JP6602378B2 - 大面積基板コーティング用ｃｖｄ又はｐｖｄ反応炉 - Google Patents

Description

本発明は、ハウジング及びハウジングに取付けられガス出口孔を具備するガス出口領域を有するガス入口部材と、ハウジング上部に取り付けられた保持装置とを有し、保持装置に対しガス入口部材が多数の吊下点にて固定されている、ＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置に関する。

一般的なコーティング装置は特許文献１に記載され、コーティング装置のハウジングが示されており、その中に、ガス入口部材を保持する保持装置が配置されている。同様の装置が特許文献２に記載されている。

その発明によるコーティング装置は、コーティングされる基板を受容するためのサセプタと、ガス分配器として機能するガス入口部材とを有し、それによりプロセスガスを、ガス分配器の下面とサセプタの間に延在するプロセスチャンバに導入可能である。ガス分配器はその下面に多数のガス出口孔を有し、それらを通してプロセスガスがプロセスチャンバに入ることができる。ガス分配器の内部には、プロセスガスをガス出口孔に分配するための部屋が存在する。このタイプのガス分配器は例えば特許文献３に記載されている。

ＯＬＥＤの堆積のために、ガス状の有機開始物質が搬送ガスに補助されて、加熱されたガス分配器に供給される。これらのガス状開始物質は、冷却されたサセプタ上に載置された基板上で凝縮するために、ガス出口孔を通ってプロセスチャンバに入る。基板は、１ｍ^２を超える面積を有することができる。２ｍ〜３ｍのサセプタ直径をもつＣＶＤ又はＰＶＤ反応炉を形成する必要性が存在する。ガス入口部材はサセプタの全面に亘って延在しなければならないので、２ｍ〜３ｍの直径をもつガス入口部材を設ける必要がある。プロセスチャンバは、少なくとも数センチメートルのプロセスチャンバ高さを有している。基板表面全体に亘って均一な層厚と均一な層品質で堆積可能とするために、プロセスチャンバ高さが、プロセスチャンバ全体に亘って僅かな許容範囲内の一定値であると想定する必要がある。堆積プロセスは、低圧領域で生じ、すなわち、大気圧がハウジング壁に対して顕著な変形力を及ぼすような領域において生じる。圧力が低下する際にハウジングの変形は避けられない。加えて、ガス入口部材が加熱されることにより、機械的な力と併せて同時に熱膨張現象も考慮されなければならない。

欧州特許第1815493号明細書 米国特許出願公開第2008 / 0317973号公報 独国特許出願公開第10 2013 101 534号公報

本発明の目的は、このタイプのコーティング装置を、プロセスチャンバ高さがサセプタの全面又はガス入口部材のガス出口領域に亘って僅かな許容範囲内でのみ変化するようにさらに改善することである。

この目的は、請求の範囲に記載された本発明により解決され、原則的に、各請求項がこの課題に対する独立した解決手段である。

モジュールが、ハウジング上部に取り付けられる。このモジュールは、ガス出口孔を具備するガス出口領域を有するガス入口部材を備えている。ガス出口領域は、特に水平なガス出口平面内に延在する。モジュールは、複数の吊下点にてハウジングに取り付けられる。温度制御手段が設けられ、それによりガス入口部材が、実質的にハウジングの温度に対応する第１の温度から、ハウジング温度とは異なる第２の温度まで温度制御可能である。これは、ガス入口部材の加熱により機能し得るので、そのためにガス入口部材は加熱装置を設けられている。加熱されない状態におけるガス入口部材は、ハウジングの温度を有する。加熱状態においてガス入口部材は、ハウジングより高い温度を有する。しかしながら、冷却装置を具備するガス入口部材は、ハウジング温度より低い温度に冷却されることも可能である。温度制御手段は、温度制御される、すなわち加熱若しくは冷却された液体が流れるガス入口部材のダクトとすることができる。
この温度制御及びそれに関係するモジュールの部品の温度変化の結果、モジュールの寸法が変化する。少なくともガス入口部材の寸法が熱膨張により変化する。そのようなモジュールの寸法変化の際に取付手段が変形するか又は寸法変化の際に取付手段が互いに変位する要素を具備するように、取付手段が構成されている。このために取付手段は力伝達手段を有し、それはモジュールの重量による力をハウジングに伝達する。力伝達手段は、特に弾性変形可能であるか、又は、好適には互いに摩擦無しで変位可能な要素を有することができる。取付手段は、好適には、モジュールの水平な外縁に専ら取り付けられ、そして特に保持装置に専ら取り付けられる。
力伝達手段は、好適には水平方向にのみ移動又は変位できかつ鉛直方向にはできない。取付けは、好適には多角形の頂点にて行われる。多角形は、水平面内にて保持装置の縁に配置された頂点を規定する仮想的な多角形である。仮想的多角形のこれらの頂点において取付けが行われる。多角形は、三角形又は四角形である。例えば、２つの取付点が、保持装置の頂点、例えば短辺の２つの頂点に割り当てられる。第３の取付点は、この短辺の反対側の短辺の中央に配置することができる。しかしながら、取付点は、長辺の頂点又は長辺の一部に配置することもできる。
力伝達手段は、それぞれ湾曲要素とすることができる。湾曲要素は、ハウジング側の取付要素とモジュール側の取付要素に接続される。それは長方形の薄いプレートすることができる。頂点領域に配置された湾曲プレートは、モジュール又は保持装置が長辺方向にも短辺向にも伸張できるように、モジュール又は保持装置に対して配列される。
好適には、可撓性かつ弾性のプレートが鉛直面内にあり、そして保持装置又はモジュールの短辺と長辺の側壁がなす角の二等分線上に延在する面法線を有する。好適には、面法線は、幾何学的重心、特にモジュールの水平面の面重心を向いており、それにより、取付点におけるモジュールの熱膨張方向が、力伝達要素の主湾曲方向と一致する。平面視にて四角形の外郭を有する保持装置又はモジュールの場合、湾曲プレートが長辺又は短辺に対して４５°の角度で延在することが好適である。従って、隣り合う頂点にそれぞれ配置された２つの湾曲プレートは、これら２つの鉛直面が９０°の角度で交差するような面内にそれぞれ延在する。
第３の取付プレートが、２つの取付点の反対側の側壁におけるほぼ中央に配置される。同様に鉛直面に延在するその位置の湾曲プレートは、保持装置又はモジュールの側壁と平行に延在する。正方形ではない外郭の場合、力伝達手段の主湾曲方向は、特に面的な湾曲要素の面法線もまた、モジュールの、特にガス入口部材又はその保持装置の重心を向いている。
加えて、湾曲変位方向に対して垂直に遊嵌ベアリングを設けることができる。このために、水平方向の動きの遊びをもつ孔を貫通するボルトが設けられることが好適である。特に取付ピンが設けられ、それを用いて力伝達手段特に湾曲プレートが取付手段に取り付けられ、その場合、取付ピンは、ベアリング面にあるスライド要素により支持されるベアリングフランクを有し、それにより取付ピンが湾曲要素の主変形方向に対して垂直にベアリング面に対して変位可能である。加えて、力伝達手段特に湾曲要素において生じ得る破壊の際にモジュール特にガス入口部材が落下することを回避する安全装置が設けられる。このために、鉛直及び／又は水平方向の変位距離をもつ安全ピンが、安全孔を貫通する。熱膨張の際、安全ピンは安全孔を通して自由に変位可能である。
保持装置又はモジュールの頂点領域に配置された、しかしながら保持装置又はモジュールの側壁の２つの頂点領域の間に設けることもできる取付手段は、鉛直方向に延在するロッド又はロープから形成することができる。中実又は中空のロッドは、ハウジングに取り付けられる上端と、保持装置又はモジュールに取り付けられる下端とを有する。しかしながら、中実又は中空のロッドの形態の湾曲要素は、モジュールの側壁に配置されることもできる。しかしながら、湾曲要素は、異なる形状を有することもできる。湾曲要素がモジュール又は保持装置の水平方向の変位を最小の摩擦で行わせ得るならば有益である。取付けは、それぞれアングル要素を介して行うことができる。頂点領域に配置された取付手段はまた、クロスビームを用いてもハウジングに取り付けることができる。
本発明の変形例では、取付要素が、互いに回動する要素を有する。第１の要素は、ハウジングに固く固定されることができる。第２の要素は、モジュール又は保持装置に固く固定されることができ、そして第３の要素は、第１及び第２の要素と互いに接続されることができる。ハウジングに固く固定された取付要素とモジュールに固く固定された取付要素を互いに接続する２つ又はそれ以上の要素を設けることができる。好適には、鎖リンクである。回動する取付要素の配置については、湾曲要素に関する説明を参照されたい。このことは特に、回動する取付要素により許容される変位方向に関して言えることである。

モジュールは、ハウジング上部に取り付けられる保持装置を有することが好適である。これは、温度安定化可能な、又は機械的に安定化された保持装置である。この形状安定化された保持装置に対し、複数の吊下点にてガス入口部材が固定されている。吊下点は、ガス入口部材の延在面全体に亘って実質的に均一に分散している。吊下点の互いの距離は、ガス入口部材の対角線長さの少なくとも３分の１、しかしながら好適には４分の１又は５分の１である。２つの隣り合う吊下点の最大距離は、最大でガス入口部材の対角線長さの１０分の１とすることもできる。
機械的安定化のために、保持装置は機械的安定化要素を有することができる。この機械的安定化要素は、鉛直壁により形成することができる。保持装置は、交差する鉛直壁から形成されている格子状構造を形成することが好適である。鉛直で互いに平行に延在する２つの鉛直壁の間の距離は、ガス入口部材の対角線長さの少なくとも３分の１、４分の１であるが、好適には５分の１である。鉛直方向に延在する円筒形状セルが、好適にはガス入口部材のベース面の外郭の最大で１００分の１に対応しかつチェスボード状又はハニカム状のベース面であり得るベース面である。
保持装置は、専ら水平な縁を用いてハウジングに取り付けられていることが好適である。ハウジングに取り付けられるのは保持装置の水平な縁である。保持装置の中央面領域全体がガス入口部材を自由に覆い拡がっているが、領域上に実質的に均一に分散した位置にてガス入口部材に対する保持接続を有する。
保持装置は、温度安定化されている。このために、能動的又は受動的な温度安定化装置を設けることができる。保持装置は、ガス入口部材に対する温度差が変化したとき、その温度が水平方向にも鉛直方向にも大きく変化しないように温度安定化されている。保持装置の好適には格子状に形成される本体全体の内部で＋／−５度だけ温度が変化することが好ましい。好適には、最も低温の点と最も高温の点の間の温度差が最大で５度である。受動的な温度安定化のために、例えば反射面又は絶縁体を具備する熱障壁を設けることができる。能動的な温度安定化のために、温度制御媒体を用いることができ、例えば、温度制御チャネルを通って流れる温度制御流体である。温度制御チャネルは、保持装置の内部に配置されている。好適には、温度制御チャネルは、保持装置の上方又は下方に設けられる。コーティングプロセス中のガス入口部材の温度は高温に維持されることから、保持装置が温度制御のために冷却されなければならない場合、好適には能動的温度制御要素が用いられ、それは、ガス入口部材と保持装置の間の領域に配置される。
格子状構造の形態を付与する保持装置のハニカム状又はセル状の構造もまた、その機械的安定性をもたらす。取付手段は、上述した弾性取付手段であり、それにより保持装置の縁領域がハウジングに取り付けられる。好適な実施例では、ガス入口部材と保持装置の間に鉛直方向の間隙空間が延在する。ガス入口部材を保持装置に固定するために複数のハンガーが機能している。ハンガーは長く延びた金属又はセラミックの引っ張り要素であり、それは、その上端により保持装置に、その下端によりガス入口部材の固定箇所に固定されている。ハンガーは高さ調整可能である。このようにして、ガス出口領域とサセプタ上面の間の距離、すなわちプロセスチャンバ高さを、各吊下点にて調整可能である。ハンガーは熱膨張係数の小さい金属からなることが好適である。
ガス入口部材の壁は、温度制御チャネルを設けられている。特にガス入口部材のガス出口領域を形成する壁に、しかしながらそれとは反対側の壁にもチャネルが設けられ、それを通して温度制御媒体、例えば高温の液体が流れることができる。保持装置の温度安定化は、その形状にのみ寄与するのではない。保持装置は軽量構造部材として形成されている。ガス入口部材から保持装置への熱伝達を能動的に低減するために採用される手段は、ガス入口部材と保持装置の間の間隙空間に１又は複数の熱障壁を配置することを含むことができる。熱障壁は、ガス入口部材の表面延在方向と平行に間隙空間にある面状体である。その表面は高反射性とすることができる。それに替えて、間隙空間に配置された絶縁体とすることもできる。少なくとも１つの熱障壁は能動的に冷却されることができる。能動的に冷却される熱障壁は、好適には保持装置の直ぐ隣にある。能動的に冷却される熱障壁は、その面が保持装置の表面延在方向又はハウジングの表面延在方向に延在するプレートとすることができる。プレート内部を貫通する冷却媒体チャネルを通して冷却媒体が通過して流れることができる。この結果、保持装置は一定温度に維持されることができる。ガス入口部材が加熱される際、保持装置は実質的にその温度を維持する。装置稼働中にプロセスチャンバ高さの変化し得る距離は１ｍｍ未満である。ハウジングの表面温度は約３０℃である。保持装置の温度は５０℃の値に安定化させることができる。このために、能動的熱障壁は約５０℃の温度に冷却される。シャワーヘッドとして形成されたガス入口部材は、例えば４５０℃の温度に制御され、そして基板は２０℃の温度に冷却されている。能動的熱障壁とガス入口部材の間に位置する１又は複数の受動的熱障壁により、ガス入口部材から能動的に冷却される熱障壁への熱の流れが低減される。ガス入口部材の直ぐ隣の熱障壁は、例えば３５０℃の表面温度を有する。熱障壁は、金属又はセラミックの材料から作製することができる。この受動的熱障壁と能動的熱障壁の間に、同様に金属プレート又はセラミックプレートから形成されたさらに別の受動的熱障壁を配置することができる。その温度は、稼働中に約２７０℃である。ガス入口部材と能動的に冷却される熱障壁の間に２以上に受動的熱障壁を設けることもできる。熱障壁の表面は低い光放出率を有することができる。それらは研磨された反射面とすることができる。ハンガーは、熱障壁を保持するために用いることができる。しかしながら、ハンガーが熱障壁の孔を通って単に貫通するようにも設けられ、それにより熱障壁の変形が空間におけるガス入口部材の位置に悪影響を及ぼさない。本発明によれば、保持装置が変形に対して安定化される。これは温度変化及び／又は圧力変化によって生じる変形である。熱障壁は、ハウジング天井又は保持装置のいずれかに固定された別の吊下具に吊り下げられることもできる。本発明はまたこのような装置を動作させる方法にも関係する。

図１は、概略的に示されたＰＶＤコーティング装置における図２のラインＩ−Ｉに沿った断面図である。 図２は、コーティング装置の平面図である。 図３は、図１のラインＩＩＩ−ＩＩＩの断面図である。 図４は、図１の概略的な断面と同様に示した第２の実施例のＰＶＤ反応炉のハウジング上部を示す。 図５は、図４のハウジング上部の展開斜視図である。 図６は、図３と同様に示した本発明の第３の実施例を示す。 図７は、図６のラインＶＩＩ−ＶＩＩの断面図である。 図８は、図６のラインＶＩＩＩ−ＶＩＩＩの断面図である。 図９は、第４の実施例としての更なる取付手段の斜視図である。 図１０は、第５の実施例としての更なる取付手段の斜視図である。 図１１は、第６の実施例としての更なる取付手段の斜視図である。 図１２は、図１１のＸＩＩの詳細を示す。 図１３ａ−ｄは、モジュール２３上の取付手段１３の配置の変形形態を示す。 図１４は、図６と同様に示した更なる実施例を示す。 図１５は、図１４の取付手段１３．２の平面図である。 図１６は、図１５のラインＸＶＩ−ＸＶＩの断面図である。 図１７は、図１６のラインＸＶＩＩ−ＸＶＩＩの断面図である。 図１８は、図１６のラインＸＶＩＩＩ−ＸＶＩＩＩの断面図である。 図１９は、図１６のラインＩＸＸ−ＩＸＸの断面図である。 図１９ａは、図１９のＩＸＸａの部分を拡大したものである。 図２０は、図１４の取付手段１３．１である。 図２１は、図２０のラインＸＸＩ−ＸＸＩの断面図である。 図２２は、図２１のラインＸＸＩＩ−ＸＸＩＩの断面図である。 図２３は、図２１のラインＸＸＩＩＩ−ＸＸＩＩＩの断面図である。 図２４は、図２１のラインＸＸＩＶ−ＸＸＩＶの断面図である。 図２４ａは、図２４のＩＸＸａの部分を拡大したものである。

本発明は、実施例を参照して以下にさらに詳細に説明される。
図１〜図３に示された装置は、大面積基板に有機層をコーティングするためのＰＶＤ装置である。基板は、１ｍを超える、好適には２ｍ又は３ｍを超える対角線をもつ長方形の形状を有する。ハウジング下部２は、基板を支持するためのサセプタ１５を担持する。サセプタ１５は複数の冷却媒体チャネル１６を有し、それらを通して冷却媒体をプロセスチャンバに導入可能である。サセプタは、冷却媒体により約２０℃の温度に維持される。

ハウジング上部１はハウジング天井を有し、それはリブ構造１７、１８により機械的に安定化されている。ハウジング下部２は、ハウジング床の機械的安定化のために同様のリブ構造を有する。ハウジング天井には温度制御チャネルが配置されており、それらを通してハウジング天井を所定の温度に維持するために液体の温度制御媒体が流れる。

ハウジング天井の縁及びハウジング上部１の側壁の縁に、取付手段１３、１４が設けられている。これらは弾性の取付手段１３、１４であり、それらにより保持装置３がその水平方向の縁にてハウジング上部１に取り付けられている。

保持装置３は、格子状構造又はハニカム構造の形状の軽量構造部材である。それは、鉛直方向の接続ラインに沿って互いに接続された複数の面要素４、５を有する。面要素４、５は鉛直壁を形成する。この実施例においては、保持装置３が、格子状の鉛直壁４、５から構成された保持ラーメン構造により形成されており、それはその縁３’により取付手段１３、１４を介してハウジング１に取り付けられている。保持装置３はその縁３’のみによってハウジング１に取り付けられているので、ハウジング１、２の内部の圧力変化による避けられないハウジング天井の反りが、それに関係するハウジング１の内部の保持装置３の位置変化を生じさせない。縁３’により囲まれた保持装置３の中央面領域全体が、それに対して平行に延在するハウジング上部１の天井壁の下方に自由な状態で拡がっている。取付手段１３、１４は、ハウジング上部１の天井の縁に取り付けられている。保持装置３は、開放又は閉鎖されたセル構造を有し、セルの水平な面は、保持装置３の水平な面に比べて少なくとも１００分の１である。１つの面の鉛直高さは、セルの水平な面の円等価対角線の大きさ程度とすることができる。

中空体でありその壁が温度制御チャネル９を具備するガス入口部材７は、サセプタ１５の鉛直上方に配置されている。ガス出口領域を形成するガス入口部材７の下面からサセプタ１５の上面までの距離は、数センチメートルである。ガス出口領域Ｔは、シャワーヘッドの形態で配置された複数のガス出口孔８を有し、それを通してガス入口部材７の中空部からプロセスガスが、サセプタ１５の上面とガス入口部材７の下面により形成されているプロセスチャンバ内に流入することができる。ガス入口部材７は、約４５０℃の温度に温度制御されている。

ガス入口部材７は、機械的な固定要素６により保持装置３に固定されている。機械的な固定要素６は、ガス入口部材７の延在する面全体に実質的に均一に分散して配置されている。互いに隣り合う固定要素６の距離は、ガス入口部材７の辺の長さ又は対角線よりもかなり短い。好適には、２つの隣り合う固定要素６の最大距離は、ガス入口部材の円等価対角線の１０分の１の部分より小さい。

機械的な固定要素はハンガー６であり、それらは頭部６”により保持装置３に固定されており、そして鉛直方向に隙間空間を介してガス入口部材７へと延在している。そこでハンガー６は、吊下点６’にてその脚部によりガス入口部材７に固定されている。ガス入口部材７は、２つの互いに平行に延在する壁を有し、それらはそれぞれ温度制御チャネル９を有する。好適にはシャワーヘッドとして構成されたガス入口部材７の６つの側面全てが加熱されることが好適である。このために、温度制御要素の６つの側面全ての壁が、例えば電気的加熱装置又はダクトを有し、それらを通して温度制御流体が流れることができ、それによりガス入口部材は、例えば４５０℃の温度に均一に加熱されることができる。固定点６’は、ガス入口部材７の上壁に設けることができる。しかしながら実施例では、固定点６’は、ガス入口部材７のガス出口孔８を有する壁に設けられている。従って、ハンガー６の脚部は、ガス入口部材７の最も下の壁にも固定される。

ハンガー６の頭部６”は、保持部材３の上面の孔又は凹部１９に装着されている。頭部６”は、螺子孔にねじ込まれる螺子により形成することができ、それにより、頭部６”の回転によってハンガー６の長さすなわち吊下点６’の鉛直位置を変えることができる。しかしながら、頭部６”は、ナット又は他の調整部材により形成されることもでき、それらによってガス入口部材の高さ位置を局所的に調整可能である。これにより、プロセスチャンバの高さを局所的に予め設定することができる。好適には、ハンガー６が極めて小さい熱膨張係数をもつ材料からなることにより、ハンガー６の加熱がプロセスチャンバの局所的な高さに悪影響を及ぼさない。

好適な実施例では、図１及び図３に示した実施例でも実施されているが、保持装置３が機械的に安定な保持ラーメン構造であるのみでなく、温度的にも安定な保持ラーメン構造である。このために、保持装置３の直下に、能動的に温度制御される熱障壁１１が配置されている。熱障壁１１は、冷却媒体チャネル１２を具備する金属又はセラミックのプレートである。これらの冷却媒体チャネル１２を通して冷却媒体が通過し、それは約５０度の温度に能動的に冷却された熱障壁１１を形成する。しかしながら、保持装置は、直接冷却されることもできる。

能動的に冷却される熱障壁１１とガス入口部材７との間に１又は複数の受動的熱障壁を配置することができる。実施例では、受動的熱障壁１０が設けられ、それもまた金属プレート又はセラミックプレートとすることができる。受動的熱障壁は、ガス入口部材の温度と能動的熱障壁の温度の間の範囲にある温度を有する。受動的熱障壁の温度は、４００℃と２００℃の間の範囲にあることができる。互いに平行に配置された複数の受動的熱障壁を用いる場合、個々の熱障壁は２７０℃と３５０℃の間の温度をそれぞれ有することができる。保持装置の温度は、それにより約５０℃に維持される。そのときのハウジング温度は約３０℃である。受動的熱障壁１０は、好適には高反射面を有する金属プレートである。その放出係数は０．２未満である。

図４及び図５に示されたハウジング上部１の第２の実施例は、同様に、軽量構造部材として形成され格子状のセル構造から構成された保持ラーメン構造３を有し、鉛直のセル壁４、５は互いに連結されている。ここでもセル壁４、５は、薄い金属プレートから形成することができる。加えて、保持ラーメン構造３は水平に延在する上側の水平壁２０と下側の水平壁２１も有する。

この実施例においても、保持装置３における鉛直方向の周囲の縁３’のみがハウジング１と接続されている。個々の取付手段１３は、弾性の取付手段とすることができる。保持装置３の全ての壁は、例えばシートメタル等の最も薄い面材料からなる。開放又は閉鎖されたセル構造が形成されている。保持装置３は、ハウジング上部１の天井板の縁に取り付けられる。しかしながら保持装置３は、例えば固体ブロックからの格子形状の削り出し等、一体的に作製することも可能である。

複数のガス出口孔を具備するガス入口部材７は、ガス入口部材７の延在面に亘って実質的に均一に配置された同じ大きさの複数の固定点６’を介して保持装置３に固定される。機械的な固定要素６は、ここでもハンガーから形成されている。ハンガーの頭部６”は、保持装置３と接続される。ハンガー６の脚部は、固定点６’にてガス入口部材７と接続される。ここでも、保持装置３とガス入口部材７の間の鉛直方向の隙間空間に複数の熱障壁１０、１１が設けられている。ここでも、少なくとも１つの能動的に冷却される熱障壁１１を設けられ、それは保持装置の下方に配置されかつ保持装置３の下面に対して平行に延在している。能動的に冷却される熱障壁１１とガス入口部材７の上面の間に、互いに平行に配置された複数の受動的熱障壁１０が延在している。

この実施例では、熱障壁がハンガー６と接続されている。それによりハンガー６は、ガス入口部材７を保持装置３上に保持するのみでなく、熱障壁１０、１１もまたその鉛直位置に保持する。しかしながら熱障壁１０、１１は、別のハンガーによって保持装置３に固定されることもできる。それらは高反射面を有する。保持装置３の下方に配置されかつ保持装置３の全面に亘って延在するプレート１１は、冷却媒体チャネル１２を有し、それを通して冷水が流れる。

図示しない一実施例においては、その鉛直位置がさほど厳密ではない熱障壁１０、１１が、別のハンガー装置を介してハウジング１に直接固定されるように設けることができる。この種のハンガー装置は、熱障壁１０、１１の縁に設けることができる。しかしながらそれらは、熱障壁１０、１１の中央の平面領域に設けることもでき、例えば、ハウジング上部１の天井に固定されるために保持装置３の貫通孔を貫通する。

ハウジング上部１の天井部には、補強リブ１７、１８の間にロック可能な開口２２が配置されている。これらの開口２２を開くことにより、保持装置３の上面又は上側の水平壁２０に触れることが可能となる。そこには、ハンガー６の頭部６”が載置される孔１９がある。頭部６”は、螺子部品により形成することができ、頭部６”を回転することによりハンガー６を有効長さを変化させることができる。よってハンガー６”の頭部は、プロセスチャンバの高さすなわちガス入口部材７のサセプタ１５からの距離を局所的に変える調整部材を形成する。

上述した装置は、大面積基板上にＯＬＥＤを堆積するために使用される。この方法においては、粉体で入手可能な開始物質が、気化器によってガス状態に変換される。そのように形成された有機蒸気は、搬送ガスによりガス入口部材７へと搬送され、そこでその蒸気はガス出口孔Ｔから放出されることにより、サセプタ１５上に載置された基板上で凝縮する。

上述した実施例では、保持装置３がガス入口部材７と共に１つのモジュール２３を形成しており、それは、取付手段１３、１４によりハウジング上部１に取り付けられている。

図６〜図８の実施例においては、モジュール２３の保持装置３のみが示されている。ここでも保持装置３は、例えば格子枠から形成されたラーメン構造である軽量構造部材である。それは、４つの頂点とそれらの頂点を連結する側壁とをもつ長方形の外郭を有する。側壁により互いに連結された２つの頂点は取付手段１３．１を具備する。反対側の側壁の中央にはさらに別の取付手段１３．２があり、よって、取付手段１３．１及び１３．２は二等辺三角形の各頂点に配置されている。

取付手段１３．１及び１３．２は、実質的に取付要素からなる。それらは各々、取付要素２４．１及び２４．２を有し、それらにより取付手段１３．１及び１３．２がハウジング上部１に取り付けられる。さらに別の取付要素２５．１及び２５．２が保持装置３に取り付けられている。取付要素２５．１はアングル要素であり、それは保持装置３の頂点領域を囲い込み、そして保持装置３の側壁に対して面的に接続されるアングルリブを具備する。取付要素２５．２は一つの面内に延在する取付側面を具備し、それが保持装置３の側壁のほぼ中央に取り付けられる。

２つの取付要素２４．１と２５．１及び２４．２と２５．２は、それぞれ介在要素２６．１及び２６．２により互いに接続されている。介在要素２６．１及び２６．２は、力の伝達のために機能し、それらによって、重量による力が取付要素２５．１及び２５．２から取付要素２４．１及び２４．２に伝達される。介在要素２６．１及び２６．２は力伝達手段であり、それらは図６〜図８の実施例においてそれぞれ長方形プレートの形状を有する。湾曲要素２６．１及び２６．２の上部は、それぞれハウジング側の取付要素２４．１及び２４．２に接続されている。湾曲要素２６．１及び２６．２の下部は、それぞれモジュール側の取付要素２５．１及び２５．２に接続されている。湾曲要素２６．１及び２６．２が鉛直方向に延在する可撓性の面を有することにより、面法線が水平方向となる。湾曲要素２６．１の面法線は、おおよそ、保持装置３の頂点で交差する２つの側壁のなす角の二等分線の方向を向いている。しかしながら好適な変形例においては、湾曲要素２６．１の面法線が、保持装置３の幾何学的な重心Ｍの方向に向くことにより、取付点における熱膨張方向ｈが湾曲要素２６．１の面法線と一致することになる。湾曲要素２６．２の面法線は、保持装置の側壁と交差する方向に延在する。保持装置３が熱膨張する際、保持装置３は水平面内で膨張することができる。この場合、保持装置３の個々の頂点同士の間の距離が伸張したり収縮したりすることができる。このような保持装置３の寸法変化は、面的な湾曲要素２６．１及び２６．２の僅かな歪みと連係している。

湾曲要素は互いに平行な縁をもつ可撓性プレートを有することができ、それらは各々、取付フックによりハウジングの取付要素２４．１及び２４．２又は保持装置の取付要素２５．１及び２５．２に取り付けられている。本発明による力伝達手段は、モジュール２３の、特にガス入口部材の、専ら水平面内での回避的な動きを許容するように構成され、すなわち取付要素に取り付けられている。従って、湾曲要素の変位路程は、湾曲要素の可撓性部分の長さより少なくとも１桁（１０分の１ほど）短い。

図９は、取付要素１３．４の変形例を示す。中実又は中空のロッド形状の可撓性かつ弾性の介在要素２６．４が、上方の取付要素２４．４によりハウジング１と接続され、下方の取付要素２５．４により保持装置３と接続されている。しかしながら、ロッドに替えて、ロープを用いることもできる。ロッド及びロープは力伝達手段であり、それによって保持装置３及びガス入口部材の重量による力がハウジングに伝達される。取付要素２４．４及び２５．４は、アングル要素とすることができる。介在要素２６．４は、好適には、介在要素２６．１及び２６．２と同様に金属製である。ロッド２６．４は鉛直方向に延在する。しかしながらそれは、そうなるべきときは傾斜することもできる。それは円形断面を有するが、それ以外の断面、例えば多角形断面を有してもよい。

図１０に示した実施例は、実質的に図６〜図８に示した頂点保持部に対応する。しかしながら、クロスビームとして構成されたハウジング側の取付要素２４．１が、ハウジング上部１の側壁の内側に螺子により固定されていることが示されている。モジュール側の取付要素２５．１は、２つの互いに９０度の角度をなすアングルリブを具備し、それらは同様に螺子によりモジュール２３と固定されている。取付要素２５．１の２つのアングルリブに対してそれぞれ４５度をなす側面が、可撓性かつ弾性の介在要素２６．１と接続されている。介在要素２６．１は、介在要素２６．１と同様に力伝達手段である。

図１１及び図１２に示した実施例は、２つのハウジング側の取付要素２４．３及び２４．４により支持されると共に４つの鎖リンク２７、２８、２９によりアングル要素であるモジュール側の取付要素２５．３に接続された、クロスビーム３０の接続を示している。最上の鎖要素２７は、クロスビーム３０の取付ボルトにより保持されており、そしてこのためにクロスビーム３０のスロットに挿入されている。最下の鎖要素２９は、取付要素２５．３の２つの取付脚部の間に保持されており、同様に取付ボルトにより貫通されている。２つの中間鎖リンク２８が設けられており、それらは上方の鎖リンク２７を下方の鎖リンク２９と接続している。鎖リンク２７、２８、２９は、重量による力を伝達するための力伝達手段を構成している。

図６に示した実施例のように、ここでも頂点領域においてモジュール２３の側壁に対して対角線上の回避的動きが可能であり、その場合、鎖リンク２７、２８、２９が互いに回動する。鎖リンク２７及び２９の孔は、互いに９０度異なっている。鎖リンク２７、２８、２９はそれぞれ１つの面に延在する円形の物体であり、それらの各々は互いに９０度だけ角度が異なる。

図６に示した実施例と同様に、２つの頂点領域の反対側の側壁のほぼ中央に第３の、図示しない取付手段を設けることができ、それらは同様に複数の相互に連結した鎖リンク２７、２８、２９を有することにより、その位置の短い側壁が、その延在方向に垂直な方向に変位することができる。

図１３ａは、モジュール２３の２つの頂点領域及び反対側の側壁中央における取付手段１３の配置を概略的に示しており、取付手段１３は二等辺三角形の頂点に配置されている。

図１３ｂは、長方形の外郭を有するモジュールの４つの頂点に取付手段１３を配置したことを示し、この場合、取付手段１３は四角形の頂点に配置されている。

図１３ｃは、さらに別の変形例を示し、この場合、取付手段１３はモジュール２３の互いに垂直な側壁のほぼ中央に配置されている。これらは湾曲要素であり、側壁の延在方向に対して垂直に延在する曲がり方向を有する。湾曲要素の面内にある方向にもモジュール２３が伸張できるように、湾曲要素が構成されている。このために湾曲要素は、面的な形態として構成されておらず、例えば櫛状又はスポーク状の構成を有することができる。

図１３ｄに示した実施例は、４つの取付手段１３を用いたモジュール２３の取付けを示しており、この場合、それぞれ２つの取付手段１３がモジュール２３の２つの互いに反対側の側壁に取り付けられている。この場合、取付手段１３は、頂点から離れている。それらは、例えば、各頂点から側壁の３分の１だけ離れており、長い側壁に配置されている。ここでは、湾曲要素はロッドにより構成することができ、それは上端によりハウジングに固く固定されることにより、モジュール２３が固定された下端が、水平面内で可撓性かつ弾性をもって変位可能である。

図１４〜図２４ａは特に好適な実施例を示し、それらの場合、ガス入口部材７を固定された保持装置３又はガス入口部材７のみとできるモジュール２３が、３つの取付点にてハウジングに取り付けられている。このために、３つの取付手段１３．１、１３．２が設けられ、それらはモジュール２３の水平の縁に係合し、このためにモジュール側の取付要素２５．１及び２５．２を形成する。モジュール２３は、正方形ではない長方形の外郭を有する。長方形の短辺の２つの頂点に、モジュール側の２つの取付要素２５．１が取り付けられている。モジュール側の２つの取付要素２５．１の各々は、ハウジングに取り付けられたハウジング側の取付要素２４．１と接続されており、これらの長方形短辺の反対側の長方形短辺にはその中央部に第３の取付手段１３．１を有し、それもまたモジュール側の取付要素２５．２とハウジング側の取付要素２４．２を有する。

図１６及び図２１並びにそれらに示された断面から、モジュール側の取付要素２５．１及び２５．２の各々が、介在要素２６．１及び２６．２によりハウジング側の取付要素２４．１及び２４．２と接続されている。介在要素２６．１及び２６．２は、湾曲プレートの形態の力伝達手段である。湾曲プレートは、実質的に長方形断面を有し、かつ、その上側及び下側に材料肉厚部を有する。介在要素２６．１及び２６．２の上側の材料肉厚部は、取付螺子が螺合される螺子孔を有し、それにより介在要素２６．１及び２６．２がハウジング側の取付要素２４．１及び２４．２に螺合される。このために、ハウジング側の取付要素２４．１及び２４．２は、鉛直方向に変位可能な調整体４１を有し、それに対して力伝達手段が取り付けられる。調整体４１を支持する調整ネジ４２を用いて、調整体４１が高さ調整されることにより、ガス入口部材７のサセプタ１５からの距離を調整することができる。

介在要素２６．１及び２６．２の下側の肉厚部は、ベアリング孔３６を有する。このベアリング孔３６には、モジュール側の取付要素２５．１及び２５．２と固く接続された取付ピン３２が貫通している。このためにモジュール側の取付要素２５．１及び２５．２は鉛直方向に延在するスロットを有し、その中に介在要素２６．１及び２６．２の下側の材料肉厚部が挿入される。スロットは、ボルト３１の一部である取付ピン３２が挿入される取付孔３５と交差している。

ベアリング孔３６は、水平方向に延在するベアリング面４０を有し、その上にスライド要素３９が載置されている。スライド要素３９上に、取付ピン３２のベアリングフランク３８が支持されることにより、ベアリングフランク３８がベアリング面４０に対して水平方向にわずかに変位可能である。この方法により、熱膨張の動きによる変位分を補償することができる。その変位分は、湾曲要素として形成された介在要素２６．１及び２６．２の主湾曲方向には延在していない。

介在要素２６．１及び２６．２が破壊した場合のために、安全装置３４、３３が設けられる。安全装置は、２つの取付要素２４、２５のうちの一方に固く固定されると共に他方の取付要素の各々のアイ３４と係合する安全ピン３３である。実施例では、安全ピン３３が、モジュール側の取付要素２５．１及び２５．２に固く固定されている。具体的には、安全ピン３３が上述したボルト３１により形成されている。固定アイは、ハウジング側の取付要素２４．１及び２４．２の延長部分に位置する安全孔３４から形成されている。

安全孔３４の直径が安全ピン３３の直径より大きいことにより、安全ピン３３は孔３４を自由な状態で貫通することができる。安全ピン３３の周面は、その全周に亘って安全孔３４の内壁から距離があることにより、安全ピン３３は自由にかつ安全孔３４に接触することなく貫通できる。

もし可撓性かつ弾性の力伝達手段の破壊が生じたならば、モジュール２３は、安全ピン３３が孔３４の壁に当たるまで下方に落下するだけである。

本発明による固定装置は、全周に亘って距離をもって安全孔３４と係合する安全ピン３３を有し、安全ピン３３はハウジング側又はモジュール側の取付要素のいずれか一方に、そして安全孔３４は他方の別の取付要素にそれぞれ配置されており、モジュール側の取付要素及びハウジング側の取付要素は、専ら水平方向の回避的動きを可能とする介在要素によって互いに接続されている。

上記の説明は、本願により包含される発明をまとめて説明するためのものであり、以下の特徴の組み合わせにより各々が少なくとも従来技術に対する更なる進展させるものである。すなわち：

取付要素１３、１４が、モジュール２３の寸法が変化した場合に変形するか又は互いに変位する力伝達手段２６．１、２６．２、２６．３、２６．４；２７、２８、２９を有することを特徴とするＣＶＤ又はＰＶＤコーシング装置。

モジュール２３が専らその水平方向の縁３’上でハウジング１、２に取り付けられていることを特徴とするＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置。

モジュール２３が、モジュール２３の水平面の面重心Ｍの方に向けられた主変形方向を有する弾性変形可能な力伝達手段２６．１、２６．２、２６．４によりハウジング１、２に取り付けられていることを特徴とするＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置。

ガス入口部材７が、水平な延在面全体に亘って分散した複数のハンガー６によって、取付手段１３、１４によりハウジング１、２に取付けられたモジュール２３の保持装置３に固定されており、その場合、ハンガー６は、吊下点６’から保持装置３へと鉛直方向に延在し、かつ、ガス入口部材７と保持装置３の間の鉛直の間隙空間に温度制御装置１１、１２及び／又は１又は複数の熱障壁１０、１１が配置されていることを特徴とするＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置。

取付手段１３、１４、１３．１、１３．２、１３．３、１３．４が、長方形の外郭を有するモジュール２３の縁において多角形の、特に三角形又は四角形の頂点に配置されていることを特徴とするＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置。

少なくとも１つの力伝達手段が、弾性的に変形可能な湾曲要素２６．１、２６．２、２６．４であることを特徴とするＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置。

力伝達手段２６．１、２６．２が、長方形プレートであるか、又は、湾曲要素２６．４が中実若しくは中空のロッドであるか、又は、湾曲要素がロープであることを特徴とするＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置。

少なくとも１つの力伝達手段１３．３が、互いに回動する要素２７、２８、２９を有することを特徴とするＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置である。

互いに回動する要素のうち、第１の要素２７がハウジング１、２に固く固定され、第２の要素２９がモジュールに固く固定され、そして少なくとも１つの第３の要素２８が第１及び第２の要素２７、２８と互いに接続されていることを特徴とするＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置。

互いに回動する要素２７、２８、２９が鎖リンクであることを特徴とするＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置。

力伝達手段が介在要素２６．１、２６．３、２６．４であり、それを用いて少なくとも１つの、特に１つの頂点領域に配置された取付要素２４．１、２４．２、２４．３、２４．４が、介在要素２６．１、２６．３、２６．４を介してモジュール２３に固定された取付要素２５．１、２５．３、２５．４に取り付けられていることを特徴とするＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置。

端部をモジュール側の取付要素２５．４に固定されている湾曲要素２６．４が、ハウジング側の取付要素２４．４に対して水平面内で弾性的に変位可能であることを特徴とするＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置。

ハウジング側の取付要素２４．１−２４．３が、連係するモジュール側の取付要素２５．１−２５．３とほぼ同じ鉛直高さであることを特徴とするＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置。

力伝達手段２６．１、２６．２、２６．３、２６．４；２７、２８、２９の破壊の際に、モジュール２３をハウジング１に保持するために、特にモジュール側の取付要素２５．１−２５．４をハウジング側の取付要素２４．１、２４．２、２４．３、２４．４に保持するために起動し、その場合、特に安全ピン３３が非接触にて安全孔３４に係合する安全装置を特徴とするＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置。

開示された全ての特徴（それ自体もまた互いの組合せにおいても）本発明の本質である。本願の開示には、関係する優先権書類（先願の複写）もまたその全体が、それらの書類の特徴を本願の請求の範囲に組み込む目的も含め、ここに包含される。従属項はその構成により特徴付けられ、従来技術に対する独立した進歩性ある改良であり、特にこれらの請求項に基づく分割出願を行うためである。

１ ハウジング上部
２ ハウジング上部
３ 保持具
３’ モジュールの縁
４ 鉛直壁要素
５ 鉛直壁
６ ハンガー
６’ 固定要素
７ ガス入口部材
８ ガス出口孔
９ 温度制御チャネル
１０ 受動的熱障壁
１１ 能動的熱障壁
１２ 冷却媒体チャネル
１３ 取付手段
１３．１ 取付手段
１３．２ 取付手段
１３．４ 取付手段
１３．５ 取付手段
１４ 取付手段
１５ サセプタ
１６ 冷却媒体チャネル
１７ リブ
１８ リブ
１９ 孔
２０ 水平上壁
２１ 水平下壁
２２ 開口
２３ モジュール
２４．１ ハウジング側取付要素
２４．２ ハウジング側取付要素
２４．３ ハウジング側取付要素
２４．４ ハウジング側取付要素
２５．１ モジュール側取付要素
２５．２ モジュール側取付要素
２５．３ モジュール側取付要素
２５．４ モジュール側取付要素
２６．１ 介在要素
２６．２ 介在要素
２６．３ 介在要素
２６．４ 介在要素
２７ ハウジング側の鎖リンク
２９ モジュール側の鎖リンク
３０ トラバース
３１ ボルト
３２ 取付ピン
３３ 安全ピン
３４ 取付孔
３５ 装着孔
３６ ベアリング孔
３８ ベアリング縁
３９ 滑り要素
４０ ベアリング面
４１ 調整体
４２ 調整螺子

Claims (16)

1. ハウジング（１，２）と、ハウジング（１，２）に取り付けられ、ガス出口平面に延在するガス出口領域（７’）にガス出口孔（８）を具備するガス入口部材（７）を有するモジュール（２３）と、を備え、モジュール（２３）は、取付手段（１３，１４）によりハウジング上部（１）に複数の吊下点（６’）にて取り付けられており、その場合、温度制御手段（９）が設けられ、それを用いてガス入口部材（７）がハウジング（１，２）の温度に対応する第１の温度からハウジング温度とは異なる第２の温度まで温度制御可能であり、その場合、取付手段（１３，１４）は力伝達手段（２６．１，２６．２，２６．３，２６．４；２７，２８，２９）を有し、それらが温度制御により生じるモジュール（２３）の寸法変化の際に変形し又は互いに変位する、ＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置において、
   モジュール（２３）が保持装置（３）を含み、
   ガス入口部材（７）は、水平に延在する面全体に分散して配置された複数のハンガー（６）により保持装置（３）に固定されており、かつ、
   保持装置（３）は、力伝達手段（２６．１，２６．２，２６．３，２６．４；２７，２８，２９）によりハウジング（１）に取り付けられていることを特徴とする
   ＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置。
2. 保持装置（３）が、専らその水平な縁（３’）にてハウジング（１，２）に取り付けられていることを特徴とする
   請求項１に記載のＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置。
3. 保持装置（３）が、弾性変形可能な力伝達手段（２６．１，２６．２，２６．４）によりハウジング（１，２）に取り付けられ、その力伝達手段は、モジュール（２３）の水平面の面重心（Ｍ）を向いた主変形方向を有することを特徴とする請求項１又は２に記載のＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置。
4. ハンガー（６）が、吊下点（６’）から保持装置（３）へと鉛直方向に延在することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置。
5. ガス入口部材（７）と保持装置（３）の間の鉛直方向の間隙空間に、温度制御装置（１１，１２）、及び／又は、１又は複数の熱障壁（１０，１１）が配置されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置。
6. 取付手段（１３，１４，１３．１，１３．２，１３．３，１３．４）が、長方形の外郭を有するモジュール（２３）の縁にて、多角形の、特に三角形又は四角形の頂点に配置されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置。
7. 少なくとも１つの力伝達手段が、弾性変形可能な湾曲要素（２６．１，２６．２，２６．３）であることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置。
8. 力伝達手段（２６．１，２６．２）が長方形プレートであること、又は、湾曲要素（２６．４）が中実又は中空のロッドであること、又は、湾曲要素がロープであることを特徴とする請求項７に記載のＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置。
9. 少なくとも１つの力伝達手段（１３．３）が互いに回動する要素（２７，２８，２９）を有することを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置。
10. 互いに回動する要素のうち、第１の要素（２７）がハウジング（１，２）に固定され、第２の要素（２９）がモジュールに固定され、かつ、少なくとも１つの第３の要素（２８）が第１及び第２の要素（２７，２９）と互いに接続されていることを特徴とする請求項９に記載のＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置。
11. 互いに回動する要素（２７，２８，２９）が、鎖リンクであることを特徴とする請求項９又は１０に記載のＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置。
12. 力伝達手段が介在要素（２６．１，２６．３，２６．４）であり、それによって、少なくとも１つの特に頂点領域に配置された取付要素（２４．１，２４．２，２４．３，２４．４）が、モジュール（２３）に固定された取付要素（２５．１，２５．３，２５．４）に取り付けられることを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載のＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置。
13. モジュール側の取付要素（２５．４）に取り付けられた端部を具備する湾曲要素（２６．４）が、水平面内で弾性的にハウジング側の取付要素（２４．４）に対して変位可能であることを特徴とする請求項１〜１２のいずれかに記載のＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置。
14. ハウジング側の取付要素（２４．１−２４．３）が、関係するモジュール側の取付要素（２５．１−２５．３）とほぼ同じ鉛直高さであることを特徴とする請求項１〜１３のいずれかに記載のＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置。
15. 力伝達手段（２６．１、２６．２、２６．３、２６．４；２７、２８、２９）の破壊の際に、モジュール（２３）をハウジング１に保持するために、特にモジュール側の取付要素（２５．１−２５．４）をハウジング側の取付要素（２４．１、２４．２、２４．３、２４．４）に保持するために起動し、その場合、特に安全ピン（３３）が非接触にて安全孔（３４）に係合する安全装置を特徴とするＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置。
16. 請求項１〜１５のいずれかを特徴的構成の１又は複数を特徴とするＣＶＤ又はＰＶＤコーティング装置。

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