JP6665408B2 - 発振回路、電子機器、移動体及び発振回路の調整方法 - Google Patents

発振回路、電子機器、移動体及び発振回路の調整方法 Download PDF

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Description

本発明は、発振回路、電子機器、移動体及び発振回路の調整方法に関する。
特許文献1には、水晶発振器において、水晶振動子の検査端子を発振器の端子と兼用することで小型化が可能な技術が開示されている。
特開2009−201097号公報
しかしながら、特許文献1に記載の発振器では、水晶振動子の検査端子を発振器の端子と兼用することはできるが、発振用増幅器や緩衝用増幅器の動作を停止させてしまうため、検査時の発振器の動作状態は通常の動作状態とは異なる。このため、水晶振動子を検査した後に、発振器に通常の動作をさせたときに、発振器の周波数が所望の値からずれてしまう可能性があった。
本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、本発明のいくつかの態様によれば、調整後に発振周波数が変動するおそれを低減させることが可能な発振回路及び発振回路の調整方法を提供することができる。また、本発明のいくつかの態様によれば、当該発振回路を用いた電子機器及び移動体を提供することができる。
本発明は前述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の態様または適用例として実現することが可能である。
[適用例1]
本適用例に係る発振回路は、
振動子に電気的に接続されて前記振動子を発振させる発振用回路と、前記発振用回路の周波数を調整するための第1周波数調整回路と、第1端子と、を含み、前記発振用回路と前記第1周波数調整回路とが電気的に接続されているとともに、前記第1周波数調整回路と前記第1端子とが電気的に接続されていない第1モードと、前記発振用回路と前記第1周波数調整回路とが動作しているとともに、前記第1周波数調整回路の信号が出力される側の端子と前記第1端子とが電気的に接続されている第2モードと、を有する。
発振回路は、例えば、ピアース発振回路、インバーター型発振回路、コルピッツ発振回路、ハートレー発振回路などの種々の発振回路の一部又は全部であってもよい。
例えば、前記第2モードは、前記発振用回路の周波数を調整するための動作モードであり、前記第1モードは、前記第2モードで周波数が調整された前記発振用回路が発振する動作モード(例えば、通常動作モード)であってもよい。
本適用例に係る発振回路によれば、第2モードにおいて、発振用回路と第1周波数調整回路が動作している状態で、第1端子から出力される第1周波数調整回路の出力信号に基づいて発振周波数を調整することができるので、調整後に第1モードでの発振周波数が変
動するおそれを低減させることができる。
[適用例2]
上記適用例に係る発振回路は、前記発振用回路から出力される信号が入力されて発振信号を出力する出力回路を含み、前記出力回路は、前記第1モード及び前記第2モードにおいて動作していてもよい。
本適用例に係る発振回路によれば、第2モードにおいて、第1モードと同様に出力回路が動作している状態で、第1端子から出力される第1周波数調整回路の出力信号に基づいて発振周波数を調整することができるので、第1モードと第2モードにおいて出力回路から発生する雑音や発熱の差が小さく、調整後に第1モードでの発振周波数が変動するおそれを低減させることができる。
[適用例3]
上記適用例に係る発振回路は、前記出力回路の出力側の端子と電気的に接続されている第2端子を含んでもよい。
本適用例に係る発振回路によれば、第2モードにおいて、第2端子から出力される発振信号の周波数(発振周波数)を直接的に測定しながら、より正確に発振周波数を調整することができるので、調整後に第1モードでの発振周波数が変動するおそれをより低減させることができる。
[適用例4]
上記適用例に係る発振回路は、前記発振用回路の周波数を調整するための第2周波数調整回路と、出力する電圧を可変に設定可能な電圧発生回路と、を含み、前記第1モードにおいて、前記第1端子と前記第2周波数調整回路とが電気的に接続されているとともに、前記第2周波数調整回路と前記発振用回路とが電気的に接続されており、前記第2モードにおいて、前記第1端子と前記第2周波数調整回路とが電気的に接続されていないとともに、前記電圧発生回路と前記発振用回路とが電気的に接続されていてもよい。
本適用例に係る発振回路によれば、第2モードにおいて、第1モードで発振用回路に入力される第2周波数調整回路の出力電圧に代えて、電圧発生回路が発生させる電圧が発振用回路に入力されるので、第1モードと第2モードでの発振用回路の状態の差を小さくすることができ、第2モードで発振周波数を調整した後に第1モードでの発振周波数が変動するおそれを低減させることができる。
[適用例5]
上記適用例に係る発振回路は、感温素子を含み、前記第1周波数調整回路は、前記感温素子から出力される信号に基づいて前記発振用回路の周波数を調整してもよい。
本適用例に係る発振回路によれば、第2モードにおいて、第1モードと同様の状態で、第1端子から出力される第1周波数調整回路の出力信号に基づいて周波数温度特性を調整することができるので、調整後に第1モードでの周波数温度特性が変動するおそれを低減させることができる。
[適用例6]
本適用例に係る電子機器は、上記のいずれかの発振回路を備える。
[適用例7]
本適用例に係る移動体は、上記のいずれかの発振回路を備える。
これらの適用例によれば、調整後に発振周波数が変動するおそれを低減させることが可能な発振回路を用いるので、信頼性の高い電子機器及び移動体を実現することができる。
[適用例8]
本適用例に係る発振回路の調整方法は、振動子に電気的に接続されて前記振動子を発振させる発振用回路と、前記発振用回路の周波数を調整するための第1周波数調整回路と、第1端子と、を含み、前記発振用回路と前記第1周波数調整回路とが電気的に接続されているとともに、前記第1周波数調整回路と前記第1端子とが電気的に接続されていない第1モードと、前記発振用回路と前記第1周波数調整回路とが動作しているとともに、前記第1周波数調整回路の信号が出力される側の端子と前記第1端子とが電気的に接続されている第2モードと、を有する発振回路の調整方法であって、前記発振回路を前記第2モードに設定する工程と、前記発振回路が前記第2モードに設定されている状態で、前記第1端子から出力される前記第1周波数調整回路の前記信号に基づいて、前記発振回路を調整する工程と、を含む。
本適用例に係る発振回路の調整方法によれば、第2モードにおいて、発振用回路と第1周波数調整回路が動作している状態で、第1端子から出力される第1周波数調整回路の出力信号に基づいて発振周波数を調整することができるので、調整後に第1モードでの発振周波数が変動するおそれを低減させることができる。
本実施形態の発振器の斜視図。 図2(A)は発振器の断面図、図2(B)は発振器の底面図。 本実施形態の発振器の機能ブロック図。 モード切り替え動作を説明するためのタイミングチャート図。 図5(A)は振動子特性測定モードでのスイッチの接続状態を示す図であり、図5(B)は温度補償調整モードでのスイッチの接続状態を示す図。 VC1端子の電圧と電圧VAFCとの関係を示すグラフ。 本実施形態の発振器の製造方法(調整方法)の一例を示すフローチャート図。 図7の工程S20〜S70の詳細なフローチャート図。 本実施形態の電子機器の構成の一例を示す機能ブロック図。 本実施形態の電子機器の外観の一例を示す図。 本実施形態の移動体の一例を示す図。
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
1.発振器
[発振器の構成]
図1及び図2に本実施形態の発振器の構造を示す。図1は、本実施形態の発振器の斜視図であり、図2(A)は図1のA−A’断面図である。また、図2(B)は、本実施形態の発振器の底面図である。
図1及び図2(A)に示すように、本実施形態の発振器1は、後述する図5の発振回路2を含む電子部品9、振動子3、パッケージ4、蓋5、外部端子(外部電極)6、封止部材8を含んで構成されている。
振動子3としては、例えば、SAW(Surface Acoustic Wave)共振子、ATカット水晶振動子、SCカット水晶振動子、音叉型水晶振動子、その他の圧電振動子やMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)振動子などを用いることができる。振動子3の基板材料としては、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電単結晶や、ジルコン酸チタン酸鉛等の圧電セラミックス等の圧電材料、又はシリコン半導体材料等を用いることができる。振動子3の励振手段としては、圧電効果によるものを用いてもよいし、クーロン力による静電駆動を用いてもよい。なお、本実施形態の振動子3は、基板材料が個片化されたチップ形状の素子としているが、これに限らず、チップ形状の素子が容器に封入されている振動デバイスを用いてもよい。
パッケージ4は、電子部品9と振動子3とを収容するための容器である。具体的には、パッケージ4には、対向する面に2つの凹部が設けられており、蓋5で一方の凹部を覆うことによって収容室7aとなり、封止部材8で他方の凹部を覆うことによって収容室7bとなる。収容室7aには振動子3が収容され、収容室7bには電子部品9が収容されている。パッケージ4の内部又は凹部の表面には、発振回路2の2つの端子(後述する図3のXO端子及びXI端子)と振動子3の2つの端子とをそれぞれ電気的に接続するための不図示の配線が設けられている。また、パッケージ4の内部又は凹部の表面には、発振回路2の各端子と対応する各外部端子6とを電気的に接続するための不図示の配線が設けられている。
図2(B)に示すように、本実施形態の発振器1は底面(パッケージ4の裏面)に、電源端子である外部端子VDD1,接地端子である外部端子VSS1、電子部品9を制御する信号が入力される端子である外部端子VC1及び出力端子である外部端子OUT1の4個の外部端子6が設けられている。外部端子VDD1には電源電圧が供給され、外部端子VSS1は接地される。
図3は本実施形態の発振器の機能ブロック図である。図3に示すように、本実施形態の発振器1は、発振回路2と振動子3とを含む発振器であり、発振回路2と振動子3はパッケージ4に収容されている。
発振回路2は、電源端子であるVDD端子、接地端子であるVSS端子、出力端子であるOUT端子(第2端子の一例)、周波数を制御する信号が入力されるが入力される端子であるVC端子(第1端子の一例)、振動子3との接続端子であるXI端子及びXO端子が設けられている。VDD端子、VSS端子、OUT端子及びVC端子は、ICチップである電子部品9(図1参照)の表面に露出しており、それぞれ、パッケージ4に設けられた外部端子VDD1,VSS1,OUT1,VC1と接続されている。また、XI端子は振動子3の一端(一方の端子)と接続され、XO端子は振動子3の他端(他方の端子)と接続される。
本実施形態では、発振回路2は、可変容量制御回路10、温度補償回路20(第1周波数調整回路の一例)、温度センサー22、発振用回路30、出力回路40、3端子スイッチ51、3端子スイッチ52、メモリー60、スイッチ制御回路70、インターフェース(I/F)回路80を含んで構成されている。なお、本実施形態の発振回路2は、これらの要素の一部を省略又は変更し、あるいは他の要素を追加した構成としてもよい。
可変容量制御回路10は、AFC(Automatic Frequency Control)回路11(第2周波数調整回路の一例)、電圧発生回路(電圧選択回路)12及び3端子スイッチ13を含んで構成されている。
AFC回路11は、発振用回路30の周波数を調整するための回路であり、演算増幅器111、抵抗値がR1の抵抗112、抵抗値がR2の可変抵抗113、演算増幅器114、抵抗値がR3の抵抗115、抵抗値がR4の抵抗116を含んで構成されている。
抵抗112は、3端子スイッチ51の第3端子と演算増幅器111の反転入力端子(−端子)との間に接続されており、可変抵抗113は、演算増幅器111の反転入力端子(−端子)と出力端子との間に接続されている。また、演算増幅器111の非反転入力端子(+端子)には一定電圧V1が入力される。
抵抗115は、演算増幅器111の出力端子と演算増幅器114の反転入力端子(−端子)との間に接続されており、抵抗116は、演算増幅器114の反転入力端子(−端子)と出力端子との間に接続されている。また、演算増幅器114の非反転入力端子(+端子)には一定電圧V2が入力され、演算増幅器114の出力端子は3端子スイッチ13の第1端子と接続されている。
可変抵抗113の抵抗値R2は、メモリー60に記憶されているゲイン調整値に応じた抵抗値となる。
このように構成されているAFC回路11において、入力電圧をVAFC_INとすると、演算増幅器111の出力電圧VAは次式(1)で表される。
Figure 0006665408
また、演算増幅器114の出力電圧VBは次式(2)で表される。
Figure 0006665408
電圧発生回路12は、n+1個の抵抗121−0〜121−n及びn個の2端子スイッチ122−1〜122−nを含んで構成されている。
n+1個の抵抗121−0〜121−nは、電源とグランドの間に、この順に直列に接続されている。
各2端子スイッチ122−k(k=1〜n)は、第1端子が抵抗121−(k−1)と抵抗121−kとの接続点と接続されており、第2端子が3端子スイッチ13の第2端子と接続されている。
n個の2端子スイッチ122−1〜122−nは、メモリー60に記憶されている選択値に応じていずれか1つがオン状態(第1端子と第2端子が電気的に接続される状態)となり、他はオフ状態(第1端子と第2端子が電気的に遮断される状態)となる。従って、電圧発生回路12の出力電圧(3端子スイッチ13の第2端子に供給される電圧)VSは、メモリー60に記憶されている選択値に応じた電圧値となる。
3端子スイッチ13は、スイッチ制御回路70からの制御信号に応じて、第1端子と第
3端子とが電気的に接続される第1状態と、第2端子と第3端子とが電気的に接続される第2状態のいずれかとなる。
温度センサー22は、その周辺の温度に応じた信号(例えば、温度に応じた電圧)を出力する感温素子である。
温度補償回路20は、発振用回路30の周波数を調整するための回路であり、関数発生回路23及び加算器24を含んで構成されており、温度センサー22から出力される信号に基づいて発振用回路30の周波数を調整する。
本実施形態では、振動子3の周波数温度特性が温度を変数とする3次式で近似できるものとし、関数発生回路23は、3次関数発生回路231、1次関数発生回路232及び0次関数発生回路233を含んで構成されている。
3次関数発生回路231は、入力端子が温度センサー22の出力端子と接続されており、温度センサー22の出力電圧を変数として、メモリー60に記憶されている3次係数に応じた3次関数の電圧を発生して出力する。
1次関数発生回路232は、入力端子が温度センサー22の出力端子と接続されており、温度センサー22の出力電圧を変数として、メモリー60に記憶されている1次係数に応じた1次関数の電圧を発生して出力する。
0次関数発生回路233は、メモリー60に記憶されている0次係数(定数)に応じた一定電圧を発生して出力する。
加算器24は、3次関数発生回路231の出力電圧、1次関数発生回路232の出力電圧及び0次関数発生回路233の出力電圧を加算して出力する。加算器24の出力端子は、3端子スイッチ51の第2端子及び3端子スイッチ52の第1端子と接続されている。
発振用回路30は、XO端子及びXI端子と接続され、振動子3を発振させる。図3の例では、発振用回路30は、NPN型のバイポーラトランジスター31、抵抗32,33、コンデンサー34,35、バラクター(可変容量ダイオード)36、バラクター37、抵抗38、抵抗39を含んで構成されている。
バイポーラトランジスター31は、ベース端子がXI端子と接続され、コレクター端子がXO端子と接続され、エミッター端子が接地されている。
抵抗32は、バイポーラトランジスター31のベース端子とコレクター端子との間に接続されており、抵抗33は、電源とバイポーラトランジスター31のコレクター端子との間に接続されている。
コンデンサー34は、バイポーラトランジスター31のコレクター端子とバラクター36のカソード端子との間に接続されており、コンデンサー35は、バイポーラトランジスター31のベース端子とバラクター37のカソード端子との間に接続されている。
バラクター36のアノード端子及びバラクター37のアノード端子は接地されている。
抵抗38は、3端子スイッチ52の第3端子とバラクター36のカソード端子との間に接続されており、抵抗39は、3端子スイッチ13の第3端子とバラクター37のカソード端子との間に接続されている。
このように構成されている発振用回路30は、バイポーラトランジスター31を増幅素子として、XI端子から入力される振動子3の出力信号を増幅し、XO端子を介してこの増幅した信号を振動子3の入力信号として供給する。なお、発振用回路30は、増幅素子として、PNP型のバイポーラトランジスター、電界効果トランジスター(FET:Field Effect Transistor)、金属酸化膜型電界効果トランジスター(MOSFET:Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)、サイリスター等を用いて実現されてもよい。
発振用回路30の出力信号である、バイポーラトランジスター31のコレクター端子の信号は出力回路40に入力され、出力回路40の出力信号はOUT端子を介してOUT1端子から外部に出力される。
3端子スイッチ51は、第1端子がVC端子と接続され、第2端子が加算器24の出力端子(温度補償回路20の出力端子)と接続され、第3端子が抵抗112の一方の端子と接続されている。
3端子スイッチ51は、スイッチ制御回路70からの制御信号に応じて、第1端子と第3端子とが電気的に接続される第1状態と、第1端子と第2端子とが電気的に接続される第2状態のいずれかとなる。
3端子スイッチ52は、第1端子が加算器24の出力端子と接続され、第2端子には一定電圧V3が入力され、第3端子が抵抗38の一方の端子と接続されている。
3端子スイッチ52は、スイッチ制御回路70からの制御信号に応じて、第1端子と第3端子とが電気的に接続される第1状態と、第2端子と第3端子とが電気的に接続される第2状態のいずれかとなる。
スイッチ制御回路70は、設定されているモードに応じて、3端子スイッチ51、3端子スイッチ52及び3端子スイッチ13をそれぞれ制御する制御信号を生成する。
インターフェース(I/F)回路80は、VDD端子の電圧が閾値よりも高いか低いかを判定し、VDD端子の電圧が閾値よりも高い時に、VC端子から外部入力されるクロック信号SCLKとOUT端子から外部入力されるデータ信号DATAを受け付け、メモリー60に対してデータの読み書きを行い、あるいは、不図示のレジスターに発振回路2のモードを設定する。
メモリー60は、各種の制御データを記憶するための記憶部であり、例えば、EEPROM(Electrically Erasable Programmable Read-Only Memory)やフラッシュメモリーなどの書き換え可能な種々の不揮発性メモリーであってもよいし、不揮発性メモリーと、DRAM(Dynamic Random Access Memory)、SRAM(Static Random Access Memory)などの種々の揮発性メモリーとを含んで構成されていてもよい。
[発振回路のモード]
本実施形態では、発振回路2は、発振器1の電源投入時(VDD端子が0Vから所望の電圧に立ち上がる時)に通常動作モードに設定される。また、インターフェース(I/F)回路80を介して、温度補償調整モードや振動子特性測定モードを含む複数のモードのいずれかに切り替えることが可能になっている。図4は、このモード切り替え動作を説明するためのタイミングチャートである。図4の横軸は時間、縦軸は電圧に対応する。図4のタイミングチャートでは、VDD端子(発振器1の外部端子VDD1)の電圧、VC端
子(発振器1の外部端子VC1)から入力されるクロック信号SCLK、OUT端子(発振器1の外部端子OUT1)から入力されるデータ信号DATAが示されている。
図4に示される例では、VDD端子の電圧は、時刻t0で0V、時刻t1で電圧VDDLとなり、時刻t2で基準値Vthとなり、その後に電圧VDDHまで上昇する。VDD端子の電圧がVDDHである期間に入力されたクロック信号SCLKの最初のパルスの立ち下がり時刻である時刻t3で通信がイネーブルとなる。クロック信号SCLKの次のパルスはテストモード設定用のパルスであり、その後の5つのパルスに同期して入力された5ビットのデータ信号DATAに応じて、テストモードの種類が選択される。VDD端子の電圧がVDDLに戻る時刻t4で選択されたテストモードに移行する。この5ビットのデータ信号DATAを所定の値に設定することで発振回路2を選択されたテストモードに設定することができる。
通常動作モード(第1モードの一例)では、図3に示す通り、3端子スイッチ13は、第1端子と第3端子とが電気的に接続される第1状態となり、3端子スイッチ51は、第1端子と第3端子とが電気的に接続される第1状態となり、3端子スイッチ52は、第1端子と第3端子とが電気的に接続される第1状態となる。
従って、通常動作モードでは、バラクター36のカソード端子には、温度センサー22の出力電圧に基づいて生成された温度補償回路20の出力電圧VTCが印加され、振動子3の周波数温度特性が補正(温度補償)される。また、VC端子の電圧に基づいて生成されたAFC回路の出力電圧VBがVAFCとしてバラクター37のカソード端子に印加され、発振周波数が制御される。すなわち、本実施形態の発振器1は、電圧制御型温度補償発振器であり、例えば、V2=V1,R3=R4として、式(1)を式(2)に代入して整理すると、通常動作モードでのVAFCは次式(3)で表される。
Figure 0006665408
式(3)によって示されるように、AFC回路11のゲインはR2/R1であり、VAFCはVAFC_IN、すなわちVC端子の電圧によって制御される。
図6は、V1=V2=0.9V、R3=R4とした時、AFC回路11のゲイン(R2/R1)を0.4倍、0.5倍、0.6倍とした場合のVC端子の電圧(=VAFC_IN)と電圧VAFCとの関係を示す図である。例えば、AFC回路11のゲインが0.5倍の時、VC端子の電圧=0.9V±0.7VとするとVAFC=0.9V±0.35Vであり、VC端子の電圧=1.2V±1VとするとVAFC=1.05V±0.5Vである。
また、振動子特性測定モードでは、図5(A)に示す通り、3端子スイッチ13は、第1端子と第3端子とが電気的に接続される第1状態となり、3端子スイッチ51は、第1端子と第3端子とが電気的に接続される第1状態となり、3端子スイッチ52は、第2端子と第3端子とが電気的に接続される第2状態となる。なお、図5(A)では、一部の構成の図示及び関数発生回路23、発振用回路30、AFC回路11、電圧発生回路12の内部構成の図示を省略しているが、それぞれ図3と同じである。
従って、振動子特性測定モードでは、バラクター36のカソード端子には、一定電圧V3が印加され、振動子3の周波数温度特性が補正(温度補償)されない。また、バラクタ
ー37のカソード端子には、VC端子の電圧に基づいて生成されたAFC回路11の出力電圧VAFCが印加され、発振周波数が制御される。従って、VC端子から一定電圧を入力し、所望の温度範囲(例えば、発振器1の仕様で動作保証されている温度範囲)で温度を振った時にOUT端子から出力される発振信号の周波数を測定することで、振動子3の周波数温度特性を取得することができる。
また、温度補償調整モード(第2モードの一例)では、図5(B)に示す通り、3端子スイッチ13は、第2端子と第3端子とが電気的に接続される第2状態となり、3端子スイッチ51は、第1端子と第2端子とが電気的に接続される第2状態となり、3端子スイッチ52は、第1端子と第3端子とが電気的に接続される第1状態となる。なお、図5(B)では、一部の構成の図示及び関数発生回路23、発振用回路30、AFC回路11、電圧発生回路12の内部構成の図示を省略しているが、それぞれ図3と同じである。
従って、温度補償調整モードでは、バラクター36のカソード端子には、温度補償回路20の出力電圧VTCが印加され、バラクター37のカソード端子には、電圧発生回路12が発生(選択)する一定電圧VSが印加される。従って、所望の温度範囲で温度を振って、VC端子から出力される電圧VTCを測定することで、3次関数電圧、1次関数電圧及び0次関数電圧の情報を取得し、振動子3の周波数温度特性を補正(補償)して所望の温度範囲での発振周波数を目標の周波数に近づけるための3次係数、1次係数、0次係数(定数)を計算することができる。
このように、本実施形態では、通常動作モードと温度補償調整モードのいずれにおいても、発振用回路30と温度補償回路20とが電気的に接続されており、発振用回路30と温度補償回路20がともに動作している。従って、温度補償調整モード時に、発振用回路30と温度補償回路20を通常動作モード時と同様の状態で動作させながらVC端子から出力される電圧VTCを測定することができる。さらに、通常動作モードと温度補償調整モードのいずれにおいても、発熱量が大きい、発振用回路30と出力回路40がともに動作しているため、発振回路2の発熱による、通常動作モード時の温度の変動量と温度補償調整モード時の温度の変動量との差が小さい。従って、本実施形態によれば、温度補償調整を精度良く行うことができる。
さらに、温度補償調整モードにおいて、OUT端子から出力される発振信号の周波数も測定することで、温度補償回路20の出力電圧VTCと発振周波数との関係がわかるので、温度補償調整をより精度良く行うことができる。なお、本実施形態の温度補償調整モードでは、3端子スイッチ52は、第1端子と第3端子とが接続されているが、これに限らず、3端子スイッチ52は、第2端子と第3端子とが接続された状態で、すなわち発振用回路30と温度補償回路20とが電気的に接続されない状態で、VC端子から出力される電圧VTCを測定するようにしても、上述と同様の効果を奏することができる。
なお、例えば、V1=V2=0.9V、R3=R4とした時、仮に、温度補償モードにおいて、VC端子に入力される電圧範囲に関係なくVSを0.9Vに固定した場合、通常動作モード時にVC端子の電圧=0.9V±0.7VのようにVC端子の中心電圧が0.9Vであれば、通常動作モード時にVC端子を介してバラクター37のカソード端子に印加される電圧の中心電圧と、温度補償調整モード時にバラクター37のカソード端子に印加される電圧が一致する。そのため、温度補償調整モードでのバラクター37の容量値は、通常動作モードでVC1端子の電圧が中心電圧の時のバラクター37の容量値と一致し、通常動作モードでVC1端子の電圧が中心電圧の時に温度補償された発振周波数は目標の周波数と一致する。ところが、VC端子の電圧=1.2V±1VのようにVC端子の中心電圧が0.9Vではない場合は、通常動作モード時にVC端子の電圧が中心電圧1.2Vの時にバラクター37のカソード端子に印加される電圧は1.05Vとなり、温度補償
調整モード時にバラクター37のカソード端子に印加される電圧は0.9Vとなり、通常モードと温度補償調整モードとでバラクター37のカソード端子に印加される電圧が一致しない。そのため、温度補償調整モードでのバラクター37の容量値は、通常動作モードでVC端子の電圧が中心電圧の時のバラクター37の容量値と一致せず、通常動作モードでVC端子の電圧が中心電圧の時に温度補償された発振周波数は目標の周波数からずれてしまう。
そこで、本実施形態では、メモリー60に記憶される選択値に応じて電圧VSを選択可能に構成しており、温度補償調整モードにおいてバラクター37のカソード端子に印加される電圧VSとして、通常動作モードでVC1端子の電圧が中心電圧の時にバラクター37のカソード端子に印加される電圧に最も近い電圧を選択することで、最適な温度補償調整を行うことが可能に構成されている。
また、バラクター37に印加される電圧VSは、細かく設定できる方がバラクター37の容量値を細かく調整可能になる。温度補償モードにおいて、バラクター37の容量値を調整するために印加される電圧VSの電圧ステップが0.1V以上であると、温度補償モード時と通常動作モード時でのバラクター37に印加される電圧が異なることによるバラクター37の容量値変化が大きくなり、温度補償モードで最適な温度補償調整を行うことができなくなる。このため、温度補償モード時にバラクター37に印加される電圧VSの電圧ステップを、0.1V以下、望ましくは0.05V以下とすることで、温度補償調整モード時に最適な温度補償調整を行うことができるようになる。
例えば、通常動作モード時にVC端子に印加される電圧の中心電圧(VAFC_INの中心電圧)は、一般的に0.9Vから1.6V程度であり、V1=V2=0.9V、R3=R4、AFC回路11のゲイン(R2/R1)を0.5倍とした場合の電圧VSは、式(3)から0.9Vから1.25V程度となる。従って、電圧VSの電圧ステップを0.05V以下とするためには、電圧VSが0.9Vから1.25V程度(0.35V幅)であるため、電圧VSを設定するために必要なメモリー量としては3bit(8通り)以上あれば、電圧VSの電圧ステップを0.4375Vと0.05V以下にすることができ、最適な温度補償調整を行うことができるようになる。なお、電圧VSを設定するためのメモリー量として、上記VAFC_INの中心電圧、V1、V2、R1、R2、R3、R4を例示して計算したが、これに限らず、VAFC_INの中心電圧、V1、V2、R1、R2、R3、R4の値に応じて、電圧VSの電圧ステップを0.1V以下、望ましくは0.05V以下と値とするようにメモリー量を適宜設定することができる。
[発振器の製造方法(調整方法)]
図7は、本実施形態の発振器の製造方法(調整方法)の一例を示すフローチャート図である。本実施形態の発振器の製造方法(調整方法)は、図7に示す工程S10〜S80を含む。ただし、本実施形態の発振器の製造方法(調整方法)は、工程S10〜S80の一部を省略又は変更し、あるいは、他の工程を追加してもよい。
図7に示すように、本実施形態では、まず、発振回路2と振動子3を準備し、発振回路2と振動子3とを電気的に接続する(工程S10)。
次に、3端子スイッチ51を、VC端子と発振用回路30とがAFC回路11を介して電気的に接続されるように制御する(工程S20)。
次に、振動子3の周波数温度特性を測定する(工程S30)。
次に、3端子スイッチ51を、VC1端子と温度補償回路20の出力側の端子とが電気
的に接続されるように制御する(工程S40)。
次に、可変容量制御回路10の出力電圧VAFCを設定する(工程S50)。
次に、所望の温度範囲で発振器1の温度を振りながら、VC端子から出力される温度補償回路20の出力電圧VTCに基づき、温度補償回路20の特性を調べる(工程S60)。
次に、工程S60で調べた温度補償回路20の特性に基づき、温度補償用の係数値を計算する(工程S70)。
次に、工程S70で得られた温度補償用の係数値をメモリー60に書き込む(工程S80)。
図8は、図7の工程S20〜S70の詳細なフローチャート図である。図8に示すように、本実施形態では、工程S20として、発振回路2を振動子特性測定モードに設定する(S21)。これにより、3端子スイッチ13、3端子スイッチ51及び3端子スイッチ52は、それぞれ図5(A)のような接続状態になる。
また、工程S30としては、まず、所望の温度範囲の5点以上の温度での振動子3の周波数温度特性を測定する(S31)。具体的には、例えば、発振器1を恒温槽に収容し、外部端子VC1に通常動作モード時の中心電圧を印加した状態で、恒温槽の温度を変えながら、5点以上の温度で外部端子OUT1から出力される発振信号の周波数を測定する。
次に、工程S31の測定により得られた振動子3の周波数温度特性の式を最小二乗法で近似し、0次関数の成分、1次関数の成分、3次関数の成分を抽出する(S32)。
また、工程S40として、発振回路2を温度補償調整モードに設定する(S41)。これにより、3端子スイッチ13、3端子スイッチ51及び3端子スイッチ52は、それぞれ図5(B)のような接続状態になり、VC端子とAFC回路11との電気的な接続が切断され、VC端子と温度補償回路20の出力端子とが電気的に接続される。
また、工程S50として、電圧発生回路12の出力電圧VSを選択する(S51)。具体的には、通常動作モード時のVC端子の中心電圧をVAFC_INとして、電圧VSが式(1)及び式(2)より計算される電圧VBに最も近くなるような選択値をメモリー60に書き込む。例えば、V1=V2=0.9V、R3=R4、R2/R1=0.5とした時、通常動作モード時のVC端子の中心電圧が0.9VであればVSが0.9Vに最も近くなる選択値を書き込み、通常動作モード時のVC端子の中心電圧が1.2VであればVSが1.05Vに最も近くなる選択値を書き込む。
また、工程S60としては、まず、発振器1の温度を所定の温度に設定する(S61)。具体的には、例えば、発振器1を収容する恒温槽の温度を所望の温度範囲に含まれる測定対象の複数の温度のいずれかに設定する。
次に、0次、1次、3次の各係数をそれぞれ最小値(MIN)に設定した時の温度補償回路20の出力電圧(及び発振周波数)をそれぞれ測定する(S62)。具体的には、1次係数と3次係数を0に設定するとともに0次係数を最小値(MIN)に設定し、外部端子VC1から出力される温度補償回路20の出力電圧VTC(及び外部端子OUT1から出力される発振信号の周波数)を測定する。また、0次係数と3次係数を0に設定するとともに1次係数を最小値(MIN)に設定し、外部端子VC1から出力される温度補償回
路20の出力電圧VTC(及び外部端子OUT1から出力される発振信号の周波数)を測定する。また、0次係数と1次係数を0に設定するとともに3次係数を最小値(MIN)に設定し、外部端子VC1から出力される温度補償回路20の出力電圧VTC(及び外部端子OUT1から出力される発振信号の周波数)を測定する。
次に、0次、1次、3次の各係数をそれぞれ基準値(TYP)に設定した時の温度補償回路20の出力電圧(及び発振周波数)をそれぞれ測定する(S63)。具体的には、1次係数と3次係数を0に設定するとともに0次係数を基準値(TYP)に設定し、外部端子VC1から出力される温度補償回路20の出力電圧VTC(及び外部端子OUT1から出力される発振信号の周波数)を測定する。また、0次係数と3次係数を0に設定するとともに1次係数を基準値(TYP)に設定し、外部端子VC1から出力される温度補償回路20の出力電圧VTC(及び外部端子OUT1から出力される発振信号の周波数)を測定する。また、0次係数と1次係数を0に設定するとともに3次係数を基準値(TYP)に設定し、外部端子VC1から出力される温度補償回路20の出力電圧VTC(及び外部端子OUT1から出力される発振信号の周波数)を測定する。
次に、0次、1次、3次の各係数をそれぞれ最大値(MAX)に設定した時の温度補償回路20の出力電圧(及び発振周波数)をそれぞれ測定する(S64)。具体的には、1次係数と3次係数を0に設定するとともに0次係数を最大値(MAX)に設定し、外部端子VC1から出力される温度補償回路20の出力電圧VTC(及び外部端子OUT1から出力される発振信号の周波数)を測定する。また、0次係数と3次係数を0に設定するとともに1次係数を最大値(MAX)に設定し、外部端子VC1から出力される温度補償回路20の出力電圧VTC(及び外部端子OUT1から出力される発振信号の周波数)を測定する。また、0次係数と1次係数を0に設定するとともに3次係数を最大値(MAX)に設定し、外部端子VC1から出力される温度補償回路20の出力電圧VTC(及び外部端子OUT1から出力される発振信号の周波数)を測定する。
次に、所望の温度範囲に含まれる測定対象の複数の温度での測定が終了していない場合(S65のN)には、発振器1の温度を未測定の温度に変更し(S66)、工程S62以降を再度行う。
そして、所望の温度範囲に含まれる測定対象の複数の温度での測定が終了した場合(S65のY)には、工程S70として、工程S61〜S66での測定結果に基づき、工程S32で近似式から抽出した0次関数成分、1次関数成分、3次関数成分を最も打ち消す、0次、1次、3次の各係数値を選択する(S71)。具体的には、工程S61〜S66での温度補償回路20の出力電圧VTC(及び発振周波数)の測定結果から、0次係数が最小値(MIN)、基準値(TYP)、最大値(MAX)のそれぞれに設定された時の0次関数電圧の式をそれぞれ計算し、これらの計算結果を基に0次関数電圧が工程S32で抽出した0次関数成分を最も打ち消す0次係数値を選択する。同様に、工程S61〜S66での温度補償回路20の出力電圧VTC(及び発振周波数)の測定結果から、1次係数が最小値(MIN)、基準値(TYP)、最大値(MAX)のそれぞれに設定された時の1次関数電圧の式をそれぞれ計算し、これらの計算結果を基に1次関数電圧が工程S32で抽出した1次関数成分を最も打ち消す1次係数値を選択する。同様に、工程S61〜S66での温度補償回路20の出力電圧VTC(及び発振周波数)の測定結果から、3次係数が最小値(MIN)、基準値(TYP)、最大値(MAX)のそれぞれに設定された時の3次関数電圧の式をそれぞれ計算し、これらの計算結果を基に3次関数電圧が工程S32で抽出した3次関数成分を最も打ち消す3次係数値を選択する。
なお、0次関数電圧は、発振器1の温度によって変化しないので、0次係数を最小値(MIN)、基準値(TYP)、最大値(MAX)にそれぞれ設定した時の温度補償回路2
0の出力電圧VTC(及び発振周波数)は、複数の温度のいずれか1つの温度の時のみ、工程S62、S63、S64でそれぞれ測定するようにしてもよい。
以上に説明したように、本実施形態によれば、温度補償調整モードにおいて、発振用回路30と温度補償回路20が動作している状態で、VC端子から出力される温度補償回路20の出力信号に基づいて発振器1(発振回路2)の発振周波数を調整することができるので、調整後に通常動作モードでの発振周波数(周波数温度特性)が変動するおそれを低減させることができる。
特に、本実施形態によれば、温度補償調整モードにおいて、通常動作モードと同様に出力回路40が動作している状態で、発振器1(発振回路2)の発振周波数を調整することができるので、通常動作モードと温度補償調整モードにおいて出力回路40から発生する雑音や発熱の差が小さい。また、温度補償調整モードにおいて、OUT端子から出力される発振信号の周波数を直接的に測定しながら、より正確に発振周波数を調整することができる。従って、調整後に通常動作モードでの発振周波数(周波数温度特性)が変動するおそれをより低減させることができ、周波数温度特性が良好な発振器を提供することができる。なお、本実施形態の出力回路40としては、例えば、クリップド・サイン波形を出力する回路やCMOS出力回路を用いても良い。CMOS出力回路は、クリップド・サイン波形を出力する回路よりも発熱量が多いため、出力回路40にCMOS出力回路を用いる場合には、上述の実施形態における効果を、より一層奏することができる。
また、本実施形態によれば、温度補償調整モードにおいて、通常動作モードで発振用回路30に入力されるAFC回路11の出力電圧に代えて、電圧発生回路12が発生させる電圧が発振用回路30に入力されるので、温度補償調整モードと通常動作モードでの発振用回路30の状態の差を小さくすることができる。より詳細には、温度補償超背モードにおいて、電圧発生回路12の出力電圧を、通常動作モードの時にVC端子に中心電圧が印加された時のAFC回路11の出力電圧VBに最も近い電圧に設定した状態で、温度補償調整を行うことができる。これにより、バラクター37に印加される電圧が、通常動作モードの時にVC端子に中心電圧が印加された時にバラクター37に印加される電圧に最も近い状態で、すなわち、バラクター37の容量値が、通常動作モードの時にVC端子に中心電圧が印加された時の容量値とほぼ一致した状態で、温度補償調整を行うことができるので、温度補償調整の誤差を低減させることができる。従って、本実施形態によれば、調整後に通常動作モードでの発振周波数(周波数温度特性)が変動するおそれをより低減させることができ、周波数温度特性が良好な発振器を提供することができる。
2.電子機器
図9は、本実施形態の電子機器の構成の一例を示す機能ブロック図である。また、図10は、本実施形態の電子機器の一例であるスマートフォンの外観の一例を示す図である。
本実施形態の電子機器300は、発振器310、CPU(Central Processing Unit)320、操作部330、ROM(Read Only Memory)340、RAM(Random Access Memory)350、通信部360、表示部370を含んで構成されている。なお、本実施形態の電子機器は、図9の構成要素(各部)の一部を省略又は変更し、あるいは、他の構成要素を付加した構成としてもよい。
発振器310は、発振回路312と振動子313とを備えている。発振回路312は、振動子313を発振させて発振信号を発生させる。この発振信号は発振器310のOUT端子からCPU320に出力される。
CPU320は、ROM340等に記憶されているプログラムに従い、発振器310か
ら入力される発振信号をクロック信号として各種の計算処理や制御処理を行う。具体的には、CPU320は、操作部330からの操作信号に応じた各種の処理、外部装置とデータ通信を行うために通信部360を制御する処理、表示部370に各種の情報を表示させるための表示信号を送信する処理等を行う。
操作部330は、操作キーやボタンスイッチ等により構成される入力装置であり、ユーザーによる操作に応じた操作信号をCPU320に出力する。
ROM340は、CPU320が各種の計算処理や制御処理を行うためのプログラムやデータ等を記憶している。
RAM350は、CPU320の作業領域として用いられ、ROM340から読み出されたプログラムやデータ、操作部330から入力されたデータ、CPU320が各種プログラムに従って実行した演算結果等を一時的に記憶する。
通信部360は、CPU320と外部装置との間のデータ通信を成立させるための各種制御を行う。
表示部370は、LCD(Liquid Crystal Display)等により構成される表示装置であり、CPU320から入力される表示信号に基づいて各種の情報を表示する。表示部370には操作部330として機能するタッチパネルが設けられていてもよい。
発振回路312として例えば上述した実施形態の発振回路2を適用し、又は、発振器310として例えば上述した実施形態の発振器1を適用することにより、信頼性の高い電子機器を実現することができる。
このような電子機器300としては種々の電子機器が考えられ、例えば、パーソナルコンピューター(例えば、モバイル型パーソナルコンピューター、ラップトップ型パーソナルコンピューター、タブレット型パーソナルコンピューター)、スマートフォンや携帯電話機などの移動体端末、ディジタルカメラ、インクジェット式吐出装置(例えば、インクジェットプリンター)、ルーターやスイッチなどのストレージエリアネットワーク機器、ローカルエリアネットワーク機器、移動体端末基地局用機器、テレビ、ビデオカメラ、ビデオレコーダー、カーナビゲーション装置、リアルタイムクロック装置、ページャー、電子手帳(通信機能付も含む)、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ゲーム用コントローラー、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、POS端末、医療機器(例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡)、魚群探知機、各種測定機器、計器類(例えば、車両、航空機、船舶の計器類)、フライトシミュレーター、ヘッドマウントディスプレイ、モーショントレース、モーショントラッキング、モーションコントローラー、PDR(歩行者位置方位計測)等が挙げられる。
本実施形態の電子機器300の一例として、上述した発振器310を基準信号源、あるいは電圧可変型発振器(VCO)等として用いて、例えば、端末と有線または無線で通信を行う端末基地局用装置等として機能する伝送装置が挙げられる。本実施形態の電子機器300は、発振器310として、例えば上述した実施形態の発振器1を適用することにより、例えば通信基地局などに利用可能な、高性能、高信頼性を所望される伝送機器にも適用することができる。
3.移動体
図11は、本実施形態の移動体の一例を示す図(上面図)である。図11に示す移動体
400は、発振器410、エンジンシステム、ブレーキシステム、キーレスエントリーシステム等の各種の制御を行うコントローラー420,430,440、バッテリー450、バックアップ用バッテリー460を含んで構成されている。なお、本実施形態の移動体は、図11の構成要素(各部)の一部を省略し、あるいは、他の構成要素を付加した構成としてもよい。
発振器410は、不図示の発振回路と振動子とを備えており、発振回路は振動子を発振させて発振信号を発生させる。この発振信号は発振器410の外部端子からコントローラー420,430,440に出力され、例えばクロック信号として用いられる。
バッテリー450は、発振器410及びコントローラー420,430,440に電力を供給する。バックアップ用バッテリー460は、バッテリー450の出力電圧が閾値よりも低下した時、発振器410及びコントローラー420,430,440に電力を供給する。
発振器410が備える発振回路として例えば上述した実施形態の発振回路2を適用し、又は、発振器410として例えば上述した実施形態の発振器1を適用することにより、信頼性の高い移動体を実現することができる。
このような移動体400としては種々の移動体が考えられ、例えば、自動車(電気自動車も含む)、ジェット機やヘリコプター等の航空機、船舶、ロケット、人工衛星等が挙げられる。
本発明は本実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
例えば、上述した実施形態の発振器は、温度補償機能と電圧制御機能(周波数制御機能)を有する発振器(VC−TCXO(Voltage Controlled Temperature Compensated Crystal Oscillator)等)であるが、本発明は、温度補償機能を有さない電圧制御型発振器(VCXO(Voltage Controlled Crystal Oscillator)等)、電圧制御機能(周波数制御機能)を有さない温度補償型発振器(TCXO(Temperature Compensated Crystal Oscillator)等)、温度補償機能と電圧制御機能(周波数制御機能)をともに有さない発振器(SPXO(Simple Packaged Crystal Oscillator)等)、恒温槽型の発振器(OCXO(Oven Controlled Crystal Oscillator)等)などの発振器にも適用することができる。
上述した実施形態および変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば、各実施形態および各変形例を適宜組み合わせることも可能である。
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成(例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
1 発振器、2 発振回路、3 振動子、4 パッケージ、5 蓋、6 外部端子(外部電極)、7a,7b 収容室、8 封止部材、9 電子部品、10 可変容量制御回路、11 AFC回路、12 電圧発生回路(電圧選択回路)、13 3端子スイッチ、20
温度補償回路、22 温度センサー、23 関数発生回路、24 加算器、30 発振用回路、31 バイポーラトランジスター、32 抵抗、33 抵抗、34 コンデンサー、35 コンデンサー、36 バラクター、37 バラクター、38 抵抗、39 抵抗、40 出力回路、51 3端子スイッチ、52 3端子スイッチ、60 メモリー、70 スイッチ制御回路、80 インターフェース(I/F)回路、111 演算増幅器、112 抵抗、113 可変抵抗、114 演算増幅器、115 抵抗、116 抵抗、121−0〜121−n 抵抗、122−1〜122−n 2端子スイッチ、231 3次関数発生回路、232 1次関数発生回路、233 0次関数発生回路、300 電子機器、310 発振器、312 発振回路、313 振動子、320 CPU、330
操作部、340 ROM、350 RAM、360 通信部、370 表示部、400
移動体、410 発振器、420,430,440 コントローラー、450 バッテリー、460 バックアップ用バッテリー

Claims (8)

  1. 振動子に電気的に接続されて前記振動子を発振させる発振用回路と、
    前記発振用回路の周波数を調整するための第1周波数調整回路と、
    前記発振用回路の周波数を調整するための第2周波数調整回路と、
    出力する電圧を可変に設定可能な電圧発生回路と、
    感温素子と、
    第1端子と、を含み、
    前記第1周波数調整回路は、前記感温素子から出力される信号に基づいて前記発振用回路の周波数を調整し、
    前記発振用回路と前記第1周波数調整回路とが電気的に接続されているとともに、前記第1周波数調整回路と前記第1端子とが電気的に接続されていない第1モードと、
    前記発振用回路と前記第1周波数調整回路とが動作しているとともに、前記第1周波数調整回路の信号が出力される側の端子と前記第1端子とが電気的に接続されている第2モードと、を有し、
    前記第1モードにおいて、前記第1端子と前記第2周波数調整回路とが電気的に接続されているとともに、前記第2周波数調整回路と前記発振用回路とが電気的に接続されており、
    前記第2モードにおいて、前記第1端子と前記第2周波数調整回路とが電気的に接続されていないとともに、前記電圧発生回路と前記発振用回路とが電気的に接続されている、発振回路。
  2. 前記発振用回路と前記第1周波数調整回路とが電気的に接続されず、前記発振用回路と前記第1端子とが電気的に接続されている第3モードを有する、請求項1に記載の発振回路。
  3. 前記発振用回路から出力される信号が入力されて発振信号を出力する出力回路を含み、
    前記出力回路は、前記第1モード及び前記第2モードにおいて動作している、請求項1又は2に記載の発振回路。
  4. 前記出力回路の出力側の端子と電気的に接続されている第2端子を含む、請求項3に記載の発振回路。
  5. 感温素子を含み、
    前記第1周波数調整回路は、前記感温素子から出力される信号に基づいて前記発振用回路の周波数を調整する、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の発振回路。
  6. 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の発振回路を備えた、電子機器。
  7. 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の発振回路を備えた、移動体。
  8. 振動子に電気的に接続されて前記振動子を発振させる発振用回路と、前記発振用回路の周波数を調整するための第1周波数調整回路と、前記発振用回路の周波数を調整するための第2周波数調整回路と、出力する電圧を可変に設定可能な電圧発生回路と、感温素子と、第1端子と、を含み、前記第1周波数調整回路は、前記感温素子から出力される信号に基づいて前記発振用回路の周波数を調整し、前記第1周波数調整回路と前記第1端子とが電気的に接続されていない第1モードと、前記第1周波数調整回路の信号が出力される側の端子と前記第1端子とが電気的に接続されている第2モードと、を有する発振回路の調整方法であって、
    前記発振回路を前記第2モードに設定する工程と、
    前記発振回路が前記第2モードに設定されている状態で、前記第1端子から出力される前記第1周波数調整回路の前記信号に基づいて、前記発振回路を調整する工程と、を含み、
    前記第1モードにおいて、前記発振用回路と前記第1周波数調整回路とが電気的に接続されており、前記第1端子と前記第2周波数調整回路とが電気的に接続されており、前記第2周波数調整回路と前記発振用回路とが電気的に接続されており、
    前記第2モードにおいて、前記発振用回路と前記第1周波数調整回路とが動作しており、前記第1端子と前記第2周波数調整回路とが電気的に接続されておらず、前記電圧発生回路と前記発振用回路とが電気的に接続されている、発振回路の調整方法。
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