JP6627125B2 - 球状窒化アルミニウム粒子の製造方法及び球状窒化アルミニウム粒子製造装置 - Google Patents
球状窒化アルミニウム粒子の製造方法及び球状窒化アルミニウム粒子製造装置 Download PDFInfo
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Description
Al2O3 + 3C +N2 → 2AlN +3CO
AlN生成率(%)=AlNのピーク高さ/(Al2O3、AlN、及びAlONのピーク高さの合計)
β(t)=α(t)/ΔP(t) (1)
ΔPは下記式(2)で求められる正味マイクロ波出力である。
ΔP(t)=P(t)−Pr(t) (2)
P(t)は所定時間tのマイクロ波照射出力であり、Pr(t)は所定時間tのマイクロ波反射出力である。図1及び図2に示すように、スターラー5等の影響によりマイクロ波の照射及び反射出力の時間変動が大きい場合は、前述のように、それぞれ所定のマイクロ波測定継続時間(Δt)での平均したマイクロ波の照射出力P(t)、反射出力Pr(t)を用いる。
換算COガス濃度比γ(t)=β(t)/βmax (3)
2 アプリケーター(加熱炉)
3 マイクロ波発振器
4 導波路
5 スターラー
6 球状アルミナ粒子と炭素系材料粉体とを含む混合物
7 載置台
8 断熱材
9 石英窓
10 赤外線カメラ
11 窒素ガス供給管
12 排気ガス管
13 一酸化炭素ガス分析器
14 制御部
Claims (6)
- アプリケーター内で、球状アルミナ粒子と炭素系材料粉末とを含む混合物に、窒素雰囲気中でマイクロ波を照射して、該球状アルミナ粒子の少なくとも一部を窒化して球状窒化アルミニウム粒子を製造する、球状窒化アルミニウム粒子の製造方法において、
前記アプリケーターからの排ガス中の一酸化炭素ガス濃度(体積%)を監視し、該一酸化炭素ガス濃度の最大値を基準として、該最大値から定めた終了タイミングでマイクロ波の照射を終了することを特徴とする、球状窒化アルミニウム粒子の製造方法。 - 前記一酸化炭素ガス濃度が、下記式(1)により求められる換算COガス濃度β(t)であることを特徴とする請求項1に記載の球状窒化アルミニウム粒子の製造方法。
β(t)=α(t) /ΔP(t) (1)
α(t):マイクロ波照射開始後の時間tにおける、排気ガス中の一酸化炭素ガス濃度(体積%)の実測値。
ΔP(t):下記式(2)で求められる正味マイクロ波出力(W)。
ΔP(t)=P(t)−Pr(t) (2)
P(t):マイクロ波照射開始後の時間tにおけるマイクロ波照射出力、又は、時間t−Δtから時間tにおける時間平均値(W)。
Pr(t):マイクロ波照射開始後の時間tにおけるマイクロ波反射出力、又は、時間t−Δtから時間tにおける時間平均値(W)。
Δt:所定のマイクロ波測定継続時間。 - 前記最大値に対する一酸化炭素ガス濃度の比が所定の値となった時点でマイクロ波の照射を終了することを特徴とする請求項1又は2に記載の球状窒化アルミニウム粒子の製造方法。
- 前記比が、下記式(3)により求められる換算COガス濃度比γ(t)であることを特徴とする請求項3記載の球状窒化アルミニウム粒子の製造方法。
換算COガス濃度比γ(t)=β(t)/βmax (3)
βmax:一酸化炭素ガス濃度が最大となったときの上記式(1)に基づき換算された換算COガス濃度最大値。 - 前記最大値が、前記混合物の表面温度が600℃以上で検出されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項記載の球状窒化アルミニウム粒子の製造方法。
- マイクロ波発振器を備えるアプリケーター内で、球状アルミナ粒子と炭素系材料粉末とを含む混合物に、窒素雰囲気中でマイクロ波を照射して、該球状アルミナ粒子の少なくとも一部を窒化して球状窒化アルミニウム粒子を製造する、球状窒化アルミニウム粒子製造装置であって、
前記アプリケーターからの排ガス中の一酸化炭素ガスの濃度(体積%)を測定する一酸化炭素ガス分析器と、
該一酸化炭素ガス分析器から受け取った一酸化炭素ガス濃度データを基に、一酸化炭素ガス濃度の最大値を検出し、該最大値を基準として、該最大値から定めた終了タイミングで、前記マイクロ波発振器によるマイクロ波の照射を終了させる制御部と、
を備えることを特徴とする、球状窒化アルミニウム粒子製造装置。
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