JP6625230B2 - 基板処理装置、基板冷却ユニットおよび半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
以下、本発明の実施形態1について説明する。
図1、2を参照しながら、以下、本実施形態に係る基板処理装置10の構成を説明する。
搬送室12には、ロードロック室14a,14b、処理室16a,16b、及び基板冷却ユニット18との間で相互に基板22を搬送できるように構成された、基板搬送機構としての真空ロボット36が設けられている。真空ロボット36はフィンガー対40が設けられたアーム42を備えており、フィンガー対40は、基板搬送支持具としての上フィンガー38a(第1の基板搬送支持具)及び下フィンガー38b(第2の基板搬送支持具)から構成されている。
ロードロック室14a,14bにはそれぞれ、例えば25枚の基板22を縦方向に一定間隔を隔てて収容する基板支持体24が設けられている。基板支持体24は上部板26と下部板28、及びそれらを接続する支柱30により構成されている。支柱30の長手方向内側には載置部32が平行に形成されている。基板支持体24は、ロードロック室14a,14bのそれぞれの内において、駆動装置25によって上下方向に移動するようにされているとともに、回転するようにされている。
処理室16a,16bはそれぞれ反応室を有し、各反応室内には基板保持台44a,44bとロボットアーム17がそれぞれ設けられている。基板保持台44aと基板保持台44bとの間の空間は、仕切り部材46が設けられている。ロボットアーム17は、真空ロボット36が保持する基板22を受け取り、基板保持台44a,44bにそれぞれ載置するように構成されている。処理室16a,16bでは、基板保持台44a,44bにそれぞれ載置された2枚の基板22が同一空間内で同時に処理される。基板保持台44a,44bには、加熱部としてのヒータがそれぞれ内蔵されており、基板22を450℃まで昇温可能である。
搬送室12に接続されている基板冷却ユニット18は、図3、4に示すように、冷却室50を有し、冷却室50内には複数の基板冷却部材としての基板冷却プレート51a(第1の基板冷却部材)及び51b(第2の基板冷却部材)が設けられている。
図5に示すように、制御部(制御手段)であるコントローラ121は、CPU(Central Processing Unit)121a、RAM(Random Access Memory)121b、記憶装置121c、I/Oポート121dを備えたコンピュータとして構成されている。RAM121b、記憶装置121c、I/Oポート121dは、内部バス121eを介して、CPU121aとデータ交換可能なように構成されている。コントローラ121には、例えばタッチパネル等として構成された入出力装置122が接続されている。
続いて、基板冷却ユニット18で基板22を冷却する工程において、真空ロボット36を用いて基板22を搬送する動作について図6、7を用いて説明する。
基板冷却ユニット18に基板22を搬入して載置する工程は、以下のステップ(S100〜S150)により行われる。
処理室16a又は16bにおいて、基板保持台44a,44bでそれぞれ熱処理(例えばアニール処理や成膜処理)が施された2枚の基板は、ロボットアーム17を介して、上フィンガー38a及び下フィンガー38bの上にそれぞれ支持されるように載置される。以下の説明では便宜上、上フィンガー38aの上に載置された基板を基板22a、下フィンガー38bの上に載置された基板を基板22bと称する。
真空ロボット36は、上フィンガー38a及び下フィンガー38bの上に基板22a,22bが支持された状態で、フィンガー対40を基板冷却ユニット18の冷却室50内に挿入する。この時、図6(a)に示すように、基板22a,22bは基板冷却プレート51aを挟むように、それぞれスペーサ52a,52bの上方で接触しない状態で保持される。また、基板22bは基板冷却プレート51a,52bに挟まれた状態で保持されている。基板22a,22bの上下の搬送クリアランスは、それぞれ約1.85mm(上下合計約3.7mm)以上確保されていることが望ましい。なお、この状態でフィンガー対40を所定時間停止させることにより、基板22a、22bの温度や冷却速度(温度の低下速度、冷却時の温度変化勾配)を調整してもよい。
続いて真空ロボット36は、フィンガー対40を下降させることにより、図6(b)に示すように、基板22aをスペーサ52aの上で支持させる。この時、基板22bはスペーサ52bと接触していない。この時点において、基板冷却プレート51aに対する基板22aの距離は、基板22bに対する距離よりも小さくなっている。従って、基板冷却プレート51aによる基板22aの冷却速度も、基板22bの冷却速度よりも大きくなっている。一方で、基板22bは基板冷却プレート51bに近づくため、S110の時点に比べて、基板冷却プレート51bによる基板22bへの冷却作用は大きくなっている。なお、S110からS120までの間で、フィンガー対40を所定の位置に停止させたり、下降速度を調整したりすることにより、基板22a、22bの温度や冷却速度を調整してもよい。
続いて真空ロボット36は、フィンガー対40をさらに下降させることにより、S120から所定の時間(第1の時間)経過後に、図6(c)に示すように、基板22bをスペーサ52bの上で支持させる。これにより、基板22aはスペーサ52a上で、基板22bはスペーサ52b上でそれぞれ支持された状態となる。上述の第1の時間は、フィンガー対40の下降速度や基板冷却プレート間の距離等によって異なるが、例えば5〜60秒とすることができる。
続いて真空ロボット36は、フィンガー対40をさらに下降させることにより、図6(d)に示すように、基板22a,22bと接触しない位置まで上フィンガー38a及び下フィンガー38bを移動させる。
続いて真空ロボット36は、図6(e)に示すように、フィンガー対40を水平方向に移動させて、冷却室50内から退避させる。
フィンガー対40を冷却室50内から退避させた後、所定時間、例えば30秒〜5分間、基板22a,22bをスペーサ52a,52b上で冷却する。
基板22a,22bをスペーサ52a,52b上で所定時間冷却した後、真空ロボット36により、それらを上フィンガー38a及び下フィンガー38bの上で再び支持し、冷却室50内から搬出する。搬出する工程は、上述の基板搬入ステップS10を逆の順序に実行することによりなされる。具体的には、図7に示すステップS300〜S340が実行される。
ここで、本実施形態におけるスペーサ52a,52bの高さについて詳述する。上述の通り、スペーサ52a,52bにそれぞれ支持された状態の基板22a,22bの冷却速度は、基板冷却プレート51a,51bとの距離に大きく依存する。そこで本実施形態では、スペーサ52aと52bの高さ、すなわち、基板冷却プレート51aとスペーサ52aの上に支持された基板22aとの距離と、基板冷却プレート51bとスペーサ52bの上に支持された基板22bとの距離を、それぞれ独立した異なる値に設定することにより、基板22aと22bの冷却速度を所望の値に調整する。
続いて、本発明の他の実施形態である実施形態2について説明する。図9は本実施形態における基板冷却ユニット18´を示しており、本実施形態におけるスペーサ52a´,52b´の高さが異なる以外の点については実施形態1と同様である。
続いて、本発明の他の実施形態である実施形態3について説明する。図11は本実施形態における基板冷却ユニット18´´を示しており、本実施形態における基板冷却プレートの数が異なる点、すなわち基板冷却プレート51a´´,51b´´,51c´´の3個が設けられている点が実施形態1と主に異なっている。
以上、本発明の実施形態を具体的に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。また、上述の実施形態や変形例等は、適宜組み合わせて用いることができる。
Claims (14)
- それぞれの上面で基板を支持して搬送するよう構成されている複数の搬送支持具を備え、前記複数の搬送支持具は鉛直方向に互いに間隔を有して積層されて設けられている基板搬送機構と、
前記基板を冷却するよう構成されている基板冷却ユニットと、
前記搬送機構を制御する制御部と、
を備える基板処理装置であって、
前記基板冷却ユニットは、
冷却室と、
前記冷却室内において、鉛直方向に互いに間隔を有して積層されて設けられ、それぞれの上面側及び下面側を冷却するよう構成されている複数の冷却部材と、
前記複数の冷却部材のそれぞれに対して設けられ、前記冷却部材の上面から所定の距離で前記基板を支持するよう構成されている基板支持具と、を備え、
前記複数の冷却部材のうち、上方に他の前記冷却部材が配置されていない前記冷却部材の上面と、当該冷却部材に対して設けられる前記基板支持具で支持される前記基板との間の距離である第1の距離は、
前記複数の冷却部材のうち、上方に他の前記冷却部材が配置されている前記冷却部材の上面と、当該冷却部材に対して設けられる前記基板支持具で支持される前記基板との間の距離である第2の距離と異なるように設定されており、
前記制御部は、前記基板搬送機構を制御して、前記複数の搬送支持具の上面で支持された前記基板のそれぞれを、前記基板支持具で支持される位置に搬送させるよう構成されている。 - 前記第1の距離は前記第2の距離よりも小さい、請求項1記載の基板処理装置。
- 前記第1の距離で前記基板支持具に載置された前記基板の温度の低下速度と、前記第2の距離で前記基板支持具に載置された前記基板の温度の低下速度とが略同一となるように前記第1の距離と前記第2の距離が定められている、
請求項2記載の基板処理装置。 - 前記搬送支持具及び前記冷却部材はそれぞれ2つずつ設けられている、
請求項1記載の基板処理装置。 - 2つの前記冷却部材の間隔は、前記2つの前記搬送支持具の間隔よりも大きい、
請求項4記載の基板処理装置。 - 前記制御部は、2つの前記冷却部材のうち上方に位置する第1の前記冷却部材に設けられた第1の前記基板支持具に前記基板を支持させてから第1の時間経過後、2つの前記冷却部材のうち下方に位置する第2の前記冷却部材に設けられた第2の前記基板支持具に前記基板を支持させるように、前記基板搬送機構を制御するよう構成される、
請求項4記載の基板処理装置。 - 前記冷却部材は、板状構造体と、前記板状構造体の内部に設けられ、前記板状構造体の上面側及び下面側を冷却するよう構成されている冷媒流路又は熱電素子と、により構成されている、
請求項1記載の基板処理装置。 - 前記複数の冷却部材のうち、上方に他の前記冷却部材が配置されている前記冷却部材に対して設けられた前記基板支持具である第2の基板支持具に前記基板を支持させたタイミングから所定の時間が経過した時点において、
前記複数の冷却部材のうち、上方に他の前記冷却部材が配置されていない前記冷却部材に対して設けられた前記基板支持具である第1の基板支持具に載置された基板の温度と、前記第2の基板支持具に載置された基板の温度とが略同一となるように、前記第1の距離と前記第2の距離が定められている、
請求項1記載の基板処理装置。 - 前記第1の距離は前記第2の距離よりも大きい、
請求項8記載の基板処理装置。 - 前記第2の基板支持具に載置された前記基板の温度の低下速度は、前記第1の基板支持具に載置された前記基板の温度の低下速度より大きい、
請求項9記載の基板処理装置。 - 前記搬送支持具及び前記冷却部材はそれぞれ少なくとも3つ以上ずつ備えられ、
最も下方に配置された前記冷却部材の上面と、当該冷却部材に対して設けられる前記基板支持具で支持される前記基板との間の距離は、前記最も下方に配置された前記冷却部材の直上に配置された前記冷却部材の上面と、当該冷却部材に対して設けられる前記基板支持具で支持される前記基板との間の距離よりも大きい、
請求項1記載の基板処理装置。 - 複数の基板を収容する冷却室と、
前記冷却室内において、鉛直方向に互いに間隔を有して積層されて設けられ、それぞれの上面側及び下面側を冷却するよう構成されている複数の冷却部材と、
前記複数の冷却部材のそれぞれに対して設けられ、前記冷却部材の上面から所定の距離で前記基板を支持するよう構成されている基板支持具と、を備え、
前記複数の冷却部材のうち、上方に他の前記冷却部材が配置されていない前記冷却部材の上面と、当該冷却部材に対して設けられる前記基板支持具で支持される前記基板との間の距離である第1の距離は、
前記複数の冷却部材のうち、上方に他の前記冷却部材が配置されている前記冷却部材の上面と、当該冷却部材に対して設けられる前記基板支持具で支持される前記基板との間の距離である第2の距離と異なるように設定されている、
基板冷却ユニット。 - 複数の基板に熱処理を施す工程と、
冷却室と、前記冷却室内において、鉛直方向に互いに間隔を有して積層されて設けられ、それぞれの上面側及び下面側を冷却するよう構成されている複数の冷却部材と、前記複数の冷却部材のそれぞれに対して設けられ、前記冷却部材の上面から所定の距離で前記基板を支持するよう構成されている基板支持具と、を備える基板冷却ユニットに前記複数の基板を搬入する工程と、
前記複数の冷却部材のうち、上方に他の前記冷却部材が配置されていない前記冷却部材に設けられた前記基板支持具に、当該冷却部材の上面から第1の距離で前記複数の基板の1つを支持させる工程と、
前記複数の冷却部材のうち、上方に他の前記冷却部材が配置されている前記冷却部材に設けられた前記基板支持具に、当該冷却部材の上面から前記第1の距離とは異なる第2の距離で前記複数の基板の他の1つを支持させる工程と、
前記複数の基板を前記基板冷却ユニットから搬出する工程と、
を有する半導体装置の製造方法。 - 前記基板支持具に前記第1の距離で前記複数の基板の1つを支持させる工程と、前記基板支持具に前記第2の距離で前記複数の基板の他の1つを支持させる工程は、
それぞれの上面で基板を支持して搬送するよう構成されている複数の搬送支持具を備え、前記複数の搬送支持具は鉛直方向に互いに間隔を有して積層されて設けられている基板搬送機構を用いて実行される、
請求項13記載の方法。
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