JP6643637B2 - Ｖｏｃ精製装置 - Google Patents

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Description

本発明は、排ガス中に含有されている水より高沸点で、水と共沸しない親水性を有する、揮発性化学物質ＶＯＣ（揮発性有機化合物（Volatile Organic Compounds））を水との沸点または蒸気圧の差を利用して濃縮回収するＶＯＣ精製装置に関するものである。
ＶＯＣ処理方法には、燃焼方式と溶剤回収方式とがあり、燃焼方式の中には、直接燃焼方式と、酸化触媒方式と、蓄熱方式と、ＭＧＴ(マイクロガスタービン)燃料方式とがある。どの方式が最も適しているかは、工場のＶＯＣの溶剤種、風量、濃度、又は時間的変動などの稼働状況又は工場のエネルギー使用実態によっても大きく変わる。ライフサイクルコストの緻密な検討と、将来、稼働変動が発生してもそれらに対応出来る、フレキシブルな処理装置の導入が必要となる。
従来の除去液中のＶＯＣ分離回収方法として、除去液を真空容器内で噴霧する空気流動真空蒸発法（真空蒸発法）を用いる方式がある（例えば、特許文献１参照）。図３は、特許文献１に記載のＶＯＣ分離回収装置の概略構成図である。参照符号１は、ＶＯＣ再生・回収装置であり、ＶＯＣ再生・回収装置１は、貯留タンク３内に貯留されていた被処理除去液Ｌｄが、送液ポンプ５によって圧送されて、真空容器９内のノズル７から噴霧される。一方、真空ポンプ１１の働きにより真空容器９内は減圧され、これによって被処理除去液ＬｄからＶＯＣが真空蒸発する。被処理除去液Ｌｄは、噴霧によって霧状になっているので、単に貯留してあるものに比べて、その表面積が飛躍的に拡大している。霧状の被処理除去液Ｌｄは、やがて、連続気泡フォーム体１７ａに到着して、そのセル壁に付着する。セル壁に付着した被処理除去液Ｌｄは、その表面積をさらに拡大する。拡大に拡大を重ねた被処理除去液Ｌｄの表面積は、膨大となる。これらと相まって、気体導入機構１３を介した蒸発促進気体（空気）の導入が、真空蒸発の効率を良くする。すなわち、被処理除去液Ｌｄの回収（再生除去液Ｌｃへの転換）が効率良く行われる。被処理除去液Ｌｄは、連続気泡フォーム体１７ａを通過（下降）しながら再生除去液Ｌｃとなり、連続気泡フォーム体１７ａ及び支持体１７ｂを通過して滴下する。滴下した再生除去液Ｌｃは、排液機構１５を介して真空容器９外へ排出され、再利用に供される。真空蒸発したＶＯＣは、真空ポンプ１１に吸引され、その後、ＶＯＣ処理機構１９によって処理される。ＶＯＣ処理機構１９は、ＶＯＣを回収して再利用可能とする処理を行うようになっている。又、ＶＯＣの再利用が不要であれば、ＶＯＣを単に除去処理する。
この装置と手法とにより、ＶＯＣ溶液中のＶＯＣを効率良く分離回収することが出来るとともに、加熱及び冷却をする必要がないため、低いランニングコストでＶＯＣを分離回収することが出来ることが知られている。
特許第５１８７８６１号公報
しかしながら、特許文献１において空気流動真空蒸発法を用いた装置では、除去液を真空容器内で噴霧する際に一流体ノズルを用いており、その粒径が大きいため、蒸発速度が遅く、ＶＯＣの精製処理能力が低いという課題がある。また、真空蒸発の効率を良くするために気体導入機構から空気を導入するが、その大気中に含まれる水分がＶＯＣ精製装置の真空容器内に混入することで、ＶＯＣの蒸発揮発分離を妨げることも、同様に、ＶＯＣの精製回収処理能力が上がらないという課題がある。
本発明は、前記課題を解決するものであって、ＶＯＣ溶液を処理装置内で噴霧する際の粒径を小さくすることができて、水分が蒸発する速度が速く、ＶＯＣの精製処理能力が高いＶＯＣ精製装置を提供するものである。
上記目的を達成するために、本発明の１つの態様にかかるＶＯＣ精製装置は、
真空容器と、
前記真空容器内に、水を含むＶＯＣ含有液を供給する送液ポンプと、
前記真空容器内に配置されて、前記送液ポンプから供給された前記ＶＯＣ含有液を前記真空容器内に噴霧する噴霧装置と、
前記真空容器に接続され、前記真空容器の内部を減圧して前記ＶＯＣ含有液に含まれる水分を真空蒸発させる真空ポンプと、
水分蒸発処理後のＶＯＣ濃縮液を前記真空容器から排出する排液部材とを備え、
前記噴霧装置が、
液体流路と気体流路とを有する噴霧装置本体部と、
前記噴霧装置本体部の先端に配置されて、前記液体流路の開口を覆いかつ平らな内側端面を有する内蓋部と、
前記噴霧装置本体部の先端に配置されて前記内蓋部を覆うとともに、前記気体流路の開口を覆いかつ前記内蓋部の前記内側端面に対向する平らな外側端面を持つ外側端部を有する外蓋部と、
前記内蓋部と前記外蓋部との間に配置され、前記内蓋部の前記内側端面と前記外蓋部の前記外側端面との間の円板状の外形の空間で構成され、前記気体流路を流れる気体流と前記液体流路を流れる液体流とを混合する気液混合部と、
前記内蓋部の前記内側端面の周方向の少なくとも１箇所に貫通して設けられて前記気液混合部と連通して、前記液体流路を流れる液体流を前記気液混合部に流入させる液体流入口と、
前記内蓋部と前記外蓋部との間の前記気液混合部の側部に前記気液混合部と連通して配置されて、前記液体流入口から前記気液混合部に流入する前記液体流に向かって、前記気体流路を流れる気体流を前記気液混合部に流入させる気体流入口と、
前記外蓋部の前記外側端面に貫通して設けられて前記気液混合部と連通し、前記気液混合部で前記気体流と前記液体流が混合して微粒化した液体を噴出する噴出口とを備える。
本発明の前記態様によれば、二流体ノズルである前記噴霧装置を用いて、ＶＯＣ回収装置として機能する真空容器内でＶＯＣ含有液を噴霧するので、ＶＯＣ含有液の粒径が大幅に小さくなり、ＶＯＣ含有液から水分を素早く真空蒸発させることが可能になる。このため、ＶＯＣ含有液から水分の蒸発分離が加速し、ＶＯＣの精製処理効率が上昇する効果がある。
本発明の実施の形態におけるＶＯＣ精製装置の構成図 本発明の実施の形態における噴霧装置の切断部端面図 本発明の実施の形態における噴霧装置の図２Ａの２Ｂ−２Ｂ線での断面図 従来におけるＶＯＣ回収分離処理装置の構成図
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。
図１は、本発明の実施の形態におけるＶＯＣ精製装置の構成図である。
図１において、ＶＯＣ精製装置１０３は、真空容器９９と、送液ポンプ１０２と、噴霧装置１０４と、真空ポンプ１０７と、排液部材の一例である排液用開閉バルブ９８とを少なくとも備えている。
送液ポンプ１０２は、真空容器９９内に、水を含むＶＯＣ含有液１０１を供給する。
噴霧装置１０４は、真空容器９９内に配置されて、送液ポンプ１０２から供給されたＶＯＣ含有液１０１を真空容器９９内に噴霧する二流体ノズルである。
真空ポンプ１０７は、真空容器９９に接続され、真空容器９９の内部を減圧してＶＯＣ含有液１０１に含まれる水分を真空蒸発させる。
排液部材９８は、水分蒸発処理後のＶＯＣ濃縮液を真空容器９９から排出する。
ＶＯＣ精製装置１０３で処理すべきＶＯＣ溶液１０１、言い換えれば、ＶＯＣ精製装置１０３で精製処理するために回収したＶＯＣ溶液１０１は、ＶＯＣ溶液タンク１０１Ｔ内に保持されている。ＶＯＣ溶液タンク１０１Ｔは、送液用配管９７により真空容器９９と接続され、送液用配管９７の途中には送液ポンプ１０２と可変バルブ９６とが配置されて、ＶＯＣ溶液タンク１０１Ｔ内のＶＯＣ溶液タンク１０１は、送液ポンプ１０２を用いて、真空容器９９へ一定量送り込まれる。その際、ＶＯＣ溶液１０１は、送液用配管９７を通じて真空容器９９内の噴霧装置１０４へ直結しており、併せて噴霧装置１０４へは、コンプレッサ１０５から圧縮エア１０６が供給されており、噴霧装置１０４内からＶＯＣ溶液１０１が微粒化された状態で真空容器９９内へ噴霧される（符号１０１ａを参照）。
一方、真空容器９９内は、真空容器９９と排気配管９５で接続された真空ポンプ１０７によって、空気が排気されて減圧真空の状態になっている。
噴霧装置１０４から噴霧されたＶＯＣ溶液１０１中のＶＯＣは、水より高沸点で水と共沸しない親水性及び揮発性化学物質であることから、減圧下において水の蒸気圧に達することで、水分のみが主に揮発され、真空ポンプ１０７を経由して外部へ排出水分１０８が排出されることになる。その際、真空容器９９と真空ポンプ１０７との間の排気配管９５の直結箇所には、ＶＯＣ溶液を吸入しないように、ミストトラップの一例としてのミストフィルタ１０９を設置している。ＶＯＣ溶液１０１は、このミストフィルタ１０９で捕獲され、ミストフィルタ１０９を通過して排気系統へ混入することがないようにしている。
上記の過程を経て、水分のみが除かれて濃縮された状態となったＶＯＣ濃縮液１１０は、真空容器９９の下部へ蓄積していく。ＶＯＣ濃縮液１１０が一定量蓄積した段階で、排液用開閉バルブ９８を開けて、ＶＯＣ精製タンク１１１へＶＯＣ濃縮液１１０を貯蔵する。貯蔵されたＶＯＣ溶液は、真空容器９９に投入されたＶＯＣ溶液１０１に比べて、大幅に濃縮された状態にすることが出来る。
本実施形態の噴霧装置１０４に関して、図２Ａを用いて説明する。図２Ａは、本発明の実施形態における噴霧装置１０４を示す切断端面図である。
噴霧装置１０４は、噴霧装置本体部１０４ａと、内蓋部１１４と、外蓋部１１５と、気液混合部１１６と、液体流入口１１９と、気体流入口１２０と、噴出口１１７ａとを少なくとも備えている。
内蓋部１１４と外蓋部１１５とで気液混合部１１６を構成している。噴霧装置１０４は、さらに、噴霧装置蓋固定部１１８を備えている。
噴霧装置本体部１０４ａは、円柱状部材の中心部に軸方向沿いに配置された液体流路１１２と、液体流路１１２の周囲に間隔をおいて軸方向沿いに配置された円筒状の気体流路１１３とがそれぞれ形成されている。液体流路１１２と気体流路１１３とは、噴霧装置本体部１０４ａの一部として中央部に位置する円筒部１０４ｂで区切られている。液体流路１１２は、先端側のみを図示しており、後端の図示しない液体供給口は、送液配管９７を介して送液ポンプ１０２に接続されている。気体流路１１３も、先端側のみを図示しており、後端の図示しない気体供給口は、コンプレッサ１０５に接続されており、圧縮エア１０６が供給されている。
円筒部１０４ｂの先端は、円筒部１０４ｂ以外の噴霧装置本体部１０４ａより先端側に少し突出し、その先端に内蓋部１１４が固定されている。
内蓋部１１４は、噴霧装置本体部１０４ａの先端に配置され、液体流路１１２の開口を覆いかつ平らな内側端面１１４ａを有する断面略Ｃ字形状をなしている。内蓋部１１４は、円筒部１０４ｂの端面と内蓋部１１４の内側端面１１４ａの内面との間には、円板状の外形の第１隙間１２１が形成されている。内蓋部１１４の内側端面１１４ａの外周部の１カ所には、内側端面１１４ａを軸方向に貫通する液体流入口１１９が形成されている。すなわち、液体流入口１１９は、気液混合部１１６の外周壁面近傍の上流側平坦面である内蓋部１１４の内側端面１１４ａに位置しており、液体流路１１２と気液混合部１１６とを連通させている。
外蓋部１１５は、噴霧装置本体部１０４ａの先端に配置され、内蓋部１１４を覆うとともに、気体流路１１３の開口を覆いかつ内蓋部１１４の内側端面１１４ａに対向する平らな外側端面を持つ外側端部１１５ａと、円筒側面に相当する外蓋部側面１１５ｃとを有する断面略Ω形状をなしている。外蓋部１１５は、内蓋部１１４との間の側部では、所定間隔の円筒状の外形の第２隙間１２２をあけて覆うとともに、内蓋部１１４との間の端部では、所定間隔の円板状の外形の空間の気液混合部１１６を隙間として形成しつつ内蓋部１１４を覆うように、噴霧装置本体部１０４ａの端面と噴霧装置蓋固定部１１８との間に挟持されて固定されている。なお、噴霧装置蓋固定部１１８を無くして、外蓋部１１５が、直接、噴霧装置本体部１０４ａの端面に固定されるようにしてもよい。
外蓋部１１５と内蓋部１１４との間において所定間隔の円板状の外形の気液混合部１１６を確実に形成するため、外蓋部１１５の外側端面１１５ａの内面に円環状の凸部１２３を形成して、外蓋部１１５の内面と内蓋部１１４の内側端面１１４ａとの間に強制的に隙間として気液混合部１１６が配置形成できるようにしている。円環状の凸部１２３は、外蓋部１１５の外側端面１１５ａの内面（すなわち、外側端面）に設ける代わりに、内蓋部１１４の内側端面１１４ａの外面に設けても良い。このように構成される気液混合部１１６は、気体流路１１３を流れる気体流と液体流路１１２を流れる液体流とを混合するためのものである。
また、気液混合部１１６の側部において、円環状の凸部１２３の一部を径方向に切り欠いて、気体流路１１３と気液混合部１１６とを連通させる気体流入口１２０を形成している。よって、気体流入口１２０は、液体流入口１１９から流入する液体流の流入方向に対して、気体流入口１２０から流入する気体流の流入方向が交差するように配置されている。気体流入口１２０は、噴霧装置本体部１０４ａの中心（中心軸１２４）に対して液体流入口１１９とは１８０度位相を異にした、液体流入口１１９に対向する位置に位置する。さらに、外蓋部１１５の外側端面１１５ａの外面の中央には、円筒部が突出して固定され、軸方向に外側端面１１５ａ及び円筒部を貫通した噴出口１１７ａを有する噴出部１１７を形成している。噴出口１１７ａは、液体流路１１２と同一中心軸１２４上に配置されている。これに対して、液体流入口１１９は、この中心軸１２４から外れた位置に位置している。
よって、気液混合部１１６は、円環状の凸部１２３と内蓋部１１４と外蓋部１１５とで囲まれて形成されており、軸方向沿いに内蓋部１１４を貫通した液体流入口１１９と、軸方向とは交差する方向沿いに円環状の凸部１２３を切り欠いた気体流入口１２０と、軸方向沿いに外蓋部１１５を貫通した噴出口１１７ａとに連通している。
このような構成において、噴霧装置１０４に供給された液体は、噴霧装置本体部１０４ａに対して、図示しない液体供給口から装置先端側に液体流路１１２を流れて液体流となり、その液体流は、第１隙間１２１と液体流入口１１９とを通って、気液混合部１１６に供給される。また、噴霧装置１０４に供給された気体は、噴霧装置本体部１０４ａに対して、図示しない気体供給口から装置先端側に気体流路１１３を流れて気体流となり、その気体流は、第２隙間１２２と気体流入口１２０とを通って、気液混合部１１６に供給される。
気液混合部１１６に対して気体流と液体流とが供給されると、気液混合部１１６内で互いに混合され、液体が微粒化された後に、外蓋部１１５に設けられた噴出部１１７の噴出口１１７ａから、混合されて微粒化された液体を外側に噴出する。
以下、気液混合部１１６での微粒化の機構について、図２Ｂを参照しながら説明する。
液体流路１１２を流れてきた液体流は、第１隙間１２１を通り、内蓋部１１４に設けられた液体流入口１１９を通り、図２Ｂに示すように、気液混合部１１６の円環状の凸部１２３の近傍より、液体流が内蓋部１１４の内側端面１１４ａと平行かつ噴出部１１７の方向へ供給する。
一方、液体流入口１１９から気液混合部１１６に供給された液体流に対して、液体流入口１１９の対向する位置に位置する気体流入口１２０を通って気液混合部１１６に供給された気体が、気液混合部１１６内で液体に衝突する。このように衝突することで、液体は外蓋部１１５の外側端部１１５ａの外側端面に押し広げられ、薄い膜状になり外側端部１１５ａの外側端面を流れる。さらに、この状態から外側端面１１５ａを円環状の凸部１２３の周方向に流れることにより、薄い膜状からさらに細かな液滴へと変化する。さらに、この液滴を含む気液混合流を、気液混合部１１６の外蓋部１１５側の外側端面１１５ａの内面である壁面に沿って、周回及び撹拌することで、液滴をさらに微粒化することができ、より粒径の小さな液体を噴出口１１７ａから噴霧することが可能である。
より具体的には、気液混合部１１６は直径８．０ｍｍ、高さ２．０ｍｍであり、噴出部１１７の噴出口１１７ａは、直径１．５ｍｍ、長さ２．０ｍｍ、液体流入口１１９は直径０．７ｍｍ、気体流入口１２０は矩形であり、幅１．０ｍｍ、高さ１．０ｍｍの噴霧装置である。
この噴霧装置に対し、気体の例として圧縮空気を０．２ＭＰａ（ゲージ圧）の圧力で供給し、液体の例として水を０．１５ＭＰａ（ゲージ圧）の圧力で供給した。この条件で微粒化した水のザウター平均粒径をレーザー回折法にて評価を行った。レーザー回折法の測定距離は噴霧装置の先端から３００ｍｍの位置であり、ザウター平均粒径は１０．０μｍとなった。
前記実施形態にかかる噴霧装置１０４によれば、内蓋部１１４と外蓋部１１５との間に設けられた気液混合部１１６で、液体流入口１１９から流入する液体と気体流入口１２０から流入する気体とが向かい合って衝突するとともに、円環状の凸部１２３に沿って周回及び撹拌して液体が微粒化し、微粒化した液体を噴出部１１７から噴出することができる。この結果、気化が早くかつ濡れ等を感じない粒径の小さな液体を、噴霧可能な噴霧装置１０４を提供することができる。より具体的には、蒸発気化が早い小さな粒径の例として、１０μｍ以下の粒径の液体を噴霧することができる、二流体ノズル型式の噴霧装置１０４を提供することができる。
従来のＶＯＣ精製処理方法では、図３に示すように、ＶＯＣ溶液のみを加圧し、一流体の噴霧ノズルを用いて、ＶＯＣ精製装置内へ除去液を導入していたため、噴霧した後のＶＯＣ溶液の粒径が大きく、水分のみが蒸発分離する割合が十分ではなかった。しかし、本発明の実施形態では、コンプレッサ１０５による圧縮エア１０６を用いて、二流体ノズルである噴霧装置１０４からＶＯＣ溶液１０１を噴霧することにより、ＶＯＣ溶液１０１の粒径を大幅に微細化することが可能になり、それによって単位流量あたりの表面積が増加することから、ＶＯＣ溶液中の水のみを大量に蒸発し排気させることができる。これによって、大量に濃縮された高濃度のＶＯＣ溶液を精製処理することが可能になった。
前記実施形態では、ＶＯＣ溶液１０１を噴霧装置１０４で噴霧する際にコンプレッサ１０５から圧縮エア１０６を用いたが、この圧縮エアは露点が大気よりも低いため水分の含まれる量が非常に小さい。よって、従来例では、大気をパージして混入されて故意に流動を起こさせているが、これにより大量の水分も真空容器に導入することになり、真空容器９９内の減圧維持が困難になることが考えられる。これに対して、本実施形態では、前記したような圧縮エアを用いることで、従来例の課題が解決されて、ＶＯＣ溶液から水分のみを効率良く蒸発させて、濃縮処理させることが可能になる。また、ＶＯＣ溶液が酸化してしまう場合は、コンプレッサ１０５からの圧縮エア１０６の代わりに、窒素、アルゴン、又はヘリウムなどの不活性ガスを用いることで、同様の役割をさせることが可能である。
このような濃縮処理が可能なＶＯＣは、水より高沸点で水と共沸しない親水性、揮発性化学物質であり、ＮＭＰ（Ｎ−メチルピロリドン）、ＥＧ（エチレングリコール）、ＤＥＧ（ジエチレングリコール）、ＴＥＧ（トリエチレングリコール）、ＰＧＭＥ（プロピレングリコールモノエチルエーテル）、ＰＧ（プロピレングリコール）、ＤＭＦ（Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド）、ＤＭＡＣ（Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド）、ＤＭＳＯ（ジメチルスルホキシド）、１，４−ＢＤ（１，４−ブタンジオール）、ＭＥＡ（モノエタノールアミン）および、ＤＧＭＥ（ジエチレングリコールモノメチルエーテル）よりなる群から１個または複数個選ばれた溶剤類であれば良い。
前記実施形態によれば、二流体ノズルである噴霧装置１０４を用いて、ＶＯＣ回収装置として機能する真空容器９９内でＶＯＣ含有液１０１を噴霧するので、ＶＯＣ含有液１０１の粒径が大幅に小さくなり、ＶＯＣ含有液１０１から水分を素早く真空蒸発させることが可能になる。このため、ＶＯＣ含有液１０１から水分の蒸発分離が加速し、ＶＯＣの精製処理効率が上昇する効果がある。また、コンプレッサ１０５の圧縮エアを用いれば、蒸発促進気体として導入する空気から混入する水分が、飛躍的に少なくすることができる。
なお、前記様々な実施形態又は変形例のうちの任意の実施形態又は変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせ又は実施例同士の組み合わせ又は実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態又は実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。
本発明の前記態様にかかるＶＯＣ精製装置は、従来のＶＯＣ精製処理方法に比べて、大幅にＶＯＣの精製処理効率が上昇する効果があり、精製に必要なコストが例えば１／２以下まで削減可能なことによって、製造現場などでＶＯＣを精製して再利用する上で大きな経営貢献に繋がる。このようなＶＯＣ精製装置は、グローバルに電池又は半導体などの製造業界向けに大きな設備販売事業へと繋がる可能性がある。
１・・・再生・回収装置
３・・・貯留タンク
５・・・送液ポンプ
７・・・ノズル
９・・・真空容器
１１・・・真空ポンプ
１３・・・気体導入機構
１５・・・排液機構
１７ａ・・・連続気泡フォーム体
１７ｂ・・・支持体
１９・・・ＶＯＣ処理機構
９２・・・可変バルブ
９３・・・ポンプ
９５・・・排気配管
９６・・・可変バルブ
９７・・・送液用配管
９８・・・排液用開閉バルブ
９９・・・真空容器
１０１・・・ＶＯＣ溶液
１０１ａ・・・ＶＯＣ溶液の噴霧状態
１０１Ｔ・・・ＶＯＣ溶液タンク
１０２・・・送液ポンプ
１０３・・・ＶＯＣ精製装置
１０４・・・噴霧装置
１０４ａ・・・噴霧装置本体部
１０４ｂ・・・円筒部
１０５・・・コンプレッサ
１０６・・・圧縮エア
１０７・・・真空ポンプ
１０８・・・排出水分
１０９・・・ミストフィルタ
１１０・・・ＶＯＣ濃縮液
１１１・・・ＶＯＣ精製タンク
１１２・・・液体流路
１１３・・・気体流路
１１４・・・内蓋部
１１４ａ・・・内側端面
１１５・・・外蓋部
１１５ａ・・・外側端面
１１６・・・気液混合部
１１７・・・噴出部
１１７ａ・・・噴出口
１１８・・・噴霧装置蓋固定部
１１９・・・液体流入口
１２０・・・気体流入口
１２１・・・第１隙間
１２２・・・第２隙間
１２３・・・円環状の凸部
１２４・・・中心軸

Claims (4)

  1. 真空容器と、
    前記真空容器内に、水を含むＶＯＣ含有液を供給する送液ポンプと、
    前記真空容器内に配置されて、前記送液ポンプから供給された前記ＶＯＣ含有液を前記真空容器内に噴霧する噴霧装置と、
    前記真空容器に接続され、前記真空容器の内部を減圧して前記ＶＯＣ含有液に含まれる水分を真空蒸発させる真空ポンプと、
    水分蒸発処理後のＶＯＣ濃縮液を前記真空容器から排出する排液部材とを備え、
    前記噴霧装置が、
    液体流路と気体流路とを有する噴霧装置本体部と、
    前記噴霧装置本体部の先端に配置されて、前記液体流路の開口を覆いかつ平らな内側端面を有する内蓋部と、
    前記噴霧装置本体部の先端に配置されて前記内蓋部を覆うとともに、前記気体流路の開口を覆いかつ前記内蓋部の前記内側端面に対向する平らな外側端面を持つ外側端部を有する外蓋部と、
    前記内蓋部と前記外蓋部との間に配置され、前記内蓋部の前記内側端面と前記外蓋部の前記外側端面との間の円板状の外形の空間で構成され、前記気体流路を流れる気体流と前記液体流路を流れる液体流とを混合する気液混合部と、
    前記内蓋部の前記内側端面の周方向の少なくとも１箇所に貫通して設けられて前記気液混合部と連通して、前記液体流路を流れる液体流を前記気液混合部に流入させる液体流入口と、
    前記内蓋部と前記外蓋部との間の前記気液混合部の側部に前記気液混合部と連通して配置されて、前記液体流入口から前記気液混合部に流入する前記液体流に向かって、前記気体流路を流れる気体流を前記気液混合部に流入させる気体流入口と、
    前記外蓋部の前記外側端面に貫通して設けられて前記気液混合部と連通し、前記気液混合部で前記気体流と前記液体流が混合して微粒化した液体を噴出する噴出口とを備える、ＶＯＣ精製装置。
  2. 前記噴霧装置本体部の前記気体流路にて、窒素、アルゴン、又はヘリウムの不活性ガスを前記真空容器内に供給する請求項１に記載のＶＯＣ精製装置。
  3. 前記真空容器から前記真空ポンプへの排気配管の前記真空容器内の接続箇所に、噴霧された前記ＶＯＣ含有液を捕獲するミストトラップを配置する、請求項１又は２に記載のＶＯＣ精製装置。
  4. 前記ＶＯＣ含有液に含有されたＶＯＣは、水より高沸点で水と共沸しない親水性でかつ揮発性化学物質であり、Ｎ−メチルピロリドン、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコール、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、１，４−ブタンジオール、モノエタノールアミンおよびジエチレングリコールモノメチルエーテルよりなる群から選ばれた溶剤類である、請求項１〜３のいずれか１つに記載のＶＯＣ精製装置。
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