JP6676972B2 - 磁気センサ - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態について説明する。本実施形態の磁気センサは、ホール効果を用いて磁界の強度を検出するものであり、図1〜図3に示すように、基板1と、グラフェン層2と、2つの電流リード電極3と、2つの電圧リード電極4と、絶縁膜5と、ゲート電極6と、を備える。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対してグラフェン層2の形状を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態は、第2実施形態に対して電圧リード電極4およびゲート電極6の形状を変更したものであり、その他に関しては第2実施形態と同様であるため、第2実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
本発明の第4実施形態について説明する。本実施形態は、第3実施形態に対して電圧リード電極4の形状を変更したものであり、その他に関しては第3実施形態と同様であるため、第3実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
本発明の第5実施形態について説明する。本実施形態は、第4実施形態に対して絶縁膜5の構成とゲート電極6の位置を変更したものであり、その他に関しては第4実施形態と同様であるため、第4実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
本発明の第6実施形態について説明する。本実施形態は、第5実施形態に対して封止膜7を追加したものであり、その他に関しては第5実施形態と同様であるため、第5実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
2 グラフェン層
3 電流リード電極
4 電圧リード電極
5 絶縁膜
6 ゲート電極
8 ゲート電極
9 絶縁膜
Claims (10)
- 基板(1)と、
前記基板の一面側に形成されたグラフェン層(2)と、
前記グラフェン層の表面に、一方向に並ぶように形成された2つの電流リード電極(3)と、
前記グラフェン層の表面に、前記一方向とは異なる他方向に並ぶように形成された2つの電圧リード電極(4)と、
前記グラフェン層の表面に形成された第1絶縁膜(5、9)と、
前記第1絶縁膜により前記グラフェン層と電気的に絶縁された第1ゲート電極(6、8)と、を備え、
前記グラフェン層に、前記第1ゲート電極にゲート電圧を印加することにより電気抵抗が変化する領域(2a)が少なくとも1つ形成されており、
前記領域の1つは、前記2つの電流リード電極の一方に隣接しており、他方から離れている磁気センサ。 - 前記グラフェン層の前記第1絶縁膜とは反対側の表面に形成された第2絶縁膜(1b、5、9)と、
前記第2絶縁膜により前記グラフェン層と電気的に絶縁された第2ゲート電極(1a、6、8)と、を備え、
前記第2ゲート電極にゲート電圧を印加することにより、前記グラフェン層のうち前記2つの電流リード電極で挟まれた部分の電気抵抗が変化する請求項1に記載の磁気センサ。 - 前記第1ゲート電極を2つ備え、
前記第1ゲート電極が2つ備えられることにより前記領域が2つ形成され、
2つの前記領域の一方は、前記2つの電流リード電極の一方に隣接し、他方から離れており、
2つの前記領域の他方は、前記2つの電流リード電極の他方に隣接し、一方から離れており、
2つの前記領域は、互いに離されている請求項1または2に記載の磁気センサ。 - 前記グラフェン層は、上面形状が十字状とされており、
前記2つの電流リード電極および前記2つの電圧リード電極は、それぞれ、前記グラフェン層が構成する十字形状における4つの先端部に形成されている請求項1ないし3のいずれか1つに記載の磁気センサ。 - 前記電圧リード電極の前記一方向の幅は、前記グラフェン層のうち前記電圧リード電極が形成された先端部の前記一方向の幅よりも小さくされている請求項4に記載の磁気センサ。
- 前記電圧リード電極は、前記領域から離されて配置されている請求項3または5に記載の磁気センサ。
- 前記第1絶縁膜は、固体絶縁膜で構成され、
前記第1ゲート電極は、前記第1絶縁膜に積層された金属電極で構成されている請求項1ないし6のいずれか1つに記載の磁気センサ。 - 前記第1絶縁膜はイオンゲルで構成されている請求項1ないし6のいずれか1つに記載の磁気センサ。
- 基板(1)と、
前記基板の表面に形成された第1ゲート電極(8)と、
前記第1ゲート電極の表面に形成された第1絶縁膜(9)と、
前記第1絶縁膜の表面に形成され、前記第1絶縁膜により前記第1ゲート電極と電気的に絶縁されたグラフェン層(2)と、
前記グラフェン層の表面に、一方向に並ぶように形成された2つの電流リード電極(3)と、
前記グラフェン層の表面に、前記一方向とは異なる他方向に並ぶように形成された2つの電圧リード電極(4)と、を備え、
前記グラフェン層に、前記第1ゲート電極にゲート電圧を印加することにより電気抵抗が変化する領域(2a)が少なくとも1つ形成されており、
前記領域の1つは、前記2つの電流リード電極の一方に隣接しており、他方から離れている磁気センサ。 - 前記第1絶縁膜および前記グラフェン層を封止する封止膜(7)を備える請求項8または9に記載の磁気センサ。
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