JP6694404B2 - ダイボンディング装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents

ダイボンディング装置および半導体装置の製造方法 Download PDF

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Description

本開示はダイボンディング装置に関し、例えばモータ制御装置を備えるダイボンディング装置に適用可能である。
半導体装置の製造工程の一部に半導体チップ（以下、単にダイという。）を配線基板やリードフレーム等（以下、単に基板という。）に搭載してパッケージを組み立てる工程があり、パッケージを組み立てる工程の一部に、半導体ウェハ（以下、単にウェハという。）からダイを分割する工程と、分割したダイを基板の上に搭載するボンディング工程とがある。ボンディング工程に使用される製造装置がダイボンダ等のダイボンディング装置である。
ダイボンダは、はんだ、金メッキ、樹脂を接合材料として、ダイを基板または既にボンディングされたダイの上にボンディング（搭載して接着）する装置である。ダイを、例えば、基板の表面にボンディングするダイボンダにおいては、コレットと呼ばれる吸着ノズルを用いてダイをウェハから吸着してピックアップし、基板上に搬送し、押付力を付与すると共に、接合材を加熱することによりボンディングを行うという動作（作業）が繰り返して行われる。コレットはボンディングヘッドの先端に取り付けられる。ボンディングヘッドはＺＹ駆動軸等の駆動部（サーボモータ）で駆動され、サーボモータはモータ制御装置により制御される。
サーボモータ制御においては、ワークやワークを支持するユニットに機械的衝撃を与えないように滑らかに加減速して、ワークを移動する必要がある。
特開２０１２−１７５７６８号公報
特許文献１では、加加速度、加速度、速度および位置の理想的な指令波形を生成し、加加速度を制限した指令波形で低振動なモータ制御を実現しているが、ダイボンディング装置等の半導体製造装置では、さらに高精度なモータ制御が要求されている。
本開示の課題は、より振動を抑えるダイボンディング装置を提供することにある。
その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
本開示のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば下記の通りである。
すなわち、ダイボンディング装置は、被駆動体を駆動し実位置をエンコード信号として出力するモータと、前記モータを制御し前記被駆動体を目標位置に制御してダイを基板に実装するモータ制御装置と、を備える。前記モータ制御装置は、加加速度微分値、加加速度、加速度、速度および位置の理想的な指令波形を生成する理想波形生成部と、前記理想的な指令波形を読み出し、目標指令位置、並びに、加加速度微分値、加加速度、加速度、速度、および位置の指令波形を再生成し、再生成された速度の指令波形を出力する指令波形生成部と、前記再生成された速度の指令波形をアナログデータに変換するＤＡＣと、を備える。
上記ダイボンディング装置によれば、振動を低減することができる。
実施例に係るダイボンダの構成を示す概略上面図 図１のダイボンダの概略構成とその動作を説明する図 図１のダイボンダの制御系の概略構成を示すブロック図 図３のモータ制御装置の基本的な原理を説明するためのブロック構成図 図４の理想波形生成部の第一波形生成部で生成される指令波形を説明するための図 移動平均処理を説明するための図 移動平均処理を説明するための図 移動平均処理を説明するための図 移動平均処理を説明するための図 移動平均時間を変化させた場合の各指令波形の形状を示す図 図４の理想波形生成部の第二波形生成部で生成される理想的な指令波形を説明するための図 図４の指令制御部の構成および指令波形生成部への入出力信号を示すブロック図 図１２の指令波形入出力部と指令波形再生成処理部の構成を示すブロック図 図１３の加加速度微分値加算波形生成部で生成される加加速度微分値加算波形を説明するための図 偏差量が１パルス、２パルス、４パルス、８パルス、および１６パルスの場合それぞれの、補償用に加算される加加速度微分値波形、加加速度波形、加速度波形、および速度波形を示す図 実施例に係るモータ制御装置における加加速度微分値上限下限確認処理動作を説明するための図 実施例に係るモータ制御装置における補償用の加加速度微分値波形算出後の再生成された指令波形を示す図 実施例に係るモータ制御方法の動作の手順を説明するためのフローチャート 実施例に係るモータ制御方法の動作の手順を説明するためのフローチャート 実施例に係るダイボンディング装置を用いた半導体装置の製造方法を説明するためのフローチャート 変形例１に係る指令波形入出力部と指令波形再生成処理部の構成を示すブロック図
本願発明者は、振動を抑えるために、加加速度、加速度、速度および位置の理想的な指令波形に加え、加加速度の微分値を指令値として、単位時間当たりの変化量を抑える制御を検討した。しかし、上記のような指令波形を生成するためには、位置・速度・加速度・加加速度と、さらに加加速度の微分波形の計５種類の理想的な指令波形を生成しておく必要があり、複雑な計算式となるため膨大な算出時間が必要となる。
実施形態に係るダイボンディング装置は、加加速度の指令波形を生成し、加加速度の指令波形から順次加速度・速度・位置の各指令波形を生成する。生成された位置の指令波形を移動平均法（一定の時間を定め、範囲をずらしながら平均をとっていくこと）によって、移動平均後の位置の指令波形を生成する。移動平均後の位置の指令波形から順次速度・加速度・加加速度・加加速度微分値の移動平均後の各指令波形を生成する。
上記によって得られた移動平均後の指令波形を用いてモータを制御することで、より低振動なモータ駆動が実現可能となる。
なお、指令波形の移動平均処理によって全体の指令波形長が伸び、動作時間が長くなるため、サイクルタイム、ボンディング精度など、装置の要求仕様に応じて、移動平均時間を調整することが好ましい。例えば、高精度ボンディングでは、移動平均時間を大きく設定し、滑らかに動作させて低振動駆動する。高速ボンディングでは、移動平均時間を小さく設定し、動作時間を短くすることで高速駆動する。
実施形態によれば、高速でモータが動作する際の進行方向に対する振動や偏差を抑え、整定時間短縮を実現することができる。また、理想的な軌跡でモータを動作させることができ、さらに、現在の位置を常にモニタリングすることができるため、複数の軸を同期させて動作させることが容易となる。
以下、実施例および変形例について、図面を用いて説明する。ただし、以下の説明において、同一構成要素には同一符号を付し繰り返しの説明を省略することがある。なお、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。
図１は実施例に係るダイボンダの概略を示す上面図である。図２は図１において矢印Ａ方向から見たときに、ピックアップヘッド及びボンディングヘッドの動作を説明する図である。
ダイボンダ１０は、大別して、ダイ供給部１と、ピックアップ部２、中間ステージ部３と、ボンディング部４と、搬送部５、基板供給部６と、基板搬出部７と、各部の動作を監視し制御する制御部８と、を有する。Ｙ軸方向がダイボンダ１０の前後方向であり、Ｘ軸方向が左右方向である。ダイ供給部１がダイボンダ１０の手前側に配置され、ボンディング部４が奥側に配置される。
まず、ダイ供給部１は基板Ｐに実装するダイＤを供給する。ダイ供給部１は、ウェハ１１を保持するウェハ保持台１２と、ウェハ１１からダイＤを突き上げる点線で示す突上げユニット１３と、を有する。ダイ供給部１は図示しない駆動手段によってＸＹ方向に移動し、ピックアップするダイＤを突上げユニット１３の位置に移動させる。
ピックアップ部２は、ダイＤをピックアップするピックアップヘッド２１と、ピックアップヘッド２１をＹ方向に移動させるピックアップヘッドのＹ駆動部２３と、コレット２２を昇降、回転及びＸ方向移動させる図示しない各駆動部と、を有する。ピックアップヘッド２１は、突き上げられたダイＤを先端に吸着保持するコレット２２（図２も参照）を有し、ダイ供給部１からダイＤをピックアップし、中間ステージ３１に載置する。ピックアップヘッド２１は、コレット２２を昇降、回転及びＸ方向移動させる図示しない各駆動部を有する。
中間ステージ部３は、ダイＤを一時的に載置する中間ステージ３１と、中間ステージ３１上のダイＤを認識する為のステージ認識カメラ３２を有する。
ボンディング部４は、中間ステージ３１からダイＤをピックアップし、搬送されてくる基板Ｐ上にボンディングし、又は既に基板Ｐの上にボンディングされたダイの上に積層する形でボンディングする。ボンディング部４は、ピックアップヘッド２１と同様にダイＤを先端に吸着保持するコレット４２（図２も参照）を備えるボンディングヘッド４１と、ボンディングヘッド４１をＹ方向に移動させるＹ駆動部４３と、ボンディングヘッド４１を昇降（Ｚ方向に移動）させるＺ駆動部（図示せず）と、基板Ｐの位置認識マーク（図示せず）を撮像し、ボンディング位置を認識する基板認識カメラ４４とを有する。
このような構成によって、ボンディングヘッド４１は、ステージ認識カメラ３２の撮像データに基づいてピックアップ位置・姿勢を補正し、中間ステージ３１からダイＤをピックアップし、基板認識カメラ４４の撮像データに基づいて基板ＰにダイＤをボンディングする。
搬送部５は、一枚又は複数枚の基板Ｐ（図１では４枚）を載置した基板搬送パレット５１と、基板搬送パレット５１が移動するパレットレール５２とを具備し、並行して設けられた同一構造の第１、第２搬送部とを有する。基板搬送パレット５１は、基板搬送パレット５１に設けられた図示しないナットをパレットレール５２に沿って設けられた図示しないボールネジで駆動することによって移動する。
このような構成によって、基板搬送パレット５１は、基板供給部６で基板Ｐを載置し、パレットレール５２に沿ってボンディング位置まで移動し、ボンディング後、基板搬出部７まで移動して、基板搬出部７に基板Ｐを渡す。第１、第２搬送部は、互いに独立して駆動され、一方の基板搬送パレット５１に載置された基板ＰにダイＤをボンディング中に、他方の基板搬送パレット５１は、基板Ｐを搬出し、基板供給部６に戻り、新たな基板Ｐを載置するなどの準備を行なう。
制御系について図３を用いて説明する。図３は図１のダイボンダの制御系の概略構成を示すブロック図である。制御系８０は制御部８と駆動部８６と信号部８７と光学系８８とを備える。制御部８は、大別して、主としてＣＰＵ（Central Processor Unit）で構成される制御・演算装置８１と、記憶装置８２と、入出力装置８３と、バスライン８４と、電源部８５とを有する。記憶装置８２は、処理プログラムなどを記憶しているＲＡＭで構成されている主記憶装置８２ａと、制御に必要な制御データや画像データ等を記憶しているＨＤＤで構成されている補助記憶装置８２ｂとを有する。入出力装置８３は、装置状態や情報等を表示するモニタ８３ａと、オペレータの指示を入力するタッチパネル８３ｂと、モニタを操作するマウス８３ｃと、光学系８８からの画像データを取り込む画像取込装置８３ｄと、を有する。また、入出力装置８３は、ダイ供給部１のＸＹテーブル（図示せず）やボンディングヘッドテーブルのＹ駆動部４３、Ｚ軸駆動部等の駆動部８６を制御するモータ制御装置８３ｅと、種々のセンサ信号や照明装置などのスイッチ等の信号部８７から信号を取り込み又は制御するＩ／Ｏ信号制御装置８３ｆとを有する。光学系８８には、ウェハ認識カメラ２４、ステージ認識カメラ３２、基板認識カメラ４４が含まれる。制御・演算装置８１はバスライン８４を介して必要なデータを取込み、演算し、ピックアップヘッド２１等の制御や、モニタ８３ａ等に情報を送る。
図４は図３のモータ制御装置の基本的な原理を説明するためのブロック構成図である。モータ制御装置８３ｅはモーションコントローラ２１０とサーボアンプ２２０とを備え、サーボモータ１３０を制御する。モーションコントローラ２１０は、理想的な指令波形の生成処理を行う理想波形生成部２１１と、指令波形生成部２１２と、ＤＡＣ（Digital to Analog Converter）２１３と、を備える。サーボアンプ２２０は速度ループ制御部２２１を備える。理想波形生成部２１１は第一波形生成部２１４と移動平均処理を行う移動平均処理部２１５と第二波形生成部２１６とを備える。
図４に示すように、モータ制御装置８３ｅは、モーションコントローラ２１０とサーボアンプ２２０とがクローズドループ制御となっている。従って、現在の指令位置と、サーボモータ１３０から得られる実位置および実速度を使用して、サーボアンプ２２０の速度ループ制御部２２１で速度制御を行う。ただし、速度ループ制御部２２１は、その速度制御を、モーションコントローラ２１０がサーボモータ１３０からの実速度および実位置を得て加加速度微分値および加加速度を制限しながら、指令波形を再生成することによって行っている。なお、理想波形生成部２１１および指令波形生成部２１２は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）とＣＰＵが実行するプログラムを格納するメモリで構成される。
例えば、図４において、目標位置、目標速度、目標加速度、目標加加速度および移動平均時間はモーションコントローラ２１０に与えられる。そして、指令波形生成部２１２には、サーボアンプ２２０を介して、またはサーボモータ１３０から直接、実位置および実速度がエンコーダ信号として逐次入力する。
モーションコントローラ２１０の理想波形生成部２１１の第一波形生成部２１４は、制御・演算装置８１から入力された加加速度、加速度、速度及び位置の目標値から、（ａ）指令加加速度波形（加加速度の第一指令波形）、（ｂ）指令加速度波形（加速度の第一指令波形）、（ｃ）指令速度波形（速度の第一指令波形）、（ｄ）指令位置波形（位置の第一指令波形）をそれぞれ生成し、（ｄ）指令位置波形を移動平均処理部２１５に出力する。
移動平均処理部２１５は、第一波形生成部２１４から出力される指令位置波形を移動平均処理し、（ｄ’）移動平均後の指令位置波形（理想的な位置の指令波形）を第二波形生成部２１６に出力する。
第二波形生成部２１６は、（ｄ’）理想的な位置の指令波形から、（ｃ’）移動平均後の指令速度波形（理想的な指令速度波形）、（ｂ’）移動平均後の指令加速度波形（理想的な加速度の指令波形）、（ａ’）移動平均後の指令加加速度波形（理想的な加加速度の指令波形）、（ｅ’）移動平均後の指令加加速度微分値波形（理想的な加加速度微分値の指令波形）、を順次生成して指令波形生成部２１２に出力する。「理想的」とは、加加速度微分値を制限しながら被制御対象の振動を抑制し、所定の処理時間でスムーズに被制御対象を制御するという意味で使用する。
指令波形生成部２１２は、第二波形生成部２１６から出力される出力信号波形（理想的な位置の指令波形から得られる現在の指令位置）と、サーボモータ１３０から入力されるエンコーダ信号（実位置）に基づいて、加加速度微分値を制限しながら、今後の指令速度波形を逐次再生成して、ＤＡＣ２１３に逐次出力する。例えば、指令波形生成部２１２は、（１）指令波形入出力処理、（２）エンコーダ信号カウント処理、および（３）指令波形再生処理を行う。
ＤＡＣ２１３は、入力されたデジタルの指令値をアナログ信号の速度指令値に変換して、サーボアンプ２２０の速度ループ制御部２２１に出力する。なお、エンコーダ信号は、エンコーダシグナルカウンタ（後述の図１３等）にて位置偏差量をパルスとして蓄積する。
サーボアンプ２２０の速度ループ制御部２２１は、モーションコントローラ２１０から入力される速度指令値と、サーボモータ１３０から入力されるエンコーダ信号に応じて、サーボモータ１３０の回転速度を制御する。
サーボモータ１３０は、サーボアンプ２２０の速度ループ制御部２２１から入力される回転速度の制御に応じた回転速度で回転し、実位置および実速度をエンコーダ信号としてサーボアンプ２２０の速度ループ制御部２２１とモーションコントローラ２１０の指令波形生成部２１２に出力する。
なお、図４の実施例では、サーボモータ１３０のカウント値（回転回数および回転角度）からボンディングヘッド等の被駆動体の実位置を算出し、算出された実位置をもとに実速度を算出している。しかし、被駆動体の位置を直接検出する位置検出装置を備え、当該位置検出装置が検出した位置を実位置とするようにしても良い。
以下、理想波形生成部、指令波形生成部について詳細に説明する。上述したように理想波形生成部２１１は、加加速度、加速度、速度及び位置の振幅値である目標加加速度（Ｊｏｂｊ）、目標加速度（Ａｏｂｊ）、目標速度（Ｖｏｂｊ）、および目標位置（Ｐｏｂｊ）から、理想的な指令波形を生成する。指令波形生成部２１２は、指令出力処理および指令波形再生成処理を行う。このとき、指令波形（例えば、加加速度微分値の指令波形）に、偏差量を加味した加加速度微分値加算波形を加算するようにして、指令波形再生成処理が行われる。
まず、理想波形生成部について図５を用いて説明する。図５は図４の理想波形生成部の第一波形生成部で生成される指令波形を説明するための図である。図５（ａ）は指令加加速度波形、図５（ｂ）は指令加加速度波形から生成される指令加速度波形、図５（ｃ）は指令加速度波形から生成される指令速度波形、図５（ｄ）は指令加速度波形から生成される指令位置である。指令位置とは、被駆動体の移動先の位置である。なお、横軸は時間である。
第一波形生成部２１４は目標加加速度（Ｊｏｂｊ）から指令加加速度波形（ＪＤＲ）を生成する。目標加速度（Ａｏｂｊ）と指令加加速度波形（ＪＤＲ）の積分から指令加速度波形（ＡＤＲ）を生成する。目標速度（Ｖｏｂｊ）と指令加速度波形（ＡＤＲ）の積分から指令速度波形（ＶＤＲ）を生成する。目標位置（Ｐｏｂｊ）と指令速度波形（ＶＤＲ）の積分から指令位置波形（ＰＤＲ）を生成する。
図５（ａ）において、ｎは１パルスの指令波形を出力する指令出力周期の回数であり、８の倍数である。図５に示すように、被移動体を駆動するモータは、移動開始から最初の期間（Ｔ１）では徐々に加速され、中央部の期間（Ｔ２）では定速度で、最終移動位置に近付く期間（Ｔ３）では徐々に減速して停止するように加加速度制御される。
本実施例では、８の倍数であるとしたが、目標位置が正方向の場合に加加速度指令値が正値、負値、負値、正値と変化する波形、または目標位置が正方向の場合に加加速度指令値が正値、負値、正値と変化する波形とすることもできる。これは目標移動距離が短い場合に、加加速度指令値が０の区間が無くなるからである。このように、加加速度波形に加加速度が０となる部分を設けなければ、ｎは４の倍数としてもよい。
次に、移動平均処理部の説明に先立ち、移動平均法について移動平均後の指令速度波形を求める手順を例にして図６〜９を用いて説明する。図６〜９は指令速度波形の移動平均を求める手順を説明するための図である。
指令波形の指定時間内のｍ個の指令の平均を指令値とし、ｎ個ずらして次のｍ個の指令の平均を指令値とし、さらにｎ個ずらして次のｍ個の指令の平均を指令値とする。これを指令波形全体で行い、平均化された指令値をつなぎ合わせて最終的な指令波形を生成する。図６〜９ではｍ＝８、ｎ＝１の例である。図６に示すように、移動平均前の指令速度波形の８個の指令速度ＶＲ１を平均し、移動平均後の速度指令値ＶＡ１を算出する。次に、図７に示すように、１個ずらして移動平均前の指令速度波形の８個の指令速度ＶＲ２を平均し、移動平均後の速度指令値ＶＡ２を算出する。次に、図８に示すように、１個ずらして移動平均前の指令速度波形の８個の指令速度ＶＲ３を平均し、移動平均後の速度指令値ＶＡ３を算出する。これを指令速度波形ＶＲの全体で行い、平均化された速度指令値をつなぎ合わせて最終的な指令速度波形ＶＡを生成する。
移動平均時間と指令波形形状の関係について図１０を用いて説明する。図１０は移動平均時間を変化させた場合の各指令波形の形状を示す図である。
指令波形の移動平均処理によって全体の指令波形長が伸び、動作時間が長くなるので、指定時間（移動平均時間）が長くなる（ｍが大きくなる）ほど、動作時間が長くなる。
移動平均時間が大きくなると、各指令波形は鈍る。一方、移動平均時間が０秒の場合は、加加速度微分値が無限大となるため、図示不可能であり、加加速度微分波形を求めることができない。移動平均時間は、例えばダイボンダに要求されるボンディング精度またはサイクルタイムに応じて設定可能である。
移動平均処理部２１５は、第一波形生成部２１４で生成された指令位置波形（位置の指令波形）を上述のように移動平均法（一定の時間を定め、範囲をずらしながら平均をとっていくこと）によって移動平均処理をして、移動平均後の指令位置波形（理想的な位置の指令波形）を生成する。
次に、第二波形生成部について図１１を用いて説明する。図１１は第二波形生成部で生成される指令波形を説明するための図である。第二波形生成部２１６は移動平均処理部２１５で生成した移動平均後の指令位置波形（理想的な位置の指令波形（ＰＤ））を微分することにより、移動平均後の指令速度波形（理想的な速度の指令波形（ＶＤ）を生成する。指令速度波形（ＶＤ）を微分することにより、移動平均後の指令加速度波形（理想的な加速度の指令波形（ＡＤ））を生成する。指令加速度波形（ＡＤ）を微分することにより、移動平均後の指令加加速度波形（理想的な加加速度の指令波形（ＪＤ））を生成する。指令加加速度波形（ＪＤ）を微分することにより、移動平均後の加加速度微分値波形（理想的な加加速度微分値の指令波形（ΔＪＤ））を生成する。
図１１（ｅ’）において、ｎは１パルスの指令波形を出力する指令出力周期の回数であり、１６の倍数である。図１１に示すように、被移動体を駆動するモータは、移動開始から最初の期間（Ｔ１）では徐々に加速され、中央部の期間（Ｔ２）では定速度で、最終移動位置に近付く期間（Ｔ３）では徐々に減速して停止するように加加速度微分値制御される。
本実施例では、１６の倍数であるとしたが、目標位置が正方向の場合に加加速度微分値の指令値が正値、負値、負値、正値、負値、正値、正値、負値と変化する波形、もしくは目標位置が正方向の場合に加加速度微分値の指令値が正値、負値、正値、負値、正値、負値と変化する波形とすることもできる。これは目標移動距離が短い場合に、加加速度微分値の指令値が０の区間が無くなるからである。このように、加加速度微分値波形に加加速度微分値が０となる部分を設けなければ、ｎは８の倍数としてもよい。
次に、指令波形生成部について図１２〜１７を用いて説明する。図１２は図４の指令波形生成部の構成および指令波形生成部への入出力信号を示すブロック図である。図１３は図１２の指令波形入出力部および指令波形再生成処理部の制御ブロック図である。図１４は加加速度微分値加算波形を説明するための図である。図１５は、偏差量が１パルス、２パルス、４パルス、８パルス、および１６パルスの場合それぞれの、補償用に加算される加加速度微分値波形、加加速度波形、加速度波形、および速度波形を示す図である。図１６は加加速度上限下限確認処理動作を説明するための図である。図１７は補償用の加加速度微分値波形算出後の、再生成された指令波形の一例を示す図である。横軸は時間、縦軸はそれぞれパルス高さを示す。
図１２に示すように、指令波形生成部２１２は、指令波形入出力部４１０と指令波形再生成処理部４２０とエンコーダシグナルカウンタ４３０を備える。
次に、図１３において、モーションコントローラ２１０の第二波形生成部２１６は、指令加加速度微分値波形（ΔＪＤ）、指令加加速度波形（ＪＤ）、指令加速度波形（ＡＤ）、指令速度波形（ＶＤ）、および指令位置波形（ＰＤ）のパルスを指令波形生成部２１２の指令波形入出力部４１０に出力する。
なお、指令波形入出力部４１０は、前回の指令出力タイミングで再生成した指令加加速度微分値波形（ΔＪＤ’１〜ΔＪＤ’ｎ）と、指令加加速度波形（ＪＤ’１〜ＪＤ’ｎ）と、前回の指令出力タイミングで再生成された指令波形の中で指令出力周期１回分手前からの指令加速度波形（ＡＤ’０〜ＡＤ’ｎ）、指令速度波形（ＶＤ’０〜ＶＤ’ｎ）、および指令位置波形（ＰＤ’０〜ＰＤ’ｎ）を保存している。指令波形入出力部４１０は、指令波形生成部２１２の指令波形再生成処理部４２０の減算器４２１並びに加算器４２３〜４２７に、目標指令位置（ＰＤ’０）並びにそれぞれ前回のタイミングで再生成した指令加加速度微分値波形（ΔＪＤ’１〜ΔＪＤ’ｎ）と、指令加加速度波形（ＪＤ’１〜ＪＤ’ｎ）、指令出力周期１回分手前からの指令加速度波形（ＡＤ’０〜ＡＤ’ｎ−１）、指令出力周期１回分手前からの指令速度波形（ＶＤ’０〜ＶＤ’ｎ−１）、および指令出力周期１回分手前からの指令位置波形（ＰＤ’０〜ＰＤ’ｎ−１）を出力する。
この時、指令波形生成部２１２のエンコーダシグナルカウンタ４３０は、図１２に示すように、サーボモータ１３０のエンコーダカウント値から現在の実位置（ＰＡ０）を取得し、減算器４２１に出力する。
減算器４２１は、現在の目標指令位置（ＰＤ’０）から現在の実位置（ＰＡ０）を減じて偏差量（Ｐｅｒｒ）を算出し、加加速度微分値加算波形生成部４２２に出力する。
図１４に示すように、加加速度微分値加算波形生成部４２２は、サンプリング間隔（ＴＳ）内、即ち指令出力周期（ＴＣ）を持つｎ回の指令で偏差量（Ｐｅｒｒ）が将来的に“０”になるような加加速度微分値波形（ΔＣ１〜ΔＣｎ）を生成する。図１４において、Ｋはパルス幅、ΔＪＣはパルス高さ、ｎ（自然数）はサンプリング間隔（ＴＳ）における指令回数、ｘ（自然数）はｎ個の指令回数の指令位置（パルス番号（１≦ｘ≦ｎ））である。
例えば、加加速度微分値波形（ΔＣ１〜ΔＣｎ）は、次のような手順（１）〜（３）で生成する。なお、以下において、位置偏差目標補償量をＰ（ＰｅｒｒをＰとしてそのまま使用する）、指令出力周期をＴＣ、偏差量補償目標時間をＴＮ、偏差量補償目標指令出力周期をｎ回、加加速度微分値波形の幅をＫ、加加速度微分値加算波形の大きさをΔＪＣとして説明する。
｛手順（１）｝
まず、以下のように、加加速度微分値波形の幅（Ｋ）を算出する。
ＴＮ＞（ＴＣ×ｎ）から、加加速度微分値加算波形の形状を固定するため、ｎは１６の倍数とする。
即ち、ＴＮ＞（ＴＣ×１６×Ｋ）とし、加加速度微分値波形の幅（Ｋ）は、
Ｋ＜（ＴＮ／（ＴＣ×１６））とする。
｛手順（２）｝
次に、以下の式から、加加速度微分値加算波形の大きさ（ΔＪＣ）を算出する。
ΔＪＣ＝（１／１６）×（Ｐ／Ｋ３×ＴＣ３）
｛手順（３）｝
次に、加加速度微分値加算波形（ΔＣ１〜ΔＣｎ）を生成する。
偏差量を補償するための加加速度微分値加算波形（ΔＣ１〜ΔＣｎ）は、下記のようになる。なお、ここで、ｘは、１〜ｎのｘ番目の波形を意味する。
ｘ／Ｋ≦１の時、ΔＣｘ＝ΔＪＣ
ｘ／Ｋ≦２の時、ΔＣｘ＝０
ｘ／Ｋ≦３の時、ΔＣｘ＝−ΔＪＣ
ｘ／Ｋ≦４の時、ΔＣｘ＝０
ｘ／Ｋ≦５の時、ΔＣｘ＝−ΔＪＣ
ｘ／Ｋ≦６の時、ΔＣｘ＝０
ｘ／Ｋ≦７の時、ΔＣｘ＝ΔＪＣ
ｘ／Ｋ≦８の時、ΔＣｘ＝０
ｘ／Ｋ≦９の時、ΔＣｘ＝−ΔＪＣ
ｘ／Ｋ≦１０の時、ΔＣｘ＝０
ｘ／Ｋ≦１１の時、ΔＣｘ＝ΔＪＣ
ｘ／Ｋ≦１２の時、ΔＣｘ＝０
ｘ／Ｋ≦１３の時、ΔＣｘ＝−ΔＪＣ
ｘ／Ｋ≦１４の時、ΔＣｘ＝０
ｘ／Ｋ≦１５の時、ΔＣｘ＝−ΔＪＣ
ｘ／Ｋ≦１６の時、ΔＣｘ＝０
例えば、Ｋ＝１の場合には、加加速度微分値加算波形（ΔＣ１〜ΔＣｎ）は、以下のようになる。
ΔＣ１〜ΔＣｎ＝｛ΔＪＣ，０，−ΔＪＣ，０，−ΔＪＣ，０，ΔＪＣ，０，−ΔＪＣ，０，ΔＪＣ，０，ΔＪＣ，０，−ΔＪＣ，０｝
即ち、ΔＣ１＝ΔＪＣ、ΔＣ２＝０、ΔＣ３＝−ΔＪＣ、ΔＣ４＝０、ΔＣ５＝−ΔＪＣ、ΔＣ６＝０、ΔＣ７＝ΔＪＣ、ΔＣ８＝０、ΔＣ９＝−ΔＪＣ、ΔＣ１０＝０、ΔＣ１１＝ΔＪＣ、ΔＣ１２＝０、ΔＣ１３＝ΔＪＣ、ΔＣ１４＝０、ΔＣ１５＝−ΔＪＣ、ΔＣ１６＝０である。
図１５に示すように、偏差量（Ｐ）が大きければ大きいほど、偏差量（Ｐ）を補償するための加加速度微分値波形の高さ（ΔＪＣ）が大きくなる。
次に、図１３において、加加速度微分値加算波形生成部４２２は、加加速度微分値加算波形（ΔＣ１〜ΔＣｎ）を加算器４２３に出力する。加算器４２３は、加加速度微分値加算波形（ΔＣ１〜ΔＣｎ）と前回の指令出力タイミングで生成した指令加加速度微分値波形（ΔＪＤ’１〜ΔＪＤ’ｎ）とを加算して、指令出力周期ｎ回分の全ての指令加加速度微分値波形（ＪＤ’’１〜ＪＤ’’ｎ）を再生成し、加加速度微分値制限部４２８と加算器４２４に出力する。
例えば、加算器４２３の出力は、ΔＪＤ”１＝ΔＪＤ’１＋ΔＣ１、ΔＪＤ”２＝ΔＪＤ’２＋ΔＣ２、ΔＪＤ”３＝ΔＪＤ'３＋ΔＣ３、〜、ΔＪＤ”ｎ＝ΔＪＤ’ｎ＋ΔＣｎとなる。
加算器４２４は、再生成された指令加加速度微分値波形（ΔＪＤ”１〜ΔＪＤ”ｎ）と前回の指令出力タイミングで生成した指令加加速度波形（ＪＤ’１〜ＪＤ’ｎ）とを加算して、指令出力周期ｎ回分の全ての指令加加速度波形（ＪＤ”１〜ＪＤ”ｎ）を再生成し、加加速度微分値制限部４２８と加算器４２５に出力する。
例えば、加算器４２４の出力は、ＪＤ”１＝ＪＤ’１＋ΔＪＤ’１、ＪＤ”２＝ＪＤ’２＋ΔＪＤ’２、ＪＤ”３＝ＪＤ'３＋ΔＪＤ’３、〜、ＪＤ”ｎ＝ＪＤ’ｎ＋ΔＪＤ’ｎとなる。
加算器４２５は、再生成された指令加加速度波形（ＪＤ”１〜ＪＤ”ｎ）と前回の指令出力タイミングで生成した指令出力周期１回分手前からの指令加速度波形（ＡＤ’０〜ＡＤ’ｎ−１）とを加算して、指令出力周期ｎ回分の全ての指令加速度波形（ＡＤ”１〜ＡＤ”ｎ）を再生成し、加算器４２６および加加速度微分値制限部４２８に出力する。
例えば、加算器４２５の出力は、ＡＤ”１＝ＡＤ’０＋ＪＤ”１、ＡＤ”２＝ＡＤ’１＋ＪＤ”２、ＡＤ”３＝ＡＤ’２＋ＪＤ”３、〜、ＡＤ”ｎ＝ＡＤ’（ｎ−１）＋ＪＤ”ｎとなる。
加算器４２６は、再生成された指令加速度波形（ＡＤ”１〜ＡＤ”ｎ）と前回の指令出力タイミングで生成した指令出力周期１回分手前からの指令速度波形（ＶＤ’０〜ＶＤ’ｎ−１）とを加算して、指令出力周期ｎ回分の全ての指令加速度波形（ＶＤ”１〜ＶＤ”ｎ）を再生成し、加算器４２７および加加速度微分値制限部４２８に出力する。
例えば、加算器４２６の出力は、ＶＤ”１＝ＶＤ’０＋ＡＤ”１、ＶＤ”２＝ＶＤ’１＋ＡＤ”２、ＶＤ”３＝ＶＤ’２＋ＡＤ”３、〜、ＶＤ”ｎ＝ＶＤ’（ｎ−１）＋ＡＤ”ｎとなる。
加算器４２７は、再生成された指令速度波形（ＶＤ”１〜ＶＤ”ｎ）と前回の指令出力タイミングで生成した指令出力周期１回分手前からの指令位置波形（ＰＤ’０〜ＰＤ’ｎ−１）とを加算して、指令出力周期ｎ回分の全ての指令位置波形（ＰＤ”１〜ＰＤ”ｎ）を再生成して加加速度微分値制限部４２８に出力する。
例えば、加算器４２７の出力は、ＰＤ”１＝ＰＤ’０＋ＶＤ”１、ＰＤ”２＝ＰＤ’１＋ＶＤ”２、ＰＤ”３＝ＰＤ’２＋ＶＤ”３、〜、ＰＤ”ｎ＝ＰＤ’（ｎ−１）＋ＶＤ”ｎとなる。
さらに、指令波形再生成処理部４２０は、加算器４２３〜４２７で得られた各指令波形が範囲内であるかを確認する。
加加速度微分値制限部４２８は、再生成された指令加加速度微分値波形（ΔＪＤ”１〜ΔＪＤ”ｎ）が上限（または下限）を超えないかどうかについて図１６を用いて確認する。図１６において、加加速度微分値上限（ΔＪｍａｘ）および加加速度微分値下限（−ΔＪｍａｘ）はあらかじめ定められている。
図１６において、加算器４２３では、前回の指令出力タイミングで生成した指令加加速度微分値波形（ΔＪＤ’１〜ΔＪＤ’ｎ）に、破線円７０１内の加加速度微分値加算波形が加算されている。即ち、加算波形パルス（ΔＣ１、ΔＣ２、ΔＣ３、ΔＣ４、ΔＣ５、ΔＣ６、ΔＣ７およびΔＣ８）が太線で示された加加速度微分値波形に加算されている（指令加加速度微分値波形（ΔＪＤ”１〜ΔＪＤ”ｎ））。前回補正のタイミングに補正があり、さらに補正が加えられるとパルス波形が加加速度微分値下限値（−ΔＪｍａx）を下回る可能性がある。
この場合、加加速度微分値制限部４２８は、現在時刻でのパルス波形（ΔＣ１、ΔＣ２、ΔＣ３、ΔＣ４、ΔＣ５、ΔＣ６、ΔＣ７およびΔＣ８）が上限（ΔＪｍａｘ）と下限（−ΔＪｍａｘ）の間にある（ＯＫ）か否（ＮＧ）かを検出して、ＯＫかＮＧを判定し、出力を分岐している。例えば、現在時刻で波形（ΔＣ２）が、上限（ΔＪｍａｘ）未満であるか否かを検出する（ΔＪＤ”１〜ΔＪＤ”ｎ＜ΔＪｍａｘ）。そして否（ＮＧ）であれば、指令波形復元部４２ＣにＮＧ情報を出力する。またＯＫであれば、現在時刻での波形（ΔＣ２）が、下限（ΔＪｍａｘ）超であるか否かを検出する（−ΔＪｍａｘ＜ΔＪＤ”１〜ΔＪＤ”ｎ）。そして否（ＮＧ）であれば、指令波形復元部４２ＣにＮＧ情報を出力する。またＯＫであれば、加加速度制限部４２９に指令加加速度微分値波形（ΔＪＤ”１〜ΔＪＤ”ｎ）、指令加加速度波形（ＪＤ”１〜ＪＤ”ｎ）、指令加速度波形（ＡＤ”１〜ＡＤ”ｎ）、指令速度波形（ＶＤ”１〜ＶＤ”ｎ）、および指令位置波形（ＰＤ”１〜ＰＤ”ｎ）を出力する。
次に、図１３において、加加速度制限部４２９は、加加速度微分値制限部４２８と同様に、現在時刻での加加速度波形が、上限（Ｊｍａｘ）未満であるか否かを検出する（ＪＤ”１〜ＪＤ”ｎ＜Ｊｍａｘ）。そして否（ＮＧ）であれば、指令波形復元部４２ＣにＮＧ情報を出力する。またＯＫであれば、現在時刻での波形が、下限Ｊｍａｘ超であるか否かを検出する（−Ｊｍａｘ＜ＪＤ”１〜ＪＤ”ｎ）。そして否（ＮＧ）であれば、指令波形復元部４２ＣにＮＧ情報を出力する。またＯＫであれば、加速度制限部４２Ａに指令加加速度微分値波形（ΔＪＤ”１〜ΔＪＤ”ｎ）、指令加加速度波形（ＪＤ”１〜ＪＤ”ｎ）、指令加速度波形（ＡＤ”１〜ＡＤ”ｎ）、指令速度波形（ＶＤ”１〜ＶＤ”ｎ）、および指令位置波形（ＰＤ”１〜ＰＤ”ｎ）を出力する。
次に、図１３において、加速度制限部４２Ａは、加加速度微分値制限部４２８と同様に、現在時刻での加速度波形が、上限（Ａｍａｘ）未満であるか否かを検出する（ＡＤ”１〜ＡＤ”ｎ＜Ａｍａｘ）。そして否（ＮＧ）であれば、指令波形復元部４２ＣにＮＧ情報を出力する。またＯＫであれば、現在時刻での波形が、下限（Ａｍａｘ）超であるか否かを検出する（−Ａｍａｘ＜ＡＤ”１〜ＡＤ”ｎ）。そして否（ＮＧ）であれば、指令波形復元部４２ＣにＮＧ情報を出力する。またＯＫであれば、速度制限部４２Ｂに指令加加速度微分値波形（ΔＪＤ”１〜ΔＪＤ”ｎ）、指令加加速度波形（ＪＤ”１〜ＪＤ”ｎ）、指令加速度波形（ＡＤ”１〜ＡＤ”ｎ）、指令速度波形（ＶＤ”１〜ＶＤ”ｎ）、および指令位置波形（ＰＤ”１〜ＰＤ”ｎ）を出力する。
さらに図１３において、速度制限部４２Ｂは、加加速度微分値制限部４２８と同様に、現在時刻での速度波形が、上限（Ｖｍａｘ）未満であるか否かを検出する（ＶＤ”１〜ＶＤ”ｎ＜Ｖｍａｘ）。そして否（ＮＧ）であれば、指令波形復元部４２ＣにＮＧ情報を出力する。またＯＫであれば、現在時刻での波形が、下限（Ｖｍａｘ）を超えるか否かを検出する（−Ｖｍａｘ＜ＶＤ”１〜ＶＤ”ｎ）。そして否（ＮＧ）であれば、指令波形復元部４２ＣにＮＧ情報を出力する。またＯＫであれば、指令波形入出力部４１０に指令加加速度微分値波形（ΔＪＤ”１〜ΔＪＤ”ｎ）、指令加加速度波形（ＪＤ”１〜ＪＤ”ｎ）、指令加速度波形（ＡＤ”１〜ＡＤ”ｎ）、指令速度波形（ＶＤ”１〜ＶＤ”ｎ）、および指令位置波形（ＰＤ”１〜ＰＤ”ｎ）を出力する。
指令波形復元部４２Ｃは、ＮＧ情報が、加加速度微分値制限部４２８、加加速度制限部４２９、加速度制限部４２Ａ、または速度制限部４２Ｂのいずれかから入力された場合には、前回の指令出力時の指令波形を復元し、全偏差量の補正を次回指令出力時まで持ち越す（上限と下限の確認処理）。即ち、復元した前回の指令出力時の指令波形を指令波形入出力部４１０に出力する。
この後、図１３において、再生成した指令波形のΔＪＤ”１〜ΔＪＤ”ｎ、ＪＤ”１〜ＪＤ”ｎ、ＡＤ”１〜ＡＤ”ｎ、ＶＤ”１〜ＶＤ”ｎ、およびＰＤ”１〜ＰＤ”ｎを新たな指令波形として保存する。
指令波形の速度指令値（ＶＤ”１〜ＶＤ”ｎ）は、図１２に示すように、指令波形入出力部４１０からＤＡＣ２１３に順次出力され、ＤＡＣ２１３は、順次アナログ変換した速度指令値をサーボアンプ２２０に出力する。
図１２において、ＤＡＣ２１３は、入力された速度指令値（ＶＤ”１）をアナログ値に変換してサーボアンプ２２０に出力する。サーボアンプ２２０は、入力されたアナログデータに応じてサーボモータ１３０を回転駆動し、かつサーボモータ１３０の回転位置（および回転速度）をエンコーダ信号として、指令波形生成部２１２に出力する。
サーボモータ１３０から出力されたエンコーダ信号は、指令波形生成部２１２のエンコーダシグナルカウンタ４３０に入力される。
エンコーダシグナルカウンタ４３０は、所定のサイクルでカウントしたカウント値（ＰＡ０）を指令波形再生成処理部４２０に出力する。
指令波形再生成処理部４２０では、減算器４２１が、その減算入力端子に、エンコーダシグナルカウンタ４３０が出力するカウント値（ＰＡ０）を入力する。
サーボアンプ２２０は、入力された速度指令値（ＶＤ”１）に従ってサーボモータ１３０を制御する。
全ての指令波形が再生成される様子を図１７に示す。細い実線はそれぞれ補償前の波形で、現在時刻から指令加加速度微分値において補償用の加加速度微分値波形が加算された期間の間に、太い実線で示された波形でサーボモータ１３０が制御される。
この結果、サーボモータ１３０が回転し、その回転によって、モータが高速で回転動作する際に、被駆動体の進行方向に対する振動や偏差を抑え、整定時間短縮を実現することができる。また、理想的な軌跡でモータを動作させることができ、さらに、現在の位置を常にモニタリングすることができるため、複数の軸を同期させて動作させることが容易となる。
なお、図１７において、実位置波形が現在時刻よりも前からズレているように見える。これは、指令の波形に対して、現在時刻までのズレ（位置偏差）を示している。実際には、非常に短い指令出力周期の間隔で補正し続けているため、図１７ほど顕著にズレが生じることはない。図１７では、位置が補正される様子を強調して表現するために、現在時刻の実位置を指令波形から少しズレた位置にしてある。
次に、モータ制御方法について図１８、１９を用いて説明する。図１８、１９はモータ制御方法の動作の一例の手順を説明するためのフローチャートである。図１８、１９によって、指令出力周期タイミングで指令加加速度微分値波形（ＪＤ”）、指令加加速度波形（ＪＤ”）、指令加速度波形（ＡＤ”）、指令速度波形（ＶＤ”）、および指令位置波形（ＰＤ”）を作成する手順を説明する。
ステップＳ６０１では、エンコーダカウント値から現在の実位置（ＰＡ０）を取得する。
ステップＳ６０２では、実位置（ＰＡ０）と現在の指令位置（ＰＤ’０）から偏差量（Ｐｅｒｒ）を算出する。
ステップＳ６０３では、指令出力周期ｎ回で、偏差量（Ｐｅｒｒ）が将来的に“０”になるような加加速度微分値加算波形（ΔＣ１〜ΔＣｎ）を生成する。
ステップＳ６０４では、加加速度微分値加算波形（ΔＣ１〜ΔＣｎ）を指令加加速度微分値波形（ΔＪＤ’１〜ΔＪＤ’ｎ）に加算して、指令出力周期ｎ回分の全ての指令加加速度微分値波形（ΔＪＤ”１〜ΔＪＤ”ｎ）を再生成する。
ステップＳ６０５では、再生成した指令加加速度微分値波形（ΔＪＤ”１〜ΔＪＤ”ｎ）を指令加加速度波形（ＪＤ’１〜ＪＤ’ｎ）に加算して、指令出力周期ｎ回分の全ての指令加加速度波形（ＪＤ”１〜ＪＤ”ｎ）を再生成する。
ステップＳ６０６では、指令出力周期１回分手前からの指令加速度波形（ＡＤ’０〜ＡＤ’ｎ−１）と再生成した指令加加速度波形（ＪＤ”１〜ＪＤ”ｎ）から、指令出力周期ｎ回分の全ての指令加速度波形（ＡＤ”１〜ＡＤ”ｎ）を再生成する。
ステップＳ６０７では、指令加速度波形（ＡＤ”１〜ＡＤ”ｎ）の再生成（ステップＳ６０６）と同様な方法で指令速度波形（ＶＤ”１〜ＶＤ”ｎ）を再生成する。
ステップＳ６０８では、指令加速度波形（ＡＤ”１〜ＡＤ”ｎ）の再生成（ステップＳ６０６）、または指令速度波形（ＶＤ”１〜ＶＤ”ｎ）の再生成（ステップＳ６０７）と同様な方法で指令位置波形（ＰＤ”１〜ＰＤ”ｎ）を再生成する。
ステップＳ６０９では、再生成した加加速度微分値波形（ΔＪＤ”１〜ΔＪＤ”ｎ）が上限（ΔＪｍａｘ）未満か否かを確認する。上限（ΔＪｍａｘ）を超える場合にはステップＳ６１４に処理を移行し、上限未満の場合にはステップＳ６１０に処理を移行する。
ステップＳ６１０では、再生成した加加速度波形（ＪＤ”１〜ＪＤ”ｎ）が上限（Ｊｍａｘ）未満か否かを確認する。上限（Ｊｍａｘ）を超える場合にはステップＳ６１４に処理を移行し、上限未満の場合にはステップＳ６１１に処理を移行する。
ステップＳ６１１では、再生成した加速度波形（ＡＤ”１〜ＡＤ”ｎ）が上限（Ａｍａｘ）未満か否かを確認する。上限（Ａｍａｘ）を超える場合にはステップＳ６１４に処理を移行し、上限未満の場合にはステップＳ６１２に処理を移行する。
ステップＳ６１２では、再生成した速度波形（ＶＤ”１〜ＶＤ”ｎ）が上限（Ｖｍａｘ）未満か否かを確認する。上限（Ｖｍａｘ）を超える場合にはステップＳ６１４に処理を移行し、上限未満の場合にはステップＳ６１３に処理を移行する。
ステップＳ６１３では、再生成した指令加加速度微分値波形（ΔＪＤ”１〜ΔＪＤ”ｎ）、指令加加速度波形（ＪＤ”１〜ＪＤ”ｎ）、指令加速度波形（ＡＤ”１〜ＡＤ”ｎ）、指令速度波形（ＶＤ”１〜ＶＤ”ｎ）、および指令位置波形（ＰＤ”１〜ＰＤ”ｎ）を新たな指令波形として保存する。
ステップＳ６１５では、次回の速度指令値（ＶＤ”１〜ＶＤ”ｎ）をＤＡＣ３１２から出力させ、図１７，１８の処理を終了し、次の指令出力周期タイミングの動作に移行する。
ステップＳ６１４では、再生成指令波形を前回の指令波形で復元し、ステップＳ６１５に処理を移行する。即ち、指令加加速度微分値波形（ΔＪＤ”１〜ΔＪＤ”ｎ）として、前回の指令加加速度微分値波形（ΔＪＤ’１〜ΔＪＤ’ｎ）を用いる。指令加加速度波形（ＪＤ”１〜ＪＤ”ｎ）として、前回の指令加加速度波形（ＪＤ’１〜ＪＤ’ｎ）を用いる。また、指令加速度波形（ＡＤ”１〜ＡＤ”ｎ）として、前回の指令加速度波形（ＡＤ’１〜ＡＤ’ｎ）を用いる。またさらに、指令速度波形（ＶＤ”１〜ＶＤ”ｎ）として、前回の指令速度波形（ＶＤ’１〜ＶＤ’ｎ）も用いる。またさらに、指令位置波形（ＰＤ”１〜ＰＤ”ｎ）として、前回の指令位置波形（ＰＤ’１〜ＰＤ’ｎ）を用いる。
次に、実施例に係るダイボンダを用いた半導体装置の製造方法について図２０を用いて説明する。図２０は半導体装置の製造方法を示すフローチャートである。
ステップＳ１１：ウェハ１１から分割されたダイＤが貼付されたダイシングテープ１６を保持したウェハリング１４をウェハカセット（不図示）に格納し、ダイボンダ１０に搬入する。制御部８はウェハリング１４が充填されたウェハカセットからウェハリング１４をダイ供給部１に供給する。また、基板Ｐを準備し、ダイボンダ１０に搬入する。制御部８は基板供給部６で基板Ｐを基板搬送パレット５１に載置する。
ステップＳ１２：制御部８は分割したダイをウェハからピックアップする。
ステップＳ１３：制御部８は、ピックアップしたダイを基板Ｐ上に搭載又は既にボンディングしたダイの上に積層する。制御部８はウェハ１１からピックアップしたダイＤを中間ステージ３１に載置し、ボンディングヘッド４１で中間ステージ３１から再度ダイＤをピックアップし、搬送されてきた基板Ｐにボンディングする。
ステップＳ１４：制御部８は基板搬出部７で基板搬送パレット５１からダイＤがボンディングされた基板Ｐを取り出す。ダイボンダ１０から基板Ｐを搬出する。
＜変形例＞
以下、代表的な変形例について、幾つか例示する。以下の変形例の説明において、上述の実施例にて説明されているものと同様の構成および機能を有する部分に対しては、上述の実施例と同様の符号が用いられ得るものとする。そして、かかる部分の説明については、技術的に矛盾しない範囲内において、上述の実施例における説明が適宜援用され得るものとする。また、上述の実施例の一部、および、複数の変形例の全部または一部が、技術的に矛盾しない範囲内において、適宜、複合的に適用され得る。
（変形例１）
図２１は変形例１に係る指令波形入出力部と指令波形再生成処理部の構成を示すブロック図である。
上記実施例では、指令波形復元部４２Ｃが前回の指令波形を復元したが、図２１に示すように、変形例１では、指令波形再生成処理部４２０がＮＧ情報を出力し、指令波形入出力部４１０がＮＧ情報に応じて、保存していた前回の指令波形を現在の指令波形として復元するようにしても良い。
（変形例２）
実施例では回転するモータ（サーボモータ）について説明したが、回転するモータ以外のリニアモータにも適用することができる。具体的には、図４において、サーボモータ１３０をリニアモータに置き換える（以下、変形例２に係るモータ制御装置という。）。サーボアンプ２２０の速度ループ制御部２２１は、モーションコントローラ２１０から入力される速度指令値と、リニアモータから入力されるエンコーダ信号に応じて、リニアモータの移動速度を制御する。
リニアモータは、サーボアンプ２２０の速度ループ制御部２２１から入力される移動速度の制御に応じた移動速度で移動し、実位置および実速度をエンコーダ信号としてサーボアンプ２２０の速度ループ制御部２２１とモーションコントローラ２１０の指令波形生成部２１２に出力する。
なお、変形例２に係るモータ制御装置では、リニアモータのカウント値から被駆動体の実位置を算出し、算出された実位置をもとに実速度を算出している。しかし、被駆動体の位置を直接検出する位置検出装置を備え、当該位置検出装置が検出した位置を実位置とするようにしても良い。
例えば、変形例２に係るモータ制御装置において、ＤＡＣ２１３は、入力された速度指令値（ＶＤ”１）をアナログ値に変換してサーボアンプ２２０に出力する。サーボアンプ２２０は、入力されたアナログデータに応じてリニアモータを駆動し、かつリニアモータの移動位置（および移動速度）をエンコーダ信号として、指令波形生成部２１２に出力する。
リニアモータから出力されたエンコーダ信号は、指令波形生成部２１２のエンコーダシグナルカウンタ４３０に入力される。
エンコーダシグナルカウンタ４３０は、所定のサイクルでカウントしたカウント値ＰＡ０を指令波形再生成処理部４２０に出力する。
指令波形再生成処理部４２０では、減算器４２１が、その減算入力端子に、エンコーダシグナルカウンタ４３０が出力するカウント値（ＰＡ０）を入力する。全ての指令波形が再生成される様子は図１７と同様である。
この結果、リニアモータが移動し、その移動によって、リニアモータが高速で移動動作する際に、被駆動体の進行方向に対する振動や偏差を抑え、整定時間短縮を実現することができる。また、理想的な軌跡でリニアモータを動作させることができ、さらに、現在の位置を常にモニタリングすることができるため、複数の軸を同期させて動作させることが容易となる。
更に、エンコーダカウンタ機能を有するモータなどモータ全般にも適用することが可能である。
以上、本発明者によってなされた発明を実施形態、実施例および変形例に基づき具体的に説明したが、本発明は、上記実施形態、実施例および変形例に限定されるものではなく、種々変更可能であることはいうまでもない。
例えば、実施例では、指令波形入出力部は、速度指令値を出力してモータを制御していた。しかし、速度指令値の代わりに加速度指令値を出力してモータを制御しても良い。その結果、位置の制御だけでなく、荷重制御も可能となる。
また、実施例ではピックアップヘッドおよびボンディングヘッドをそれぞれ１つ備えているが、それぞれ２つ以上であってもよい。また、実施例では中間ステージを備えているが、中間ステージがなくてもよい。この場合、ピックアップヘッドとボンディングヘッドは兼用してもよい。
また、実施例ではダイの表面を上にしてボンディングされるが、ダイをピックアップ後ダイの表裏を反転させて、ダイの裏面を上にしてボンディングしてもよい。この場合、中間ステージは設けなくてもよい。この装置はフリップチップボンダという。
１３０：サーボモータ、 ８３ｅ：モータ制御装置、 ２１０：モーションコントローラ、 ２１１：理想波形生成部、 ２１２：指令波形生成部、 ２１３：ＤＡＣ、 ２２０：サーボアンプ、 ２２１：速度ループ制御部、 ４１０：指令波形入出力部、 ４２０：指令波形再生成処理部、 ４２１：減算器、 ４２２：加加速度微分値加算波形生成部、 ４２３〜４２７：加算器、 ４２８：加加速度微分値制限部、 ４２９：加加速度制限部、 ４２Ａ：加速度制限部、 ４２Ｂ：速度制限部、 ４２Ｃ：指令波形復元部、 ４３０：エンコーダシグナルカウンタ。

Claims (11)

  1. 被駆動体を駆動し実位置をエンコーダ信号として出力するモータと、
    前記モータを制御し前記被駆動体を目標位置に制御してダイを基板に実装するモータ制御装置と、
    を備え、
    前記モータ制御装置は、
    加加速度微分値、加加速度、加速度、速度および位置の理想的な指令波形を生成する理想波形生成部と、
    前記理想的な指令波形を読み出し、目標指令位置、並びに、加加速度微分値、加加速度、加速度、速度、および位置の指令波形を再生成し、再生成された速度の指令波形を出力する指令波形生成部と、
    前記再生成された速度の指令波形をアナログデータに変換するＤＡＣと、
    を備え、
    前記理想波形生成部は、
    加加速度、加速度、速度および位置の目標値から加加速度、加速度、速度および位置の第一の指令波形を順次積分して生成する第一波形生成部と、
    一定の時間を定め、範囲をずらしながら平均をとっていく移動平均法によって前記第一波形生成部で生成された位置の第一指令波形から位置の理想的な指令波形を生成する移動平均処理部と、
    前記位置の理想的な指令波形から順次微分して速度、加速度、加加速度および加加速度微分値の理想的な指令波形を生成する第二波形生成部と、
    を備え、
    前記指令波形生成部は、
    前記エンコーダ信号による実位置と前記目標指令位置とに基づいて加加速度微分値の加算波形を生成し、前記生成された加加速度微分値の加算波形を前回の指令出力タイミングで再生成された加加速度微分値の指令波形に加算して、加加速度微分値の指令波形を再生成し、さらに加加速度、加速度、速度および位置の指令波形を再生成する指令波形再生成処理部と、
    前記生成された位置、速度、加速度、加加速度および加加速度微分値の理想的な指令波形と、前記再生成された加加速度微分値、加加速度、加速度、速度および位置の指令波形と、を保存する指令波形入出力部と、
    を備えるダイボンディング装置。
  2. 請求項１において、
    前記指令波形生成部は、
    前記再生成された加加速度微分値の指令波形を前回の指令出力タイミングで再生成された加加速度の指令波形に加算して、加加速度の指令波形を再生成し、
    前記再生成された加加速度の指令波形を前回の指令出力タイミングで再生成された加速度の指令波形に加算して、加速度の指令波形を再生成し、
    前記再生成された加速度の指令波形を前回の指令出力タイミングで再生成された速度の指令波形に加算して、速度の指令波形を再生成し、
    前記再生成された速度の指令波形を前回の指令出力タイミングで再生成された位置の指令波形に加算して、位置の指令波形を再生成するダイボンディング装置。
  3. 請求項２において、
    前記指令波形再生成処理部は、前記エンコーダ信号による実位置と前記目標指令位置との差である偏差量から加加速度微分値の加算波形を生成する加加速度微分値加算波形生成部を有するダイボンディング装置。
  4. 請求項３において、
    前記指令波形再生成処理部は、さらに、加加速度微分値制限部を有し、
    前記加加速度微分値制限部は、前記再生成された加加速度微分値の指令波形が、所定の加加速度微分値上限値超または加加速度微分値下限値未満の場合にＮＧ情報を前記指令波形入出力部に出力し、
    前記指令波形入出力部は、前記ＮＧ情報が入力された場合には、
    前記前回の指令出力タイミングで再生成された加加速度微分値、加加速度、加速度、速度および位置の指令波形を復元し、
    復元された加加速度微分値、加加速度、加速度、速度および位置の指令波形を、再生成した加加速度微分値、加加速度、加速度、速度および位置の指令波形とし、再生成された速度の指令波形を前記ＤＡＣに出力するダイボンディング装置。
  5. 請求項３において、
    前記指令波形再生成処理部は、さらに、
    前記再生成された加加速度微分値の指令波形が、所定の加加速度微分値上限値超または加加速度微分値下限値未満の場合にＮＧ情報を出力する加加速度微分値制限部と、
    前記ＮＧ情報が入力された場合には、前記前回の指令出力タイミングで再生成された加加速度微分値、加加速度、加速度、速度および位置の指令波形を復元し前記指令波形入出力部に出力する指令波形復元部と、
    を備え、
    前記指令波形入出力部は、復元された加加速度微分値、加加速度、加速度、速度および位置の指令波形を、再生成した加加速度微分値、加加速度、加速度、速度および位置の指令波形とし、再生成された速度の指令波形を前記ＤＡＣに出力するダイボンディング装置。
  6. 請求項１乃至５のいずれかにおいて、
    前記指令波形生成部は、再生成された加加速度微分値、加加速度、加速度、速度および位置の指令波形を新たな指令波形として保存するダイボンディング装置。
  7. 請求項１において、
    前記モータはサーボモータであるダイボンディング装置。
  8. 請求項１において、
    前記被駆動体はボンディングヘッドおよびピックアップヘッドのうちの少なくとも一つであるダイボンディング装置。
  9. （ａ）請求項１乃至５のいずれかのダイボンディング装置を準備する工程と、
    （ｂ）ダイが貼付されたダイシングテープを保持するウェハリングホルダを搬入する工程と、
    （ｃ）基板を準備搬入する工程と、
    （ｄ）ダイをピックアップする工程と、
    （ｅ）前記ピックアップしたダイを前記基板または既にボンディングされたダイの上にボ
    ンディングする工程と、
    を備える半導体装置の製造方法。
  10. 請求項９において、
    前記（ｄ）工程は前記ダイシングテープ上のダイを前記被駆動体であるボンディングヘッドでピックアップし、
    前記（ｅ）工程は前記ボンディングヘッドで前記ピックアップしたダイを前記基板または既にボンディングされたダイの上にボンディングする半導体装置の製造方法。
  11. 請求項９において、
    前記（ｄ）工程は、
    （ｄ１）前記ダイシングテープ上のダイを前記被駆動体であるピックアップヘッドでピックアップする工程と、
    （ｄ２）前記ピックアップヘッドでピックアップしたダイを中間ステージに載置する工程、
    を有し、
    前記（ｅ）工程は、
    （ｅ１）前記中間ステージに載置されたダイを前記被駆動体であるボンディングヘッドでピックアップする工程と、
    （ｅ２）前記ボンディングヘッドでピックアップしたダイを前記基板に載置する工程と、を備える半導体装置の製造方法。
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