JP6632910B2 - パワー半導体素子およびそれを用いるパワー半導体モジュール - Google Patents
パワー半導体素子およびそれを用いるパワー半導体モジュール Download PDFInfo
- Publication number
- JP6632910B2 JP6632910B2 JP2016033047A JP2016033047A JP6632910B2 JP 6632910 B2 JP6632910 B2 JP 6632910B2 JP 2016033047 A JP2016033047 A JP 2016033047A JP 2016033047 A JP2016033047 A JP 2016033047A JP 6632910 B2 JP6632910 B2 JP 6632910B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power semiconductor
- region
- junction
- electrode
- current
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 192
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 136
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 47
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims description 46
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 18
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 11
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 11
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 11
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 11
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 9
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 8
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 8
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 7
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 5
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 101150114218 allB gene Proteins 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000002040 relaxant effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/86—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable only by variation of the electric current supplied, or only the electric potential applied, to one or more of the electrodes carrying the current to be rectified, amplified, oscillated or switched
- H01L29/861—Diodes
- H01L29/872—Schottky diodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/0603—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions
- H01L29/0607—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions for preventing surface leakage or controlling electric field concentration
- H01L29/0611—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions for preventing surface leakage or controlling electric field concentration for increasing or controlling the breakdown voltage of reverse biased devices
- H01L29/0615—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions for preventing surface leakage or controlling electric field concentration for increasing or controlling the breakdown voltage of reverse biased devices by the doping profile or the shape or the arrangement of the PN junction, or with supplementary regions, e.g. junction termination extension [JTE]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/0603—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions
- H01L29/0607—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions for preventing surface leakage or controlling electric field concentration
- H01L29/0611—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions for preventing surface leakage or controlling electric field concentration for increasing or controlling the breakdown voltage of reverse biased devices
- H01L29/0615—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions for preventing surface leakage or controlling electric field concentration for increasing or controlling the breakdown voltage of reverse biased devices by the doping profile or the shape or the arrangement of the PN junction, or with supplementary regions, e.g. junction termination extension [JTE]
- H01L29/0619—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions for preventing surface leakage or controlling electric field concentration for increasing or controlling the breakdown voltage of reverse biased devices by the doping profile or the shape or the arrangement of the PN junction, or with supplementary regions, e.g. junction termination extension [JTE] with a supplementary region doped oppositely to or in rectifying contact with the semiconductor containing or contacting region, e.g. guard rings with PN or Schottky junction
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Description
第1の手段では、パワー半導体素子の並列数がmであり、パワー半導体素子単独のサージ耐量が定格電流I 0 のS PN 倍、かつPN接合部が導通を開始する時の電流が定格電流S SBD とし、S PN とS SBD の比をr(=S PN /S SBD )とすると、PN接合部が導通する場合の素子抵抗の下限値R min とPN接合部が導通を開始する時の素子抵抗の値Rとの間に、R min > R×(m−r)/{r×(m−1)}という関係がある。
第2の手段では、パワー半導体素子単独のサージ耐量が定格電流I 0 のS PN 倍、かつPN接合部が導通を開始する時の電流が定格電流S SBD とし、S PN とS SBD の比をr(=S PN /S SBD )とすると、PN接合部が導通する場合の素子抵抗の下限値R min とPN接合部が導通を開始する時の素子抵抗の値Rとの間に、R min > R/rという関係がある。
第3の手段では、第2半導体領域は、第1領域と、第1領域内に位置し、第1領域よりも不純物濃度の高い第2領域と、を有し、第2領域の面積が、第1半導体領域の面積の十分の一以下である。
第4の手段では、第2半導体領域は、第1領域と、記第1の領域内に位置し、第1領域よりも不純物濃度の高い複数の第2領域と、を有し、隣り合う第2領域の距離が5μm以上である。
ここで、抵抗RallAおよびRallBは並列接続抵抗であり、それぞれ式(2)および(3)によって表わされる。
RallB=1/{(R1/n)-1+(m−1)R1 -1}=R1/(n+m−1) … (3)
式(1)〜(3)から、PN接合の導通前後における、並列接続されるSiC−SBD全体の電圧VAおよびVBには式(4)で表わされる関係がある。
従って、SiC−SBD1のPN接合導通前後における電流値I1AおよびI1Bには式(5)で表わされる関係がある。
ここで、先行してPN接合が導通するSiC−SBD1のサージ耐量が、定格電流をI0としてSPN×I0とする。すなわち、SiC−SBD1に流れる電流が定格電流のSPN倍を超えると、SiC−SBD1は単独でサージ破壊する。また、PN接合が導通を開始する電流値が定格電流I0のSSBD倍であるとする。さらに、SPNとSSBDの比を、式(6)で示すように、rと定義する。
SiC−SBD1が単独でサージ破壊しないために、SiC−SBD1のPN接合導通後の電流値I1Bは式(7)で表わされる条件を満足する。
またI1Aは式(8)で表される。
式(5)〜(8)より、nの条件について式(9)が得られる。
式(9)において、並列数mを無限大にすると式(10)が得られる。
すなわち、いかなる並列数であっても、式(10)が満たされていれば、先行してPN接合が導通したSiC−SBD1の電流は単独サージ耐量の範囲内になるので、SiC−SBD1は破壊しない。また、並列数mに対して、式(9)が満たされていれば、SiC−SBD1は破壊しない。
2 p型不純物領域
3 カソード電極
4 PN接合
5 n+型SiC基板
6 アノード電極
9 ショットキー接合部
10 n−型SiCエピタキシャル層
11 n型不純物領域
12 ショットキー領域
13 周縁領域
14 チャネルストッパ
15 ショットキー電極
18 p+型半導体領域
21 配線電極
22 絶縁回路基板
23 IGBT
24 SiC−SBD
25 樹脂ケース
26 スイッチング素子
27 整流素子
50 エミッタセンス端子の回路パターン
51 ゲート端子の回路パターン
52 主端子コンタクト
53 ワイヤボンディング
Claims (9)
- 炭化珪素からなるショットキーバリアダイオードを備えるパワー半導体素子において、
前記パワー半導体素子は、順方向電流が流れるアクティブ領域において、
第1電極と、
前記第1電極との間にショットキー接合部を構成する第1導電型の第1半導体領域と、
前記第1電極に電気的に接続され、前記第1半導体領域との間にPN接合部を構成する第2導電型の第2半導体領域と、
前記第1半導体領域に電気的に接続される第2電極と、
を有し、
前記第2半導体領域の中に断続的に設けられ、前記第2半導体領域よりも不純物濃度が高く、前記第1電極に電気的に接続される、前記第2導電型の複数の第3半導体領域を有し、
定格電流の2倍より大きく3倍以下の範囲の前記順方向電流が流れると、前記PN接合部が導通を開始することを特徴とするパワー半導体素子。 - 請求項1に記載のパワー半導体素子において、
前記ショットキー接合部および前記第2半導体領域の平面パターンがラインアンドスペースパターンであることを特徴とするパワー半導体素子。 - 請求項2に記載のパワー半導体素子において、
前記第2半導体領域の前記平面パターンにおける線幅が1.5μm以上かつ10μm以下であることを特徴とするパワー半導体素子。 - 請求項2に記載のパワー半導体素子において、
前記第1半導体領域の不純物濃度が2×1015atoms/cm3以上かつ3×1016atoms/cm3以下であることを特徴とするパワー半導体素子。 - 請求項4に記載のパワー半導体素子において、
前記第2半導体領域の前記平面パターンにおける線幅が1.5μm以上かつ10μm以下であることを特徴とするパワー半導体素子。 - 炭化珪素からなるショットキーバリアダイオードを備える複数のパワー半導体素子を有し、前記複数のパワー半導体素子が並列接続されるパワー半導体モジュールにおいて、
前記パワー半導体素子は、順方向電流が流れるアクティブ領域において、
第1電極と、
前記第1電極との間にショットキー接合部を構成する第1導電型の第1半導体領域と、
前記第1電極に電気的に接続され、前記第1半導体領域との間にPN接合部を構成する第2導電型の第2半導体領域と、
前記第1半導体領域に電気的に接続される第2電極と、
を有し、
前記複数のパワー半導体素子の各々は、単独で前記PN接合部が導通する場合に流れる電流が、パワー半導体素子単独のサージ耐量よりも小さくなるように、前記PN接合部が導通する場合に流れる電流が、前記パワー半導体素子の素子抵抗によって制限され、
前記パワー半導体素子の並列数がmであり、
前記パワー半導体素子単独のサージ耐量が定格電流I 0 のS PN 倍、かつ前記PN接合部が導通を開始する時の電流が定格電流S SBD とし、S PN とS SBD の比をr(=S PN /S SBD )とすると、
前記PN接合部が導通する場合の前記素子抵抗の下限値R min と前記PN接合部が導通を開始する時の前記素子抵抗の値Rとの間に、R min > R×(m−r)/{r×(m−1)}という関係があることを特徴とするパワー半導体モジュール。 - 炭化珪素からなるショットキーバリアダイオードを備える複数のパワー半導体素子を有し、前記複数のパワー半導体素子が並列接続されるパワー半導体モジュールにおいて、
前記パワー半導体素子は、順方向電流が流れるアクティブ領域において、
第1電極と、
前記第1電極との間にショットキー接合部を構成する第1導電型の第1半導体領域と、
前記第1電極に電気的に接続され、前記第1半導体領域との間にPN接合部を構成する第2導電型の第2半導体領域と、
前記第1半導体領域に電気的に接続される第2電極と、
を有し、
前記複数のパワー半導体素子の各々は、単独で前記PN接合部が導通する場合に流れる電流が、パワー半導体素子単独のサージ耐量よりも小さくなるように、前記PN接合部が導通する場合に流れる電流が、前記パワー半導体素子の素子抵抗によって制限され、
前記パワー半導体素子単独のサージ耐量が定格電流I 0 のS PN 倍、かつ前記PN接合部が導通を開始する時の電流が定格電流S SBD とし、S PN とS SBD の比をr(=S PN /S SBD )とすると、
前記PN接合部が導通する場合の前記素子抵抗の下限値R min と前記PN接合部が導通を開始する時の前記素子抵抗の値Rとの間に、R min > R/rという関係があることを特徴とするパワー半導体モジュール。 - 炭化珪素からなるショットキーバリアダイオードを備える複数のパワー半導体素子を有し、前記複数のパワー半導体素子が並列接続されるパワー半導体モジュールにおいて、
前記パワー半導体素子は、順方向電流が流れるアクティブ領域において、
第1電極と、
前記第1電極との間にショットキー接合部を構成する第1導電型の第1半導体領域と、
前記第1電極に電気的に接続され、前記第1半導体領域との間にPN接合部を構成する第2導電型の第2半導体領域と、
前記第1半導体領域に電気的に接続される第2電極と、
を有し、
前記複数のパワー半導体素子の各々は、単独で前記PN接合部が導通する場合に流れる電流が、パワー半導体素子単独のサージ耐量よりも小さくなるように、前記PN接合部が導通する場合に流れる電流が、前記パワー半導体素子の素子抵抗によって制限され、
前記第2半導体領域は、
第1領域と、
前記第1領域内に位置し、前記第1領域よりも不純物濃度の高い第2領域と、
を有し、
前記第2領域の面積が、前記第1半導体領域の面積の十分の一以下であることを特徴とするパワー半導体モジュール。 - 炭化珪素からなるショットキーバリアダイオードを備える複数のパワー半導体素子を有し、前記複数のパワー半導体素子が並列接続されるパワー半導体モジュールにおいて、
前記パワー半導体素子は、順方向電流が流れるアクティブ領域において、
第1電極と、
前記第1電極との間にショットキー接合部を構成する第1導電型の第1半導体領域と、
前記第1電極に電気的に接続され、前記第1半導体領域との間にPN接合部を構成する第2導電型の第2半導体領域と、
前記第1半導体領域に電気的に接続される第2電極と、
を有し、
前記複数のパワー半導体素子の各々は、単独で前記PN接合部が導通する場合に流れる電流が、パワー半導体素子単独のサージ耐量よりも小さくなるように、前記PN接合部が導通する場合に流れる電流が、前記パワー半導体素子の素子抵抗によって制限され、
前記第2半導体領域は、
第1領域と、
前記第1領域内に位置し、前記第1領域よりも不純物濃度の高い複数の第2領域と、
を有し、
隣り合う前記第2領域の距離が5μm以上であることを特徴とするパワー半導体モジュール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016033047A JP6632910B2 (ja) | 2016-02-24 | 2016-02-24 | パワー半導体素子およびそれを用いるパワー半導体モジュール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016033047A JP6632910B2 (ja) | 2016-02-24 | 2016-02-24 | パワー半導体素子およびそれを用いるパワー半導体モジュール |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017152523A JP2017152523A (ja) | 2017-08-31 |
JP6632910B2 true JP6632910B2 (ja) | 2020-01-22 |
Family
ID=59742051
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016033047A Active JP6632910B2 (ja) | 2016-02-24 | 2016-02-24 | パワー半導体素子およびそれを用いるパワー半導体モジュール |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6632910B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4340033A1 (en) * | 2022-09-15 | 2024-03-20 | Nexperia B.V. | Mps diode having a doped region and method for manufacturing the same |
EP4340035A1 (en) * | 2022-09-15 | 2024-03-20 | Nexperia B.V. | Mps diode having non-uniformly spaced wells and method for manufacturing the same |
EP4340034A1 (en) * | 2022-09-15 | 2024-03-20 | Nexperia B.V. | Mps diode having a non-uniformly doped region and method for manufacturing the same |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019031168A1 (ja) | 2017-08-07 | 2019-02-14 | パナソニック株式会社 | 移動体および移動体の制御方法 |
JP2020013059A (ja) * | 2018-07-20 | 2020-01-23 | 株式会社東芝 | 装置の製造方法 |
CN109494993A (zh) * | 2018-08-29 | 2019-03-19 | 西安中车永电电气有限公司 | 一种高电压大电流混合型SiC-IGBT应用单元 |
CN111628007B (zh) * | 2020-04-29 | 2023-09-05 | 株洲中车时代半导体有限公司 | 功率二极管及其制造方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8232558B2 (en) * | 2008-05-21 | 2012-07-31 | Cree, Inc. | Junction barrier Schottky diodes with current surge capability |
JP5546759B2 (ja) * | 2008-08-05 | 2014-07-09 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP5926893B2 (ja) * | 2011-04-26 | 2016-05-25 | 株式会社 日立パワーデバイス | 炭化珪素ダイオード |
JP6011696B2 (ja) * | 2011-07-27 | 2016-10-19 | トヨタ自動車株式会社 | ダイオード、半導体装置およびmosfet |
JP6029397B2 (ja) * | 2012-09-14 | 2016-11-24 | 三菱電機株式会社 | 炭化珪素半導体装置 |
DE112012007249B4 (de) * | 2012-12-20 | 2021-02-04 | Denso Corporation | Halbleitervorrichtung |
WO2015008385A1 (ja) * | 2013-07-19 | 2015-01-22 | 株式会社日立パワーデバイス | パワーモジュール |
-
2016
- 2016-02-24 JP JP2016033047A patent/JP6632910B2/ja active Active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4340033A1 (en) * | 2022-09-15 | 2024-03-20 | Nexperia B.V. | Mps diode having a doped region and method for manufacturing the same |
EP4340035A1 (en) * | 2022-09-15 | 2024-03-20 | Nexperia B.V. | Mps diode having non-uniformly spaced wells and method for manufacturing the same |
EP4340034A1 (en) * | 2022-09-15 | 2024-03-20 | Nexperia B.V. | Mps diode having a non-uniformly doped region and method for manufacturing the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017152523A (ja) | 2017-08-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6632910B2 (ja) | パワー半導体素子およびそれを用いるパワー半導体モジュール | |
JP4980126B2 (ja) | フリーホイールダイオードとを有する回路装置 | |
US20160268181A1 (en) | Semiconductor device | |
JP6824135B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
US11876131B2 (en) | Semiconductor device | |
JP6271813B2 (ja) | パワー半導体素子およびそれを用いるパワー半導体モジュール | |
KR20160119691A (ko) | 반도체 장치 | |
JP2008521226A (ja) | 半導体デバイスおよび整流装置 | |
US10672761B2 (en) | Semiconductor device | |
US10497784B2 (en) | Semiconductor device | |
EP2256813A2 (en) | Electric power conversion device | |
US10056501B2 (en) | Power diode with improved reverse-recovery immunity | |
US20210384331A1 (en) | Semiconductor device | |
WO2020202430A1 (ja) | 半導体装置 | |
US11195922B2 (en) | Silicon carbide semiconductor device | |
JP2012156548A (ja) | フリーホイールダイオードを有する回路装置 | |
JP2012248736A (ja) | 半導体装置 | |
JP2019057573A (ja) | 半導体装置 | |
JP2014090179A (ja) | フリーホイールダイオードを有する回路装置、回路モジュールおよび電力変換装置 | |
US20220109061A1 (en) | Semiconductor device | |
JP3686285B2 (ja) | ショットキーダイオードおよびそれを用いた電力変換装置 | |
JP2017157673A (ja) | 半導体装置 | |
JP2015018950A (ja) | 半導体装置 | |
US3746948A (en) | Semiconductor structure incorporating tunnel diodes located in the path of the main current flow | |
JP2018181917A (ja) | 炭化珪素半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180606 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190325 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190423 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190612 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191126 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191211 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6632910 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |