、補強層においては0.05〜0.10重量部の割合で配合されることが好ましい。
重合開始剤としては、ジ−(4−t−ブチルシクロヘキシル)パーオキシジカーボネート、ラウロイルパーオキサイド、t−アミルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート、ベンゾイルパーオキサイド、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート等の有機過酸化物があげられる。これらの重合開始剤のうち、ジ−(4−t−ブチルシクロヘキシル)パーオキシジカーボネートが好ましい。
重合開始剤は、アクリル系樹脂20〜25重量部に対し、0.1〜0.3重量部の割合で配合されることが好ましい。
可塑剤は汎用のものを使用することができ、例えば、フタル酸系、アジピン酸系、リン酸系、トリメリット酸系、ポリエステル系等が好適である。これらの可塑剤は、いずれか一種を単独で用いてもよいし、二種以上を混合して用いてもよい。可塑剤を配合することにより、熱伝導シートに柔軟性が付与される。
可塑剤は、低硬度層において、アクリル系樹脂20〜25重量部に対し、2.0〜4.0重量部の割合で配合されることが好ましい。可塑剤の配合割合少ないと、可塑剤を加えたことによる効果が弱くなり、熱伝導シートの硬度が高くなる。また、可塑剤の配合割合が多すぎると、熱伝導シートの表面から可塑剤が滲み出す(ブリードする)傾向がある。
また、さらに添加剤として、酸化防止剤を加えてもよい。酸化防止剤としては、例えば、ラジカル補足作用をもつフェノール系の酸化防止剤を使用することができる。このような酸化防止剤を配合すると、シート製造時のアクリル系樹脂の重合反応を抑制することができ、もって、シートの硬度を低く抑えることができる。
酸化防止剤は、アクリル系樹脂20〜25重量部に対し、0.05〜0.10重量部の割合で配合されることが好ましい。酸化防止剤の配合割合が少ないと、アクリル系樹脂の重合反応が進み、シートの硬度が高くなる。また、酸化防止剤の配合割合が多いと、樹脂の硬化が妨げられる傾向がある。
一方、熱伝導フィラーとしての炭化ケイ素15は砥粒形であり、その粒径は、レーザー回折法等によって求められる平均粒径D50で示される。本実施形態では、平均粒径60〜100μmの炭化ケイ素が使用される。
上記炭化ケイ素の平均粒径が60μmを下回ると、補強層との間の保持力が低下する。また、100μmより大きくなると、熱伝導シートを作製する際に、炭化ケイ素の粒子がシートから脱落する虞がある。
熱伝導フィラーとしての水酸化アルミニウム16は略球形であり、その粒径は、レーザー回折法等によって求められる平均粒径D50で示される。本実施形態では、低硬度層においては平均粒径10〜50μm、より好ましくは、30〜50μmの水酸化アルミニウムが、補強層においては平均粒径10〜50μmの水酸化アルミニウムが使用される。
熱伝導フィラーとしての水酸化マグネシウム17は六角板状であり、その粒径は、レーザー回折法等によって求められる平均粒径D50で示される。本実施形態では、平均粒径が1〜2μmの水酸化マグネシウムが使用される。径が小さい水酸化マグネシウムが含まれることにより、アクリル系樹脂の粘度が高くなる。
熱伝導シート10全体の厚み寸法は、1mm以上6mm以下であることが好ましい。より詳細には、熱伝導シート10の低硬度層11の厚み寸法は、低硬度層11の両面に補強層12,13を設ける場合には、0.4mm以上5.6mm以下であることが好ましく、低硬度層11の片面だけに補強層を設ける場合には、0.7mm以上5.8mm以下であることが好ましい。また、補強層12,13の厚み寸法は、0.2mm以上0.3mm以下であることが好ましい。さらに、低硬度層11のアスカーC硬度は0〜5であり、補強層12,13のアスカーC硬度は30〜50であることが好ましい。この範囲内であると、成形性が良好で、圧縮力が低く抑えられるためである。
例えば3層構造の熱伝導シート10は、低硬度層11の組成物材料と、第1補強層12の組成物材料と、第2補強層13の組成物材料と、をそれぞれ別個に混合する混合工程と、混合工程により混合された各混合物を、複数の吐出口を有するダイヘッドを介して、互いに向かい合う一対の高分子フィルムの間に向けて同時に押し出す形で積層する押出工程と、押出工程により押し出された積層物を加熱して硬化させる硬化工程と、を実行することにより得られる。
図4は、熱伝導シート10を製造するためのコーター30の構成を模式的に表した図であり、図5はダイヘッド32の構成を模式的に表した図である。上述した各混合物はそれぞれ別個のホッパ31に貯蔵されており、各ホッパ31は、各混合物がダイヘッド32の3つの吐出口32Aに流れ込むようにホース37により連結されている。より詳細には、図5に示すように、ダイヘッド32は上下方向に並んだ3つの吐出口32Aを有しており、これらの各吐出口32Aに各混合物が別々に流れ込むように、ホース37を介してホッパ31が連結されている。
ダイヘッド32は、上下方向に対向配置された一対のロール33,33間に向けて吐出口32Aが開口するように配置されている。また、一対のロール33,33にはそれぞれ高分子フィルム34,34が巻回されており、ロール33,33の回転に伴い、一対の高分子フィルム34,34が同方向(ホッパ31の反対方向)に向けて所定の距離を隔てて送り出されるようになっている。
上述した各混合物は、それぞれ3つの吐出口32Aから同時に一気に押し出されて積層される(押出工程)とともに、一対の高分子フィルム34,34に挟まれた状態でロール33,33から送り出されて、定格の厚さのシート状(積層体)に成形される(図2参照)。
このように、各混合物が一対の高分子フィルム34,34の間に向けて押し出された際には、各混合物は未硬化で粘度が低いため、隣り合って押し出された各混合物同士はその境界付近において互いに入り込むように混ざり合う。この時、低硬度層11の組成物材料(混合物)中に含まれている炭化ケイ素15等も、補強層12,13の組成物材料(混合物)側に入り込む。
そしてその後、硬化工程において積層物が加熱されると、隣り合う混合物の混ざり合った組成物材料同士が反応し、重合あるいは架橋しつつ硬化する。このようにして、低硬度層11と補強層12、13とが互いに入り込むとともに、炭化ケイ素15の一部が補強層12,13に入り込む形とされた第1接合境界部18および第2接合境界部19が形成される。
上記製造方法においては、押出工程において、低硬度層11の組成物材料の混合物は、補強層12,13の組成物材料の混合物よりも粘度が高いことが好ましい。このような場合には、低硬度層11の混合物中に含まれている比較的粒径が大きい炭化ケイ素15が、隣接する補強層12,13の混合物に向けて比較的容易に移動して入り込むことができる。その後硬化工程により硬化されることにより、炭化ケイ素15の一部が補強層12,13に入り込む形で接合境界部18,19に配された熱伝導シート10が得られる。
なお、2層構造の熱伝導シート40の場合も、上述した3層構造の熱伝導シート10と同様の製造方法で製造される(図3参照)。
<実施例>
以下、実施例により本発明をさらに詳細に説明する。なお、本発明は、これらの実施例に限られるものでない。
(熱伝導シート10の作製)
(実施例1)
第1補強層12、低硬度層11、第2補強層13の各組成物材料を表1ないし表3に示す配合割合で混合し、3種類の混合物を作製した(混合工程)。これらの混合物のうち低硬度層11の組成物材料の混合物は、第1補強層12および第2補強層13の組成物材料の混合物と比較して、粘度が高かった。
次に、上述したコーター30にて3層用のダイヘッド32を使用してそれぞれの組成物材料(混合物)を一対のロール33,33(高分子フィルム34,34)間に同時に一気に押し出して積層し(積層工程)、オーブン35にて105℃で加熱重合を行って(硬化工程)、3層構造の熱伝導シート10を作製した。
完成した熱伝導シート10は、低硬度層11の厚みが1.4mm、第1補強層12および第2補強層13の厚みがいずれも0.3mmになるように製造条件を整えた。また、低硬度層11のアスカーC硬度は0、第1補強層12のアスカーC硬度は38、第2補強層13のアスカーC硬度は42であった。
(実施例2)
低硬度層11および第2補強層13の各組成物材料を表2および表3に示す配合割合で混合し、実施例1と同様のコーターにて2層用のダイヘッドを使用してそれぞれの材料を一対のロール(高分子フィルム)間に同時に一気に押し出して積層し、オーブンにて105℃で加熱重合を行って、2層構造の熱伝導シート40を作製した。完成した熱伝導シート40は、低硬度層11の厚みが1.7mm、第2補強層13の厚みが0.3mmになるように製造条件を整えた。低硬度層11のアスカーC硬度は0、第2補強層13のアスカーC硬度は42であった。
(比較例1)
比較例1として、低硬度層、第1補強層、第2補強層の各組成物材料を表1ないし表3に示す配合割合で混合し、実施例1と同様のコーターにて単層用のダイヘッドを使用してそれぞれの層を別個に成形、硬化させ、完成した単層の各シートを接着剤を介して積層させた熱伝導シートを用意した。完成した熱伝導シートは、低硬度層の厚みが1.4mm、第1補強層および第2補強層の厚みが0.3mmになるようにした。低硬度層のアスカーC硬度は0、第1補強層のアスカーC硬度は38、第2補強層13のアスカーC硬度は42であった。
Figure 0006710828
Figure 0006710828
Figure 0006710828
(圧縮力の測定)
上記実施例1,2および比較例1の各熱伝導シートに対し、10mm×10mmの試験片を切り出し、測定装置(製品名「テンシロン万能試験機RTC−1210A」、エー・アンド・デイ株式会社製)を用いて、使用ロードセル500kgf/cm2、クロスヘッドスピード1.0mm/minの条件で圧縮力を測定した。測定結果を表4および図6に示す。
Figure 0006710828
表4および図6に示す結果より、実施例1および実施例2の熱伝導シート10,40は、従来の熱伝導シート(比較例1)と比較して、シートの圧縮率に対する圧縮力がいずれも小さいことが確認された。これは、被着体に対する追従性に優れることを意味している。
また、圧縮率を高めた場合でも、低硬度層および補強層間のずれが認められず、低硬度層が過度に変形することが抑制されていることが確認できた。すなわち、層間の接合性が高いことが確認できた。一方、比較例1ものは、圧縮率を高めるに従って低硬度層および補強層の間にずれが生じ、低硬度層が補強層からはみだす現象が認められた。圧縮を解除した場合でも、低硬度層はもとの位置に戻らず、補強層からはみだしたままであった。
これは、実施例1および2の熱伝導シート10,40では、上記製造方法で製造したことにより、低硬度層11と補強層12,13とが互いに入り込んだ接合境界部18,19が、低硬度層11と補強層12,13とを強固に連結しているためと考えられる。また、低硬度層11に含まれている炭化ケイ素15の一部が補強層12,13に入り込む形で接合境界部18,19に配され、引っ掛かっているためと考えられる。
(熱抵抗の測定)
上記実施例1および比較例1の各熱伝導シートに対し、25mm×25mmの試験片を切り出し、ASTM D5470に準拠しつつ、熱抵抗測定器を用いて熱抵抗を測定した。測定結果を表5に示す。
Figure 0006710828
表5に示す結果より、本発明の熱伝導シート10は、従来品と比較して同等の熱抵抗が得られることが確認できた。
(オイルブリード評価)
上記実施例1の熱伝導シート10に対し、25mm×25mmの試験片を切り出して薬包紙に載置し、室温約20℃の温度条件下で約300時間放置するオイルブリード評価を行った。また、同様のオイルブリード評価を、市販品のシリコン系熱伝導シートについても行った。
観察の結果、市販品のシリコン系熱伝導シートではオイルブリードが観察されたが、実施例1の熱伝導シート10ではオイルブリードはほとんど観察されなかった。
(剥離性の確認)
実施例1の熱伝導シート10の両面に積層されている高分子フィルム34を剥したところ、第2補強層13に積層されている高分子フィルム34の方が第1補強層12に積層されている高分子フィルム34よりも剥し易いことが確認できた。これは、第2補強層13に含まれている水酸化マグネシウム17による効果と考えられる。
<他の実施形態>
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
(1)熱伝導シートは、低硬度層11の一方側の面に補強層13が設けられた例えば上記実施例2の構成を有する一対の熱伝導シート40を、低硬度層11側が対向するように重ねて貼り合わせることにより、低硬度層11の両面に補強層13が設けられた熱伝導シートとしてもよい。この場合、貼り合わせられる低硬度層11は粘度が高いため互いに馴染み易く、界面でずれ難い。
(2)上記実施例1では、第1補強層12と第2補強層13とを異なる組成としたが、同じ組成で構成してもよい。
(3)低硬度層11、第1補強層12および第2補強層13の厚さや硬さは上記実施形態に限るものでなく、適宜変更することができる。
10,40:熱伝導シート
11:低硬度層
12:第1補強層
13:第2補強層
14:アクリルポリマー
15:炭化ケイ素
16:水酸化アルミニウム
17:水酸化マグネシウム
18:第1接合境界部
19:第2接合境界部
30:コーター
32:ダイヘッド
32A:吐出口
33:ロール
34:高分子フィルム
35:オーブン

Claims (5)

  1. 低硬度層と、前記低硬度層の片面又は両面に積層され前記低硬度層より硬度が高い補強層と備える熱伝導シートであって、
    前記低硬度層は、アクリルポリマー18〜25質量%と、平均粒径60μm〜100μmの炭化ケイ素30〜35質量%と、平均粒径10μm〜50μmの水酸化アルミニウム15〜23質量%と、平均粒径1μm〜2μmの水酸化マグネシウム18〜30質量%と、可塑剤1〜5質量%とを含有し、
    前記補強層は、アクリルポリマー20〜30質量%と、平均粒径10〜50μmの水酸化アルミニウム60〜80質量%とを含有し、
    前記低硬度層と前記補強層とが互いに接合した境界部分からなり、前記低硬度層と前記補強層とが互いに入り込み混合した状態で重合あるいは架橋しつつ硬化した接合境界部を備える熱伝導シート。
  2. 前記炭化ケイ素の一部が、前記補強層に入り込む形で前記接合境界部に配されている請求項1に記載の熱伝導シート。
  3. 前記低硬度層の両面に一対の前記補強層が積層されるとともに、前記一対の補強層のうち一方側に、平均粒径1〜2μmの水酸化マグネシウム15〜20質量%が含まれている、請求項1または請求項2に記載の熱伝導シート。
  4. 請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の熱伝導シートの製造方法であって、
    (メタ)アクリル酸エステルを含むモノマーを重合してなるポリマーと、(メタ)アクリル酸エステルと、を含むアクリル系樹脂、多官能モノマー、熱重合開始剤、可塑剤、炭化ケイ素、水酸化アルミニウム及び水酸化マグネシウムを含有する前記低硬度層の組成物材料と、
    (メタ)アクリル酸エステルを含むモノマーを重合してなるポリマーと、(メタ)アクリル酸エステルと、を含むアクリル系樹脂、多官能モノマー、熱重合開始剤及び水酸化アルミニウム含む前記補強層の組成物材料と、をそれぞれ別個に混合する混合工程と、
    前記混合工程により混合された各混合物を、複数の吐出口を有するダイヘッドを介して、互いに向かい合う一対の高分子フィルムの間に向けて同時に押し出す形で積層する押出工程と、
    前記押出工程により押し出された積層物を加熱して硬化させる硬化工程と、を実行する、熱伝導シートの製造方法。
  5. 前記押出工程において、前記低硬度層の前記組成物材料の混合物は、前記補強層の前記組成物材料の混合物よりも粘度が高い請求項4に記載の熱伝導シートの製造方法。
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