JP6624385B2 - ダイシング装置及びダイシング用ブレードのドレッシング方法 - Google Patents

Description

本発明は、ダイシング装置及びダイシング用ブレードのドレッシング方法に係り、特に高速で回転するダイシング用ブレードによって半導体ウェーハ等のワークをチップ毎に切断するダイシング装置及びダイシング用ブレードのドレッシング方法に関する。

半導体製造工程では、半導体ウェーハ等のワークの表面に各種の処理を施して、電子デバイスを有する複数の半導体素子を製造する。半導体素子の各チップは、検査装置によって電気的特性が検査された後、ダイシング装置の高速で回転するダイシング用ブレード（以下、ブレードと言う。）によってチップ毎に切断加工される。ブレードとしては、例えば、ダイヤモンド等の砥粒をニッケルで電着したものが用いられる。

ダイシング装置では、ブレードの使用が繰り返されると、研削屑が砥粒間に堆積して目詰まりが生じたり、砥粒の先端が摩耗したりしてブレードの切れ味が低下する。ブレードの切れ味が低下した場合は、目詰まりを解消したり、摩耗した砥粒を脱落させて新たな切刃を創出したりするドレッシング作業が行われる。このようなドレッシング作業は、回転するブレードをドレス部材の表面に押し付けて、ドレス部材の表面（加工面とも言う。）にブレードによる切込溝を形成することにより行われる。なお、ドレス部材は、ドレスプレートやドレッシングプレートと称される場合もある。

特許文献１には、ドレスプレートが搭載されたダイシング装置が開示されている。特許文献１のダイシング装置は、方形のドレスプレートを保持するドレス台（ドレス部材保持部）を有し、このドレス台が、テーブルと一体的に移動するテーブルカバーの上面に設けられている。特許文献１のダイシング装置によれば、加工中のワークをテーブルから取り外すことなく、つまり、ワークのアライメントをやり直すことなく、ドレス台に保持されたドレスプレートの表面をブレードで切り込んで、ブレードのドレッシング作業を行うことができる。

特開２０１３−１２０７９４号公報

ドレスプレートが搭載されたダイシング装置では、定形（例えば、一辺が７５ｍｍ）のドレスプレートを用いてより多くのドレッシングを実施するために、ブレードによる切込溝の切込ピッチを非常に小さく設定することが要求される。

しかしながら、従来のダイシング装置では、ブレードの厚さにもよるが、切削ピッチを非常に小さく（例えば、２００μｍ未満）設定した場合、ブレードによる切込溝の本数がドレスプレートの加工面の半分にも満たない状態からドレスプレートの厚さ方向の応力バランスが崩れ、ドレスプレートに反り力が発生し、ドレス台からドレスプレートが脱落したり、ドレス台から剥離したドレスプレートの反ったエッジに、ブレードが干渉したりする場合があった。すなわち、切込溝の切削ピッチを非常に小さく設定すると、ドレスプレートに生じた反り力が、ドレス台による吸着保持力を上回るという現象が生じた。このような問題は、真空ポンプ等からなる吸引装置を能力の高いものに交換し、ドレス台による吸着保持力を向上させれば解消できるが、ダイシング装置が高額になり、かつダイシング装置のランニングコストも高騰するので好ましくない。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ドレス部材保持部の吸着保持力を十分に活用することで、ドレス部材に対するドレス部材保持部の吸着保持力を向上させることができるダイシング装置及びダイシング用ブレードのドレッシング方法を提供することを目的とする。

本発明のダイシング装置は、本発明の目的を達成するために、ワークテーブルと、ワークテーブルに載置されたワークに切削溝を加工するブレードと、ワークテーブルとブレードとを相対的に第１方向に移動させてワークに対し切削溝を第１方向に沿って形成させる送り機構と、ブレードをドレッシングするドレス部材を吸着保持するドレス部材保持部と、を備えたダイシング装置において、ドレス部材保持部に吸着保持されたドレス部材は、ブレードが押し付けられてブレードが第１方向に相対的に移動されることにより第１方向に沿った切込溝が形成され、ドレス部材は、板状に構成されてドレス部材保持部に吸着保持される側の第１面とブレードをドレッシングする側の第２面と、を有し、ドレス部材の第１面が、緩衝材を介してドレス部材保持部に吸着保持される。

本発明のダイシング用ブレードのドレッシング方法は、本発明の目的を達成するために、ワークテーブルと、ワークテーブルに載置されたワークに切削溝を加工するブレードと、ワークテーブルとブレードとを相対的に第１方向に移動させてワークに対し切削溝を第１方向に沿って形成させる送り機構と、ブレードをドレッシングするドレス部材を吸着保持するドレス部材保持部と、を備えたダイシング装置において、ドレス部材保持部に吸着保持されたドレス部材は、ブレードが押し付けられてブレードが第１方向に相対的に移動されることにより第１方向に沿った切込溝が形成され、ドレス部材は、板状に構成されてドレス部材保持部に吸着保持される側の第１面とブレードをドレッシングする側の第２面と、を有し、ドレス部材の第１面を、緩衝材を介してドレス部材保持部に吸着保持した状態で、ドレス部材の第２面に対しブレードによって複数の切込溝を第１方向に沿って形成する第１ドレッシング工程と、を備える。

本発明は、以下の点に着目してなされたものである。すなわち、ドレス部材保持部にドレス部材を直接吸着させるだけで、ドレス部材は十分な保持力をもってドレス部材保持部に吸着保持される。このような実績に基づいて、従来の保持形態（直接吸着保持形態）に何ら工夫を施すことなくブレードのドレッシングを行ったところ、切削ピッチを大きく（例えば、２００μｍ以上）設定した場合には問題は生じなかったが、切削ピッチを非常に小さく（例えば、２００μｍ未満）設定した場合には、ドレス部材に生じた反り力がドレス部材保持部の吸着保持力を上回り、ドレス部材保持部からドレス部材が脱落する等の問題が発生した。

そこで、本発明は、能力の高い吸引装置に交換することなく、ドレス部材保持部が持つ本来の吸着保持力を十分に活用するために、ドレス部材の第１面を、緩衝材を介してドレス部材保持部に吸着保持させた。これにより、本発明によれば、ドレス部材保持部の吸着保持力を十分に活用することができる。そして、切削ピッチを非常に小さく設定して、ドレス部材の第２面に対しドレッシング（第１ドレッシング工程）を実施しても、緩衝材を利用したことによるドレス部材保持部の吸着保持力が、ドレス部材に生じた反り力よりも上回っているので、ドレス部材保持部からドレス部材が脱落する等の問題を解消することができる。

本発明のダイシング装置の一態様は、ドレス部材の第１面には、第１方向に直交する方向に沿った切込溝が形成されていることが好ましい。

本発明の一態様によれば、ドレス部材の第２面を利用してブレードのドレッシングを行うと、ドレス部材とブレードとの間で発生する摩擦抵抗によって、ドレス部材にはブレードの相対的な移動方向である第１方向に力が作用する。このとき、緩衝材に貼り付けられているドレス部材の第１面には、第１方向に直交する方向に沿った切込溝が形成されている。これにより、ドレス部材に作用する第１方向の力に対し、切込溝を有する第１面と緩衝材との間で生じる摩擦力が抗するので、ドレス部材が緩衝材に対して第１方向にずれるのを防止することができる。よって、ドレス部材のずれに起因するブレードのドレッシング不良を防止することができる。

本発明のダイシング用ブレードのドレッシング方法の一態様は、第１ドレッシング工程の終了後、ドレス部材保持部に吸着保持された緩衝材からドレス部材を取り外し、ドレス部材を反転してドレス部材の第２面を緩衝材に貼り付ける貼付工程と、ドレス部材の第１面に対しブレードによって複数の切込溝を第１方向に沿って形成する第２ドレッシング工程と、を備えることが好ましい。

本発明の一態様によれば、ドレス部材の第１面及び第２面をブレードのドレッシングに利用することができるので、一つのドレスプレートを用いてより多くのドレッシングを実施することができる。

本発明のダイシング用ブレードのドレッシング方法の一態様は、貼付工程において、ドレス部材の第２面に形成された切込溝の方向が、第２ドレッシング工程における第１方向に直交する方向となるように第２面を緩衝材に貼り付けることが好ましい。

本発明の一態様によれば、第２ドレッシング工程において、ドレス部材の第１面を利用してブレードのドレッシングを行うと、ドレス部材とブレードとの間で発生する摩擦抵抗によって、ドレス部材にはブレードの相対的な移動方向である第１方向に力が作用する。このとき、緩衝材に貼り付けられているドレス部材の第２面には、第１方向に直交する方向に沿った切込溝が形成されている。これにより、ドレス部材に作用する第１方向の力に対し、切込溝を有する第２面と緩衝材との間で生じる摩擦力が抗するので、ドレス部材が緩衝材に対して第１方向にずれるのを防止することができる。よって、ドレス部材のずれに起因するブレードのドレッシング不良を防止することができる。

本発明によれば、ドレス部材保持部の吸着保持力を十分に活用することで、ドレス部材に対するドレス部材保持部の吸着保持力を向上させることができる。

実施形態のダイシング装置の外観図 図１に示したダイシング装置の加工部の構成を示した斜視図 図２に示した加工部の要部拡大斜視図 第１実施形態に係るブレードのドレッシング方法の説明図 第２実施形態に係るブレードのドレッシング方法の説明図 第３実施形態に係るブレードのドレッシング方法の説明図 （Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は図６に続く第３実施形態に係るブレードのドレッシング方法の説明図 第３実施形態に係るブレードのドレッシング方法のフローチャート

以下、添付図面に従って本発明に係るダイシング装置及びダイシング用ブレードのドレッシング方法の好ましい実施形態について詳説する。

〔ダイシング装置１０の全体構成〕
図１は、実施形態のダイシング装置１０の全体斜視図である。

ダイシング装置１０は、一対のブレード１２、１２が対向して配置されたツインスピンドルダイサーと称されるダイシング装置である。このダイシング装置１０は、先端部に装着されたブレード１２を高速回転させる高周波モータ内蔵型の一対のスピンドル１４と、半導体ウェーハ等のワークＷが載置されてワークＷを吸着保持するワークテーブル１６と、を有する加工部１８を備える。また、ダイシング装置１０には、加工済みのワークＷをスピン洗浄する洗浄部２０、複数枚のワークＷを収納したカセットが載置されるロードポート２２、及びワークＷを搬送する搬送装置２４がそれぞれ所定の位置に配置されるとともに、ダイシング装置１０の各部材の動作を統括制御する制御部２６が内蔵されている。制御部２６は、ＣＰＵ、メモリ、入出力回路部及び各種制御回路部等から構成される。

<加工部１８>
図２は、加工部１８の構造を示す斜視図である。

加工部１８は、Ｘテーブル３４を備える。Ｘテーブル３４は、Ｘベース２８に設けられたＸガイド３０、３０によってガイドされ、送り機構であるリニアモータ３２によって矢印Ｘ−Ｘで示すＸ方向（第１方向）に駆動される。また、Ｘテーブル３４の上面にはθ方向に回転する回転テーブル３６が固定され、この回転テーブル３６にワークテーブル１６が設けられている。よって、ワークテーブル１６は、Ｘテーブル３４によってＸ方向に移動され、かつ回転テーブル３６によってθ方向に回転される。すなわち、ワークテーブル１６とブレード１２とが相対的に第１方向であるＸ方向に移動される。

また、加工部１８は、Ｘベース２８を跨ぐように門型に構成されたＹベース３８を備える。Ｙベース３８の壁面には、一対のＹテーブル４２、４２が設けられる。一対のＹテーブル４２、４２は、Ｙベース３８の壁面に固定されたＹガイド４０、４０によってガイドされ、図示しないステッピングモータとボールスクリューとからなる駆動装置によって矢印Ｙ−Ｙで示すＹ方向に駆動される。

Ｙテーブル４２、４２には、それぞれＺテーブル４４、４４が設けられる。Ｚテーブル４４、４４は、Ｙテーブル４２に設けられた不図示のＺガイドにガイドされ、図示しないステッピングモータとボールスクリューとからなる駆動装置によって矢印Ｚ−Ｚで示すＺ方向に駆動される。Ｚテーブル４４、４４にはスピンドル１４、１４が対向した状態で固定され、スピンドル１４、１４の先端部に装着されたブレード１２、１２が対向配置される。

上記の加工部１８の構成により、ブレード１２、１２はＹ方向にインデックス送りされるとともにＺ方向に切り込み送りされ、ワークテーブル１６はＸ方向に切削送りされるとともにθ方向に回転される。これにより、ワークＷは、ブレード１２によって切削溝が加工される。これらの動作は制御部２６（図１参照）によって制御される。

ここで、前述のＸ方向とは水平方向における一つの方向を指し、Ｙ方向とは水平方向においてＸ方向に直交する方向を指す。また、Ｚ方向とはＸ方向及びＹ方向にそれぞれ直交する鉛直方向を指し、θ方向とは鉛直軸を中心軸とする回転方向を指す。また、ブレード１２としては、ダイヤモンド砥粒やＣＢＮ砥粒をニッケルで電着した電着ブレードの他、金属粉末を混入した樹脂で結合したメタルレジンボンドのブレード等が用いられる。

なお、不図示であるが、Ｚテーブル４４、４４のうち一方のＺテーブル４４には、ワークＷの上面を観察する撮像手段が取り付けられている。撮像手段にはＣＣＤカメラが組み込まれており、ワークテーブル１６に保持されたワークＷがＣＣＤカメラによって撮像される。ＣＣＤカメラで撮像されたワークＷの画像は、制御部２６に設けられた画像処理装置によってパターンマッチング処理され、ワークＷのアライメントが行われる。

〔ドレスプレート５０及びドレス台５２〕
図３は、Ｘテーブル３４を含むその近傍の要部拡大斜視図である。

図２及び図３の如く、ダイシング装置１０は、加工中のワークＷをワークテーブル１６から取り外すことなく、つまりワークＷのアライメントをやり直すことなく、ブレード１２、１２のドレッシング作業を実施可能とするため、板状に構成されたドレス部材であるドレスプレート５０が装着される。ドレスプレート５０は、Ｘテーブル３４の上面に配置されたステンレス製のドレス部材保持部であるドレス台５２、５２に緩衝材５４を介して吸着保持される。ドレス台５２、５２は、Ｘテーブル３４の上面に固定されたブラケット５６に固定されることによって、Ｘテーブル３４の上面から上方に離間して配置される。これにより、ドレス台５２に吸着保持されたドレスプレート５０の上面がワークテーブル１６の上面に対して、Ｚ軸方向の高さ位置が略同じ位置、又は好ましくは同一位置となるように配置される。

緩衝材５４は、フィルム状の基材の上面に粘着層が形成された通気性の無い矩形状のシートである。緩衝材５４の基材は、例えばポリエチレンテレフタレート、ポリオレフィン又は塩化ビニル等の樹脂製であり、この基材の上面にドレスプレート５０の下面を着脱自在に貼り付ける粘着層が形成される。また、基材の下面がドレス台５２に吸着保持される。緩衝材５４としては、ダイシング装置の分野で使用されるダイシングテープを利用することができる。

以上の如く、実施形態のドレスプレート５０は、板状に構成されてドレス台５２に吸着保持される側の下面である第１面５０Ａとブレード１２をドレッシングする側の上面である第２面５０Ｂと、を有し、ドレスプレート５０の第１面５０Ａが、緩衝材５４を介してドレス台５２に吸着保持される。

一方、ドレス台５２にドレスプレート５０を吸着保持する形態としては、例えばドレス台５２の上面に十字状の溝５２Ａを形成し、この溝と不図示の真空ポンプ等からなる吸引装置とを接続し、吸引装置を駆動して溝５２Ａにドレスプレート５０を吸着させて保持する形態が好ましい。この吸引装置として、ワークテーブル１６の吸引装置を兼用することができるので、装置スペースの有効活用やコストアップの増加を防ぐことができる。また、吸引装置による吸引を停止するだけで、ドレス台５２からドレスプレート５０を容易に取り外すことができる。

〔ダイシング装置１０によるダイシング加工方法〕
まず、ワークテーブル１６の上面にワークＷを載置してワークＷを吸着保持する。次に、ワークテーブル１６に吸着保持されたワークＷを撮像手段によって撮像し、ワークＷの上面の所望のストリートとブレード１２、１２の加工位置を合わせるアライメント作業を行う。

アライメント作業が終了すると、スピンドル１４、１４を起動させてブレード１２、１２を高速回転させるとともに、スピンドル１４、１４の先端に設けた各種ノズルから切削水及び洗浄水をブレード１２、１２に向けて供給する。

この状態でワークテーブル１６をＸ方向に研削送りするとともに、スピンドル１４、１４をＺ方向に切り込み送りを行う。これにより、ワークＷがストリートに沿ってダイシング加工される。１ライン加工する毎にスピンドル１４、１４はＹ方向にインデックス送りされ、一方向の加工が終了するとワークテーブル１６が９０度回転してワークＷが格子状にダイシング加工されていく。

このようにして加工対象の全てのストリートのダイシング加工が完了すると、ワークＷは多数のチップに切断分割される。この後、ワークＷを吸着保持しているワークテーブル１６が所定のワーク交換部に移動され、次に加工すべきワークＷと交換される。この後、上述した加工手順に従って、新たな加工対象となるワークＷのダイシング加工が実施される。

〔第１実施形態に係るブレード１２のドレッシング方法〕
図４は、第１実施形態に係るブレードのドレッシング方法の説明図である。

図４によれば、ドレスプレート５０の下面である第１面５０Ａが緩衝材５４の上面に貼り付けられ、緩衝材５４の下面がドレス台５２に吸着された状態が示されている。すなわち、図４には、ドレスプレート５０の第１面５０Ａを、緩衝材５４を介してドレス台５２に吸着保持した状態で、ドレスプレート５０の上面である第２面５０Ｂに対しブレード１２によって複数の切込溝５８、５８…を、第１方向であるＸ方向に沿って形成するドレッシング作業が示されている。

ドレッシング作業は、ワークＷのダイシング加工が行われている間、ブレード１２、１２をそれぞれ対応するドレスプレート５０、５０の位置まで移動させてドレスプレート５０、５０に押し付け、加工面である第２面５０Ｂに対し、Ｘ方向に相対的に移動させ、数ライン〜数十ライン切り込む。また、ドレッシングの深さＡは、例えば２００μｍ程度である。このようなドレッシング作業は、定期的に実施される。また、ドレッシング作業は、加工中のワークＷをワークテーブル１６から取り外すことなく実施される。ドレッシング作業は、ストリートを１ライン加工する毎に実施してもよいし、複数ライン加工する毎に実施してもよい。ドレッシング作業を行う頻度については、ワークＷの材質や加工精度に応じて適宜決定される。そして、ドレッシング作業の終了後、ワークＷの加工が再開される。

本発明のブレード１２のドレッシング方法は、以下の点に着目してなされたものである。従来において、ドレスプレート５０は、ドレス台５２にドレスプレート５０を直接吸着させるだけで、ドレス台５２に十分な保持力をもって吸着保持されていた。このような実績に基づいて、従来の保持形態（直接吸着保持形態）に何ら工夫を施すことなくブレード１２のドレッシングをドレスプレート５０にて実施したところ、切込溝５８の切削ピッチＰを大きく（例えば、２００μｍ以上）設定した場合には問題は生じなかったが、切削ピッチＰを非常に小さく（例えば、２００μｍ未満）設定した場合には、ドレスプレート５０に生じた反り力がドレス台５２の吸着保持力を上回り、ドレス台５２からドレスプレート５０が脱落する等の問題が発生した。

そこで、本発明は、能力の高い吸引装置に交換することなく、ドレス台５２が持つ本来の吸着保持力を十分に活用するために、ドレスプレート５０の第１面５０Ａを、緩衝材５４を介してドレス台５２に吸着保持させた。

これにより、本発明によれば、ドレス台５２の吸着保持力を十分に活用することができる。そして、切削ピッチＰを非常に小さく設定して、ドレスプレート５０の第２面５０Ｂに対し図４の如くドレッシングを実施しても、緩衝材５４を利用したことによるドレス台５２の吸着保持力が、ドレスプレート５０に生じた反り力よりも上回っているので、ドレス台５２からドレスプレート５０が脱落する等の問題を解消することができる。

また、ドレスプレート５０の第１面５０Ａに、ドレスプレート５０の型番等を示す凹凸の印字が形成されている場合は、ドレス台５２による吸着力を更に低下させる要因となっていたが、緩衝材５４を介在させることにより、ドレスプレート５０の第１面５０Ａに対して最適な保持力を確保することができる。

〔第２実施形態に係るブレード１２のドレッシング方法〕
図５は、第２実施形態に係るブレードのドレッシング方法の説明図であり、図４に示したドレッシング方法と同一又は類似の部材については同一の符号を付し、その説明は省略する。

図５に示す第２実施形態のドレッシング方法は、ドレスプレート５０の第１面５０Ａに、Ｘ方向に直交するＹ方向に沿った切込溝６０を所定のピッチで複数本形成し、この第１面５０Ａを緩衝材５４に貼り付けてドレッシングを実施するものである。

本発明のドレッシング方法は、ドレスプレート５０の第２面５０Ｂを利用してブレード１２のドレッシングを行うと、ドレスプレート５０とブレード１２との間で発生する摩擦抵抗によって、ドレスプレート５０にはブレード１２の相対的な移動方向であるＸ方向に力が作用する。このとき、緩衝材５４に貼り付けられているドレスプレート５０の第１面５０Ａには、Ｘ方向に直交する方向に沿った切込溝６０が形成されている。これにより、ドレスプレート５０に作用するＸ方向の力に対し、切込溝６０を有する第１面５０Ａと緩衝材５４との間で生じる摩擦力が抗するので、ドレスプレート５０が緩衝材５４に対してＸ方向にずれるのを防止することができる。よって、ドレスプレート５０のずれに起因するブレード１２のドレッシング不良を防止することができる。

なお、第２実施形態のドレッシング方法を実施するための切込溝６０の本数は、１本でもよいが、ずれ防止機能を十分に発揮するには、図５の如く第１面５０Ａの全面に複数本の切込溝６０を形成することが好ましい。

〔第３実施形態に係るブレード１２のドレッシング方法〕
図６は、第３実施形態に係るブレード１２のドレッシング方法の説明図である。図７（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は図６に続く第３実施形態に係るブレード１２のドレッシング方法の説明図である。図８は、第３実施形態に係るブレード１２のドレッシング方法のフローチャートである。

第３実施形態のドレッシング方法は、まず、図６の如く、ドレスプレート５０の第１面５０Ａを、緩衝材５４を介してドレス台５２に吸着保持した状態で、ドレスプレート５０の第２面５０Ｂに対しブレードによって複数の切込溝５８、５８…を第１方向に沿って形成する第１ドレッシング工程（図８参照：Ｓｔｅｐ（Ｓ）１００）を備える。第１ドレッシング工程での効果は、図４に示した第１実施形態のドレッシング方法と同一なので、ここでは説明を省略する。

次に、第１ドレッシング工程の終了後、図７（Ａ）の如く、ドレス台５２に吸着保持された緩衝材５４からドレスプレート５０を取り外す。そして、図７（Ｂ）の如く、ドレスプレート５０を反転してドレスプレート５０の第２面５０Ｂを緩衝材５４に貼り付ける貼付工程（図８参照：Ｓ１１０）を備える。

次に、図７（Ｃ）の如く、ドレスプレート５０の第１面５０Ａに対しブレード１２によって複数の切込溝５８をＸ方向に沿って形成する第２ドレッシング工程（図８参照：Ｓ１２０）を備える。

第３実施形態のドレッシング方法によれば、ドレスプレート５０の第１面５０Ａ及び第２面５０Ｂをブレード１２のドレッシングに利用することができるので、一つのドレスプレート５０を用いてより多くのドレッシングを実施することができる。

ところで、図７（Ｂ）及び図８で示した貼付工程（Ｓ１１０）では、ドレスプレート５０の第２面５０Ｂに形成された切込溝５８の方向が、図７（Ｃ）で示した第２ドレッシング工程（Ｓ１２０）におけるＸ方向に沿うように第２面５０Ｂを緩衝材５４に貼り付けてもよいが、これでは、ドレッシング中にドレスプレート５０が緩衝材５４に対して位置ずれする場合がある。

このため、第３実施形態のドレッシング方法では、貼付工程（Ｓ１１０）において、ドレスプレート５０の第２面５０Ｂに形成された切込溝５８の方向が、図７（Ｃ）で示した第２ドレッシング工程（Ｓ１２０）におけるＸ方向に直交するＹ方向となるように第２面５０Ｂを緩衝材に貼り付けている。この効果は以下の通りである。

すなわち、第２ドレッシング工程（Ｓ１２０）において、ドレスプレート５０の第１面５０Ａを利用してブレード１２のドレッシングを行うと、ドレスプレート５０とブレード１２との間で発生する摩擦抵抗によって、ドレスプレート５０にはブレード１２の相対的な移動方向であるＸ方向に力が作用する。このとき、緩衝材５４に貼り付けられているドレスプレート５０の第２面５０Ｂには、Ｘ方向に直交する方向に沿った切込溝５８が形成されている。これにより、ドレスプレート５０に作用するＸ方向の力に対し、切込溝５８を有する第２面５０Ｂと緩衝材５４との間で生じる摩擦力が抗するので、ドレスプレート５０が緩衝材５４に対してＸ方向にずれるのを防止することができる。よって、ドレスプレート５０のずれに起因するブレード１２のドレッシング不良を防止することができる。

Ｗ…ワーク、１０…ダイシング装置、１２…ブレード、１４…スピンドル、１６…ワークテーブル、１８…加工部、２０…洗浄部、２２…ロードポート、２４…搬送装置、２６…制御部、２８…Ｘベース、３０…Ｘガイド、３２…リニアモータ、３４…Ｘテーブル、３６…回転テーブル、３８…Ｙベース、４０…Ｙガイド、４２…Ｙテーブル、４４…Ｚテーブル、５０…ドレスプレート、５２…ドレス台、５４…緩衝材、５６…ブラケット、５８…切込溝、６０…切込溝

Claims (5)

1. ワークテーブルと、前記ワークテーブルに載置されたワークに切削溝を加工するブレードと、前記ワークテーブルと前記ブレードとを相対的に第１方向に移動させて前記ワークに対し前記切削溝を前記第１方向に沿って形成させる送り機構と、前記ブレードをドレッシングするドレス部材を吸着保持するドレス部材保持部と、を備えたダイシング装置において、
   前記ドレス部材保持部に吸着保持された前記ドレス部材は、前記ブレードが押し付けられて前記ブレードが前記第１方向に相対的に移動されることにより前記第１方向に沿った切込溝が形成され、
   前記ドレス部材は、板状に構成されて前記ドレス部材保持部に吸着保持される側の第１面と前記ブレードをドレッシングする側の第２面と、を有し、前記ドレス部材の前記第１面が、前記ドレス部材保持部の吸着保持力の低下を緩衝する緩衝材を介して前記ドレス部材保持部に吸着保持され、
   前記緩衝材は、フィルム状の基材の上面に粘着層が形成された通気性の無いシートである、
   ダイシング装置。
2. 前記ドレス部材の前記第１面には、前記第１方向に直交する方向に沿った切込溝が形成されている、請求項１に記載のダイシング装置。
3. ワークテーブルと、前記ワークテーブルに載置されたワークに切削溝を加工するブレードと、前記ワークテーブルと前記ブレードとを相対的に第１方向に移動させて前記ワークに対し前記切削溝を前記第１方向に沿って形成させる送り機構と、前記ブレードをドレッシングするドレス部材を吸着保持するドレス部材保持部と、を備えたダイシング装置において、
   前記ドレス部材保持部に吸着保持された前記ドレス部材は、前記ブレードが押し付けられて前記ブレードが前記第１方向に相対的に移動されることにより前記第１方向に沿った切込溝が形成され、
   前記ドレス部材は、板状に構成されて前記ドレス部材保持部に吸着保持される側の第１面と前記ブレードをドレッシングする側の第２面と、を有し、
   前記ドレス部材の前記第１面を、前記ドレス部材保持部の吸着保持力の低下を緩衝する緩衝材を介して前記ドレス部材保持部に吸着保持した状態で、前記ドレス部材の前記第２面に対し前記ブレードによって複数の切込溝を前記第１方向に沿って形成する第１ドレッシング工程と、を備え、
   前記緩衝材は、フィルム状の基材の上面に粘着層が形成された通気性の無いシートである、
   ダイシング用ブレードのドレッシング方法。
4. 前記第１ドレッシング工程の終了後、前記ドレス部材保持部に吸着保持された前記緩衝材から前記ドレス部材を取り外し、前記ドレス部材を反転して前記ドレス部材の前記第２面を前記緩衝材に貼り付ける貼付工程と、
   前記ドレス部材の前記第１面に対し前記ブレードによって複数の切込溝を前記第１方向に沿って形成する第２ドレッシング工程と、を備える、
   請求項３に記載のダイシング用ブレードのドレッシング方法。
5. 前記貼付工程において、
   前記ドレス部材の前記第２面に形成された切込溝の方向が、前記第２ドレッシング工程における前記第１方向に直交する方向となるように前記第２面を前記緩衝材に貼り付ける、
   請求項４に記載のダイシング用ブレードのドレッシング方法。

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