JP4575825B2 - レーザ加工装置 - Google Patents
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Description
請求項1に記載の発明によれば、可視光光源からのガイド光をレーザ光の光軸と同軸となるように入射させるガイド光入射手段が、ビームエキスパンダを構成する少なくとも2つのレンズ間に配置される。ここで、ビームエキスパンダの倍率(性能)は内部の両レンズの焦点距離により決定されるため、これら両レンズ間の距離縮小に限界がある。これにより、これら両レンズ間に空間が生じるため、この空間(デッドスペース)にガイド光入射手段を配置してその配置効率を向上させることで、従来構造と比べて、レーザ光の光路長を短くでき、もってレーザ加工装置の小型化に寄与することができる。
図1は、本実施の形態のレーザ加工装置10の構成ブロック図である。本実施の形態のレーザ加工装置10は、加工対象物Wの表面に文字・記号・図形などをマーキング加工するものである。
レーザ光源11の後段には、ビームエキスパンダ13が配設されている。ビームエキスパンダ13は、レーザ光源11から出射されたレーザ光を一定の倍率、より詳しくは入射ビーム径(幅)に対する出射ビーム径(幅)の比率の平行光に拡大するために設けられている。因みに、後段の収束レンズ16に入射するレーザ光のビーム径が大きいほど収束レンズ16から出射されたレーザ光のスポットが微小となるため、ビームエキスパンダ13を用いてレーザ光のビーム径を一旦拡大する。
(1)可視光光源24からのガイド光をレーザ光の光軸と同軸となるように入射させるダイクロイックミラー22と、レーザ光の光路外に配置されレーザ光を検出する受光素子27にレーザ光の一部を導出するハーフミラー26とが、ビームエキスパンダ13を構成する入射レンズ17と出射レンズ18との間に配置されている。即ち、ビームエキスパンダ13の倍率(性能)を確保する上で内部の両レンズ17,18間に空間が生じるため、この空間(デッドスペース)にダイクロイックミラー22とハーフミラー26とを配置してその配置効率を向上させることで、レーザ光の光路長を短くでき、もってレーザ加工装置10の小型化に寄与することができる。
・上記実施の形態では、ダイクロイックミラー22とハーフミラー26とを共に、ビームエキスパンダ13を構成する入射レンズ17と出射レンズ18との間に配置する構成であったが、ミラー22,26のいずれか一方であってもよい。即ち、レーザ加工装置10にガイド光照射装置21が必要ないときにはダイクロイックミラー22が省略され、モニタ装置25が必要ないときにはハーフミラー26が省略される。また、ダイクロイックミラー22及びハーフミラー26といったミラー以外の部材にてガイド光の入射やレーザ光の導出を行うようにしてもよい。また、これらの他にレーザ光の光路上に配置してレーザ加工装置10の機能を向上させる機能向上手段をビームエキスパンダ13内の入射レンズ17と出射レンズ18との間に配置してもよい。
Claims (10)
- レーザ光源から出射されるレーザ光のビーム幅を拡大する入射レンズ及び出射レンズの少なくとも2つのレンズを有するビームエキスパンダを備え、該ビームエキスパンダを経たレーザ光を収束レンズにて収束して加工対象物に照射し該加工対象物を加工するレーザ加工装置において、
前記レーザ光の光路外に配置され、可視領域のガイド光を出射する可視光光源と、
前記レーザ光の光路上に配置され、前記ガイド光を前記レーザ光の光軸と同軸となるように入射させるガイド光入射手段と、を備え、
前記ガイド光入射手段は、前記ビームエキスパンダの前記2つのレンズ間に配置されることを特徴とするレーザ加工装置。 - レーザ光源から出射されるレーザ光のビーム幅を拡大する入射レンズ及び出射レンズの少なくとも2つのレンズを有するビームエキスパンダを備え、該ビームエキスパンダを経たレーザ光を収束レンズにて収束して加工対象物に照射し該加工対象物を加工するレーザ加工装置において、
前記レーザ光の光路外に配置され、前記レーザ光を検出すべく受光する受光手段と、
前記レーザ光の光路上に配置され、前記レーザ光の光路外に配置される前記受光手段に前記レーザ光の少なくとも一部を導出するレーザ光導出手段と、を備え、
前記レーザ光導出手段は、前記ビームエキスパンダの前記2つのレンズ間に配置されることを特徴とするレーザ加工装置。 - レーザ光源から出射されるレーザ光のビーム幅を拡大する入射レンズ及び出射レンズの少なくとも2つのレンズを有するビームエキスパンダを備え、該ビームエキスパンダを経たレーザ光を収束レンズにて収束して加工対象物に照射し該加工対象物を加工するレーザ加工装置において、
前記レーザ光の光路外に配置され、可視領域のガイド光を出射する可視光光源と、
前記レーザ光の光路上に配置され、前記ガイド光を前記レーザ光の光軸と同軸となるように入射させるガイド光入射手段と、
前記レーザ光の光路外に配置され、前記レーザ光を検出すべく受光する受光手段と、
前記レーザ光の光路上に配置され、前記レーザ光の光路外に配置される前記受光手段に前記レーザ光の少なくとも一部を導出するレーザ光導出手段と、を備え、
前記ガイド光入射手段及び前記レーザ光導出手段は、前記ビームエキスパンダの前記2つのレンズ間に配置されることを特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項1又は3に記載のレーザ加工装置において、
前記レーザ光による加工時には、前記レーザ光源から前記レーザ光を出射させると共に前記可視光光源からの前記ガイド光の出射を停止させ、前記ガイド光による投射時には、前記レーザ光源からの前記レーザ光の出射を停止させると共に前記可視光光源から前記ガイド光を出射させるように制御する切替制御手段を備えたことを特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項1,3,4のいずれか1項に記載のレーザ加工装置において、
前記ガイド光入射手段を前記レーザ光の光路上又は光路外に切り替え配置可能な進退駆動手段を備えたことを特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項5に記載のレーザ加工装置において、
前記レーザ光による加工時には、前記ガイド光入射手段を前記レーザ光の光路外に退避させるべく前記進退駆動手段を制御し、前記ガイド光による投射時には、前記ガイド光入射手段を前記レーザ光の光路上に進入させるべく前記進退駆動手段を制御する進退制御手段を備えたことを特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項2又は3に記載のレーザ加工装置において、
前記レーザ光導出手段を前記レーザ光の光路上又は光路外に切り替え配置可能な進退駆動手段を備えたことを特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項7に記載のレーザ加工装置において、
前記レーザ光による加工時には、前記レーザ光導出手段を前記レーザ光の光路外に退避させるべく前記進退駆動手段を制御し、前記レーザ光の検出時には、前記レーザ光導出手段を前記レーザ光の光路上に進入させるべく前記進退駆動手段を制御する進退制御手段を備えたことを特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項1,3〜6のいずれか1項に記載のレーザ加工装置において、
前記可視光光源と前記ガイド光入射手段との間には、該可視光光源から出射される前記ガイド光を収束又は発散させるガイド用レンズが備えられ、
前記ガイド用レンズは、前記ビームエキスパンダから出射される前記ガイド光が平行光となるような屈折率に設定されていることを特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項1,3〜6,9のいずれか1項に記載のレーザ加工装置において、
前記ビームエキスパンダの加工対象物側のレンズ及び前記収束レンズは、色消しレンズであることを特徴とするレーザ加工装置。
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