JP6613769B2 - レーザ光出射装置 - Google Patents
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Description
図1、図2は、本実施形態の概略構成を示す図である。本実施形態に係るレーザ加工システム1は、加工対象物Wに対してレーザ光を出射する。レーザ加工システム1は、加工対象物Wに出射されたレーザ光を、加工対象物Wに対して走査する。レーザ加工システム1は、レーザ光を走査することにより、加工対象物Wの表面にレーザマーキング加工を行う。
次に、レーザ加工システム1の電気的構成について、図3に基づいて説明する。
次に、折返しミラーユニット60の構成について、図4及び図5に基づいて詳述する。
調整部64は、モータ63及び支持部62を介して、折返しミラー61を本体ベース100に固定する。また、調整部64は、折返しミラー61の傾斜位置を、レーザ発振ユニット50から出射されたレーザ光の光路Pに対して、調整可能に構成される。
次に、レーザ加工システム1について折返しミラー61を駆動させる処理内容について、図6を用いて説明する。
以上、本発明をレーザ加工システム1に適用した場合について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、種々の変更が可能である。
また、上述の実施形態における折返しミラーユニット60は、モータ63の回転軸とともに折返しミラー61を回転させることで、レーザ光路P上に第1面611が配置される出射位置と、レーザ光路P上に第2面612が配置される遮断位置とが切り替えられる構成であった。しかし、折返しミラー61を移動させることで、出射位置と遮断位置とを切り替えられる構成ならば、種々の構成を採用することができる。例えば、図8に示すように、ソレノイド63bによって、折返しミラー61bをレーザ光の光路Pに対してスライド移動させる構成でも良い。
11 レーザ加工装置本体
12 励起光部
13 レーザコントローラ
14 PC
50 レーザ発振ユニット
60 折返しミラーユニット
61 折返しミラー
611 第1面
612 第2面
613 突起構造
62 支持部
63 モータ
631 モータ軸
64 調整部
641 第1金属板
642 第2金属板
643 第3金属板
644a リベット
644b リベット
645a ボルト
645b ボルト
70 吸収材
80 反射ミラー
90 走査ユニット
91 X軸ガルバノモータ
92 Y軸ガルバノモータ
95 ガルバノドライバ
100 本体ベース
62b 支持部
63b ソレノイド
P 光路
W 印字対象物
Claims (10)
- レーザ光を発振するレーザ光発振部と、
前記レーザ光発振部から出射されたレーザ光のレーザ光路上に配置され、レーザ光を反射させてレーザ光の進行方向を変更する折返しミラーと、
前記折返しミラーを所定方向に移動可能に支持する支持部と、
前記折返しミラーを移動させる駆動部と、
前記駆動部を制御する制御部と、
レーザ光を吸収する吸収材と、
を有し、
前記折返しミラーは、第1面と第2面とを有し、
前記第1面は、入射されたレーザ光を全反射する全反射面であり、
前記第2面が前記レーザ光路上に配置されたときの前記第2面の前記レーザ光路に対する角度は、前記第2面に入射したレーザ光を前記吸収材へ反射するように定められた角度であり、
前記制御部は、
前記第1面が前記レーザ光路上に配置されるように、前記駆動部を制御する第1制御と、
前記第2面が前記レーザ光路上に配置されるように、前記駆動部を制御する第2制御と、を切り替える
ことを特徴とするレーザ光出射装置。 - 前記第2面は、当該第2面の光吸収率が前記第1面の光吸収率より大きい面であることを特徴とする請求項1に記載のレーザ光出射装置。
- 前記第2面のレーザ光が入射する面に、レーザ光が入射する方向に向かって突出する突起構造が形成されていることを特徴とする請求項2に記載のレーザ光出射装置。
- 前記支持部は、前記折返しミラーが回転するように前記折返しミラーを支持することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のレーザ光出射装置。
- 前記折返しミラーが回転する回転軸が、前記第1面と垂直に設けられることを特徴とする請求項4に記載のレーザ光出射装置。
- 前記支持部は、前記折返しミラーが前記光路と交差する方向に移動するように前記折返しミラーを支持することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のレーザ光出射装置。
- 前記支持部は、前記折返しミラーの前記第1面と平行な方向に前記折返しミラーが移動するように前記折返しミラーを支持することを特徴とする請求項6に記載のレーザ光出射装置。
- 前記駆動部は、前記折返しミラーに対して前記レーザ光発振部の反対側に配置されることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載のレーザ光出射装置。
- 前記第1面の傾斜位置を、前記レーザ光の光路に対して調整する調整部をさらに有し、
前記調整部は、
前記レーザ光路に対する位置が固定される本体部と、
前記駆動部を介して前記支持部を保持する保持部と、
前記本体部に対して前記保持部を位置の変更可能に連結する連結部と、
を有し、
前記駆動部は、前記保持部に固定されることを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載のレーザ光出射装置。 - 前記レーザ光出射装置からレーザ光を発振させるか否かを受け付ける受付部を、さらに有し、
前記制御部は、
受付部が、レーザ光を発振させる指示を受け付けた場合、前記第1制御を実行することを特徴とする請求項1から9のいずれかに記載のレーザ光出射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015192880A JP6613769B2 (ja) | 2015-09-30 | 2015-09-30 | レーザ光出射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015192880A JP6613769B2 (ja) | 2015-09-30 | 2015-09-30 | レーザ光出射装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2017064751A JP2017064751A (ja) | 2017-04-06 |
JP6613769B2 true JP6613769B2 (ja) | 2019-12-04 |
Family
ID=58493467
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015192880A Active JP6613769B2 (ja) | 2015-09-30 | 2015-09-30 | レーザ光出射装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6613769B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102489536B1 (ko) * | 2018-04-06 | 2023-01-17 | 에이피시스템 주식회사 | 기판 처리 장치 및 광 경로 조절 장치 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6271903A (ja) * | 1985-09-25 | 1987-04-02 | Asahi Optical Co Ltd | レ−ザ光吸収装置 |
JP2550370B2 (ja) * | 1987-12-02 | 1996-11-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体製造装置 |
JPH11188493A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-07-13 | Toshiba Electronic Engineering Corp | レーザ加工方法およびその装置 |
JP4340943B2 (ja) * | 2000-09-11 | 2009-10-07 | 澁谷工業株式会社 | レーザ照射装置 |
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2015
- 2015-09-30 JP JP2015192880A patent/JP6613769B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017064751A (ja) | 2017-04-06 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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