JP6609427B2 - ワイヤ放電加工機 - Google Patents

Description

本発明は、放電によって被加工物を加工するワイヤ放電加工機に関する。

放電によって加工を行うワイヤ放電加工機には、固定した被加工物に対し、ワイヤ電極の加工部を移動させるものと、固定したワイヤ電極の加工部に対し、被加工物を移動させるものがあり、被加工物を移動させるワイヤ放電加工機の具体例が特許文献１に記載されている。
特許文献１のワイヤ放電加工機は、被加工物が固定されたテーブルをＸ軸方向及びＹ軸方向に移動して、ワイヤ電極に対する被加工物の位置を変える。テーブルの位置調整精度は、加工の正確性に大きな影響を与えるため、テーブルの正確な移動は、加工精度を高める上で、重要である。

特許文献１では、説明が省略されているが、この種のワイヤ放電加工機においては、図９に示す構造によって、テーブル１００がＸ軸方向及びＹ軸方向に移動するようにしている。即ち、Ｙ軸方向に沿ったガイドレール１０１に、サドル１０２の下部に設けられたスライドブロック１０３を移動可能に取り付け、サドル１０２の上部に設けられたＸ軸方向に沿ったガイドレール１０４に、テーブル１００の下部に設けられたスライドブロック１０５を移動可能に取り付ける。これによって、テーブル１００は、サドル１０２がガイドレール１０１に沿って進退するのに伴いＹ軸方向に移動し、テーブル１００が、スライドブロック１０５と共に、ガイドレール１０４に沿って進退することによって、Ｘ軸方向に移動する。

従来、スライドブロック１０３、１０５には、玉やころの複数の転動体を有する直動式の転がり軸受が用いられ、スライドブロック１０３、１０５は、転動体の転がりを利用して、ガイドレール１０１、１０４との間に生じる摩擦力をそれぞれ抑制し、テーブル１００を円滑に移動させる。
ここで、転がり軸受とは、特許文献２の図５に代表例が記載されているように、スライドブロック（軸受本体）とガイドレールの間に設けられた複数の玉（ボール）が、ガイドレールに形成されたガイド溝に沿って転動して、スライドブロックが移動するものである。玉は、スライドブロック及びガイドレールに接触している部分に予圧が加えられ、玉の転動によりスライドブロック及びガイドレールに接触していた状態が解除されることによって、その予圧が抜ける。
直動式の転がり軸受を利用したスライドブロックとガイドレールの組み合わせが採用される理由として、取り付けが容易で生産性に優れる点や、組み付けに影響されずに摩擦力を低く抑えることができる点が挙げられる。

特開２００４−２０９６２２号公報 特開２００８−２７９５４１号公報

ところで、近年、ワイヤ放電加工機は、求められる加工精度が上昇している。本発明者らは、加工精度の向上を目的に、鋭意検討の結果、テーブルが、移動の際に、その移動方向と異なる方向において、マイクロメートルオーダで変位し、そのテーブルの変位が加工精度に悪影響を与えていることを確認した。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされるもので、テーブルを移動の際に、その移動方向とは異なる方向にテーブルが変位するのを抑制可能なワイヤ放電加工機を提供することを目的とする。

前記目的に沿う本発明に係るワイヤ放電加工機は、被加工物が固定されたテーブルを移動して、ワイヤ電極に対する前記被加工物の位置を変えるワイヤ放電加工機において、前記テーブルをＸ軸方向に進退可能に載置するサドルと、前記サドルを、前記Ｘ軸方向に垂直なＹ軸方向に進退可能に載置するベース台とを備え、前記テーブルは、下側に、第１の受け部を有し、前記サドルは、前記第１の受け部が面接触した状態で摺動可能に連結された第１のガイドを上側に、第２の受け部を下側に、それぞれ有し、前記ベース台は、上側に、前記第２の受け部が面接触した状態で摺動可能に連結された第２のガイドを有し、前記第１の受け部は、２つあって、それぞれ、樹脂からなる第１の摺動部材を備え、前記Ｙ軸方向負側に配された該第１の受け部が備える該第１の摺動部材は、水平部Ｊ及び該水平部Ｊの前記Ｙ軸方向正側に連続して形成された垂下部Ｋのみを備え、前記Ｙ軸方向正側に配された前記第１の受け部が備える前記第１の摺動部材は、水平部Ｍ及び該水平部Ｍの前記Ｙ軸方向負側に連続して形成された垂下部Ｎのみを備え、前記第１のガイドは２つあって、前記Ｙ軸方向負側に配された一方の該第１のガイドは、前記水平部Ｊに面接触する平面部ｊ及び前記垂下部Ｋに面接触する平面部ｋを備え、前記Ｙ軸方向正側に配された他方の該第１のガイドは、前記水平部Ｍに面接触する平面部ｍ及び前記垂下部Ｎに面接触する平面部ｎを備え、前記第２の受け部は、２つあって、それぞれ、樹脂からなる第２の摺動部材を備え、前記Ｘ軸方向正側に配された該第２の受け部が備える該第２の摺動部材は、水平部Ｐ及び該水平部Ｐの前記Ｘ軸方向負側に連続して形成された垂下部Ｑのみを備え、前記Ｘ軸方向負側に配された前記第２の受け部が備える前記第２の摺動部材は、水平部Ｒ及び該水平部Ｒの前記Ｘ軸方向正側に連続して形成された垂下部Ｓのみを備え、前記第２のガイドは２つあって、前記Ｘ軸方向正側に配された該第２のガイドは、前記水平部Ｐに面接触する平面部ｐ及び前記垂下部Ｑに面接触する平面部ｑを備え、前記Ｘ軸方向負側に配された前記第２のガイドは、前記水平部Ｒに面接触する平面部ｒ及び前記垂下部Ｓに面接触する平面部ｓを備える。
本発明者らは、数々の検証によって、テーブルを移動させる構造に、直動式の転がり軸受（即ち、テーブルが移動する際に、玉に対し、予圧がかかった状態と、予圧がかかっていない状態が繰り返される構造を持つ軸受）を用いることが、テーブルに移動方向とは異なる方向の変位を招来させる原因であることを突き止めた。これは、直動式の転がり軸受の各転動体にかかる圧力が、テーブルの移動に伴い変化することによるものと考えられる。そして、受け部とガイドを面接触した状態で摺動可能に連結する構造を採用することで、直動式の転がり軸受を用いる構造に比べ、テーブルの移動方向とは異なる方向の変位を抑制できることが認められた。

本発明に係るワイヤ放電加工機において、前記第１の摺動部材と前記第１のガイドが面接触する部分、及び、前記第２の摺動部材と前記第２のガイドが面接触する部分に、潤滑油が供給されるのが好ましい。

本発明に係るワイヤ放電加工機において、前記潤滑油の吐出口は、前記第１、第２の受け部に形成されているのが好ましい。

本発明に係るワイヤ放電加工機において、前記潤滑油は、連続的に供給されるのが好ましい。

本発明に係るワイヤ放電加工機は、テーブルの第１の受け部が、サドルの第１のガイドに面接触した状態で摺動可能に連結され、サドルの第２の受け部が、ベース台の第２のガイドに面接触した状態で摺動可能に連結されているので、テーブルの移動を、その移動方向とは異なる方向にテーブルが変位するのを抑制した状態で行うことが可能である。

本発明の一実施の形態に係るワイヤ放電加工機の説明図である。 同ワイヤ放電加工機の部分側断面図である。 （Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、同ワイヤ放電加工機のテーブルの底面図及び変形例に係るテーブルの底面図である。 サドルとベース台の連結を示す説明図である。 比較例の被加工物の振動を示すグラフである。 実施例１の被加工物の振動を示すグラフである。 （Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ、実施例２、３の被加工物の移動の様子を示すグラフである。 実施例２、３の被加工物の加工のばらつきを示すグラフである。 従来例に係るワイヤ放電加工機のテーブルを移動させる構造を示す説明図である。

続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。
図１に示すように、本発明の一実施の形態に係るワイヤ放電加工機１０は、被加工物Ｗが固定されたテーブル１１を移動して、ワイヤ電極１２に対する被加工物Ｗの位置を変えるものである。以下、詳細に説明する。

ワイヤ放電加工機１０は、図１に示すように、被加工物Ｗが固定されるテーブル１１と、テーブル１１をＸ軸方向に進退可能に載置するサドル１３と、サドル１３をＹ軸方向に進退可能に載置するベース台１４を備えている。ここで、Ｘ軸及びＹ軸は、それぞれ水平に配された仮想軸であり、Ｘ軸とＹ軸は直交している。即ち、Ｙ軸方向はＸ軸方向に対して垂直（直角）である。
被加工物Ｗは、支持部材１５によってテーブル１１に固定され、図示しない加工液が蓄えられた加工槽１６が、テーブル１１に載置されている。被加工物Ｗ及び支持部材１５は、加工槽１６に収容されて、加工槽１６内の加工液に浸漬される。

平面視して、矩形状のテーブル１１には、図１、図２、図３（Ａ）に示すように、下側に、Ｙ軸方向負側に形成された溝状の受け部１７（第１の受け部）、及び、Ｙ軸方向正側（一側）に形成された溝状の受け部１８（第１の受け部）が設けられている。受け部１７、１８は、それぞれＸ軸方向に沿って形成され、図２、図３（Ａ）に示すように、溝状の受け部１７、１８に、摩擦を抑制する摺動部材１９、２０（第１の摺動部材）が、接着剤によってそれぞれ固定されている。即ち、テーブル１１は、受け部１７、１８を有し、受け部１７、１８は、それぞれ摺動部材１９、２０を備えている。

本実施の形態では、摺動部材１９、２０は、図３（Ａ）に示すように、Ｘ軸方向に沿って長い合成樹脂であり、テフロンと砲金粒子を混合して成型されている。摺動部材１９は、図２、図３（Ａ）に示すように、水平に配された板状の水平部１９ａ及び水平部１９ａのＹ軸方向正側に連続して形成された板状の垂下部１９ｂを備え、摺動部材２０は、水平に配された板状の水平部２０ａ及び水平部２０ａのＹ軸方向負側に連続して形成された板状の垂下部２０ｂを備えている。
なお、図１においては、摺動部材１９、２０の記載が省略されている。

サドル１３は、図２、図４に示すように、上側に、Ｘ軸方向に長い凸状のガイド２１、２２（第１のガイド）を有している。サドル１３のＹ軸方向負側に設けられたガイド２１は、受け部１７に嵌入されて、摺動部材１９の水平部１９ａ及び垂下部１９ｂに面接触した状態で受け部１７に摺動可能に連結されている。サドル１３のＹ軸方向正側に設けられたガイド２２は、受け部１８に嵌入されて、摺動部材２０の水平部２０ａ及び垂下部２０ｂに面接触した状態で受け部１８に摺動可能に連結されている。

ガイド２１は、受け部１７に比べてＸ軸方向に長く、上側に、摺動部材１９の水平部１９ａに面接触する平面部２１ａと摺動部材１９の垂下部１９ｂに面接触する平面部２１ｂとを備えている。ガイド２２は、受け部１８に比べてＸ軸方向に長く、上側に、摺動部材２０の水平部２０ａに面接触する平面部２２ａと摺動部材２０の垂下部２０ｂに面接触する平面部２２ｂとを備えている。

サドル１３には、図２に示すように、螺子軸２３が連結されたモータ２４が固定され、Ｘ軸方向に配された螺子軸２３には、テーブル１１に固定されたナット２５が装着されている。螺子軸２３は、図示しない軸受によって支持されている。
モータ２４は、駆動方向が切り替え可能であり、螺子軸２３を、左回転及び右回転させるこができる。ナット２５は、螺子軸２３が左回転することにより、螺子軸２３に沿ってＸ軸方向正側（一側）に移動し、螺子軸２３が右回転することにより、螺子軸２３に沿ってＸ軸方向負側（他側）に移動する。

テーブル１１は、モータ２４の駆動によって、ガイド２１、２２に案内されて、ナット２５と共にＸ軸方向で進退する。テーブル１１とサドル１３は、摺動部材１９及びガイド２１が、水平部１９ａと平面部２１ａ及び垂下部１９ｂと平面部２１ｂをそれぞれ面接触して摩擦力を抑制した状態で連結され、摺動部材２０及びガイド２２が、水平部２０ａと平面部２２ａ及び垂下部２０ｂと平面部２２ｂをそれぞれ面接触して摩擦力を抑制した状態で連結されている。

ここで、ガイド２１、２２は、硬度ＨＳ６５〜７５の焼き入れ鋼であり、平面部２１ａ、２１ｂ及び平面部２２ａ、２２ｂは、研磨によって、表面粗さの低減化（本実施の形態では、表面粗さＲａが０．３μｍ以下）及び平坦化（本実施の形態では、Ｘ軸方向の全長に渡る平坦度が１０μｍ以下）が図られ、摺動部材１９、２０は、それぞれガイド２１、２２に接触する部分が均一に加工されていることから、ガイド２１と摺動部材１９の間の摩擦力、及び、ガイド２２と摺動部材２０の間の摩擦力は、それぞれ低減されている。そのため、テーブル１１は、サドル１３に対して、Ｘ軸方向で円滑に移動可能である。

また、図１に示すように、テーブル１１に対して潤滑油を送る油供給手段２６が、配管２７を介して、テーブル１１に接続され、テーブル１１には、図２に示すように、配管２７に連結された流路２８が設けられている。そして、流路２８の出側である潤滑油の吐出口２９、３０が、図２、図３（Ａ）に示すように、受け部１７、１８にそれぞれ配されている。

本実施の形態の摺動部材１９、２０には、図３（Ａ）に示すように、下側が開口した溝３１、３２がそれぞれ設けられている。溝３１は、摺動部材１９の水平部１９ａの幅方向（Ｙ軸方向）中央に、Ｘ軸方向に沿って形成された１つの直線部３１ａ、及び、Ｙ軸方向に沿って設けられ直線部３１ａと直交する複数の直線部３１ｂを備え、溝３２も、摺動部材２０の水平部２０ａの幅方向（Ｙ軸方向）中央に、Ｘ軸方向に沿って形成された１つの直線部３２ａ、及び、Ｙ軸方向に沿って設けられ直線部３２ａと直交する複数の直線部３２ｂを備えている。溝３１の底部（即ち、摺動部材１９）に、複数の吐出口２９が、Ｘ軸方向に所定のピッチで設けられ、溝３２の底部（即ち、摺動部材２０）に、複数の吐出口３０が、Ｘ軸方向に所定のピッチで設けられている。

摺動部材の水平部に設けられる溝は、溝３１、３２の形状に限定されず、例えば、図３（Ｂ）に示されているように、複数のＺ（アルファベットのＺ）を連結した形状の溝であってもよい。
なお、摺動部材１９の垂下部１９ｂ及び摺動部材２０の垂下部２０ｂにも、潤滑油の吐出口及び溝が形成されている。

油供給手段２６から送られた潤滑油は、配管２７及び流路２８を通って、複数の吐出口２９、３０から送り出される。複数の吐出口２９から出た潤滑油は、溝３１を伝って、溝３１全体から摺動部材１９とガイド２１が面接触する部分に供給され、複数の吐出口３０から出た潤滑油は、溝３２を伝って、溝３２全体から摺動部材２０とガイド２２が面接触する部分に供給される。摺動部材１９とガイド２１の接触面に生じる摩擦力、及び、摺動部材２０とガイド２２の接触面に生じる摩擦力は、供給される潤滑油によって低減される。

本実施の形態では、摺動部材１９の水平部１９ａにおいて、溝３１を除く領域に、ガイド２１の平面部２１ａにそれぞれ面接触する複数の凸部と、その凸部より２〜３μｍ凹んだ（即ち、上方に位置する）複数の凹部が、それぞれ万遍なく設けられている。潤滑油は、その複数の凹部を流路として、摺動部材１９の水平部１９ａとガイド２１の平面部２１ａの接触領域に、安定的に供給される。複数の凸部の合計面積は、摺動部材１９の水平部１９ａの溝３１を除く領域全体の面積の１５〜２５％である。また、複数の凸部及び複数の凹部が設けられている点は、摺動部材２０の水平部２０ａにおいても同じである。

ここで、潤滑油の吐出口２９、３０はそれぞれ、受け部１７、１８ではなく、ガイド２１、２２に設けることもできるが、受け部１７、１８に設ける場合、ガイド２１、２２に設ける場合に比べ、受け部１７とガイド２１が接触している領域全体、及び、受け部１８とガイド２２が接触している領域全体へ、潤滑油を効率的に供給可能である。なお、潤滑油の吐出口２９、３０をガイド２１、２２にそれぞれ設ける場合、油供給手段２６に配管２７を介して接続される流路２８は、サドル１３に設けられる。
しかも、本実施の形態においては、潤滑油が、連続的に供給されているので、間欠的に潤滑油が供給される場合に比べ、スティックスリップの発生を安定的に抑制することができる。

また、サドル１３は、図１、図２、図４に示すように、下側に、溝状の受け部３３、３４（第２の受け部）を有している。受け部３３は、サドル１３のＸ軸方向正側に、Ｙ軸方向に沿って設けられ、受け部３４は、サドル１３のＸ軸方向負側に、Ｙ軸方向に沿って設けられている。受け部３３、３４は、図２、図４に示すように、底部に、テフロンと砲金粒子を混合して成型されたＹ軸方向に長い摺動部材３７、３８（第２の摺動部材）をそれぞれ備えている。
摺動部材３７は、板状の水平部３７ａ及び水平部３７ａのＸ軸方向負側に連続して形成された垂下部３７ｂを備え、摺動部材３８は、板状の水平部３８ａ及び水平部３８ａのＸ軸方向正側に連続して形成された垂下部３８ｂを備えている。

ベース台１４は、上側に、Ｙ軸方向に沿って長いガイド４１、４２（第２のガイド）を有している。上方に突出したガイド４１、４２は、図４に示すように、Ｘ軸方向に間隔を空けて設けられている。ガイド４１は、摺動部材３７の水平部３７ａに面接触する平面部４１ａと、摺動部材３７の垂下部３７ｂに面接触する平面部４１ｂを有し、ガイド４２は、摺動部材３８の水平部３８ａに面接触する平面部４２ａと、摺動部材３８の垂下部３８ｂに面接触する平面部４２ｂを有している。

受け部３３は、図２、図４に示すように、摺動部材３７の水平部３７ａ及び垂下部３７ｂが、ガイド４１の平面部４１ａ、４１ｂにそれぞれ面接触した状態で、ガイド４１に摺動可能に連結され、受け部３４は、摺動部材３８の水平部３８ａ及び垂下部３８ｂが、ガイド４２の平面部４２ａ、４２ｂにそれぞれ面接触した状態で、ガイド４２に摺動可能に連結されている。

サドル１３には、図１に示すように、油供給手段２６が、配管２７を介して接続され、配管２７は、図２に示すように、サドル１３に形成された流路４６に連結されている。摺動部材３７、３８には、Ｘ軸方向中央にＹ軸方向に沿った１つの直線部、及び、Ｘ軸方向に沿って設けられた複数の直線部からなる溝３１と同様の形状の図示しない溝が形成され、摺動部材３７、３８の溝（即ち、受け部３３、３４）には、配管２７の出側である潤滑油の複数の吐出口４７がそれぞれ形成されている。

油供給手段２６から配管２７を経由して流路４６に送られた潤滑油は、摺動部材３７に形成された吐出口４７から溝を伝って、摺動部材３７とガイド４１が面接触する部分に供給され、摺動部材３８に形成された吐出口４７から溝を伝って、摺動部材３８とガイド４２が面接触する部分に供給される。
本実施の形態では、摺動部材３７の水平部３７ａにおいても、溝を除く領域に、ガイド４１の平面部４１ａにそれぞれ面接触する複数の凸部と、その凸部より２〜３μｍ凹んだ（即ち、上方に位置する）複数の凹部が、それぞれ万遍なく設けられているため、潤滑油は、その複数の凹部を流路として、摺動部材３７の水平部３７ａとガイド４１の平面部４１ａの接触領域に、安定的に供給される。この複数の凸部及び複数の凹部が設けられている点は、摺動部材３８の水平部３８ａにおいても同じである。

また、ガイド４１、４２も、ガイド２１、２２と同様に、硬度ＨＳ６５〜７５の焼き入れ鋼であり、平面部４１ａ、４１ｂ及び平面部４２ａ、４２ｂは、研磨によって、表面粗さの低減化（本実施の形態では、表面粗さＲａが０．３μｍ以下）及び平坦化（本実施の形態では、Ｙ軸方向の全長に渡る平坦度が１０μｍ以下）が図られ、摺動部材３７、３８は、それぞれガイド４１、４２に接触する部分が均一に加工されている。従って、ガイド４１と受け部３３は、ガイド４１と摺動部材３７の間の摩擦力が抑制された状態で連結され、ガイド４２と受け部３４も、ガイド４２と摺動部材３８の間の摩擦力が抑制された状態で連結されている。

ベース台１４には、図２に示すように、螺子軸４８が連結されたモータ４９が固定され、Ｙ軸方向に配された螺子軸４８には、図２、図４に示すように、サドル１３に固定されたナット５０が装着されている。なお、螺子軸４８は、図示しない軸受によって支持されている。
モータ４９は、螺子軸４８を右回転及び左回転させることができ、ナット５０は、螺子軸４８が右回転することにより、螺子軸４８に沿ってＹ軸方向正側（一側）に移動し、螺子軸２３が左回転することにより、螺子軸４８に沿ってＹ軸方向負側（他側）に移動する。

また、ベース台１４には、図１に示すように、上下に長いコラム５１が連結され、コラム５１の上側には、Ｙ軸方向に配されたガイド５２に進退可能に装着されたスライドブロック５３が載せられている。そして、スライドブロック５３には、スライドブロック５３に対してＸ軸方向に移動可能な支持ブロック５４が取り付けられ、支持ブロック５４には、支持ブロック５４に対して昇降する昇降部材５５が装着されている。なお、図１においては、スライドブロック５３、支持ブロック５４及び昇降部材５５をそれぞれ移動させる駆動源の記載を省略している。

昇降部材５５には、上ワイヤガイド５６が固定され、コラム５１に固定された支持部材５７には、上ワイヤガイド５６の下方に固定された下ワイヤガイド５８が取り付けられている。上ワイヤガイド５６は、スライドブロック５３、支持ブロック５４及び昇降部材５５の位置調整により、移動する。ワイヤ電極１２は、図示しないワイヤ供給手段から供給され、上ワイヤガイド５６及び下ワイヤガイド５８によって張設された状態で支持される。
なお、図１においては、ワイヤ電極１２の上ワイヤガイド５６より上流側の部分及び下ワイヤガイド５８の下流側の部分の記載が、省略されている。

ワイヤ電極１２の上ワイヤガイド５６と下ワイヤガイド５８の間の張設された部分は、上ワイヤガイド５６の移動によって、被加工物Ｗに対する角度が変えられる。
被加工物Ｗの加工は、主として、テーブル１１の位置調整により、ワイヤ電極１２の上ワイヤガイド５６と下ワイヤガイド５８の間の部分に対して被加工物Ｗの位置を変えることによって行われる。そして、ワイヤ電極１２の上ワイヤガイド５６と下ワイヤガイド５８の間の張設された部分の角度調整によって、被加工物Ｗに対するテーパ加工等をなすことができる。

次に、本発明の作用効果を確認するために行った実験について説明する。
１つ目の実験では、被加工物が固定されたテーブルを移動させ、被加工物がテーブルの進行方向（以下、単に「進行方向」ともいう）に対して直交する方向（以下、単に「直交方向」ともいう）に振動する振幅（変位する幅）を計測した。振幅の計測は、ガイドに対し直動式の転がり軸受を接触させて、受け部をガイドに移動可能に連結した比較例と、ガイドに対して受け部を面接触させて摺動可能に連結した実施例１それぞれに対して行った。比較例及び実施例１の実験結果を、それぞれ図５、図６に示す。

図５、図６のグラフは、横軸が、被加工物の進行方向の移動量を示し、縦軸が、被加工物の直交方向の振幅を示す。図５、図６のグラフは、縦軸の縮尺が等しい。
図５のＤ１及び図６のＤ２は、それぞれ、比較例における被加工物の一の振動の振幅、及び、実施例１における被加工物の一の振動の振幅であり、Ｄ１＝０．２５μｍ、Ｄ２＝０．０５μｍである。振幅が小さいほど、加工精度が高くなることは言うまでもない。
実験結果より、実施例１は、比較例と比べて、振幅が小さいのが明らかであることから、実施例１は、比較例に比べ、振動を抑制した状態で加工できることが確認された。

２つ目の実験では、摺動部材とガイドが面接触する部分に対して、潤滑油を間欠的に供給する実施例２と、潤滑油を連続的に供給する実施例３について、被加工物の移動の様子を比較した。具体的には、被加工物を３．７５μｍ前進させた後、３．７５μｍ後退させる指令信号をモータに与えた際の、被加工物の動きを記録し、記録したデータを、横軸が時間軸で縦軸が被加工物の移動量を示すグラフに出力した。実施例２、３に対応するグラフは、図７（Ａ）、（Ｂ）にそれぞれ示す通りとなった。なお、実施例２においては、潤滑油を５分ごとに供給した。

図７（Ａ）、（Ｂ）のグラフにおいて、移動量の上昇は、被加工物の前進を意味し、移動量の減少は、被加工物の後退を意味する。そして、Ｄ３、Ｄ４は、実施例２における被加工物の総前進距離、及び、実施例３における被加工物の総前進距離をそれぞれ示し、Ｄ３＝２．５４μｍ、Ｄ４＝３．５４μｍであった。従って、実施例３は、実施例２に比べて、被加工物が、目標値に近い距離の前進をしたことが確認された。被加工物の後退においても、実施例３は、実施例２に比べ、被加工物が目標値に近い距離を移動した。

また、２つ目の実験においては、モータによるテーブルの単位送り量が、０．２５μｍに設定され、被加工物を３．７５μｍ前進（後退も同じ）させる際、合計１５回のテーブルの単位送りをなす制御が、モータによって行われた。そのため、被加工物が目標とする移動を行った場合、グラフには、１５個の同じ大きさの段差が存在することとなる。

この点、実施例３のグラフでは、被加工物の前進及び後退に対応する各領域に、１５個の段差があったのに対し、実施例２のグラフでは、被加工物の前進に対応する領域に存在する段差が１４個であった。これは、実施例２において、図７（Ａ）に示すように、矢印で指す部分でスティックスリップが生じたのが原因と考えられる。
更に、グラフの各段差の大きさのばらつきは、実施例３が、実施例２に比べて小さく、実施例３は、実施例２と比較して、被加工物を、より安定的に移動可能であることが確認された。

３つ目の実験では、実施例２、３それぞれによって、３０個の被加工物を加工し、加工寸法のばらつきを計測した。計測結果を出力した図８のグラフにおいて、縦軸は、１つ目の被加工物の加工寸法を基準（加工寸法＝０μｍ）とした際の各被加工物の加工寸法のばらつきを示している。グラフの四角の点及び丸の点は、実施例２の計測値及び実施例３の計測値をそれぞれ示している。

実験結果より、各被加工物の加工寸法のばらつきは、実施例３が、実施例２に比べ全体的に小さく、更に、被加工物の加工後の寸法の最大値と最小値の差においても、実施例３＝０．７μｍ、実施例２＝１．２μｍであり、実施例３が実施例２の約５８％であった。従って、実施例３は、実施例２より、高い精度で加工が可能であることが確認された。

以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明は、上記した形態に限定されるものでなく、要旨を逸脱しない条件の変更等は全て本発明の適用範囲である。
例えば、第１、第２の受け部、及び、第１、第２のガイドそれぞれの個数には、限定がない。
また、第１、第２の摺動部材は、必ずしも必要ではなく、潤滑油の供給も、必ずしも必要ではない。
そして、潤滑油を供給する場合、潤滑油の供給は、連続的になされるのが好ましいが、間欠的になされてもよい。

１０：ワイヤ放電加工機、１１：テーブル、１２：ワイヤ電極、１３：サドル、１４：ベース台、１５：支持部材、１６：加工槽、１７、１８：受け部、１９：摺動部材、１９ａ：水平部、１９ｂ：垂下部、２０：摺動部材、２０ａ：水平部、２０ｂ：垂下部、２１：ガイド、２１ａ、２１ｂ：平面部、２２：ガイド、２２ａ、２２ｂ：平面部、２３：螺子軸、２４：モータ、２５：ナット、２６：油供給手段、２７：配管、２８：流路、２９、３０：吐出口、３１：溝、３１ａ、３１ｂ：直線部、３２：溝、３２ａ、３２ｂ：直線部、３３、３４：受け部、３７：摺動部材、３７ａ：水平部、３７ｂ：垂下部、３８：摺動部材、３８ａ：水平部、３８ｂ：垂下部、４１：ガイド、４１ａ、４１ｂ：平面部、４２：ガイド、４２ａ、４２ｂ：平面部、４６：流路、４７：吐出口、４８：螺子軸、４９：モータ、５０：ナット、５１：コラム、５２：ガイド、５３：スライドブロック、５４：支持ブロック、５５：昇降部材、５６：上ワイヤガイド、５７：支持部材、５８：下ワイヤガイド、Ｗ：被加工物

Claims (4)

1. 被加工物が固定されたテーブルを移動して、ワイヤ電極に対する前記被加工物の位置を変えるワイヤ放電加工機において、
   前記テーブルをＸ軸方向に進退可能に載置するサドルと、前記サドルを、前記Ｘ軸方向に垂直なＹ軸方向に進退可能に載置するベース台とを備え、
   前記テーブルは、下側に、第１の受け部を有し、前記サドルは、前記第１の受け部が面接触した状態で摺動可能に連結された第１のガイドを上側に、第２の受け部を下側に、それぞれ有し、前記ベース台は、上側に、前記第２の受け部が面接触した状態で摺動可能に連結された第２のガイドを有し、前記第１の受け部は、２つあって、それぞれ、樹脂からなる第１の摺動部材を備え、前記Ｙ軸方向負側に配された該第１の受け部が備える該第１の摺動部材は、水平部Ｊ及び該水平部Ｊの前記Ｙ軸方向正側に連続して形成された垂下部Ｋのみを備え、前記Ｙ軸方向正側に配された前記第１の受け部が備える前記第１の摺動部材は、水平部Ｍ及び該水平部Ｍの前記Ｙ軸方向負側に連続して形成された垂下部Ｎのみを備え、前記第１のガイドは２つあって、前記Ｙ軸方向負側に配された一方の該第１のガイドは、前記水平部Ｊに面接触する平面部ｊ及び前記垂下部Ｋに面接触する平面部ｋを備え、前記Ｙ軸方向正側に配された他方の該第１のガイドは、前記水平部Ｍに面接触する平面部ｍ及び前記垂下部Ｎに面接触する平面部ｎを備え、前記第２の受け部は、２つあって、それぞれ、樹脂からなる第２の摺動部材を備え、前記Ｘ軸方向正側に配された該第２の受け部が備える該第２の摺動部材は、水平部Ｐ及び該水平部Ｐの前記Ｘ軸方向負側に連続して形成された垂下部Ｑのみを備え、前記Ｘ軸方向負側に配された前記第２の受け部が備える前記第２の摺動部材は、水平部Ｒ及び該水平部Ｒの前記Ｘ軸方向正側に連続して形成された垂下部Ｓのみを備え、前記第２のガイドは２つあって、前記Ｘ軸方向正側に配された該第２のガイドは、前記水平部Ｐに面接触する平面部ｐ及び前記垂下部Ｑに面接触する平面部ｑを備え、前記Ｘ軸方向負側に配された前記第２のガイドは、前記水平部Ｒに面接触する平面部ｒ及び前記垂下部Ｓに面接触する平面部ｓを備えることを特徴とするワイヤ放電加工機。
2. 請求項１記載のワイヤ放電加工機において、前記第１の摺動部材と前記第１のガイドが面接触する部分、及び、前記第２の摺動部材と前記第２のガイドが面接触する部分に、潤滑油が供給されることを特徴とするワイヤ放電加工機。
3. 請求項２記載のワイヤ放電加工機において、前記潤滑油の吐出口は、前記第１、第２の受け部に形成されていることを特徴とするワイヤ放電加工機。
4. 請求項２又は３記載のワイヤ放電加工機において、前記潤滑油は、連続的に供給されることを特徴とするワイヤ放電加工機。

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