JP6670432B2 - 統合型イオン検出装置および方法 - Google Patents
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Description
実施形態1において、溶液中のイオン濃度を測定するためのイオン感応性プローブは、半導体基板と、半導体基板に統合されるとともに、溶液に接触して、溶液中のイオン濃度の関数に従った第一電圧を提供するように構成された第一パッシブ電極とを含む。
実施形態3において、実施形態1および2の一つ以上に記載の増幅器は必要に応じて、基板に統合されている。
実施形態6において、実施形態1〜3の一つ以上に記載の第一パッシブ電極は必要に応じて、封じ込めバリアと、電圧を提供するように構成された第一検出部材とを含む。封じ込めバリアは必要に応じて、半導体基板に取り付けられるとともに、溶液と検出部材との間の接触位置の周りにバリアを形成するように構成される。封じ込めバリアおよび半導体基板は必要に応じて、標準溶液のための細孔容器の少なくとも一部を形成するように構成される。
実施形態8において、実施形態1〜7の一つ以上に記載の第二パッシブ電極は必要に応じて、標準溶液に接触するように構成される。
実施形態10において、実施形態1〜9の一つ以上に記載のプローブは必要に応じて、第一パッシブ電極および第二パッシブ電極に電気的に接続された増幅器を含む。
実施形態12において、実施形態1〜11の一つ以上に記載の第一電極は必要に応じて、溶液と接触した時に電圧を生成するように構成された第一検出部材を含み、実施形態1〜11の一つ以上に記載の第一検出部材は必要に応じて、水素イオンを検出するように構成されたイリジウム酸化物を含む。
実施形態21において、実施形態1〜20の一つ以上に記載の指示電圧を増幅させる工程は必要に応じて、第一半導体基板に統合された増幅回路を用いて指示電圧を増幅させることを含む。
上記の詳細な説明は、詳細な説明の一部を形成する添付の図面への参照を含む。図面は例示によって、本発明を実施することのできる特定の実施形態を示している。これらは本明細書において、「実施形態(examples)」と呼ばれる。このような実施形態は、図示または説明されたものに追加した要素を含むことができる。しかしながら、本発明は、図示または説明された要素のみが設けられた実施形態をも企図している。また、本発明者らは特定の実施形態(またはその一つ以上の態様)、または本明細書において図示または説明された他の実施形態(またはその一つ以上の態様)のいずれかに関して、図示または説明された要素の任意の組み合わせまたは置換を用いた実施形態(またはその一つ以上の態様)をも企図している。
本明細書において、「一つの(a,an)」等の用語は、特許文献において一般的であるように、「少なくとも一つの(at least one)」または「一つ以上の(one or more)」等の用語の存在の有無にかかわらず、一つ以上の対象を含むとして用いられる。本明細書において、「または(or)」等の用語は、別段の指示の有無にかかわらず、「AまたはB」が「AではなくB」、「BではなくA」、「AおよびB」のすべてを含むように、非排他的な論理和を指すとして用いられる。本明細書において、「〜を含む(including)」および「〜において(in which)」等の用語はそれぞれ、「〜を含む(comprising)」および「〜において(wherein)」等の用語の平易な英語の同義語として用いられる。また、以下の特許請求の範囲において、「〜を含む(including,comprising)」等の用語はオープンエンドである。すなわち、特許請求の範囲においてそのような用語の後に列記された要素に追加した要素を含むシステム、装置、物品、組成物、調合物、またはプロセスもまた、特許請求の範囲内にあるとみなされる。さらに、以下の特許請求の範囲において、「第一(first)」、「第二(second)」、「第三(third)」等の用語は単にラベルとして使用されるものであり、それらの対象に対して数値要件を課すことを意図するものではない。
Claims (10)
- 溶液中のイオン濃度を測定するためのイオン感応性のプローブにおいて、イオン感応性の前記プローブは、
半導体基板と、
前記半導体基板に統合されるとともに、前記溶液に接触して、前記溶液中のイオン濃度の関数に従った第一電圧を提供するように構成された第一パッシブ電極と、
標準溶液のための封じ込めバリア及び第二パッシブ電極と、
前記第一パッシブ電極を取り囲み、接地の基準電位に接続され、前記第一パッシブ電極を迷走電気干渉から保護する第一シールドトレースと、
前記第二パッシブ電極を取り囲み、接地の基準電位に接続され、前記第二パッシブ電極を迷走電気干渉から保護する第二シールドトレースと、を含むプローブ。 - 請求項1に記載のプローブにおいて、前記第一パッシブ電極に電気的に接続された入力を有する増幅器を含むプローブ。
- 請求項2に記載のプローブにおいて、前記増幅器は前記半導体基板に統合されているプローブ。
- 請求項1に記載のプローブにおいて、前記封じ込めバリアは前記標準溶液の前記第二パッシブ電極との一定の接触を維持するように構成されるプローブ。
- 請求項4に記載のプローブにおいて、前記第二パッシブ電極は、
封じ込めバリアと、
電圧を提供するように構成された第一検出部材とを含み、
前記封じ込めバリアは前記半導体基板に取り付けられるとともに、前記標準溶液と前記検出部材との間の接触位置の周りにバリアを形成し、
前記封じ込めバリアおよび前記半導体基板は、前記標準溶液のための容器の少なくとも一部を形成するプローブ。 - 請求項5に記載のプローブにおいて、前記第二パッシブ電極は、前記半導体基板に統合された、プローブ。
- 請求項6に記載のプローブにおいて、前記第二パッシブ電極は標準溶液に接触するように構成されるプローブ。
- 溶液中のイオン濃度を検出する方法において、前記方法は、
第一パッシブ電極の検出部材を前記溶液に接触させる工程であって、前記第一パッシブ電極は第一半導体基板を含む、第一パッシブ電極の検出部材を前記溶液に接触させる行程と、
第二パッシブ電極の検出部材を標準溶液に接触させる工程であって、前記第二パッシブ電極は第二半導体基板を含む、第二パッシブ電極の検出部材を前記溶液に接触させる行程と、
前記イオン濃度の指示を提供するため、前記第一パッシブ電極の第一電圧に基づいて指示電圧を増幅させる工程と、を含む方法であって、
前記第一パッシブ電極は、接地の基準電位に接続され、前記第一パッシブ電極を迷走電気干渉から保護する第一シールドトレースに取り囲まれ、
前記第二パッシブ電極は、接地の基準電位に接続され、前記第二パッシブ電極を迷走電気干渉から保護する第二シールドトレースに取り囲まれた、方法。 - 請求項8に記載の方法において、
前記指示電圧を提供するため、前記第一パッシブ電極の前記第一電圧から前記第二パッシブ電極の第二電圧を減算する工程を含む方法。 - 請求項8に記載の方法において、指示電圧を増幅させる工程は、前記第一半導体基板に統合された増幅回路を用いて前記指示電圧を増幅させることを含む方法。
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