JP6649266B2 - タングステンcmpのための組成物 - Google Patents
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Description
多くの研磨組成物が組成物の種々の性能基準を評価するために調製された。基準組成物は、量およびタイプのみを変えたアミン化合物を用いてすべての調合物のために塩基組成物として使用された。基準組成物を以下のように調製した:
コロイドシリカのタングステンエッチ速度およびゼータ電位を、種々の研磨組成物でこの例において評価した。この例はアミン化合物中での最も長いアルキル鎖長の関数としての種々のアミン化合物の効果を示す。それぞれの研磨組成物でタングステンエッチ速度を得るために、組成物を最初に45℃に加熱し、その後過酸化水素を2%の濃度まで加えた。その温度から45℃に戻るまで5分待った後で、タングステン層を有する2インチウェハーを5分間研磨組成物中に浸漬した。研磨組成物中への浸漬の前後に行った抵抗率測定を介してタングステン除去速度を決定した。Dispersion Tecnologies, Incから入手可能であるDT1200電気音響スペクトロメーターを使用してゼータ電位測定を得た。適当な量の示されたアミン化合物を例1中の上記の原液のサンプルに加えることによって研磨組成物(対照AおよびBならびに本発明の組成物2A〜2M)得た。(炭素原子の数での)アルキル鎖長、アミン化合物の濃度、タングステンエッチ速度、およびコロイドシリカ粒子のゼータ電位を表1中に示した。対照Aは阻害剤を含まず、そして対照Bはグリシンを含んでいた。本発明のサンプル2A〜2Mは、以下のアミン化合物:(2A)オクタデシルメチル[ポリオキシエチレン(15)]アンモニウムクロライド、(2B)ココアルキルメチル[ポリオキシエチレン(15)]アンモニウムクロライド、(2C)ベンザルコニウムクロライド、(2D)ヘキサデシルアミン、(2E)ベンジルジメチルヘキサデシルアンモニウムクロライド、(2F)テトラデシルアミン、(2G)ドデシルアミン、(2H)デシルアミン、(2I)オクチルアミン、(2J)コカミドプロピルアミンオキサイド、(2K)ベンジルトリブチルアンモニウムクロライド、および(2L)テトラブチルアンモニウムヒドロキシドを含んでいた。
表1
コロイドシリカのタングステンエッチ速度およびゼータ電位を、種々の他の研磨組成物でこの例において評価した。この例は、種々のアミン含有ポリマー(3A〜3E)の効果を示す。タングステンエッチ速度およびゼータ電位測定を、例2に記載したのと同じ方法を使用して得た。研磨組成物(対照AおよびBならびに本発明の組成物3A〜3E)を適当な量の示されたアミン化合物を例1中の上記の原液のサンプルに加えることによって得た。(炭素原子の数での)アルキル鎖長、アミン化合物の濃度、タングステンエッチ速度、およびコロイドシリカのゼータ電位を表2中に示す。対照Aは阻害剤を含まず、そして対照Bはグリシンを含んでいた。本発明のサンプル3A〜3Eは、以下のアミン化合物:(3A)交互の、ジアリルジメチルアンモニウムクロライドおよびアクリル酸基を有し、そして450,000の分子量を有するポリマーであるMerquat280、(3B)繰り返しジメチルアンモニウムクロライド基および15,000の分子量を有するポリマーであるMerquat106、(3C)ペンタエチレンヘキサミン、(3D)テトラエチレンペンタミン、および(3E)ペンタメチルジエチレントリアミンを含んでいた。
表2
タングステンエッチ速度およびコロイドシリカのゼータ電位を、また他の研磨組成物でこの例において評価した。この例は、種々のポリカチオン性アミン含有化合物(4A〜4K)の効果を示す。例2中に記載されたのと同じ方法を使用してタングステンエッチ速度およびゼータ電位測定を得た。適当な量の示されたアミン化合物を例1中の上記の原液のサンプルに加えることによって研磨組成物(対照AおよびBならびに本発明の組成物4A〜4K)を得た。(炭素原子の数での)アルキル鎖長、アミン化合物の濃度、タングステンエッチ速度、およびコロイドシリカのゼータ電位を表3中に示す。対照Aは阻害剤を含まず、そして対照Bはグリシンを含んでいた。本発明のサンプル4A〜4Kは、以下のアミン化合物:(4A)N,N'−メチレンビス(ジメチルテトラデシルアンモニウムブロマイド)、(4B)1,1,4,4−テトラブチルピペラジンジイウムジブロマイド、(4C)N,N,N',N',N'−ペンタメチル−N−獣脂−1,3−プロパン−ジアンモニウムジクロライド、(4D)1,5−ジメチル−1,5−ジアゾニアビシクロ(3.2.2)ノナンジブロマイド、(4E)N(1),N(6)−ジドエシル(doecyl)−N(1),N(1),N(6),N(6)−テトラメチル−1,6−ヘキサンジアミニウムジヨージド、(4F)デカメトニウムブロマイド、(4G)メタンテトライルテトラキス(テトラメチルアンモニウムブロマイド)、(4H)ヘキサメトニウムクロライド、(4I)テトラメチル−p−フェニレンジアミン、(4J)ジドデシル−テトラメチル−1,4−ブタンジアミニウムジヨージド、および(4K)N(1),N(1),N(3)−トリブチル−N(3)−{3−[ジブチル(メチル)アンモニオ(ammonio)]プロピル−N(1),N(3)−ジメチル−1,3−プロパンジアミニウム三ヨウ化物を含んでいた。
表3
タングステンエッチ速度およびコロイドシリカのゼータ電位を、種々の他の研磨組成物でこの例において評価した。この例は、種々の複素環ポリアミン化合物の効果を示す。例2中に記載されたのと同じ方法を使用してタングステンエッチ速度およびゼータ電位測定を得た。適当な量の示されたアミン化合物を例1中の上記の原液のサンプルに加えることによって研磨組成物(対照AおよびBおよび組成物5A〜5F)を得た。(炭素原子の数での)アルキル鎖長、アミン化合物の濃度、タングステンエッチ速度、およびコロイドシリカのゼータ電位を表4中に示す。対照Aは阻害剤を含まず、そして対照Bはグリシンを含んでいた。サンプル5A〜5Fは、以下のアミン化合物:(5A)2−(アミノメチル(methy))ピリジン、(5B)2,2’ジピリジルアミン、(5C)ベンゾトリアゾール、(5D)2−アミノピリミジン(pyrimidie)、(5E)4−アミノピリジン、および(5F)5−アミノテトラゾールを含んでいた。
表4
例6
表5
タングステンエッチ速度およびタングステン研磨速度の両方を、種々の研磨組成物でこの例において評価した。この例は、対応する研磨組成物で、タングステンエッチ速度およびタングステン研磨速度での種々のアミン化合物の効果を示す。例1中に記載された手順を使用してCMP組成物を得た。組成物は以下の最終濃度:1.5質量%の処理されたコロイドシリカ、0.0012質量%の硝酸第二鉄、0.0267質量%のマロン酸、および0.5%の過酸化水素を含んでいたことを除き上記のものと類似していた。
表6
(態様)
(態様1)
水系液体キャリアーと、
該液体キャリアー中に分散されているコロイドシリカ研削剤であって、少なくとも6mVの永久正電荷を有する、コロイドシリカ研削剤と、
該液体キャリアー中に溶解しているアミン化合物と、
鉄含有加速剤と、
を含む、化学的機械的研磨組成物。
(態様2)
該コロイドシリカが少なくとも15mVの永久正電荷を有する、態様1に記載の組成物。
(態様3)
該コロイドシリカがアミノシラン化合物を用いて処理されている、態様1に記載の組成物。
(態様4)
該アミノシラン化合物が、ビス(2−ヒドロキシエチル)−3−アミノプロピルトリアルコキシシラン、ジエチルアミノメチルトリアルコキシシラン、(N,N−ジエチル−3−アミノプロピル)トリアルコキシシラン、3−(N−スチリルメチル−2−アミノエチルアミノ)プロピルトリアルコキシシラン、アミノプロピルトリアルコキシシラン、(2−N−ベンジルアミノエチル)−3−アミノプロピルトリアルコキシシラン、トリアルコキシシリルプロピル−N,N,N−トリメチルアンモニウムクロライド、N−(トリアルコキシシリルエチル)ベンジル−N,N,N−トリメチルアンモニウムクロライド、ビス(メチルジアルコキシシリルプロピル)−N−メチルアミン、ビス(トリアルコキシシリルプロピル)尿素、ビス(3−(トリアルコキシシリル)プロピル)−エチレンジアミン、ビス(トリアルコキシシリルプロピル)アミン、ビス(トリアルコキシシリルプロピル)アミン、およびそれらの混合物などからなる群から選択される、態様3に記載の組成物。
(態様5)
該鉄含有加速剤が可溶性鉄含有触媒を含む、態様1に記載の組成物。
(態様6)
該可溶性鉄含有触媒に結合している安定剤をさらに含み、該安定剤がリン酸、フタル酸、クエン酸、アジピン酸、シュウ酸、マロン酸、アスパラギン酸、コハク酸、グルタル酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、マレイン酸、グルタコン酸、ムコン酸、エチレンジアミン4酢酸、プロピレンジアミン4酢酸、およびそれらの混合物からなる群から選択される、態様5に記載の組成物。
(態様7)
過酸化水素酸化剤をさらに含む、態様1に記載の組成物。
(態様8)
2.0〜3.5の範囲のpHを有する、態様1に記載の組成物。
(態様9)
該アミン化合物が、第1級アミン、第2級アミン、第3級アミン、および第4級アミンから成る群から選択される、態様1に記載の組成物。
(態様10)
該アミン化合物が、モノアミン、ジアミン、トリアミン、およびテトラミンから成る群から選択される、態様1に記載の組成物。
(態様11)
該アミン化合物が12以上の炭素原子を有するアルキル基を含む、態様1に記載の組成物。
(態様12)
該アミン化合物が、ドデシルアミン、テトラデシルアミン、ヘキサデシルアミン、オクタデシルアミン、オレイルアミン、N−メチルジオクチルアミン、N−メチルオクタデシルアミン、コカミドプロピルアミンオキサイド、ベンジルジメチルヘキサデシルアンモニウムクロライド、ベンザルコニウムクロライド、ココアルキルメチル[ポリオキシエチレン(15)]アンモニウムクロライド、オクタデシルメチル[ポリオキシエチレン(15)]アンモニウムクロライド、N,N’−メチレンビス(ジメチルテトラデシルアンモニウムブロマイド)、N,N,N’,N’,N’−ペンタメチル−N−獣脂−1,3−プロパンジアンモニウムジクロライド、ジドデシルーテトラメチル−1,4−ブタンジアミニウムジヨージド、N(1),N(6)−ジドデシルーN(1),N(1),N(6),N(6)−テトラメチル−1,6−ヘキサンジアミニウムジヨージド、およびそれらの混合物から成る群から選択される、態様11に記載の組成物。
(態様13)
該アミン化合物がポリ第4級アミン化合物である、態様1に記載の組成物。
(態様14)
該ポリ第4級アミンがジ第4級アミン化合物である、態様13に記載の組成物。
(態様15)
該ジ第4級アミン化合物が、N,N'−メチレンビス(ジメチルテトラデシルアンモニウムブロマイド)、1,1,4,4−テトラブチルピペラジンジイウムジブロマイド、N,N,N',N',N'−ペンタメチル−N−獣脂−1,3−プロパン−ジアンモニウムジクロライド、N,N’−ヘキサメチレンビス(トリブチルアンモニウムヒドロキシド)、ジドデシル−テトラメチル−1,4−ブタンジアミニウムジヨージド、1,5−ジメチル−1,5−ジアゾニアビシクロ(3.2.2)ノナンジブロマイド、およびN(1),N(6)−ジドデシル−N(1),N(1),N(6),N(6)−テトラメチル−1,6−ヘキサンジアミニウムジヨージド、およびそれらの混合物からなる群から選択される、態様14に記載の組成物。
(態様16)
該ジ第4級アミン化合物が10以上の炭素原子を有するアルキル基を含む、態様14に記載の組成物。
(態様17)
該アミン化合物が4つまたは5つ以上のアミン基を有するアミン含有ポリマーである、態様1に記載の組成物。
(態様18)
該アミン含有ポリマーが、トリエチレンテトラミン、テトラエチレンペンタミン、ペンタエチレンヘキサミン、および以下のアミン含有官能基:メタクリロイロキシ−エチルトリメチルアンモニウムメチルサルフェート、ジアリルジメチルアンモニウムクロライド、およびメタクリルアミド−プロピルトリメチルアンモニウムクロライドを含むポリマー、ならびにそれらの混合物からなる群から選択される、態様17に記載の組成物。
(態様19)
タングステン層を含む基材を化学的機械的に研磨する方法であって、
(a)該基材と、研磨組成物であって、
(i)水系液体キャリアーと、
(ii)該液体キャリアー中に分散しているコロイドシリカ研削剤であって、少なくとも6mVの永久正電荷を有するコロイドシリカ研削剤と、
(iii)該液体キャリアー中に溶解しているアミン化合物と、
(iv)鉄含有加速剤と、
を含む、研磨組成物とを接触させることと、
(b)該基材に対して該研磨組成物を動かすことと、
(c)該基材を摩耗させて、該基材から該タングステンの一部分を除去し、そしてそれによって該基材を研磨することと、
を含む、方法。
(態様20)
該コロイドシリカが少なくとも15mVの永久正電荷を有する、態様19に記載の方法。
(態様21)
該コロイドシリカが、ビス(2−ヒドロキシエチル)−3−アミノプロピルトリアルコキシシラン、ジエチルアミノメチルトリアルコキシシラン、(N,N−ジエチル−3−アミノプロピル)トリアルコキシシラン、3−(N−スチリルメチル−2−アミノエチルアミノ)プロピルトリアルコキシシラン、アミノプロピルトリアルコキシシラン、(2−N−ベンジルアミノエチル)−3−アミノプロピルトリアルコキシシラン、トリアルコキシシリルプロピル−N,N,N−トリメチルアンモニウムクロライド、N−(トリアルコキシシリルエチル)ベンジル−N,N,N−トリメチルアンモニウムクロライド、ビス(メチルジアルコキシシリルプロピル)−N−メチルアミン、ビス(トリアルコキシシリルプロピル)尿素、ビス(3−(トリアルコキシシリル)プロピル)−エチレンジアミン、ビス(トリアルコキシシリルプロピル)アミン、ビス(トリアルコキシシリルプロピル)アミン、およびそれらの混合物などからなる群から選択されるアミノシラン化合物を用いて処理される、態様19に記載の方法。
(態様22)
該鉄含有加速剤が可溶性鉄含有触媒を含み、そして該研磨組成物が該可溶性鉄含有触媒に結合している安定剤をさらに含み、該安定剤が、リン酸、フタル酸、クエン酸、アジピン酸、シュウ酸、マロン酸、アスパラギン酸、コハク酸、グルタル酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、マレイン酸、グルタコン酸、ムコン酸、エチレンジアミン4酢酸、プロピレンジアミン4酢酸、およびそれらの混合物からなる群から選択される、態様19に記載の方法。
(態様23)
該アミン化合物が12以上の炭素原子を有するアルキル基を含む、態様19に記載の方法。
(態様24)
該アミン化合物が、ドデシルアミン、テトラデシルアミン、ヘキサデシルアミン、オクタデシルアミン、オレイルアミン、N−メチルジオクチルアミン、N−メチルオクタデシルアミン、コカミドプロピルアミンオキサイド、ベンジルジメチルヘキサデシルアンモニウムクロライド、ベンザルコニウムクロライド、ココアルキルメチル[ポリオキシエチレン(15)]アンモニウムクロライド、オクタデシルメチル[ポリオキシエチレン(15)]アンモニウムクロライド、N,N’−メチレンビス(ジメチルテトラデシルアンモニウムブロマイド)、N,N,N’,N’,N’−ペンタメチル−N−獣脂−1,3−プロパンジアンモニウムジクロライド、ジドデシル−テトラメチル−1,4−ブタンジアミニウムジヨージド、N(1),N(6)−ジドデシルーN(1),N(1),N(6),N(6)−テトラメチル−1,6−ヘキサンジアミニウムジヨージド、及びそれらの混合物から成る群から選択される、態様19に記載の方法。
(態様25)
該アミン化合物がジ第4級アミン化合物である、態様19に記載の方法。
(態様26)
該ジ第4級アミン化合物が、N,N'−メチレンビス(ジメチルテトラデシルアンモニウムブロマイド)、1,1,4,4−テトラブチルピペラジンジイウムジブロマイド、N,N,N',N',N'−ペンタメチル−N−獣脂−1,3−プロパン−ジアンモニウムジクロライド、N,N’−ヘキサメチレンビス(トリブチルアンモニウムヒドロキシド)、ジドデシル−テトラメチル−1,4−ブタンジアミニウムジヨージド、1,5−ジメチル−1,5−ジアゾニアビシクロ(3.2.2)ノナンジブロマイド、およびN(1),N(6)−ジドデシル−N(1),N(1),N(6),N(6)−テトラメチル−1,6−ヘキサンジアミニウムジヨージド、およびそれらの混合物からなる群から選択される、態様25に記載の方法。
(態様27)
該ジ第4級アミン化合物が、10以上の炭素原子を有するアルキル基を含む、態様25に記載の方法。
(態様28)
該アミン化合物が4つまたは5つ以上のアミン基を有するアミン含有ポリマーであって、該アミン含有ポリマーが、トリエチレンテトラミン、テトラエチレンペンタミン、ペンタエチレンヘキサミン、および以下のアミン含有官能基:メタクリロイロキシ−エチルトリメチルアンモニウムメチルサルフェート、ジアリルジメチルアンモニウムクロライド、およびメタクリルアミド−プロピルトリメチルアンモニウムクロライドを含むポリマー、ならびにそれらの混合物からなる群から選択される、態様19に記載の方法。
Claims (26)
- 水系液体キャリアーと、
該液体キャリアー中に分散されているコロイドシリカ研削剤であって、少なくとも6mVの永久正電荷を有する、コロイドシリカ研削剤と、
該液体キャリアー中に溶解しているアミン化合物と、
鉄含有加速剤と、
を含み、該アミン化合物が12以上の炭素原子を有するアルキル基を含む、化学的機械的研磨組成物。 - 該コロイドシリカが少なくとも15mVの永久正電荷を有する、請求項1に記載の組成物。
- 該コロイドシリカがアミノシラン化合物を用いて処理されている、請求項1に記載の組成物。
- 該アミノシラン化合物が、ビス(2−ヒドロキシエチル)−3−アミノプロピルトリアルコキシシラン、ジエチルアミノメチルトリアルコキシシラン、(N,N−ジエチル−3−アミノプロピル)トリアルコキシシラン、3−(N−スチリルメチル−2−アミノエチルアミノ)プロピルトリアルコキシシラン、アミノプロピルトリアルコキシシラン、(2−N−ベンジルアミノエチル)−3−アミノプロピルトリアルコキシシラン、トリアルコキシシリルプロピル−N,N,N−トリメチルアンモニウムクロライド、N−(トリアルコキシシリルエチル)ベンジル−N,N,N−トリメチルアンモニウムクロライド、ビス(メチルジアルコキシシリルプロピル)−N−メチルアミン、ビス(トリアルコキシシリルプロピル)尿素、ビス(3−(トリアルコキシシリル)プロピル)−エチレンジアミン、ビス(トリアルコキシシリルプロピル)アミン、ビス(トリアルコキシシリルプロピル)アミン、およびそれらの混合物などからなる群から選択される、請求項3に記載の組成物。
- 該鉄含有加速剤が可溶性鉄含有触媒を含む、請求項1に記載の組成物。
- 該可溶性鉄含有触媒に結合している安定剤をさらに含み、該安定剤がリン酸、フタル酸、クエン酸、アジピン酸、シュウ酸、マロン酸、アスパラギン酸、コハク酸、グルタル酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、マレイン酸、グルタコン酸、ムコン酸、エチレンジアミン4酢酸、プロピレンジアミン4酢酸、およびそれらの混合物からなる群から選択される、請求項5に記載の組成物。
- 過酸化水素酸化剤をさらに含む、請求項1に記載の組成物。
- 2.0〜3.5の範囲のpHを有する、請求項1に記載の組成物。
- 該アミン化合物が、第1級アミン、第2級アミン、第3級アミン、および第4級アミンから成る群から選択される、請求項1に記載の組成物。
- 該アミン化合物が、モノアミン、ジアミン、トリアミン、およびテトラミンから成る群から選択される、請求項1に記載の組成物。
- 該アミン化合物が、ドデシルアミン、テトラデシルアミン、ヘキサデシルアミン、オクタデシルアミン、オレイルアミン、N−メチルジオクチルアミン、N−メチルオクタデシルアミン、コカミドプロピルアミンオキサイド、ベンジルジメチルヘキサデシルアンモニウムクロライド、ベンザルコニウムクロライド、ココアルキルメチル[ポリオキシエチレン(15)]アンモニウムクロライド、オクタデシルメチル[ポリオキシエチレン(15)]アンモニウムクロライド、N,N’−メチレンビス(ジメチルテトラデシルアンモニウムブロマイド)、N,N,N’,N’,N’−ペンタメチル−N−獣脂−1,3−プロパンジアンモニウムジクロライド、ジドデシルーテトラメチル−1,4−ブタンジアミニウムジヨージド、N(1),N(6)−ジドデシルーN(1),N(1),N(6),N(6)−テトラメチル−1,6−ヘキサンジアミニウムジヨージド、およびそれらの混合物から成る群から選択される、請求項1に記載の組成物。
- 水系液体キャリアーと、
該液体キャリアー中に分散されているコロイドシリカ研削剤であって、少なくとも6mVの永久正電荷を有する、コロイドシリカ研削剤と、
該液体キャリアー中に溶解しているアミン化合物と、
鉄含有加速剤と、
を含み、
該アミン化合物がポリ第4級アミン化合物である、化学的機械的研磨組成物。 - 該ポリ第4級アミンがジ第4級アミン化合物である、請求項12に記載の組成物。
- 該ジ第4級アミン化合物が、N,N'−メチレンビス(ジメチルテトラデシルアンモニウムブロマイド)、1,1,4,4−テトラブチルピペラジンジイウムジブロマイド、N,N,N',N',N'−ペンタメチル−N−獣脂−1,3−プロパン−ジアンモニウムジクロライド、N,N’−ヘキサメチレンビス(トリブチルアンモニウムヒドロキシド)、ジドデシル−テトラメチル−1,4−ブタンジアミニウムジヨージド、1,5−ジメチル−1,5−ジアゾニアビシクロ(3.2.2)ノナンジブロマイド、およびN(1),N(6)−ジドデシル−N(1),N(1),N(6),N(6)−テトラメチル−1,6−ヘキサンジアミニウムジヨージド、およびそれらの混合物からなる群から選択される、請求項13に記載の組成物。
- 該ジ第4級アミン化合物が10以上の炭素原子を有するアルキル基を含む、請求項13に記載の組成物。
- 該アミン化合物が4つまたは5つ以上のアミン基を有するアミン含有ポリマーである、請求項1に記載の組成物。
- 該アミン含有ポリマーが、トリエチレンテトラミン、テトラエチレンペンタミン、ペンタエチレンヘキサミン、および以下のアミン含有官能基:メタクリロイロキシ−エチルトリメチルアンモニウムメチルサルフェート、ジアリルジメチルアンモニウムクロライド、およびメタクリルアミド−プロピルトリメチルアンモニウムクロライドを含むポリマー、ならびにそれらの混合物からなる群から選択される、請求項16に記載の組成物。
- タングステン層を含む基材を化学的機械的に研磨する方法であって、
(a)該基材と、研磨組成物であって、
(i)水系液体キャリアーと、
(ii)該液体キャリアー中に分散しているコロイドシリカ研削剤であって、少なくとも6mVの永久正電荷を有するコロイドシリカ研削剤と、
(iii)該液体キャリアー中に溶解しているアミン化合物と、
(iv)鉄含有加速剤と、
を含み、該アミン化合物が12以上の炭素原子を有するアルキル基を含む、研磨組成物とを接触させることと、
(b)該基材に対して該研磨組成物を動かすことと、
(c)該基材を摩耗させて、該基材から該タングステンの一部分を除去し、そしてそれによって該基材を研磨することと、
を含む、方法。 - 該コロイドシリカが少なくとも15mVの永久正電荷を有する、請求項18に記載の方法。
- 該コロイドシリカが、ビス(2−ヒドロキシエチル)−3−アミノプロピルトリアルコキシシラン、ジエチルアミノメチルトリアルコキシシラン、(N,N−ジエチル−3−アミノプロピル)トリアルコキシシラン、3−(N−スチリルメチル−2−アミノエチルアミノ)プロピルトリアルコキシシラン、アミノプロピルトリアルコキシシラン、(2−N−ベンジルアミノエチル)−3−アミノプロピルトリアルコキシシラン、トリアルコキシシリルプロピル−N,N,N−トリメチルアンモニウムクロライド、N−(トリアルコキシシリルエチル)ベンジル−N,N,N−トリメチルアンモニウムクロライド、ビス(メチルジアルコキシシリルプロピル)−N−メチルアミン、ビス(トリアルコキシシリルプロピル)尿素、ビス(3−(トリアルコキシシリル)プロピル)−エチレンジアミン、ビス(トリアルコキシシリルプロピル)アミン、ビス(トリアルコキシシリルプロピル)アミン、およびそれらの混合物などからなる群から選択されるアミノシラン化合物を用いて処理される、請求項18に記載の方法。
- 該鉄含有加速剤が可溶性鉄含有触媒を含み、そして該研磨組成物が該可溶性鉄含有触媒に結合している安定剤をさらに含み、該安定剤が、リン酸、フタル酸、クエン酸、アジピン酸、シュウ酸、マロン酸、アスパラギン酸、コハク酸、グルタル酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、マレイン酸、グルタコン酸、ムコン酸、エチレンジアミン4酢酸、プロピレンジアミン4酢酸、およびそれらの混合物からなる群から選択される、請求項18に記載の方法。
- 該アミン化合物が、ドデシルアミン、テトラデシルアミン、ヘキサデシルアミン、オクタデシルアミン、オレイルアミン、N−メチルジオクチルアミン、N−メチルオクタデシルアミン、コカミドプロピルアミンオキサイド、ベンジルジメチルヘキサデシルアンモニウムクロライド、ベンザルコニウムクロライド、ココアルキルメチル[ポリオキシエチレン(15)]アンモニウムクロライド、オクタデシルメチル[ポリオキシエチレン(15)]アンモニウムクロライド、N,N’−メチレンビス(ジメチルテトラデシルアンモニウムブロマイド)、N,N,N’,N’,N’−ペンタメチル−N−獣脂−1,3−プロパンジアンモニウムジクロライド、ジドデシル−テトラメチル−1,4−ブタンジアミニウムジヨージド、N(1),N(6)−ジドデシルーN(1),N(1),N(6),N(6)−テトラメチル−1,6−ヘキサンジアミニウムジヨージド、及びそれらの混合物から成る群から選択される、請求項18に記載の方法。
- 該アミン化合物がジ第4級アミン化合物である、請求項18に記載の方法。
- 該ジ第4級アミン化合物が、N,N'−メチレンビス(ジメチルテトラデシルアンモニウムブロマイド)、1,1,4,4−テトラブチルピペラジンジイウムジブロマイド、N,N,N',N',N'−ペンタメチル−N−獣脂−1,3−プロパン−ジアンモニウムジクロライド、N,N’−ヘキサメチレンビス(トリブチルアンモニウムヒドロキシド)、ジドデシル−テトラメチル−1,4−ブタンジアミニウムジヨージド、1,5−ジメチル−1,5−ジアゾニアビシクロ(3.2.2)ノナンジブロマイド、およびN(1),N(6)−ジドデシル−N(1),N(1),N(6),N(6)−テトラメチル−1,6−ヘキサンジアミニウムジヨージド、およびそれらの混合物からなる群から選択される、請求項23に記載の方法。
- 該ジ第4級アミン化合物が、10以上の炭素原子を有するアルキル基を含む、請求項23に記載の方法。
- 該アミン化合物が4つまたは5つ以上のアミン基を有するアミン含有ポリマーであって、該アミン含有ポリマーが、トリエチレンテトラミン、テトラエチレンペンタミン、ペンタエチレンヘキサミン、および以下のアミン含有官能基:メタクリロイロキシ−エチルトリメチルアンモニウムメチルサルフェート、ジアリルジメチルアンモニウムクロライド、およびメタクリルアミド−プロピルトリメチルアンモニウムクロライドを含むポリマー、ならびにそれらの混合物からなる群から選択される、請求項18に記載の方法。
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