JP6640215B2 - ヘッダサブアセンブリ及び関連する方法並びに光電子サブアセンブリ - Google Patents
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Description
Claims (19)
- ヘッダサブアセンブリであって、
多層基板であって、
ボトム層と、
頂部薄膜信号線を有するトップ層と、
前記トップ層と前記ボトム層との間にある、厚膜トレースを有する1つ以上の中間層であって、前記厚膜トレースは前記頂部薄膜信号線に電気的に結合されている、中間層と、
を含む多層基板と、
前記多層基板上に配置され、前記頂部薄膜信号線と電気的に結合されている光電子部品と、
を含んでおり、前記頂部薄膜信号線を有するトップ層は、前記光電子部品と前記厚膜トレースを有する中間層との間において薄膜信号線を有する唯一の層である、ヘッダサブアセンブリ。 - 前記頂部薄膜信号線は第1の寸法公差を有し、前記厚膜トレースは前記第1の寸法公差よりも大きな第2の寸法公差を有する、請求項1に記載のヘッダサブアセンブリ。
- 前記頂部薄膜信号線は、前記厚膜トレースの幅又は間隔よりも小さな幅又は間隔を有する、請求項1に記載のヘッダサブアセンブリ。
- 前記頂部薄膜信号線は、
0.05マイクロメートルの公差を有する約0.1マイクロメートルの高さを有するチタン(Ti)、
0.05マイクロメートルの公差を有する約0.2マイクロメートルの高さを有するパラジウム(Pd)、又は
2マイクロメートルの公差を有する約3マイクロメートルの高さを有する金(Au)、の1つ以上で形成されている、請求項2に記載のヘッダサブアセンブリ。 - 前記頂部薄膜信号線は、
0.01ミリメートルの公差を有する0.03ミリメートルの前記薄膜信号線間の間隔、又は
0.02ミリメートルの公差を有する0.03ミリメートルの幅、
の1つ以上を含む、請求項2に記載のヘッダサブアセンブリ。 - 前記厚膜トレースは、タングステン(W)、ニッケル(Ni)又は金(Au)で形成されており、
0〜6マイクロメートルの高さ、又は
0〜0.3ミリメートルの間隔、
の1つ以上を含む、請求項2に記載のヘッダサブアセンブリ。 - 前記光電子部品は、少なくとも1つの受信器、少なくとも1つの送信器、マルチチャンネル受信器アレイ及びマルチチャンネルレーザアレイ、ドライバ、モニタフォトダイオード、集積回路、インダクタ、コンデンサ、制御回路、レンズ、プリズム、ミラー又はフィルタの1つ以上を含む、請求項1に記載のヘッダサブアセンブリ。
- 前記頂部薄膜信号線の少なくとも1つがRF線である、請求項1に記載のヘッダサブアセンブリ。
- 前記ボトム層上にコンタクトパッドを更に含み、前記コンタクトパッドは、前記多層基板の少なくとも一部分内に延びるビアに電気的に結合されており、前記ビアは、前記頂部薄膜信号線に電気的に結合されている、請求項1に記載のヘッダサブアセンブリ。
- トップ材料層と、ボトム材料層と、中間材料層と、を含む材料層を形成するステップと、
前記材料層の少なくとも1つに、厚膜メタライゼーションによって厚膜トレースを形成するステップと、
前記トップ材料層に、薄膜メタライゼーションによって薄膜信号線を形成するステップと、
1つ以上の光電子部品を前記トップ材料層に結合するステップであって、前記光電子部品は、前記薄膜信号線と電子的に結合されており、光学信号を送信する又は受信するように構成されている、ステップと、
を含み、前記薄膜信号線を有するトップ材料層は、前記光電子部品と前記厚膜トレースを有する中間材料層との間において薄膜信号線を有する唯一の層である、方法。 - 前記薄膜信号線を形成するために前記トップ材料層に薄膜材料を堆積させるステップを更に含む、請求項10に記載の方法。
- 前記薄膜材料は、銀(Ag)、金(Au)、ニッケル(Ni)、チタン(Ti)、パラジウム(Pd)、タングステン(W)又はタングステン−モリブデン(WMo)の1つ以上を含む、請求項11に記載の方法。
- 前記薄膜材料を堆積させるステップは、めっき、化学溶液堆積、スピンコーティング、化学気相成長(「CVD」)、プラズマCVD、原子層堆積、熱蒸着又はスパッタリングの1つ以上を含む、請求項11に記載の方法。
- 薄膜材料を堆積させるステップは、
前記材料層の前記少なくとも1つを前駆体ガスに曝露するステップと、
前記材料層の前記少なくとも1つを前記前駆体ガスの温度を超える温度に加熱するステップと、
前記前駆体ガスが前記材料層の少なくとも1つに固相堆積物を形成後、硬化するステップと、
を含む、請求項11に記載の方法。 - 前記中間材料層の少なくとも1つ上に前記厚膜トレースを形成するステップを更に含む、請求項10に記載の方法。
- 薄膜メタライゼーション又は厚膜メタライゼーションによって前記ボトム材料層上にコンタクトパッドを形成するステップを更に含む、請求項10に記載の方法。
- 少なくとも1つの光電子部品を前記材料層の少なくとも1つに結合する又は形成するステップを更に含み、前記少なくとも1つの光電子部品は、受信器、送信器、マルチチャンネル受信器アレイ又はマルチチャンネルレーザアレイの1つ以上である、請求項10に記載の方法。
- 光電子サブアセンブリであって、
多層基板を含むヘッダサブアセンブリであって、前記多層基板が、
ボトム層と、
第1の寸法公差を有する頂部薄膜信号線を有するトップ層と、
前記トップ層と前記ボトム層との間にある、厚膜トレースを有する1つ以上の中間層であって、前記厚膜トレースは前記頂部薄膜信号線に電気的に結合されており、前記厚膜トレースは前記第1の寸法公差よりも大きな第2の寸法公差を有する1つ以上の中間層と、
前記多層基板上に配置され、前記頂部薄膜信号線と電気的に結合された光電子部品と、を含み、前記頂部薄膜信号線を有するトップ層は、前記光電子部品と前記厚膜トレースを有する中間層との間において薄膜信号線を有する唯一の層である、ヘッダサブアセンブリと、
ハウジング頂部とハウジング底部との間に延びるハウジングを含む光学部品であって、
少なくとも部分的に光透過性である窓と、
光学信号を集束することが可能なレンズであって、前記窓上に配置されているレンズと、
前記ハウジングによって画定されるハウジングキャビティと、を含む、光学部品と、を備え、
前記光学部品は、前記ヘッダサブアセンブリに結合されており、前記光電子部品の少なくとも1つを少なくとも部分的に前記ハウジングキャビティ内に気密的に封止する、光電子サブアセンブリ。 - 前記光電子部品は、少なくとも1つの受信器、少なくとも1つの送信器、マルチチャンネル受信器アレイ及びマルチチャンネルレーザアレイ、ドライバ、モニタフォトダイオード、集積回路、インダクタ、コンデンサ、制御回路、レンズ、プリズム、ミラー又はフィルタの1つ以上を含む、請求項18に記載の光電子サブアセンブリ。
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