CN216677651U - 酸性制程废气的处理装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种酸性制程废气的处理装置，其包含一壳体，该壳体的二侧各别设有一入气口以及一出气口，一第一洒水装置设置于该壳体的一内侧，该第一洒水装置对应设置于该入气口的一侧，一第二洒水装置设置于该壳体的内侧，该第二洒水装置对应设置于该第一洒水装置以及该出气口之间，一循环组件包含的一集水箱连通该壳体的一下方，循环组件包含的一水泵的一侧连通该集水箱，该水泵的另一侧连通该第一洒水装置以及该第二洒水装置，一过滤装置连通该出气口；利用二个洒水装置增加过滤废气中酸性物质的效率。

Description

酸性制程废气的处理装置

技术领域

本申请是关于一种酸性制程废气的处理装置，尤其是指一种利用水雾过滤废气中包含的酸性物质的装置。

背景技术

硫酸气体随着高温制程的排放，于废气中易形成微小悬浮的硫酸液滴，废气中的氧化硫(SO₃)遇水气会反应形成气态硫酸，当废气温度低于硫酸的露点时，气态硫酸开始冷凝成次微米尺寸的硫酸液滴，若直接排放，将对环境产生严重的污染；一直以来，硫酸废气排放为各空污去除法中困难解决的目标，因此相关产业的空污被重点管制，使相关产业纷纷被限制硫酸排放总量。

随着相关产业被限制硫酸排放总量，近年来，于高硫酸排放量的产业是半导体相关产业，于半导体制程中经常使用大量有机溶剂及酸碱溶液、气体来进行蚀刻或清洁，部分化学物质会因挥发而被排气系统收集。随着产业产能遽增，制造过程产生废气也随的增加，使半导体相关产业面临废弃包含的硫酸液滴去除的巨大挑战；因此提升废气中酸性物质的去除效率，逐渐成为此业界重要课题。

现有技术使用于酸性液滴的过滤技术，主要是静电除尘法，但此种方法于半导体业界不具适用性，其原因主要是制程废气中，通常具有一定成份的有机溶剂，因此采用静电除尘方法时，具有燃烧的风险存在，而其它现有技术过滤技术的结构体积过大，或能耗过多，例如筛板塔、填充塔，使目前仍无适当的方式可以适用于半导体厂，因此产业界急需开发一种能高效率去除酸性物质的洗涤装置。

有鉴于上述现有技术的问题，本申请提供一种酸性制程废气的处理装置，其利用壳体内设置的二组洒水装置喷洒水雾，并对应喷洒经过的流体，以去除流体所包含的酸性物质。

实用新型内容

本申请所要解决的技术问题在于提供一种酸性制程废气的处理装置，其是于壳体内设置的第一洒水装置，第一洒水装置喷洒水雾至经过的流体，以去除废气所包含的酸性物质，并于壳体内设置的第二洒水装置，再以第二洒水装置喷洒水雾至已过滤一次的流体，进一步去除流体所包含的酸性物质，利用二组洒水装置提升酸性物质的过滤效率。

为达到上述所指称的各目的与功效，本申请提供一种酸性制程废气的处理装置，其包含一壳体、一第一洒水装置、一第二洒水装置、一循环组件以及一过滤装置，该壳体的二侧各别设有一入气口以及一出气口，该第一洒水装置，其设置于该壳体的一内侧，该第一洒水装置对应设置于该入气口的一侧，该第一洒水装置包含多个第一二流体喷嘴雾化器，该第二洒水装置设置于该壳体的内侧，该第二洒水装置对应设置于该第一洒水装置的另一侧，且该第二洒水装置设置于该出气口的一下方，该第二洒水装置包含多个第二二流体喷嘴雾化器，该循环组件包含一集水箱以及一水泵，该集水箱连通该壳体的一下方，该水泵的一侧连通该集水箱，该水泵的另一侧连通该第一洒水装置的该些个第一二流体喷嘴雾化器以及该第二洒水装置的该些个第二二流体喷嘴雾化器，其中，该些个第一二流体喷嘴雾化器以及该些个第二二流体喷嘴雾化器是二流体喷嘴雾化器，该过滤装置的一侧连通该出气口；利用此结构提供可处理酸性制程废气的装置。

本申请的一实施例中，其中一第一流体由该入气口进入至该壳体的该内侧，该第一流体再经过该第一洒水装置，该第一流体经过该第一洒水装置后，该第一流体经过该第二洒水装置，该第一流体经过该第二洒水装置后，该第一流体由该出气口排出。

本申请的一实施例中，其中该第一洒水装置喷洒一第二流体，该第二流体与经过的该第一流体混合接触，该第二流体再流至该集水箱，该水泵抽取该第二流体至该第一洒水装置；该第二洒水装置喷洒一第三流体，该第三流体与经过的该第一流体混合接触，该第三流体再流至该集水箱，该水泵抽取该第三流体至该第二洒水装置。

本申请的一实施例中，更包含一送风装置，其一侧连通该过滤装置。

本申请的一实施例中，其中该入气口的一外侧连通一入气管路，该入气管路向该入气口的方向由上往下呈一斜度设置。

本申请的一实施例中，其中该壳体的该内侧设置一隔板，该隔板设置于该第一洒水装置以及该第二洒水装置之间。

有关本申请的其它功效及实施例的详细内容，配合图式说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1是本申请的一实施例的结构示意图；

图2是本申请的一实施例的流体流动示意图；

图3是本申请的一实施例的入气结构示意图；

图4是本申请的一实施例的其他结构示意图；以及

图5是本申请的另一实施例的结构示意图。

符号说明

1 酸性制程废气的处理装置 10 壳体

12 入气口 14 出气口

16 入气管路 18 隔板

20 第一洒水装置 22 第一二流体喷嘴雾化器

30 第二洒水装置 32 第二二流体喷嘴雾化器

40 循环组件 42 集水箱

44 水泵 50 过滤装置

60 送风装置 A 第一流体

W1 第二流体 W2 第三流体

具体实施方式

在下文的实施方式中所述的位置关系，包括：上，下，左和右，若无特别指明，皆是以图式中组件绘示的方向为基准。

有鉴于上述现有技术的问题，本申请是于一壳体的二侧各别设有一入气口以及一出气口，一第一洒水装置设置于该壳体的一内侧，该第一洒水装置对应设置于该入气口的一侧，一第二洒水装置设置于该壳体的内侧，该第二洒水装置对应设置于该第一洒水装置以及该出气口之间，一循环组件包含的一集水箱以及一水泵，用于回收该第一洒水装置以及该第二洒水装置所喷洒的流体，利用二个洒水装置增加过滤废气中酸性物质的效率，解决现有技术过滤技术的结构体积过大或能耗过多的问题。

请参阅图1，其为本申请的一实施例的结构示意图，如图所示，本实施例是一种酸性制程废气的处理装置，其包含一壳体10、一第一洒水装置20、一第二洒水装置30、一循环组件40以及一过滤装置50；于本实施例中，该壳体10 是内侧具有空间的壳体。

再次参阅图1，如图所示，于本实施例中，该壳体10的二侧各别设有一入气口12以及一出气口14，该第一洒水装置20设置于该壳体的一内侧，该第一洒水装置20对应设置于该入气口12的一侧，该第二洒水装置30设置于该壳体10 的该内侧，该第二洒水装置30对应设置于该第一洒水装置20的另一侧，且该第二洒水装置30设置于该出气口14的一下方，使该第二洒水装置30位于该第一洒水装置20与该出气口14之间，该循环组件40包含一集水箱42以及一水泵44，该集水箱42连通该壳体10的一下方，用于收集该第一洒水装置20以及该第二洒水装置30所喷洒的流体，该水泵44的一侧连通该集水箱42，该水泵44的另一侧连通该第一洒水装置20以及该第二洒水装置30，该水泵44将该集水箱42内的流体输送至该第一洒水装置20以及该第二洒水装置30，该过滤装置50的一侧连通该壳体10的该出气口14，以过滤经过的流体。

接续上述，于本实施例中，该第一洒水装置20包含多个第一二流体喷嘴雾化器22，该水泵44的该另一侧连通该些个第一二流体喷嘴雾化器22，同理该第二洒水装置30包含多个第二二流体喷嘴雾化器32，该水泵44的该另一侧连通该些个第二二流体喷嘴雾化器32；于本实施例中，该水泵44是以管件连通该些个第一二流体喷嘴雾化器22，该水泵44是以另一管件连通该些个第二二流体喷嘴雾化器32。

接续上述，于本实施例中，该些个第一二流体喷嘴雾化器22以及该些个第二二流体喷嘴雾化器32是使用二流体喷嘴雾化器(Twin fluid nozzle)，二流体喷嘴雾化器是以空气为主导，使液体通过压缩空气高速流动，使气体与液体一起通过较精密的喷嘴产生10～100微米的雾化微粒，通过提升气液比，使雾滴再次碎化，降低水雾的平均粒径而增加比表面积，可有效地增加水雾与次微米尺寸酸性液滴碰撞结合的机会，使酸性液滴的颗粒变大；同时，酸性液滴的粒径亦随着相对高湿度的雾化环境而增加，并受重力沉降或形成溶液态，使酸性液滴易于捕集，不易被气流带走，并利用气液接触中和气体中的污染物并吸收至液体中，最终同时达到高效率去除气流所包含的酸性液滴。

请参阅图2，其为本申请的一实施例的流体流动示意图，如图所示，于本实施例中，该酸性制程废气的处理装置1接收一第一流体A，该第一流体A是包含酸性物质的废气，酸性物质可为次微米尺寸的硫酸液滴，该第一流体A由该入气口12进入至该壳体10的该内侧，该第一流体A再经过该第一洒水装置20，以去除该第一流体A所包含的酸性物质，该第一流体A经过该第一洒水装置20 后，该第一流体A经过该第二洒水装置30，再次去除剩余的该第一流体A所包含的酸性物质，该第一流体A经过该第二洒水装置30后，该第一流体A经过该过滤装置50，该过滤装置50设置过滤材料，进一步过滤该第一流体A所包含的微粒，该第一流体A经过该过滤装置50后，该第一流体A由该出气口14排出。

接续上述，于本实施例中，该第一洒水装置20是喷洒一第二流体W1，该第二洒水装置30是喷洒一第三流体W2，该第二流体W1以及该第三流体W2可为相同液体，例如水；该第一洒水装置20喷洒该第二流体W1，该第二流体W1与经过的该第一流体A混合接触，去除该第一流体A所包含的酸性物质后，该第二流体W1 流至该壳体10的底部，该第二流体W1再流至该集水箱42；该第二洒水装置30 喷洒该第三流体W2，该第三流体W2与经过的该第一流体A混合接触，去除剩余的该第一流体A所包含的酸性物质后，该第三流体W2流至该壳体10的底部，该第三流体W2再流至该集水箱42；于本实施例中，该第二流体W1与该第三流体W2 于该集水箱42内混合，该水泵44抽取该第二流体W1与该第三流体W2至该第一洒水装置20以及该第二洒水装置30，完成一次循环。

接续上述，于本实施例中，该水泵44是现有技术的抽水水泵，例如轴流泵、螺杆泵，但本实施例不在此限制。

请参阅图3，其为本申请的一实施例的入气结构示意图，如图所示，于本实施例中，该壳体10的该入气口12的一外侧更连通一入气管路16，该入气管路 16向该入气口12的方向由上往下呈一斜度设置，如图3所示，该入气管路16可将该第一流体A向下输送，使该第一流体A向下流动并接触该壳体10的底部及侧壁，该第一流体A再向上流动至该第二洒水装置30；本实施例的该入气管路16 可使该第一流体A呈一斜度向下流动，避免该第一流体A在未经过该第一洒水装置20以及该第二洒水装置30的情况下，直接从该壳体10的该排气口14排出，导致该第一流体A无过滤的状况。

接续上述，于本实施例中，该入气管路16的数量是多个入气管路16，同理该壳体10对应该些个入气管路16的数量设有多个入气口12。

请参阅图4，其为本申请的一实施例的其他结构示意图，如图所示，于本实施例中，该壳体10的该内侧设置一隔板18，该隔板18设置于该第一洒水装置 20以及该第二洒水装置30之间，当该第一流体A进入该壳体10时，该第一流体A 受该隔板18阻挡，强迫该第一流体A下向经过该第一洒水装置20，该第一流体A 经过该第一洒水装置20后，该第一流体A从该隔板18的一下方经过，并向上流动至该第二洒水装置30，该第一流体A经过该第二洒水装置30后由该排气口14 排出；于本实施例中，该隔板18是设置于该壳体10的内侧上方，该隔板18可进一步避免该第一流体A在未经过该第一洒水装置20以及该第二洒水装置30的情况下，直接从该壳体10的该排气口14排出，导致该第一流体A无过滤的状况。

接续上述，于本实施例中，该隔板18的实施例可与上述该入气管路16的实施例结合，避免该第一流体A在未经过该第一洒水装置20以及该第二洒水装置 30的情况下，直接从该壳体10的该排气口14排出。

请参阅图5，其为本申请的另一实施例的结构示意图，如图所示，于本实施例中，更包含一送风装置60，该送风装置60的一侧连通该过滤装置50的另一侧，该送风装置60用于抽取该壳体10内侧的该第一流体A，使该壳体10内侧保持循环，该送风装置60可使用鼓风机，但本实施例不在此限制。

综上所述，现有技术半导体制程中经常使用大量酸性溶液、气体来进行蚀刻或清洁，部分化学物质会因挥发而被排气系统收集。本申请提供一种酸性制程废气的处理装置，其设置二洒水装置，其使用二流体喷嘴雾化器，使气体与液体由喷嘴产生雾化微粒，降低水雾的平均粒径而增加比表面积，可有效地增加水雾与次微米尺寸酸性物质液滴或废气碰撞结合的机会，致使硫酸液滴颗粒变大，并受重力沉降或形成溶液态而易于捕集，降低装置的能源消耗，同时也通过二个洒水装置确保酸性物质液滴被有效捕捉，达到高效率去除酸性物质液滴的功效，使本申请处理高温硫酸制程废气(如硫酸液滴)的去除效率达到>95％，利用本申请解决现有技术过滤技术的结构体积过大，或能耗过多的问题。

以上所述的实施例及/或实施方式，仅是用以说明实现本申请技术的较佳实施例及/或实施方式，并非对本申请技术的实施方式作任何形式上的限制，任何本领域技术人员，在不脱离本申请内容所公开的技术手段的范围，当可作些许的更动或修饰为其它等效的实施例，但仍应视为与本申请实质相同的技术或实施例。

Claims (6)

1.一种酸性制程废气的处理装置，其特征在于，包含

一壳体，其二侧各别设有一入气口以及一出气口；

一第一洒水装置，其设置于该壳体的一内侧，该第一洒水装置对应设置于该入气口的一侧，该第一洒水装置包含多个第一二流体喷嘴雾化器；

一第二洒水装置，其设置于该壳体的内侧，该第二洒水装置对应设置于该第一洒水装置的另一侧，且该第二洒水装置设置于该出气口的一下方，该第二洒水装置包含多个第二二流体喷嘴雾化器；

一循环组件，其包含一集水箱以及一水泵，该集水箱连通该壳体的一下方，该水泵的一侧连通该集水箱，该水泵的另一侧连通该第一洒水装置的该些个第一二流体喷嘴雾化器以及该第二洒水装置的该些个第二二流体喷嘴雾化器；以及

一过滤装置，其一侧连通该出气口。

2.根据权利要求1所述的酸性制程废气的处理装置，其特征在于，一第一流体由该入气口进入至该壳体的该内侧，该第一流体再经过该第一洒水装置，该第一流体经过该第一洒水装置后，该第一流体经过该第二洒水装置，该第一流体经过该第二洒水装置后，该第一流体经过该过滤装置，该第一流体经过该过滤装置后，该第一流体由该出气口排出。

3.根据权利要求2所述的酸性制程废气的处理装置，其特征在于，该第一洒水装置喷洒一第二流体，该第二流体与经过的该第一流体混合接触，该第二流体再流至该集水箱，该水泵抽取该第二流体至该第一洒水装置；该第二洒水装置喷洒一第三流体，该第三流体与经过的该第一流体混合接触，该第三流体再流至该集水箱，该水泵抽取该第三流体至该第二洒水装置。

4.根据权利要求1所述的酸性制程废气的处理装置，其特征在于，更包含一送风装置，其一侧连通该过滤装置。

5.根据权利要求1所述的酸性制程废气的处理装置，其特征在于，该入气口的一外侧连通一入气管路，该入气管路向该入气口的方向由上往下呈一斜度设置。

6.根据权利要求1所述的酸性制程废气的处理装置，其特征在于，该壳体的该内侧设置一隔板，该隔板设置于该第一洒水装置以及该第二洒水装置之间。

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