JP6628366B2 - 有機ケイ素化合物、硬化性シリコーン組成物、および半導体装置 - Google Patents

有機ケイ素化合物、硬化性シリコーン組成物、および半導体装置 Download PDF

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Description

本発明は、新規な有機ケイ素化合物、これを接着促進剤として含有する硬化性シリコーン組成物、およびこの組成物を用いて作製した半導体装置に関する。
ヒドロシリル化反応で硬化する硬化性シリコーン組成物は、一般に、接着性が乏しいため、接着性が要求される場合には、接着促進剤を含有しなければならない。例えば、特許文献1には、環状シロキサンまたは鎖状シロキサン中のケイ素原子にアルケニル基、およびアルコキシ基もしくはグリシドキシプロピル基を有する接着促進剤を含有する硬化性シリコーン組成物が開示されている。
しかし、このような硬化性シリコーン組成物といえども、硬化途上で接触している金属や有機樹脂、特に極性の強い基を結合する熱可塑性樹脂に対して、初期接着性や接着耐久性が十分でないという課題がある。
特開2010−229402号公報
本発明の目的は、新規な有機ケイ素化合物、これを接着促進剤として含有し、金属や有機樹脂等の基材に対する初期接着性および接着耐久性が優れ、光透過性の高い硬化物を形成する硬化性シリコーン組成物、およびこの組成物を用いてなる、信頼性が優れる半導体装置を提供することにある。
本発明の有機ケイ素化合物は、一般式:
Figure 0006628366
(式中、Rは、同じかまたは異なる、脂肪族不飽和結合を有さない炭素数1〜12の一価炭化水素基;Rは炭素数2〜12のアルケニル基;Rは炭素数2〜12のアルキレン基;Xはアルコキシシリルアルキル基、グリシドキシアルキル基、エポキシシクロアルキルアルキル基、エポキシアルキル基、および無水カルボン酸残基含有アルキル基からなる群より選択される少なくとも一種の基;mは0以上の整数、nは1以上の整数、pは1以上の整数、ただし、mとnとpの合計は3〜50の整数;zは1〜50の整数である。)
で表される。
また、本発明の他の有機ケイ素化合物は、一般式:
Figure 0006628366
(式中、Rは、同じかまたは異なる、脂肪族不飽和結合を有さない炭素数1〜12の一価炭化水素基;Rは炭素数2〜12のアルケニル基;Rは炭素数2〜12のアルキレン基;Xはアルコキシシリルアルキル基、グリシドキシアルキル基、エポキシシクロアルキルアルキル基、エポキシアルキル基、および無水カルボン酸残基含有アルキル基からなる群より選択される少なくとも一種の基;aは1〜3の整数、bは1〜3の整数、ただし、aとbの合計は2〜4の整数;zは1〜50の整数である。)
で表される。
本発明の硬化性シリコーン組成物は、上記の有機ケイ素化合物を接着促進剤として含有することを特徴とし、好ましくは、ヒドロシリル化反応で硬化するものであり、さらに好ましくは、
(A)一分子中に少なくとも2個のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン 100質量部、
(B)一分子中に少なくとも2個のケイ素原子結合水素原子を有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン{(A)成分と(C)成分に含まれるアルケニル基の合計1モルに対して、0.1〜10.0モルのケイ素原子結合水素原子を提供する量}、
(C)上記の有機ケイ素化合物からなる接着促進剤 0.01〜50質量部、および
(D)ヒドロシリル化反応用触媒(本組成物の硬化を促進するに十分な量)
から少なくともなるものである。
本発明の半導体装置は、半導体素子が上記の硬化性シリコーン組成物の硬化物により封止されていることを特徴とし、好ましくは、この半導体素子が発光素子である。
本発明の有機ケイ素化合物は新規な化合物で、硬化性シリコーン組成物に優れた接着性を付与できるという特徴がある。また、本発明の硬化性シリコーン組成物は、硬化物の屈折率、光透過率及び基材に対する密着性が高いという特徴がある。さらに、本発明の半導体装置は、半導体素子が上記組成物の硬化物により被覆されているので、信頼性が優れるという特徴がある。
本発明の半導体装置の一例であるLEDの断面図である。
はじめに、本発明の有機ケイ素化合物について詳細に説明する。
本発明の有機ケイ素化合物は、一般式:
Figure 0006628366
で表される。
式中、Rは、同じかまたは異なる、脂肪族不飽和結合を有さない炭素数1〜12の一価炭化水素基である。具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基等のアルキル基;フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基等のアリール基;ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基;3−クロロプロピル基、3,3,3−トリフロロプロピル基等のハロゲン化アルキル基が例示され、好ましくは、メチル基、フェニル基である。
式中、Rは炭素数2〜12のアルケニル基である。具体的には、ビニル基、アリル基、ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、ヘプテニル基、オクテニル基、ノネニル基、デセニル基、ウンデセニル基、ドデセニル基が例示され、好ましくは、ビニル基である。
式中、Rは炭素数2〜12のアルキレン基である。具体的には、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、ペンチレン基、ヘキシレン基、ヘプチレン基、オクチレン基、ノニレン基が例示され、好ましくは、エチレン基、プロピレン基である。
式中、Xはアルコキシシリルアルキル基、グリシドキシアルキル基、エポキシシクロアルキルアルキル基、エポキシアルキル基、および無水カルボン酸残基含有アルキル基からなる群より選択される少なくとも一種の基である。アルコキシシリルアルキル基としては、トリメトキシシリルエチル基、メチルジメトキシシリルエチル基、トリエトキシシリルエチル基、トリイソプロポキシシリルエチル基、トリメトキシシリルプロピル基、トリメトキシシリルブチル基が例示される。グリシドキシアルキル基としては、2−グリシドキシエチル基、3−グリシドキシプロピル基、4−グリシドキシブチル基が例示される。エポキシシクロアルキルアルキルとしては、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)−エチル基、3−(3,4−エポキシシクロヘキシル)−プロピル基が例示される。エポキシアルキル基としては、3,4−エポキシブチル基、7,8−エポキシオクチル基が例示される。無水カルボン酸残基含有アルキル基としては、一般式:
Figure 0006628366
で表される基、一般式:
Figure 0006628366
で表される基、一般式:
Figure 0006628366
で表される基、一般式:
Figure 0006628366
で表される基、または一般式:
Figure 0006628366
で表される基が例示される。なお、上式中、Rは炭素数2〜12のアルキレンである。具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基等のアルキル基;フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基等のアリール基;ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基が例示される。また、上式中、Rは水素原子または炭素数1〜12のアルキル基である。Rのアルキル基としては、前記Rと同様の基が例示される。
式中、mは0以上の整数、nは1以上の整数、pは1以上の整数、ただし、mとnとpの合計は3〜50の整数である。また、式中、zは1〜50の整数であり、好ましくは、1〜5の整数である。特に、mが0、nが2以上の整数、pが2以上の整数、zが1であるオルガノシロキサンが好ましい。
このような有機ケイ素化合物としては、次のような化合物が例示される。
Figure 0006628366
Figure 0006628366
Figure 0006628366
また、本発明の他の有機ケイ素化合物は、一般式:
Figure 0006628366
で表される。
式中、Rは、同じかまたは異なる、脂肪族不飽和結合を有さない炭素数1〜12の一価炭化水素基であり、前記と同様の基が例示される。式中、Rは炭素数2〜12のアルケニル基であり、前記と同様の基が例示される。式中、Rは炭素数2〜12のアルキレン基であり、前記と同様の基が例示される。式中、Xはアルコキシシリルアルキル基、グリシドキシアルキル基、エポキシシクロアルキルアルキル基、エポキシアルキル基、および無水カルボン酸残基含有アルキル基からなる群より選択される少なくとも一種の基であり、前記と同様の基が例示される。
式中、aは1〜3の整数、bは1〜3の整数、ただし、aとbの合計は2〜4の整数である。また、式中、zは1〜50の整数であり、好ましくは、1〜5の整数である。特に、aが1〜2の整数、bが2〜3の整数、zが1であるオルガノシロキサンが好ましい。
このような有機ケイ素化合物としては、次のような化合物が例示される。
Figure 0006628366
Figure 0006628366
Figure 0006628366
このような有機ケイ素化合物を調製する方法としては、例えば、一般式:
Figure 0006628366
で表される環状シロキサンまたは一般式:
Figure 0006628366
で表される鎖状シロキサンと、一般式:
Figure 0006628366
で表されるケイ素原子結合水素原子含有シロキサンをヒドロシリル化反応用触媒の存在下で部分付加反応することにより調製する方法が挙げられる。
上記の環状シロキサンにおいて、式中、R、R、およびmは前記のとおりである。また、式中、n’は2以上の整数である。ただし、mとn’の合計は3〜50の整数である。このような環状シロキサンとしては、環状メチルビニルシロキサン、環状メチルアリルシロキサン、環状ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン共重合体が例示される。
また、上記の鎖状シロキサンにおいて、式中、RおよびRは前記のとおりである。また、式中、b’は2〜4の整数である。このような鎖状シロキサンとしては、テトラキス(ジメチルビニルシロキシ)シラン、メチルトリス(ジメチルビニルシロキシ)シランが例示される。
また、上記のケイ素原子結合水素原子含有シロキサンにおいて、式中、R、X、およびzは前記のとおりである。このようなケイ素原子結合水素原子含有シロキサンとしては、次の化合物が例示される。
Figure 0006628366
Figure 0006628366
Figure 0006628366
上記の調製方法において用いるヒドロシリル化反応用触媒としては、白金系触媒、ロジウム系触媒、パラジウム系触媒が例示され、特に、白金系触媒が好ましい。この白金系触媒としては、白金微粉末、白金黒、白金担持シリカ微粉末、白金担持活性炭、塩化白金酸、塩化白金酸のアルコール溶液、白金のオレフィン錯体、白金のアルケニルシロキサン錯体等の白金系化合物が例示される。
上記の調製方法において、有機溶剤を使用することができる。使用できる有機溶剤としては、エーテル類、ケトン類、アセテート類、芳香族あるいは脂肪族炭化水素、γ−ブチロラクトン、およびこれらの2種以上の混合物が例示される。好ましい有機溶剤としては、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノ−t−ブチルエーテル、γ−ブチロラクトン、トルエン、キシレンが例示される。
上記の調製方法では、環状シロキサンまたは鎖状シロキサン中のアルケニル基1モルに対して、ケイ素原子結合水素原子含有シロキサン中のケイ素原子結合水素原子が1モル未満となる量、具体的には、0.25〜0.75モルの範囲内となる量で反応させることが好ましい。
このような有機ケイ素化合物はシロキサン結合とシルアルキレン結合を有する新規な化合物であり、硬化性シリコーン組成物の接着促進剤、無機粉末の表面処理剤等として利用することができる。
次に、本発明の硬化性シリコーン組成物を詳細に説明する。
本発明の硬化性シリコーン組成物は、上記の有機ケイ素化合物を接着促進剤として配合することを特徴とする。このような硬化性シリコーン組成物の硬化機構は限定されず、ヒドロシリル化反応、縮合反応、ラジカル反応が例示され、好ましくは、ヒドロシリル化反応である。このヒドロシリル化反応で硬化する硬化性シリコーン組成物として、具体的には、
(A)一分子中に少なくとも2個のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン 100質量部、
(B)一分子中に少なくとも2個のケイ素原子結合水素原子を有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン{(A)成分と(C)成分に含まれるアルケニル基の合計1モルに対して、0.1〜10.0モルのケイ素原子結合水素原子を提供する量}、
(C)上記の有機ケイ素化合物からなる接着促進剤 0.01〜50質量部、および
(D)ヒドロシリル化反応用触媒
から少なくともなるものが好ましい。
(A)成分は本組成物の主剤であり、一分子中に少なくとも2個のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサンである。このアルケニル基としては、ビニル基、アリル基、ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、ヘプテニル基、オクテニル基、ノネニル基、デセニル基、ウンデセニル基、ドデセニル基等の炭素数が2〜12個のアルケニル基が例示され、好ましくは、ビニル基である。また、(A)成分中のアルケニル基以外のケイ素原子に結合する基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基等の炭素数が1〜12個のアルキル基;フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基等の炭素数が6〜20個のアリール基;ベンジル基、フェネチル基、フェニルプロピル基等の炭素数が7〜20個のアラルキル基;これらの基の水素原子の一部または全部をフッ素原子、塩素原子、臭素原子等のハロゲン原子で置換した基が例示される。なお、(A)成分中のケイ素原子には、本発明の目的を損なわない範囲で、少量の水酸基やメトキシ基、エトキシ基等のアルコキシ基を有してもよい。
(A)成分の分子構造は特に限定されず、直鎖状、一部分岐を有する直鎖状、分岐鎖状、環状、および三次元網状構造が例示される。(A)成分は、これらの分子構造を有する1種のオルガノポリシロキサン、あるいはこれらの分子構造を有する2種以上のオルガノポリシロキサン混合物であってもよい。
(A)成分の25℃における性状は特に限定されず、例えば、液状または固体状である。(A)成分が25℃で液状である場合、その25℃の粘度は1〜1,000,000mPa・sの範囲内であることが好ましく、特に、10〜1,000,000mPa・sの範囲内であることが好ましい。なお、この粘度は、例えば、JIS K7117−1に準拠したB型粘度計を用いた測定により求めることができる。
このような(A)成分としては、分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖ジメチルポリシロキサン、分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン共重合体、分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルフェニルシロキサン共重合体、分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖メチルフェニルポリシロキサン、分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン共重合体、分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルビニルシロキサン・メチルフェニルシロキサン共重合体、(CH)SiO1/2単位と(CH)(CH=CH)SiO1/2単位とSiO4/2単位とからなる共重合体、(CH)(CH=CH)SiO1/2単位とSiO4/2単位とからなる共重合体の他、次のようなオルガノポリシロキサンが例示される。なお、式中、Me、Vi、Phはそれぞれメチル基、ビニル基、フェニル基を示し、x、x’はそれぞれ1〜100の整数である。
ViMeSiO(MeSiO)SiMeVi
ViPhMeSiO(MeSiO)SiMePhVi
ViPhSiO(MeSiO)SiPhVi
ViMeSiO(MeSiO)(PhSiO)x'SiMeVi
ViPhMeSiO(MeSiO)(PhSiO)x'SiPhMeVi
ViPhSiO(MeSiO)(PhSiO)x'SiPhVi
ViMeSiO(MePhSiO)SiMeVi
MePhViSiO(MePhSiO)SiMePhVi
PhViSiO(MePhSiO)SiPhVi
ViMeSiO(PhSiO)(PhMeSiO)x'SiMeVi
ViPhMeSiO(PhSiO)(PhMeSiO)x'SiPhMeVi
ViPhSiO(PhSiO)(PhMeSiO)x'SiPhVi
(B)成分は本組成物の架橋剤であり、一分子中に少なくとも2個のケイ素原子結合水素原子を有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンである。(B)成分の分子構造としては、例えば、直鎖状、一部分岐を有する直鎖状、分岐鎖状、環状、樹枝状が挙げられ、好ましくは、直鎖状、一部分岐を有する直鎖状、樹枝状である。(B)成分中のケイ素原子結合水素原子の結合位置は限定されず、例えば、分子鎖の末端および/または側鎖が挙げられる。また、(B)成分中の水素原子以外のケイ素原子結合の基としては、メチル基、エチル基、プロピル基等のアルキル基;フェニル基、トリル基、キシリル基等のアリール基;ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基;3−クロロプロピル基、3,3,3−トリフロロプロピル基等のハロゲン化アルキル基が例示され、好ましくは、メチル基、フェニル基である。また、(B)成分の粘度は限定されないが、25℃における粘度が1〜10,000mPa・sの範囲内であることが好ましく、特に、1〜1,000mPa・sの範囲内であることが好ましい。
このような(B)成分のオルガノハイドロジェンポリシロキサンとしては、1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン、1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、トリス(ジメチルハイドロジェンシロキシ)メチルシラン、トリス(ジメチルハイドロジェンシロキシ)フェニルシラン、1−グリシドキシプロピル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、1,5−グリシドキシプロピル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、1−グリシドキシプロピル−5−トリメトキシシリルエチル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖メチルハイドロジェンポリシロキサン、分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルハイドロジェンシロキサン共重合体、分子鎖両末端ジメチルハイドロジェンシロキシ基封鎖ジメチルポリシロキサン、分子鎖両末端ジメチルハイドロジェンシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルハイドロジェンシロキサン共重合体、分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖メチルハイドロジェンシロキサン・ジフェニルシロキサン共重合体、分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖メチルハイドロジェンシロキサン・ジフェニルシロキサン・ジメチルシロキサン共重合体、トリメトキシシランの加水分解縮合物、(CH)HSiO1/2単位とSiO4/2単位とからなる共重合体、および(CH)HSiO1/2単位とSiO4/2単位と(C)SiO3/2単位とからなる共重合体の他、次のようなオルガノハイドロジェンポリシロキサンが例示される。なお、式中、Me、Vi、Ph、Naphはそれぞれメチル基、ビニル基、フェニル基、ナフチル基を示し、y、y’はそれぞれ1〜100の整数であり、c、d、e、fは正の数であり、ただし、分子中のc、d、e、fの合計は1である。
HMeSiO(PhSiO)ySiMe
HMePhSiO(PhSiO)ySiMePhH
HMeNaphSiO(PhSiO)ySiMeNaphH
HMePhSiO(PhSiO)y(MePhSiO)y'SiMePhH
HMePhSiO(PhSiO)y(MeSiO)y'SiMePhH
(HMeSiO1/2)(PhSiO3/2)
(HMePhSiO1/2)(PhSiO3/2)
(HMePhSiO1/2)(NaphSiO3/2)
(HMeSiO1/2)(NaphSiO3/2)
(HMePhSiO1/2)(HMeSiO1/2)(PhSiO3/2)
(HMeSiO1/2)(PhSiO2/2)(PhSiO3/2)
(HMePhSiO1/2)(PhSiO2/2)(PhSiO3/2)
(HMeSiO1/2)(PhSiO2/2)(NaphSiO3/2)
(HMePhSiO1/2)(PhSiO2/2)(NaphSiO3/2)
(HMePhSiO1/2)(HMeSiO1/2)(NaphSiO3/2)
(HMePhSiO1/2)(HMeSiO1/2)(PhSiO2/2)(NaphSiO3/2)
(HMePhSiO1/2)(HMeSiO1/2)(PhSiO2/2)(PhSiO3/2)
(B)成分の含有量は、(A)成分と(C)成分に含まれるアルケニル基の合計1モルに対して、本成分中のケイ素原子結合水素原子が0.1〜10.0モルとなる量であり、好ましくは、0.5〜5モルとなる量である。これは、(B)成分の含有量が上記範囲の上限以下であると、得られる硬化物の機械的特性が良好であり、一方、上記範囲の下限以上であると、得られる組成物の硬化性が良好であるからである。
(C)成分は本組成物に接着性を付与するための接着促進剤である。(C)成分については前記の通りである。(C)成分の含有量は、(A)成分100質量部に対して、0.01〜50質量部の範囲内であり、好ましくは、0.1〜25質量部の範囲内である。これは、(C)成分の含有量が上記範囲の下限以上であると、得られる組成物に十分な接着性を付与できるからであり、一方、上記範囲の下限以下であると、得られる組成物の硬化性を阻害しにくくなり、また、得られる硬化物の着色等を抑制することができるからである。
(D)成分は、本組成物の硬化を促進するためのヒドロシリル化反応用触媒であり、白金系触媒、ロジウム系触媒、パラジウム系触媒が例示される。特に、本組成物の硬化を著しく促進できることから、(D)成分は白金系触媒であることが好ましい。この白金系触媒としては、白金微粉末、塩化白金酸、塩化白金酸のアルコール溶液、白金−アルケニルシロキサン錯体、白金−オレフィン錯体、白金−カルボニル錯体が例示され、好ましくは、白金−アルケニルシロキサン錯体である。
(D)成分の含有量は、本組成物の硬化を促進するために有効な量である。具体的には、(D)成分の含有量は、本組成物の硬化反応を十分に促進できることから、本組成物に対して、質量単位で、(D)成分中の触媒金属が0.01〜500ppmの範囲内となる量であることが好ましく、さらには、0.01〜100ppmの範囲内となる量であることが好ましく、特には、0.01〜50ppmの範囲内となる量であることが好ましい。
また、本組成物には、その他任意の成分として、2−メチル−3−ブチン−2−オール、3,5−ジメチル−1−ヘキシン−3−オール、2−フェニル−3−ブチン−2−オール等のアルキンアルコール;3−メチル−3−ペンテン−1−イン、3,5−ジメチル−3−ヘキセン−1−イン等のエンイン化合物;1,3,5,7−テトラメチル−1,3,5,7−テトラビニルシクロテトラシロキサン、1,3,5,7−テトラメチル−1,3,5,7−テトラヘキセニルシクロテトラシロキサン、ベンゾトリアゾール等の反応抑制剤を含有してもよい。本組成物において、この反応抑制剤の含有量は限定されないが、上記(A)成分〜(C)成分の合計100質量部に対して、0.0001〜5質量部の範囲内であることが好ましい。
さらに、本組成物には、硬化途上で接触している基材に対する硬化物の接着性を向上させるため、(C)成分以外の接着促進剤を含有してもよい。この接着促進剤としては、ケイ素原子に結合したアルコキシ基を一分子中に少なくとも1個有する有機ケイ素化合物が好ましい。このアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、メトキシエトキシ基が例示され、特に、メトキシ基が好ましい。また、この有機ケイ素化合物のケイ素原子に結合するアルコキシ基以外の基としては、アルキル基、アルケニル基、アリール基、アラルキル基、ハロゲン化アルキル基等の置換もしくは非置換の一価炭化水素基;3−グリシドキシプロピル基、4−グリシドキシブチル基等のグリシドキシアルキル基;2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチル基、3−(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロピル基等のエポキシシクロヘキシルアルキル基;4−オキシラニルブチル基、8−オキシラニルオクチル基等のオキシラニルアルキル基等のエポキシ基含有一価有機基;3−メタクリロキシプロピル基等のアクリル基含有一価有機基;水素原子が例示される。この有機ケイ素化合物はケイ素原子結合アルケニル基またはケイ素原子結合水素原子を有することが好ましい。また、各種の基材に対して良好な接着性を付与できることから、この有機ケイ素化合物は一分子中に少なくとも1個のエポキシ基含有一価有機基を有するものであることが好ましい。このような有機ケイ素化合物としては、オルガノシラン化合物、オルガノシロキサンオリゴマー、アルキルシリケートが例示される。このオルガノシロキサンオリゴマーあるいはアルキルシリケートの分子構造としては、直鎖状、一部分枝を有する直鎖状、分枝鎖状、環状、網状が例示され、特に、直鎖状、分枝鎖状、網状であることが好ましい。このような有機ケイ素化合物としては、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン等のシラン化合物;一分子中にケイ素原子結合アルケニル基もしくはケイ素原子結合水素原子、およびケイ素原子結合アルコキシ基をそれぞれ少なくとも1個ずつ有するシロキサン化合物、ケイ素原子結合アルコキシ基を少なくとも1個有するシラン化合物またはシロキサン化合物と一分子中にケイ素原子結合ヒドロキシ基とケイ素原子結合アルケニル基をそれぞれ少なくとも1個ずつ有するシロキサン化合物との混合物、メチルポリシリケート、エチルポリシリケート、エポキシ基含有エチルポリシリケートが例示される。
さらに、本組成物には、本組成の硬化物で封止もしくは被覆してなる発光素子から放出される光の波長を変換して、所望の波長の光を得るための蛍光体を配合することができる。このような蛍光体としては、発光ダイオード(LED)に広く利用されている、酸化物系蛍光体、酸窒化物系蛍光体、窒化物系蛍光体、硫化物系蛍光体、酸硫化物系蛍光体等からなる黄色、赤色、緑色、青色発光蛍光体が例示される。酸化物系蛍光体としては、セリウムイオンを包含するイットリウム、アルミニウム、ガーネット系のYAG系緑色〜黄色発光蛍光体、セリウムイオンを包含するテルビウム、アルミニウム、ガーネット系のTAG系黄色発光蛍光体、および、セリウムやユーロピウムイオンを包含するシリケート系緑色〜黄色発光蛍光体が例示される。酸窒化物蛍光体としては、ユーロピウムイオンを包含するケイ素、アルミニウム、酸素、窒素系のサイアロン系赤色〜緑色発光蛍光体が例示される。窒化物系蛍光体としては、ユーロピウムイオンを包含するカルシウム、ストロンチウム、アルミニウム、ケイ素、窒素系のカズン系赤色発光蛍光体が例示される。硫化物系としては、銅イオンやアルミニウムイオンを包含するZnS系緑色発色蛍光体が例示される。酸硫化物系蛍光体としては、ユーロピウムイオンを包含するYS系赤色発光蛍光体が例示される。これらの蛍光体は、1種もしくは2種以上の混合物を用いてもよい。本組成物において、蛍光体の含有量は、(A)成分と(B)成分の合計量に対して、0.1〜70質量%の範囲内であり、好ましくは、1〜20質量%の範囲内である。
また、本組成物には、本発明の目的を損なわない限り、その他任意の成分として、シリカ、ガラス、アルミナ、酸化亜鉛等の無機質充填剤;ポリメタクリレート樹脂等の有機樹脂微粉末;耐熱剤、染料、顔料、難燃性付与剤、溶剤等を含有してもよい。
任意成分として添加する成分のうち、空気中の硫黄含有ガスによる、光半導体装置における銀電極や基板の銀メッキの変色を十分に抑制するためにAl、Ag、Cu、Fe、Sb、Si、Sn、Ti、Zr、および希土類元素からなる群より選ばれる少なくとも1種の元素の酸化物を表面被覆した酸化亜鉛微粉末、アルケニル基を有さない有機ケイ素化合物で表面処理した酸化亜鉛微粉末、および炭酸亜鉛の水和物微粉末からなる群より選ばれる、平均粒子径が0.1nm〜5μmである少なくとも一種の微粉末を添加することもできる。
酸化物を表面被覆した酸化亜鉛微粉末において、希土類元素としては、イットリウム、セリウム、ユーロピウムが例示される。酸化亜鉛微粉末の表面の酸化物としては、Al、AgO、AgO、Ag、CuO、CuO、FeO、Fe、Fe、Sb、SiO、SnO、Ti、TiO、Ti、ZrO、Y、CeO、Eu、およびこれらの酸化物の2種以上の混合物が例示される。
有機ケイ素化合物で表面処理した酸化亜鉛微粉末において、この有機ケイ素化合物はアルケニル基を有さないものであり、オルガノシラン、オルガノシラザン、ポリメチルシロキサン、オルガノハイドロジェンポリシロキサン、およびオルガノシロキサンオリゴマーが例示され、具体的には、トリメチルクロロシラン、ジメチルクロロシラン、メチルトリクロロシラン等のオルガノクロロシラン;メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、n−プロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン等のオルガノトリアルコキシシラン;ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン等のジオルガノジアルコキシシラン;トリメチルメトキシシラン、トリメチルエトキシシラン等のトリオルガノアルコキシシラン;これらのオルガノアルコキシシランの部分縮合物;ヘキサメチルジシラザン等のオルガノシラザン;ポリメチルシロキサン、オルガノハイドロジェンポリシロキサン、シラノール基もしくはアルコキシ基を有するオルガノシロキサンオリゴマー、RSiO3/2単位(式中、Rは、メチル基、エチル基、プロピル基等のアルキル基;フェニル基等のアリール基で例示されるアルケニル基を除く一価炭化水素基である。)やSiO4/2単位からなり、シラノール基またはアルコキシ基を有するレジン状オルガノポリシロキサンが例示される。
また、本組成物には、空気中の硫黄含有ガスによる銀電極や基板の銀メッキの変色をさらに抑制することができることから、任意の成分として、トリアゾール系化合物を含有してもよい。このような成分としては、1H−1,2,3−トリアゾール、2H−1,2,3−トリアゾール、1H−1,2,4−トリアゾール、4H−1,2,4−トリアゾール、2−(2'−ヒドロキシ−5'−メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、1H−1,2,3−トリアゾール、2H−1,2,3−トリアゾール、1H−1,2,4−トリアゾール、4H−1,2,4−トリアゾール、ベンゾトリアゾール、トリルトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、1H−ベンゾトリアゾール−5−カルボン酸メチル、3−アミノ−1,2,4−トリアゾール、4−アミノ−1,2,4−トリアゾール、5−アミノ−1,2,4−トリアゾール、3−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、クロロベンゾトリアゾール、ニトロベンゾトリアゾール、アミノベンゾトリアゾール、シクロヘキサノ[1,2−d]トリアゾール、4,5,6,7−テトラヒドロキシトリルトリアゾール、1−ヒドロキシベンゾトリアゾール、エチルベンゾトリアゾール、ナフトトリアゾール、1−N,N−ビス(2−エチルヘキシル)−[(1,2,4−トリアゾール−1−イル)メチル]アミン、1−[N,N−ビス(2−エチルヘキシル)アミノメチル]ベンゾトリアゾール、1−[N,N−ビス(2−エチルヘキシル)アミノメチル]トリルトリアゾール、1−[N,N−ビス(2−エチルヘキシル)アミノメチル]カルボキシベンゾトリアゾール、1−[N,N−ビス(2−ヒドロキシエチル)−アミノメチル]ベンゾトリアゾール、1−[N,N−ビス(2−ヒドロキシエチル)−アミノメチル]トリルトリアゾール、1−[N,N−ビス(2−ヒドロキシエチル)−アミノメチル]カルボキシベンゾトリアゾール、1−[N,N−ビス(2−ヒドロキシプロピル)アミノメチル]カルボキシベンゾトリアゾール、1−[N,N−ビス(1−ブチル)アミノメチル]カルボキシベンゾトリアゾール、1−[N,N−ビス(1−オクチル)アミノメチル]カルボキシベンゾトリアゾール、1−(2',3'−ジ−ヒドロキシプロピル)ベンゾトリアゾール、1−(2',3'−ジ−カルボキシエチル)ベンゾトリアゾール、2−(2'−ヒドロキシ−3',5'−ジ−tert−ブチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2'−ヒドロキシ−3',5'−アミルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2'−ヒドロキシ−4'−オクトキシフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2'−ヒドロキシ−5'−tert−ブチルフェニル)ベンゾトリアゾール、1−ヒドロキシベンゾトリアゾール−6−カルボン酸、1−オレオイルベンゾトリアゾール、1,2,4−トリアゾール−3−オール、5−アミノ−3−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、5−アミノ−1,2,4−トリアゾール−3−カルボン酸、1,2,4−トリアゾール−3−カルボキシアミド、4−アミノウラゾール、および1,2,4−トリアゾール−5−オンが例示される。このベンゾトリアゾール化合物の含有量は特に限定されないが、本組成物中に質量単位で0.01ppm〜3%の範囲内となる量であり、好ましくは、0.1ppm〜1%の範囲内となる量である。
本組成物は室温もしくは加熱により硬化が進行するが、迅速に硬化させるためには加熱することが好ましい。この加熱温度としては、50〜200℃の範囲内であることが好ましい。
次に、本発明の半導体装置について詳細に説明する。
本発明の半導体装置は、上記の硬化性シリコーン組成物の硬化物により半導体素子を封止してなることを特徴とする。このような本発明の半導体装置としては、発光ダイオード(LED)、フォトカプラー、CCDが例示される。また、半導体素子としては、発光ダイオード(LED)チップ、固体撮像素子が例示される。
本発明の半導体装置の一例である単体の表面実装型LEDの断面図を図1に示した。図1で示されるLEDは、発光素子(LEDチップ)1がリードフレーム2上にダイボンドされ、この発光素子(LEDチップ)1とリードフレーム3とがボンディングワイヤ4によりワイヤボンディングされている。この発光素子(LEDチップ)1の周囲には枠材5が設けられており、この枠材5の内側の発光素子(LEDチップ)1が、本発明の硬化性シリコーン組成物の硬化物6により封止されている。
図1で示される表面実装型LEDを製造する方法としては、発光素子(LEDチップ)1をリードフレーム2にダイボンドし、この発光素子(LEDチップ)1とリードフレーム3とを金製のボンディングワイヤ4によりワイヤボンドし、次いで、発光素子(LEDチップ)1の周囲に設けられた枠材5の内側に本発明の硬化性シリコーン組成物を充填した後、50〜200℃で加熱することにより硬化させる方法が例示される。
本発明のオルガノシロキサン、硬化性シリコーン組成物、および半導体装置を実施例により詳細に説明する。なお、式中、Me、Vi、Ph、およびEpは、それぞれメチル基、ビニル基、フェニル基、および3−グリシドキシプロピル基を示す。
[参考例1]
反応容器に、フェニルトリメトキシシラン 400g(2.02mol)および1,3−ジビニル−1,3−ジフェニルジメチルジシロキサン 93.5g(0.30mol)を投入し、予め混合した後、トリフルオロメタンスルホン酸 1.74g(11.6mmol)を投入し、撹拌下、水 110g(6.1mol)を投入し、2時間加熱還流を行った。その後、85℃になるまで加熱常圧留去を行った。次いで、トルエン 89gおよび水酸化カリウム 1.18g(21.1mmol)を投入し、反応温度が120℃になるまで加熱常圧留去を行い、この温度で6時間反応させた。その後、室温まで冷却し、酢酸 0.68g(11.4mmol)を投入し、中和した。生成した塩を濾別した後、得られた透明な溶液から低沸点物を加熱減圧除去して、平均単位式:
(MePhViSiO1/2)0.23(PhSiO3/2)0.77
で表されるオルガノポリシロキサンレジン 347g(収率:98%)を調製した。
[実施例1]
反応容器に、環状メチルビニルシロキサン 30g、白金−1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン錯体のトルエン溶液 0.011gを加え、100℃に加熱した。次に、式:
Figure 0006628366
で表されるジシロキサン 21.5gを滴下した。滴下終了後、2時間反応させ、IRスペクトル分析により反応混合物中にケイ素原子結合水素原子がないことを確認した。その後、減圧下、低沸分を除去し、淡黄色液体を得た。この液体は、29Si−NMR分析の結果、−32ppm付近、−18.4ppm付近、7.9〜9ppm付近にシグナルが見られることから、平均式:
Figure 0006628366
で表される有機ケイ素化合物であることがわかった。
[実施例2]
反応容器に、環状メチルビニルシロキサン 20g、白金−1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン錯体のトルエン溶液 0.013gを加え、100℃に加熱した。次に、式:
Figure 0006628366
で表されるジシロキサン 14.4g(0.058mol)と式:
Figure 0006628366
で表されるジシロキサン 17.2g(0.058mol)の混合物を滴下した。滴下終了後、2時間加熱して、IRスペクトルにより反応混合物中にケイ素原子結合水素原子がないことを確認した。その後、減圧下、低沸分を除去し、淡黄色液体を得た。この液体は、29Si−NMR分析の結果、−42ppm付近、−32ppm、−18.4ppm付近、7.3〜8.7ppm付近にシグナルが見られることから、平均式:
Figure 0006628366
で表される有機ケイ素化合物であることがわかった。
[実施例3]
反応容器に、環状メチルビニルシロキサン 15g、白金−1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン錯体のトルエン溶液 0.01gを加え、100℃に加熱した。次に、式:
Figure 0006628366
で表されるジシロキサン 25.8g(0.087mol)を滴下した。滴下終了後、2時間加熱して、IRスペクトルにより反応混合物中にケイ素原子結合水素原子がないことを確認した。その後、減圧下、低沸分を除去し、淡黄色液体を得た。この液体は、29Si−NMR分析の結果、−42ppm付近、−32ppm、−18.4ppm付近、7.1〜8.5ppm付近にシグナルが見られることから、平均式:
Figure 0006628366
で表される有機ケイ素化合物であることがわかった。
[実施例4]
反応容器に、テトラキスビニルジメチルシロキシシラン 30g、白金−1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン錯体のトルエン溶液 0.01gを加え、80℃に加熱した。次に、式:
Figure 0006628366
で表されるジシロキサン 16.9g(0.068mol)と式:
Figure 0006628366
で表されるジシロキサン 20.2g(0.068mol)の混合物を滴下した。滴下終了後、2時間加熱して、IRスペクトルにより反応混合物中にケイ素原子結合水素原子がないことを確認した。その後、減圧下、低沸分を除去し、淡黄色液体を得た。この液体は、29Si−NMR分析の結果、−104ppm、−42ppm付近、−32ppm、-2.6ppm付近、7.1〜8.7ppm付近にシグナルが見られることから、平均式:
Figure 0006628366
で表される有機ケイ素化合物であることがわかった。
[参考例1]
環状メチルハイドロジェンシロキサン 50g(0.835mol)、白金−1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン錯体のトルエン溶液 9.8マイクロリットルの混合溶液に、アリルグリシジルエーテル 47.7g(0.418mol)を70℃で滴下した。滴下終了後、2時間加熱して、ガスクロマトグラフィーにより反応混合物中にアリルグリシジルエーテルがないことを確認した。その後、減圧下、低沸分を除去し、透明液体を得た。この液体は、29Si−NMR分析の結果、−32.9ppm、−17.7〜−16.2ppm付近にシグナルが見られることから、平均式:
Figure 0006628366
で表されるオルガノシロキサンであることがわかった。
[実施例5〜10、比較例1〜3]
下記の成分を用いて、表1に示した組成の硬化性シリコーン組成物を調製した。なお、表1中、(D)成分の含有量は、質量単位における、硬化性シリコーン組成物に対する白金金属の含有量(ppm)で示した。また、表1中のH/Viは、(A)成分と(C)成分に含まれるアルケニル基の合計1モルに対する、(B)成分に含まれるケイ素原子結合水素原子のモル数を示す。
(A)成分として、次の成分を用いた。
(A−1)成分: 平均単位式:
(MeViSiO1/2)0.2(PhSiO3/2)0.8
で表されるオルガノポリシロキサン(ビニル基の含有量=4.1質量%)
(A−2)成分: 平均単位式:
(MePhViSiO1/2)0.23(PhSiO3/2)0.77
で表されるオルガノポリシロキサン(ビニル基の含有量=4.59質量%)
(A−3)成分: 25℃における粘度が3,000mPa・sである、分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖メチルフェニルポリシロキサン(ビニル基の含有量=1.8質量%)
(B)成分として、次の成分を用いた。
(B−1)成分: 式:
HMeSiOPhSiOSiMe
で表されるオルガノトリシロキサン
(C)成分として、次の成分を用いた。
(C−1)成分: 実施例1で調製した接着促進剤
(C−2)成分: 実施例2で調製した接着促進剤
(C−3)成分: 実施例3で調製した接着促進剤
(C−4)成分: 実施例4で調製した接着促進剤
(C−5)成分: 25℃における粘度が30mPa・sである分子鎖両末端シラノール基封鎖メチルビニルシロキサンオリゴマーと3−グリシドキシプロピルトリメトキシシランの縮合反応物からなる接着付与剤(ビニル基の含有量=5.6質量%)
(C−6)成分: 平均式:
Figure 0006628366
で表される接着促進剤
(C−7)成分: 参考例1で調製した接着促進剤
(D)成分として、次の成分を用いた。
(D−1)成分: 白金−1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン錯体の1,3,5,7−テトラメチル−1,3,5,7−テトラビニルシクロテトラシロキサンの溶液(白金として0.1質量%含有する溶液)
硬化性シリコーン組成物の硬化物および半導体装置を次のようにして評価した。
[硬化性シリコーン組成物の硬化物の接着力]
2枚のアルミニウム板、銀板、ポリフタルアミド板(幅25mm、長さ75mm、厚さ1mm)間にポリテトラフルオロエチレン樹脂製スペーサ(幅10mm、長さ20mm、厚さ1mm)を挟み込み、その隙間に硬化性シリコーン組成物を充填し、クリップで留め、150℃の熱風循環式オーブン中に1時間保持して硬化させた。室温に冷却後、クリップとスペーサを外して引張試験機により該アルミニウム板を水平反対方向に引っ張って、破壊時の応力を測定した。
[表面実装型の発光ダイオード(LED)の作製]
底部が塞がった円筒状のポリフタルアミド(PPA)樹脂製枠材5(内径2.0mm、深さ1.0mm)の内底部の中心部に向かってリードフレーム2、3が側壁から延出しており、リードフレーム2の中央部上にLEDチップ1が載置されており、LEDチップ1とリードフレーム3はボンディングワイヤ4により電気的に接続している未封止の半導体装置内に、硬化性シリコーン組成物を脱泡してディスペンサーを用いて注入した。その後、1次硬化温度(70℃)で1時間、次いで、2次硬化温度(150℃)で1時間保持することにより硬化性シリコーン組成物を硬化させ、図1に示す表面実装型の発光ダイオード(LED)を作製した。
[インク試験]
上記の方法で作製した16個の発光ダイオードを、市販の赤インクに浸漬し、50℃で24時間放置した。放置後、顕微鏡で赤インクのLED内への浸漬を調査し、次のように評価した。
◎: インクの浸漬が確認された発光ダイオードが2個以下である。
△: インクの浸漬が確認された発光ダイオードが3個〜8個である。
×: インクの浸漬が確認された発光ダイオードが9個以上である。
[ワイヤー切断]
上記の方法で作製した16個の発光ダイオードを、1時間で−40℃⇔125℃の温度で1000サイクル放置し、通電してLEDの点灯を調査し、次のように評価した。
◎: 点灯が確認された発光ダイオードが14個以上である。
○: 点灯が確認された発光ダイオードが8個〜13個である。
△: 点灯が確認された発光ダイオードが7個以下である。
Figure 0006628366
[実施例10〜11、比較例6]
次の成分を表2に示す組成で均一に混合して実施例10〜11及び比較例6の硬化性シリコーン組成物を調製した。なお、表2中、(D)成分の含有量は、質量単位における、硬化性シリコーン組成物に対する白金金属の含有量(ppm)で示した。また、表2中のH/Viは、(A)成分と(C)成分に含まれるアルケニル基の合計1モルに対する、(B)成分に含まれるケイ素原子結合水素原子のモル数を示す。
(A)成分として、次の成分を用いた。
(A−4)成分: 25℃における粘度が10,000mPa・sである、平均式:
MeViSiO(MeSiO)500SiMeVi
で表されるオルガノポリシロキサン〔ビニル基の含有量0.15wt%)〕
(A−5)成分: 25℃において白色固体状で、トルエン可溶性である、平均単位式:
(MeViSiO1/2)0.10(MeSiO1/2)0.40(SiO4/2)0.50(HO1/2)0.0001
で表される一分子中に2個以上のビニル基を有するオルガノポリシロキサンレジン(ビニル基の含有量=3.39量%)
(A−6)成分: 粘度300mPa・sであり、平均式:
MeViSiO(MeSiO)150SiMeVi
で表されるオルガノポリシロキサン〔ビニル基の含有量0.48wt%)〕
(A−7)成分: 25℃において白色固体状で、トルエン可溶性である、平均単位式:
(MeViSiO1/2)0.06(MeSiO1/2)0.44(SiO4/2)0.50(HO1/2)0.0001
で表される一分子中に2個以上のビニル基を有するオルガノポリシロキサンレジン(ビニル基の含有量=5.4質量%)
(A−8)成分: 平均式:
MeViSiO(MeSiO)300SiMeVi
で表されるオルガノポリシロキサン〔ビニル基の含有量0.24wt%)〕
(B)成分として、次の成分を用いた。
(B−3)成分: 25℃における粘度が5mPa・sである、平均式:
MeSiO(MeHSiO)SiMe
で表される分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖ポリメチルハイドロジェンシロキサン(ケイ素原子結合水素原子含有量=1.4質量%)
(C)成分として、上記で説明した(C−2)成分、(C−3)成分および(C−5)成分を用いた。
(D)成分として、上記で説明した(D−1)成分を用いた。
反応抑制剤として、次の成分を用いた。
(E−1)成分:1−エチニルシクロヘキサノール
[硬化性シリコーン組成物の硬化物の接着力]
2枚のアルミニウム板、銀板、ポリフタルアミド板(幅25mm、長さ75mm、厚さ1mm)間にポリテトラフルオロエチレン樹脂製スペーサ(幅10mm、長さ20mm、厚さ1mm)を挟み込み、その隙間に硬化性シリコーン組成物を充填し、クリップで留め、150℃の熱風循環式オーブン中に1時間保持して硬化させた。室温に冷却後、クリップとスペーサを外して引張試験機により該アルミニウム板を水平反対方向に引っ張って、破壊時の応力を測定した。
Figure 0006628366
本発明の硬化性シリコーン組成物は、流動性が優れ、硬化して、蛍光体が均一に分散し、屈折率が高い硬化物を形成することができるので、発光ダイオード(LED)等の光半導体装置における発光素子の封止剤もしくは被覆剤として好適である。
1 発光素子
2 リードフレーム
3 リードフレーム
4 ボンディングワイヤ
5 枠材
6 硬化性シリコーン組成物の硬化物

Claims (8)

  1. 一般式:
    Figure 0006628366
    (式中、Rメチル基;Rビニル基;Rエチレン基;Xはアルコキシシリルアルキル基および/またはグリシドキシアルキル基;mは0以上の整数、nは1以上の整数、pは1以上の整数、ただし、mとnとpの合計は3〜50の整数;zは1〜の整数である。)
    で表される有機ケイ素化合物。
  2. 一般式:
    Figure 0006628366
    (式中、Rメチル基;Rビニル基;Rエチレン基;Xはアルコキシシリルアルキル基および/またはグリシドキシアルキル基;aは1〜3の整数、bは1〜3の整数、ただし、aとbの合計は2〜4の整数;zは1〜の整数である。)
    で表される有機ケイ素化合物。
  3. 請求項1または2に記載の有機ケイ素化合物からなる接着促進剤。
  4. 請求項1または2に記載の有機ケイ素化合物を接着促進剤として含有する硬化性シリコーン組成物。
  5. ヒドロシリル化反応で硬化する請求項に記載の硬化性シリコーン組成物。
  6. ヒドロシリル化反応で硬化する硬化性シリコーン組成物が、
    (A)一分子中に少なくとも2個のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン 100質量部、
    (B)一分子中に少なくとも2個のケイ素原子結合水素原子を有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン{(A)成分と(C)成分に含まれるアルケニル基の合計1モルに対して、0.1〜10.0モルのケイ素原子結合水素原子を提供する量}、
    (C)請求項1または2に記載の有機ケイ素化合物からなる接着促進剤 0.01〜50質量部、および
    (D)ヒドロシリル化反応用触媒(本組成物の硬化を促進するに十分な量)
    から少なくともなる、請求項記載の硬化性シリコーン組成物。
  7. 半導体素子が、請求項乃至のいずれか1項に記載の硬化性シリコーン組成物の硬化物により封止されていることを特徴とする半導体装置。
  8. 半導体素子が発光素子である、請求項に記載の半導体装置。
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