JP6591876B2 - 液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置および液体噴射ヘッドの電圧印加方法 - Google Patents

Description

この発明は、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置および液体噴射ヘッドの電圧印加方法に関するものである。

従来から、被記録媒体に液体（インク）を噴射する装置として、インク室の複数のノズル孔から被記録媒体に向かってインク滴を噴射する液体噴射記録装置が知られている。このような液体噴射記録装置の中には、いわゆるインクジェット方式が採用された液体噴射ヘッド（インクジェットヘッド）を備えたものがある。

液体噴射ヘッドには、ヘッドチップが設けられている。ヘッドチップは、インクが充填される複数のチャネル（長溝）が形成されているアクチュエータプレート（圧電アクチュエータ）を備えている。各チャネルは、一列に並んで配置されている。また、ヘッドチップの端面には、ノズルプレートが設けられている。ノズルプレートには、各チャネルに対応するように、複数のノズル孔が一列に並んで形成されている。さらに、各チャネルの両駆動壁（側壁）には、それぞれ駆動電極が設けられている。これら駆動電極に所定の電圧を印加すると駆動壁が変形し、チャネル内の容積が変化する。これにより、ノズル孔からインク滴が被記録媒体に向かって吐出される。

ここで、被記録媒体に記録される文字や画像の品質を向上させるために、さまざまな技術が提案されている。
例えば、アクチュエータプレートのチャネルが形成されている側とは反対側の裏面に、アクチュエータプレートの線膨張係数とほぼ同等の部材で形成されたスペーサを設けた技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１では、アクチュエータプレートの熱膨張や収縮による変形に起因した応力をスペーサによって吸収することで、アクチュエータプレートの液体吐出性能を向上しようとしている。

また、アクチュエータプレートと、このアクチュエータプレートの各チャネルに液体を供給する流路部材との間に緩衝部材を介在させる技術が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
特許文献２によれば、アクチュエータプレートが液体を吐出する際に生じる衝撃波を、流路部材や流路部材に接続する他の部材に伝達されてしまうことを抑制できる。そして、液体吐出速度のばらつきを減少させ、アクチュエータプレートの液体吐出性能を向上しようとしている。

さらに、アクチュエータプレートの駆動壁に、拘束層を積層した技術が提案されている（例えば、特許文献３参照）。
拘束層には、駆動壁に設けられた駆動電極と平行に設けられた電極層が設けられている。この電極層は接地されており、駆動壁の変形に寄与しないので、駆動壁と拘束層とを積層した厚み方向における収縮率の差が均一化される。このため、駆動壁と拘束層の収縮率の差から生じる歪みを防止し、高い平面性が維持される。すなわち、駆動壁が変形する方向を、拘束層とは反対側（液体の吐出側）だけになるように規制している。そして、駆動壁による液体の圧縮効率を高め、アクチュエータプレートの液体吐出性能を向上しようとしている。

特開２００３−１８２０８０号公報 特開２０１１−１２６２５４号公報 特開２００１−１６２７９６号公報

ところで、駆動電極に電圧を印加することにより発生する電界は、電位差が生じている駆動壁以外の壁面に漏れてしまう（以下、漏れ電界という）。このため、アクチュエータプレートに意図しない歪みが生じてしまう。
しかしながら、上述の特許文献１にあっては、漏れ電界を除去できない。このため、この漏れ電界に起因するアクチュエータプレートの歪みをスペーサによって吸収しようとすると、このスペーサは、剛性を十分確保できるだけの厚みが必要になり、ヘッドチップが大型化してしまう可能性があった。

また、上述の特許文献２についても漏れ電界を除去できないので、この漏れ電界に起因するアクチュエータプレートの歪みを抑制できない。このため、アクチュエータプレートの液体吐出性能を向上しにくい可能性があった。
さらに、上述の特許文献３にあっては、拘束層に設けられた電極層が接地されているので、駆動電極に起因する拘束層自体の歪みは防止できても、漏れ電界によるアクチュエータプレートの歪みは防止できない可能性があった。

そこで、この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、漏れ電界の発生を抑制し、この漏れ電界に起因するアクチュエータプレートの歪みを防止することにより、液体吐出性能を向上できる液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置および液体噴射ヘッドの電圧印加方法を提供するものである。

上記の課題を解決するために、本発明に係る液体噴射ヘッドは、第１方向および該第１方向に直交する第２方向に表面が面しているアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートの前記表面上に前記第１方向に沿って延設されていると共に、前記第２方向に間隔をあけて並設され、液体が充填される複数のチャネルと、前記複数のチャネル間に形成される駆動壁の側面に形成され、電圧を印加可能な駆動電極と、前記アクチュエータプレートの前記表面とは反対側で、かつ該表面と対向する裏面に形成され、前記電圧を印加可能なガード電極と、を備え、前記ガード電極は、前記裏面のうち、少なくとも前記駆動電極が形成されている範囲に対応する箇所に形成されており、２つの前記アクチュエータプレートの前記裏面同士を重ね合わせて成り、各前記アクチュエータプレートの前記ガード電極の間に、絶縁層を設けたことを特徴とする。

このように構成することで、駆動電極に所定の電圧を印加するのと同じタイミングで前記ガード電極に電圧を印加することができる。これにより、漏れ電界を発生させる原因となるアクチュエータプレートの内での所定の壁面間での電位差を極力無くすことができる。このため、漏れ電界に起因するアクチュエータプレートの歪みを防止でき、液体噴射ヘッドの液体吐出性能を向上できる。更に、２つのアクチュエータプレートを重ね合わせることにより、液体噴射ヘッドから吐出される液滴の数が増大し、被記録媒体に記録される文字や画像の密度を向上できる。また、各アクチュエータプレートのガード電極の間に絶縁層を設けることにより、一方のアクチュエータプレートと他方のアクチュエータプレートとの間で漏れ電界が生じてしまうことを防止できる。

本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記ガード電極は、前記裏面のうち、少なくとも前記駆動電極が形成されている範囲に対応する箇所に、前記第２方向全体にわたって形成されていることを特徴とする。

このように構成することで、アクチュエータプレートの駆動電極が形成されている範囲に対応する箇所全体に、漏れ電界が発生し得る磁路が形成されてしまうことを防止できる。このため、漏れ電界に起因するアクチュエータプレートの歪みを確実に防止でき、液体噴射ヘッドの液体吐出性能を向上できる。

本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記ガード電極は、前記裏面の全体に形成されていることを特徴とする。

このように構成することで、ガード電極を容易に形成することができる。このため、液体噴射ヘッドの製造コストを極力抑えつつ、液体吐出性能を向上できる。

本発明に係る液体噴射ヘッドにおいて、前記絶縁層は、空気層であることを特徴とする。

このように構成することで、絶縁層を容易に形成することができる。また、絶縁層の形状が変化した場合であっても柔軟に対応することができるので、製造コストを抑えることが可能になる。

本発明に係る液体噴射記録装置は、上記に記載の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドを走査させる走査手段と、前記液体を収容する液体収容体と、前記液体噴射ヘッドと前記液体収容体との間に敷設され、前記液体を流通させる液体供給管と、を備えたことを特徴とする。

このように構成することで、漏れ電界の発生を抑制し、この漏れ電界に起因するアクチュエータプレートの歪みを防止することにより、液体吐出性能を向上可能な液体噴射記録装置を提供できる。

本発明に係る液体噴射ヘッドの電圧印加方法は、上記に記載の液体噴射ヘッドの電圧印加方法において、前記駆動電極に印加される前記電圧は、前記駆動壁の両側面に電位差を与えて対応する前記チャネルの容積を膨張させる膨張波形と、前記駆動壁の両側面に電位差を与えて対応する前記チャネルの容積を収縮させる第１収縮波形と、であり、前記ガード電極に印加される前記電圧は、前記第１収縮波形と同じタイミングで印加される第２収縮波形であることを特徴とする。

このように構成することで、漏れ電界を発生させる原因となるアクチュエータプレートの内での所定の壁面間での電位差を極力無くすことができる。このため、漏れ電界に起因するアクチュエータプレートの歪みを防止でき、液体噴射ヘッドの液体吐出性能を向上できる。

本発明によれば、駆動電極に所定の電圧を印加するのと同じタイミングで前記ガード電極に電圧を印加することができる。これにより、漏れ電界を発生させる原因となるアクチュエータプレートの内での所定の壁面間での電位差を極力無くすことができる。このため、漏れ電界に起因するアクチュエータプレートの歪みを防止でき、液体噴射ヘッドの液体吐出性能を向上できる。

本発明の実施形態における液体噴射記録装置の斜視図である。 本発明の第１実施形態における液体噴射ヘッドの斜視図である。 本発明の第１実施形態における吐出部の斜視図である。 本発明の第１実施形態における吐出部の分解斜視図である。 本発明の第１実施形態における吐出部のＸ−Ｚ平面に沿う断面に相当する図である。 本発明の第１実施形態における吐出部と駆動制御部とが接続された状態を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態における第１ヘッドチップおよび第２ヘッドチップを模式的に示した図である。 本発明の第１実施形態における駆動電極、第１ガード電極、および第２ガード電極への電圧の印加タイミングを示すタイムチャートである。 本発明の第１実施形態における駆動電極に、膨張波形の駆動電圧を印加した状態を示す説明図である。 本発明の第１実施形態における駆動電極に、収縮波形の駆動電圧を印加した状態を示す説明図である。 本発明の第１実施形態における駆動電極への非吐出波形の印加タイミングを示すタイムチャートである。 本発明の第１実施形態における駆動電極に、非吐出波形の駆動電圧を印加した状態を示す説明図である。 本発明の第１実施形態の変形例における吐出部のＸ−Ｚ平面に沿う断面に相当する図である。 本発明の第２実施形態における吐出部のＸ−Ｚ平面に沿う断面に相当する図である。 本発明の第２実施形態の変形例における吐出部のＸ−Ｚ平面に沿う断面に相当する図である。

次に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

（液体噴射記録装置）
図１は、液体噴射記録装置１の斜視図である。
液体噴射記録装置１は、いわゆるインクジェットプリンタであって、紙等の被記録媒体Ｓを搬送する一対の搬送機構２，３と、被記録媒体Ｓにインク滴を噴射する液体噴射ヘッド４と、液体噴射ヘッド４にインクを供給する液体供給手段５と、液体噴射ヘッド４を被記録媒体Ｓの搬送方向（主走査方向）と略直交する方向（副走査方向）に走査させる走査手段６と、を備えている。

なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
また、以下の説明において、副走査方向をＸ方向、主走査方向をＹ方向、そしてＸ方向、およびＹ方向に共に直交する方向をＺ方向として説明する。ここで、液体噴射記録装置１は、Ｘ方向、Ｙ方向が水平方向となるように、かつＺ方向が重力方向上下方向となるように載置して使用されるようになっている。
すなわち、液体噴射記録装置１を載置した状態では、被記録媒体Ｓ上を液体噴射ヘッド４が水平方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に沿って走査するように構成されている。また、この液体噴射ヘッド４から重力方向下方（Ｚ方向下方）に向かってインク滴が噴射され、このインク滴が被記録媒体Ｓに着弾するように構成されている。

一対の搬送機構２，３は、それぞれＸ方向に延びて設けられたグリッドローラ２０，２１と、グリッドローラ２０，２１のそれぞれに平行に延びるピンチローラ２２，２３と、詳細は図示しないがグリッドローラ２０，２１を軸回りに回転動作させるモータ等の駆動機構と、を備えている。

液体供給手段５は、インクが収容された液体収容体２５と、液体収容体２５と液体噴射ヘッド４とを接続する液体供給管２６と、を備えている。液体収容体２５は、複数設けられており、例えば、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４種類のインクが収容されたインクタンク２５Ｙ，２５Ｍ，２５Ｃ，２５Ｂが並べて設けられている。インクタンク２５Ｙ，２５Ｍ，２５Ｃ，２５ＢのそれぞれにはポンプモータＭが設けられており、インクを、液体供給管２６を通じて液体噴射ヘッド４へ押圧移動できる。液体供給管２６は、液体噴射ヘッド４を支持するキャリッジユニット６２の動作に対応可能な可撓性を有するフレキシブルホースから成る。

なお、液体収容体２５は、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４種類のインクが収容されたインクタンク２５Ｙ，２５Ｍ，２５Ｃ，２５Ｂに限られるものではなく、さらに多色のインクを収容したインクタンクを備えていてもよい。

走査手段６は、Ｘ方向に延びて設けられた一対のガイドレール６０，６１と、一対のガイドレール６０，６１に沿って摺動可能なキャリッジユニット６２と、キャリッジユニット６２をＸ方向に移動させる駆動機構６３と、を備えている。駆動機構６３は、一対のガイドレール６０，６１の間に配設された一対のプーリ６４，６５と、一対のプーリ６４，６５間に巻回された無端ベルト６６と、一方のプーリ６４を回転駆動させる駆動モータ６７と、を備えている。

一対のプーリ６４，６５は、一対のガイドレール６０，６１の両端部間にそれぞれ配設されており、Ｘ方向に間隔をあけて配置されている。無端ベルト６６は、一対のガイドレール６０，６１間に配設されており、この無端ベルト６６に、キャリッジユニット６２が連結されている。キャリッジユニット６２の基端部６２ａには、複数の液体噴射ヘッド４が搭載されている。具体的には、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４種類のインクに個別に対応する液体噴射ヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４ＢがＸ方向に並んで搭載されている。

（第１実施形態）
（液体噴射ヘッド）
図２は、液体噴射ヘッド４の斜視図である。なお、液体噴射ヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂは、供給されるインクの色以外は何れも同一の構成からなるため、以下の説明では、まとめて液体噴射ヘッド４として説明する。
同図に示すように、液体噴射ヘッド４は、下部ベース７２上に固定され、被記録媒体Ｓ（図１参照）に対してインク滴を噴射する吐出部７０と、吐出部７０に電気的に接続され、この吐出部７０の駆動を制御する駆動制御部８０と、駆動制御部８０を固定する縦ベース７３と、吐出部７０と液体供給管２６との間に、それぞれ接続部１３，１４を介して介在された液体流通部１２とを有している。

そして、液体供給管２６から流入されるインクが、液体流通部１２を通って吐出部７０に供給される。液体流通部１２は、圧力緩衝器として機能しており、液体供給管２６を介してインクが供給されると、インクを内部の貯留室内に一旦貯留した後、所定量のインクを吐出部７０に供給する。なお、下部ベース７２と縦ベース７３は、一体成形としてもよい。

（吐出部）
吐出部７０は、下部ベース７２に固定されており、液体流通部１２に接続部１４を介して接続された流路部材７１と、駆動電圧が印加されることによりインクを液滴として被記録媒体Ｓへと噴射させる第１ヘッドチップ３１および第２ヘッドチップ３２と、第１ヘッドチップ３１および第２ヘッドチップ３２のＺ方向の下端面（最下面）に設けられたノズルプレート３５（図３、図４参照）と、を有している。

図３は、吐出部７０の斜視図、図４は、吐出部７０の分解斜視図、図５は、吐出部７０のＸ−Ｚ平面に沿う断面に相当する図である。
図３〜図５に示すように、吐出部７０は、ノズルプレート３５に、複数のノズル孔（第１ノズル孔３３ａおよび第２ノズル孔３４ａ）からなるノズル列（第１ノズル列３３および第２ノズル列３４）が２列に亘って形成されるように、２つのヘッドチップ３１，３２（第１ヘッドチップ３１および第２ヘッドチップ３２）が積層されている。そして、各ヘッドチップ３１，３２とノズルプレート３５とがノズルキャップ３６によって支持されている。

第１ヘッドチップ３１は、後述するチャネル４３の長手方向（Ｚ方向）端部に臨む第１ノズル孔３３ａからインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプとされている。第１ヘッドチップ３１は、第１アクチュエータプレート４１および第１カバープレート４２がＸ方向に積層されて構成されている。

第１アクチュエータプレート４１は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成されたプレートであり、その分極方向が厚さ方向（Ｘ方向）に沿って設定されている。この第１アクチュエータプレート４１のＸ方向における一方の主面４１ａ（第１カバープレート４２側に位置する面）には、Ｙ方向に間隔をあけて複数のチャネル４３が並設されている。これら複数のチャネル４３は、一方の主面４１ａ側に開口した状態でＺ方向に沿って直線状に延びる溝部であり、Ｚ方向の一端部が第１アクチュエータプレート４１の下端面で開口している。各チャネル４３には、インクが充填されるようになっている。

また、複数のチャネル４３の間には、断面矩形状でＺ方向に延びる駆動壁４４が形成され、この駆動壁４４によって各チャネル４３がそれぞれ区分けされている。したがって、各駆動壁４４の内側面４４ａ（チャネル４３の内面）は、Ｘ−Ｚ平面に面している。各駆動壁４４の内側面４４ａには、それぞれ蒸着等により駆動電極４４ｂが形成されている。駆動電極４４ｂは、チャネル４３および駆動壁４４の形状に対応するように、Ｚ方向に長くなるように略長方形状に形成されている。

さらに、第１アクチュエータプレート４１のＸ方向における一方の主面４１ａは、Ｚ方向の上部が第１電極引出部４５とされている。そして、各チャネル４３内で対向する２つの駆動電極４４ｂがそれぞれ１つに繋がっており（以下、この繋がった２つの駆動電極４４ｂを駆動電極対４４ｂ，４４ｂという）、各駆動電極対４４ｂ，４４ｂがそれぞれ第１電極引出部４５に接続されている。
第１電極引出部４５には、後述の第１フレキシブル基板９３が接続されている。そして、駆動電極対４４ｂは、第１フレキシブル基板９３を介して駆動電圧が印加されることにより、圧電滑り効果により駆動壁４４を変形させ、チャネル４３内の容積を変化させる（詳細は後述する）。

第１カバープレート４２は、一方の主面４２ａが第１アクチュエータプレート４１の一方の主面４１ａ上のうち、第１電極引出部４５を避けた位置に接合されている。第１カバープレート４２には、チャネル４３のＺ方向における他端部側に共通インク室４６が形成されている。
共通インク室４６は、Ｙ方向に沿って長くなるように、かつ第１カバープレート４２の厚さ方向に貫通するように形成された開口である。共通インク室４６は、流路部材７１内に連通していると共に、各チャネル４３に連通している。これにより、共通インク室４６に導入されたインクが各チャネル４３に流通される。

一方、第２ヘッドチップ３２は、第２アクチュエータプレート５１および第２カバープレート５２がＸ方向に積層されて構成されている。なお、第２ヘッドチップ３２と第１ヘッドチップ３１の基本的構成は同一である。このため、第２ヘッドチップ３２のうち、上述した第１ヘッドチップ３１と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。

第２アクチュエータプレート５１の一方の主面５１ａには、上述した第１アクチュエータプレート４１のチャネル４３と同ピッチでＹ方向に間隔をあけて複数のチャネル４３が配設されている。

ここで、本実施形態の吐出部７０では、第１アクチュエータプレート４１のチャネル４３と、第２アクチュエータプレート５１のチャネル４３とが千鳥状に配置されている。
すなわち、第１アクチュエータプレート４１および第２アクチュエータプレート５１は、第１アクチュエータプレート４１の駆動壁４４と第２アクチュエータプレート５１のチャネル４３とがＸ方向で対向するように形成されている。また、第１アクチュエータプレート４１および第２アクチュエータプレート５１は、第１アクチュエータプレート４１のチャネル４３と第２アクチュエータプレート５１の駆動壁４４とがＸ方向で対向するように形成されている。

なお、図５では、第１アクチュエータプレート４１のチャネル４３と、第２アクチュエータプレート５１のチャネル４３とが同一平面上に図示されているが、これは、説明を分かり易くするためである。実際は、吐出部７０のＸ−Ｚ平面に沿う断面図では、第１アクチュエータプレート４１または第２アクチュエータプレート５１の一方のアクチュエータプレートのチャネル４３が図示されている状態では、他方のアクチュエータプレートの駆動壁４４が図示される（例えば、図３参照）。

また、第２アクチュエータプレート５１の一方の主面５１ａのうち、第１アクチュエータプレート４１の第１電極引出部４５と対向する位置は、第２電極引出部５５とされている。この第２電極引出部５５に、後述の第２フレキシブル基板９４が接続されている。そして、第２アクチュエータプレート５１の駆動電極４４ｂは、第２フレキシブル基板９４を介して駆動電圧が印加されることにより、圧電滑り効果により駆動壁４４を変形させ、チャネル４３内の容積を変化させる（詳細は後述する）。

このように構成された第１アクチュエータプレート４１および第２アクチュエータプレート５１は、それぞれの他方の主面（裏面）４１ｂ，５１ｂ同士が重ね合わさるように接合されている。
ここで、図５に詳示するように、第１アクチュエータプレート４１の他方の主面４１ｂには、蒸着等により第１ガード電極１０１が形成されている。また、第２アクチュエータプレート５１の他方の主面５１ｂには、蒸着等により第２ガード電極１０２が形成されている。これらガード電極１０１，１０２は、各他方の主面４１ｂ，５１ｂの全体に形成されている。各他方の主面４１ｂ，５１ｂは、Ｚ−Ｙ平面に面しているので、駆動壁４４の内側面４４ａに対して略直交している。このため、駆動電極４４ｂと各ガード電極１０１，１０２も略直交している。

第１ガード電極１０１は、第１アクチュエータプレート４１のＺ方向の上端で、かつＹ方向の両側に形成された不図示の引出電極を介して第１フレキシブル基板９３に接続されている。第１ガード電極１０１は、第１フレキシブル基板９３を介して制御電圧が印加されることにより、第１アクチュエータプレート４１の駆動電極４４ｂに駆動電圧を印加した際の漏れ電界を抑制する。

一方、第２ガード電極１０２は、第２アクチュエータプレート５１のＺ方向の上端で、かつＹ方向の両側に形成された不図示の引出電極を介して第２フレキシブル基板９４に接続されている。第２ガード電極１０２は、第２フレキシブル基板９４を介して制御電圧が印加されることにより、第２アクチュエータプレート５１の駆動電極４４ｂに駆動電圧を印加した際の漏れ電界を抑制する。なお、これら漏れ電界の抑制方法の詳細については後述する。

また、第１ガード電極１０１と第２ガード電極１０２との間には、絶縁層１０３が形成されている。これにより、第１ガード電極１０１と第２ガード電極１０２との間が絶縁される。絶縁層１０３としては、石英（二酸化ケイ素：ＳｉＯ₂）、セラミック、接着剤、ポリイミド等が挙げられる。接着剤を用いる場合、第１ガード電極１０１と第２ガード電極１０２との間の絶縁距離を確保するために、接着剤にフィラー等を混合することが望ましい。

図３、図４に示すように、ノズルキャップ３６は、Ｚ方向から見た平面視外形が長方形状に形成されており、その上面が下部ベース７２（図２参照）の下面に突き当たった状態で固定される。
また、ノズルキャップ３６には、Ｚ方向に貫通する嵌合孔３６ａが形成されており、第１ヘッドチップ３１および第２ヘッドチップ３２が嵌合孔３６ａ内にまとめて嵌合されている。この際、ノズルキャップ３６の下端面は、各ヘッドチップ３１，３２の下端面と面一となるように組み合わされている。

ノズルプレート３５は、厚みが約５０μｍ程度のポリイミド等のフィルム材からなるシート状とされ、ノズルキャップ３６および各ヘッドチップ３１，３２の下端面に接着等により固定されている。なお、本実施形態のノズルプレート３５は、ノズルキャップ３６のほぼ全面に亘って設けられており、その外周部分が下部ベース７２とＺ方向で重なる。

また、ノズルプレート３５には、Ｙ方向に間隔をあけて並設された複数のノズル孔（第１ノズル孔３３ａおよび第２ノズル孔３４ａ）からなるノズル列（第１ノズル列３３および第２ノズル列３４）が２列配設されている。

第１ノズル列３３は、ノズルプレート３５をＺ方向に貫通する複数の第１ノズル孔３３ａを有し、これら第１ノズル孔３３ａがＹ方向に間隔をあけて一直線上に並んで構成されている。第１ノズル孔３３ａは、第１アクチュエータプレート４１のチャネル４３内に連通している。
第２ノズル列３４は、ノズルプレート３５をＺ方向に貫通する複数の第２ノズル孔３４ａを有し、第１ノズル列３３と平行に配設されている。各第２ノズル孔３４ａは、第２アクチュエータプレート５１のチャネル４３内に連通している。

（駆動制御部）
図６は、吐出部７０と駆動制御部８０とが接続された状態を示す斜視図である。
なお、図６に図示する吐出部７０は、図３〜図５に示す吐出部７０と同一構造であるが、図６における説明を分かりやすくするために、簡略化している。

図２、図６に示すように、駆動制御部８０は、回路基板８１と、回路基板８１と吐出部７０とを電気的に接続するための接続基板８２と、を備えている。
回路基板８１は、いわゆるガラスエポキシ基板であって、Ｚ方向に長くなるようにＸ方向からみて略長方形状に形成されている。回路基板８１の外周部には、複数のビス孔８３が形成されている。ビス孔８３に不図示のビスを挿入し、このビスを縦ベース７３に固定することにより、縦ベース７３に回路基板８１が固定される。

回路基板８１には、複数の素子８６が実装されている。素子８６としては、例えば、第１ヘッドチップ３１および第２ヘッドチップ３２を駆動するための駆動信号を生成するドライバＩＣ等がある。
また、回路基板８１の一面８１ａには、長手方向上端部に外部機器接続用コネクタ９１が実装されている。外部機器接続用コネクタ９１は、不図示の外部制御機器と電気的に接続され、この外部制御機器の制御信号が入力される。外部機器接続用コネクタ９１と、各素子８６は、回路基板８１上に敷設されている複数の配線（不図示）により電気的に接続されている。

このように構成された回路基板８１と吐出部７０とを電気的に接続するための接続基板８２は、第１フレキシブル基板９３と第２フレキシブル基板９４とにより構成されている。第１フレキシブル基板９３は、回路基板８１に設けられた第１接続部８４と第１ヘッドチップ３１とを電気的に接続するためのものであって、僅かに撓んだ状態で配置されている。そして、第１フレキシブル基板９３の一端が回路基板８１に接続され、他端が第１ヘッドチップ３１の第１電極引出部４５に接続されている。
第２フレキシブル基板９４は、回路基板８１に設けられた第２接続部８５と第２ヘッドチップ３２とを電気的に接続するためのものであって、僅かに撓んだ状態で配置されている。そして、第２フレキシブル基板９４の一端が回路基板８１に接続され、他端が第２ヘッドチップ３２の第２電極引出部５５に接続されている。

（液体噴射記録装置の印刷動作）
次に、図１に基づいて、液体噴射記録装置１の印刷動作について説明する。
図１に示すように、液体噴射記録装置１の印刷動作は、一対の搬送機構２，３によって被記録媒体Ｓを搬送させながら走査手段６によって液体噴射ヘッド４を走査させながら行う。このとき、液体噴射ヘッド４から所定のインク滴を吐出させ、このインク滴を被記録媒体Ｓに着弾させることにより、被記録媒体Ｓに文字や画像が記録される。

液体噴射ヘッド４からインク滴を吐出させるために、各ヘッドチップ３１，３２に駆動電圧（制御電圧）が印加される。すなわち、駆動電極４４ｂ、第１ガード電極１０１、および第２ガード電極１０２にそれぞれ所定の電圧が印加されることにより、液体噴射ヘッド４からインク滴が吐出される。

（駆動電極、第１ガード電極、および第２ガード電極への駆動電圧の印加方法）
次に、図７〜図１２に基づいて、駆動電極４４ｂ、第１ガード電極１０１、および第２ガード電極１０２への電圧の印加方法について説明する。
図７は、第１ヘッドチップ３１および第２ヘッドチップ３２を模式的に示した図である。図８は、駆動電極４４ｂ、第１ガード電極１０１、および第２ガード電極１０２への電圧の印加タイミングを示すタイムチャートである。

ここで、液体噴射ヘッド４は、第１アクチュエータプレート４１に形成されている各チャネル４３、および第２アクチュエータプレート５１に形成されている各チャネル４３の全てにインクが充填され、全てのチャネル４３から順次インクが吐出される。また、液体噴射ヘッド４は、Ｙ方向で隣り合う各チャネル４３をそれぞれ３つに振り分け、各チャネル４３から順次インクを吐出する、いわゆる３サイクル方式とされている。つまり、例えば、図７に示すように、Ｙ方向で隣り合う各チャネル４３をＡサイクル、Ｂサイクル、Ｃサイクルの３つのサイクルに順に振り分け、各サイクル別に駆動電圧を印加する。
なお、３つのサイクルの振り分け順は、第１アクチュエータプレート４１と第２アクチュエータプレート５１とで対応させる必要は無いが、以下の説明では、説明を分かり易くするために、各アクチュエータプレート４１，５１の３つのサイクルが対応するように振り分けて説明する。

図８に示すように、各アクチュエータプレート４１，５１の駆動電極４４ｂに印加される駆動電圧には、２つの波形の電圧がある。すなわち、所望のチャネル４３の容積を膨張させる膨張波形（Ｏｎ波形）Ｗ１と、所望のチャネル４３の容積を収縮させる収縮波形（Ｉｎａｃｔｉｖｅ波形）Ｗ２と、がある。以下、これら膨張波形Ｗ１と収縮波形Ｗ２について、具体的に説明する。

図９は、駆動電極４４ｂに、膨張波形Ｗ１の駆動電圧を印加した状態を示す説明図、図１０は、駆動電極４４ｂに、収縮波形Ｗ２の駆動電圧を印加した状態を示す説明図である。
なお、第１アクチュエータプレート４１と第２アクチュエータプレート５１の基本的動作原理は同一である。このため、以下の説明では、第１アクチュエータプレート４１についてのみ説明し、第２アクチュエータプレート５１については必要に応じて説明する。

図８、図９に示すように、例えば、Ａサイクルのチャネル４３を介して第１ノズル孔３３ａからインク滴を吐出する場合、Ａサイクルのチャネル４３に、膨張波形Ｗ１の駆動電圧を印加する（図８におけるＦ１参照）。この場合、Ａサイクルのチャネル４３の駆動電極４４ｂがプラス（＋）、Ａサイクルの両隣りに存在するＢサイクルおよびＣサイクルのチャネル４３の駆動電極４４ｂがマイナス（−、接地）になる。すると、Ａサイクルのチャネル４３の容積が膨張し、この分、Ａサイクルのチャネル４３にインクが充填される。

続いて、図８、図１０に示すように、ＢサイクルおよびＣサイクルのチャネルに、収縮波形Ｗ２の駆動電圧を印加する（図８におけるＦ２参照）。この場合、ＢサイクルおよびＣサイクルのチャネル４３の駆動電極４４ｂがプラス（＋）、Ａサイクルのチャネル４３の駆動電極４４ｂがマイナス（−、接地）になる。すると、Ａサイクルのチャネル４３の容積が収縮し、Ａサイクルのチャネル４３内のインクの圧力が高まる。このため、Ａサイクルのチャネル４３内のインクが第１ノズル孔３３ａを介して吐出される。
そしてこれを、各サイクルのチャネル４３について順次行うことにより（図８参照）、各チャネル４３から順次インクが吐出される。

この他に、所望のチャネル４３だけインクを吐出させない場合もある。例えば、Ａサイクルの複数のチャネル４３のうち、同じＡサイクルであっても１つのチャネル４３だけインクを吐出させないような場合である。このようなチャネル４３に印加される駆動電圧を、非吐出波形（ｏｆｆ波形）Ｗ３とする（図１１参照）。

図１１は、駆動電極４４ｂへの非吐出波形Ｗ３の印加タイミングを示すタイムチャートである。図１２は、駆動電極４４ｂに、非吐出波形Ｗ３の駆動電圧を印加した状態を示す説明図である。
図１１、図１２に示すように、非吐出波形Ｗ３の駆動電圧は、所望のチャネル４３以外のチャネルに収縮波形Ｗ２の駆動電圧が印加されるタイミングと同じタイミングで印加される。この場合、例えば、所望のＡサイクルのチャネル４３と、ＢサイクルおよびＣサイクルのチャネル４３のそれぞれの駆動電極４４ｂがプラス（＋）になる。このため、駆動壁４４間で電位差が生じず、所望のＡサイクルのチャネル４３の容積が変化しない。つまり、所望のＡサイクルのチャネル４３を構成する駆動壁４４が駆動しない。このため、所望のＡサイクルのチャネル４３からインクが吐出されない。

ここで、図９に示すように、例えば、Ａサイクルのチャネル４３に膨張波形Ｗ１の駆動電圧が印加されている際、Ａサイクルのチャネル４３を構成する駆動壁４４の内側面４４ａと、ＢサイクルおよびＣサイクルのチャネル４３を構成する駆動壁４４の内側面４４ａとの間に電位差が生じる。このため、駆動壁４４を介してＡサイクルのチャネル４３からＢサイクルおよびＣサイクルのチャネル４３に向かって流れる電界Ｅ１が発生する。この電界Ｅ１は、駆動壁４４を通過するので、各アクチュエータプレート４１，５１が意図しない変形をしてしまうような影響を及ぼさない。

一方、図１０に示すように、例えば、ＢサイクルおよびＣサイクルのチャネル４３に、収縮波形Ｗ２の駆動電圧が印加される際、Ａサイクルのチャネル４３を構成する駆動壁４４の内側面４４ａと、ＢサイクルおよびＣサイクルのチャネル４３を構成する駆動壁４４の内側面４４ａとの間に電位差が生じる。このため、駆動壁４４を介してＢサイクルおよびＣサイクルのチャネル４３からＡサイクルのチャネル４３に向かって流れる電界Ｅ２が発生する。

これに対し、Ｂサイクルのチャネル４３を構成する駆動壁４４の内側面４４ａと、Ｃサイクルのチャネル４３を構成する駆動壁４４の内側面４４ａとの間は、それぞれの駆動電極４４ｂが同じプラス（＋）になるので、電位差が生じない。一方、Ｂサイクルのチャネル４３を構成する駆動壁４４の内側面４４ａ、およびＣサイクルのチャネル４３を構成する駆動壁４４の内側面４４ａと、第１アクチュエータプレート４１の他方の主面４１ｂとの間に電位差が生じ、駆動壁４４から第１アクチュエータプレート４１の他方の主面４１ｂに向かって流れる電界Ｅ３が発生しようとする。この電界Ｅ３は、第１アクチュエータプレート４１の駆動壁４４以外を流れる電界であり、第１アクチュエータプレート４１を意図せず変形させてしまう、いわゆる漏れ電界である。

そこで、図８に示すように、ＢサイクルおよびＣサイクルのチャネル４３に収縮波形Ｗ２の駆動電圧が印加されるタイミングと同じタイミングで、第１ガード電極１０１に収縮波形Ｗ２と同じサブ収縮波形Ｗ４の制御電圧を印加する。これにより、Ｂサイクルのチャネル４３を構成する駆動壁４４の内側面４４ａ、およびＣサイクルのチャネル４３を構成する駆動壁４４の内側面４４ａと、第１アクチュエータプレート４１の他方の主面４１ｂとの間にも電位差が生じず、漏れ電界（電界Ｅ３）の発生を抑制できる。

また、図１１、図１２に示すようにＡサイクルのチャネル４３に、非吐出波形Ｗ３の駆動電圧が印加され、ＢサイクルおよびＣサイクルのチャネル４３に、収縮波形Ｗ２の駆動電圧が印加される際、各駆動壁４４の内側面４４ａの間は、それぞれの駆動電極４４ｂが同じプラス（＋）になるので、電位差が生じない。この場合も、各駆動壁４４の内側面４４ａと、第１アクチュエータプレート４１の他方の主面４１ｂとの間に電位差が生じ、駆動壁４４から第１アクチュエータプレート４１の他方の主面４１ｂに向かって流れる電界Ｅ３が発生しようとする。

このため、非吐出波形Ｗ３および収縮波形Ｗ２の駆動電圧が印加されるタイミングとほぼ同じタイミングで、第１ガード電極１０１にサブ収縮波形Ｗ４の制御電圧を印加する。これにより、各駆動壁４４の内側面４４ａと、第１アクチュエータプレート４１の他方の主面４１ｂとの間に電位差が生じず、漏れ電界（電界Ｅ３）の発生を抑制できる。
なお、サブ収縮波形Ｗ４の制御電圧の印加タイミングは、非吐出波形Ｗ３および収縮波形Ｗ２の駆動電圧が印加されるタイミングと多少のずれがあってもよい。

ここで、第１アクチュエータプレート４１に設けられている第１ガード電極１０１と、第２アクチュエータプレート５１に設けられている第２ガード電極１０２との間には、絶縁層１０３が形成されている。このため、各ガード電極１０１，１０２の何れか一方にサブ収縮波形Ｗ４の制御電圧を印加した場合であっても、他方のガード電極１０１，１０２が設けられているアクチュエータプレート４１，５１に影響を及ぼすことがない。
なお、駆動電圧の各波形Ｗ２〜Ｗ４の波高Ｈ２〜Ｈ４を、同一に設定することが望ましい。このように設定することで、インク吐出性能を向上でき、被記録媒体Ｓに記録される文字や画像の品質を向上できる。しかしながら、各波高Ｈ１〜Ｈ４は、完全同一でなくてもよく、多少のばらつきがあってもよい。また、駆動電圧の各波形Ｗ１〜Ｗ４は、波高に限らず、波幅（パルス幅）に多少のばらつきがあってもよい。

このように、上述の第１実施形態では、各アクチュエータプレート４１，５１の他方の主面４１ｂ，５１ｂに、それぞれガード電極１０１，１０２を設けている。これらガード電極１０１，１０２は、各チャネル４３を構成する駆動壁４４の内側面４４ａに形成されている駆動電極４４ｂとはほぼ直交する平面（他方の主面４１ｂ，５１ｂ）に存在している。換言すれば、ガード電極１０１，１０２は、駆動壁４４が膨張、収縮変形する向き（駆動壁４４を駆動させる電界の向き）に対して平行な平面（他方の主面４１ｂ，５１ｂ）に存在している。

そして、第１アクチュエータプレート４１の所望のチャネル４３に収縮波形Ｗ２の駆動電圧を印加した際、この収縮波形Ｗ２とほぼ同じタイミングで、第１ガード電極１０１にサブ収縮波形Ｗ４の制御電圧を印加している。同様に、第２アクチュエータプレート５１の所望のチャネル４３に収縮波形Ｗ２の駆動電圧を印加した際、この収縮波形Ｗ２と同じタイミングで、第２ガード電極１０２にサブ収縮波形Ｗ４の制御電圧を印加している。
このため、各アクチュエータプレート４１，５１内での所定の壁面間（駆動壁４４の内側面４４ａと他方の主面４１ｂ，５１ｂとの間）での電位差を極力無くすことができ、漏れ電界（電界Ｅ３）の発生を抑制できる。よって、漏れ電界（電界Ｅ３）に起因する各アクチュエータプレート４１，５１の歪みを防止でき、液体噴射ヘッド４の液体吐出性能を向上できる。

また、各ガード電極１０１，１０２は、それぞれ対応するアクチュエータプレート４１，５１の他方の主面４１ｂ，５１ｂの全体に形成されている。このため、余計なマスク等を形成したり、各ガード電極１０１，１０２の形状を加工したりする手間が省ける。よって、各ガード電極１０１，１０２を容易に形成することができ、液体噴射ヘッド４の製造コストを極力抑えつつ、液体吐出性能を向上できる。

さらに、吐出部７０を、２つのヘッドチップ３１，３２を積層することにより構成しているので、液体噴射ヘッド４から吐出されるインクの数が増大し、被記録媒体Ｓに記録される文字や画像の密度を向上できる。
しかも、第１ガード電極１０１と第２ガード電極１０２との間に、絶縁層１０３が形成されている。このため、各ガード電極１０１，１０２の何れか一方にサブ収縮波形Ｗ４の制御電圧を印加した場合であっても、他方のガード電極１０１，１０２が設けられているアクチュエータプレート４１，５１に影響を及ぼすことがない。

（第１実施形態の変形例）
なお、上述の第１実施形態では、各ガード電極１０１，１０２は、それぞれ対応するアクチュエータプレート４１，５１の他方の主面４１ｂ，５１ｂの全体に形成されている場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、図１３に示すように、少なくとも各アクチュエータプレート４１，５１の他方の主面４１ｂ，５１ｂのうち、駆動電極４４ｂが形成されている範囲に対応する箇所に、Ｙ方向全体にわたってガード電極１０１，１０２が形成されていればよい。

この場合、各アクチュエータプレート４１，５１の他方の主面４１ｂ，５１ｂ同士が確実に重なり合うように、各他方の主面４１ｂ，５１ｂの各ガード電極１０１，１０２を形成する箇所に、凹部１０４，１０５を形成する。そして、各凹部１０４，１０５の底面に、それぞれガード電極１０１，１０２を形成する。
また、各凹部１０４，１０５の深さは、各ガード電極１０１，１０２間の絶縁距離を確保可能な深さに設定する。そして、各ガード電極１０１，１０２の間に、絶縁層として空気層１０６形成する。

したがって、上述の第１実施形態の変形例によれば、前述の第１実施形態と同様の効果を奏することができる。つまり、アクチュエータプレート４１，５１の駆動電極４４ｂが形成されている範囲に対応する箇所全体に、漏れ電界が発生し得る磁路が形成されてしまうことを防止できる。このため、前述の第１実施形態と同様の効果を奏することができる。

これに加え、各ガード電極１０１，１０２間の絶縁を確保するために空気層１０６を形成している。このように、絶縁層として空気層１０６を採用することにより、絶縁層を容易に形成することができる。
また、絶縁層の形状が変化した場合であっても柔軟に対応することができる。つまり、絶縁素材を用いる必要がないので、絶縁層の形状が変化した場合であっても何ら製造コストに影響を及ぼさない。このため液体噴射ヘッド４の製造コストを抑えることが可能になる。

なお、上述の第１実施形態の変形例では、絶縁層として空気層１０６を形成した場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、空気層１０６に、石英（二酸化ケイ素：ＳｉＯ₂）、セラミック、接着剤、ポリイミド等を配置し、これらを絶縁層としてもよい。
また、上述の第１実施形態の構成と第１実施形態の変形例の構成とを組み合わせてもよい。例えば、第１実施形態の変形例における空気層１０６を、第１実施形態の絶縁層１０３に採用してもよい。この場合、各アクチュエータプレート４１，５１の他方の主面４１ｂ，５１ｂの周縁部を除く大部分に凹部を形成し、この凹部に各ガード電極１０１，１０２を形成すると共に、空気層を形成する。

さらに、上述の実施形態では、駆動電圧の各波形Ｗ１〜Ｗ４が、１つのパルスで構成されている場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、駆動電圧の各波形Ｗ１〜Ｗ４を、２つ以上のパルスで構成してもよい。

（第２実施形態）
（液体噴射ヘッド）（吐出部）
次に、図１４に基づいて、第２実施形態について説明する。
図１４は、第２実施形態における吐出部２７０のＸ−Ｚ平面に沿う断面図であって、前述の図５に相当している。なお、第１実施形態と同一態様には、同一符号を付して説明を省略する。
同図に示すように、第１実施形態と第２実施形態との相違点は、前述の第１実施形態の吐出部７０は、２つのヘッドチップ３１，３２を積層することにより構成しているのに対し、第２実施形態の吐出部２７０は、ヘッドチップが１つのみ（第１ヘッドチップ３１）で構成されている点にある。

このため、吐出部２７０と駆動制御部８０の回路基板８１と接続する接続基板８２は、第１フレキシブル基板９３（何れも図２参照、第２実施形態では不図示）のみである。
また、ノズルプレート２３５に形成されるノズル列およびノズル孔も、第１ノズル列３３および第１ノズル孔３３ａのみである。さらに、ノズルキャップ２３６に形成された嵌合孔２３６ａに、第１ヘッドチップ３１が嵌合されている。

ここで、第１ヘッドチップ３１を構成する第１アクチュエータプレート４１の他方の主面４１ｂには、この他方の主面４１ｂに重ね合わさるように縦ベース７３（図２参照）が取り付けられる。このように、第１ヘッドチップ３１は、縦ベース７３と下部ベース７２（本第２実施形態では不図示）とに支持される。
第１アクチュエータプレート４１の他方の主面４１ｂの全体には、蒸着等により第１ガード電極１０１が形成されている。また、第１ガード電極１０１と、縦ベース７３およびノズルキャップ２３６の嵌合孔２３６ａとの間には、絶縁層１０３が形成されている。

したがって、上述の第２実施形態によれば、前述の第１実施形態と同様の効果を奏することができる。

（第２実施形態の変形例）
なお、上述の第２実施形態では、第１アクチュエータプレート４１の他方の主面４１ｂの全体に第１ガード電極１０１を形成した場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、図１５に示すように、少なくとも第１アクチュエータプレート４１の他方の主面４１ｂのうち、駆動電極４４ｂが形成されている範囲に対応する箇所に、Ｙ方向全体にわたって第１ガード電極１０１が形成されていればよい。

この場合、第１アクチュエータプレート４１の他方の主面４１ｂと縦ベース７３とが確実に重なり合うように、他方の主面４１ｂの第１ガード電極１０１を形成する箇所に、凹部２０４を形成する。そして、凹部２０４の底面に、第１ガード電極１０１を形成する。
また、各凹部２０４の深さは、第１ガード電極１０１と縦ベース７３との間の絶縁距離を確保可能な深さに設定する。そして、第１ガード電極１０１と縦ベース７３との間に、絶縁層として空気層２０６形成する。

なお、上述の第２実施形態の変形例では、絶縁層として空気層２０６を形成した場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、空気層２０６に、石英（二酸化ケイ素：ＳｉＯ₂）、セラミック、接着剤、ポリイミド等を配置し、これらを絶縁層としてもよい。
また、上述の第２実施形態の構成と第２実施形態の変形例の構成とを組み合わせてもよい。例えば、第２実施形態の変形例における空気層２０６を、第２実施形態の絶縁層１０３に採用してもよい。この場合、第１アクチュエータプレート４１の他方の主面４１ｂの周縁部を除く大部分に凹部を形成し、この凹部に第１ガード電極１０１を形成すると共に、空気層２０６を形成する。

なお、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述の実施形態に種々の変更を加えたものを含む。

１…液体噴射記録装置、４…液体噴射ヘッド、６…走査手段、２５…液体収容体、２６…液体供給管、４１…第１アクチュエータプレート（アクチュエータプレート）、４１ａ，５１ａ…一方の主面（表面）、４１ｂ，５１ｂ…他方の主面（裏面）、４３…チャネル、４４…駆動壁、４４ａ…内側面（側面）、４４ｂ…駆動電極、５１…第２アクチュエータプレート（アクチュエータプレート）、１０１…第１ガード電極（ガード電極）、１０２…第２ガード電極（ガード電極）、１０３…絶縁層、１０６…空気層、Ｗ１…膨張波形、Ｗ２…収縮波形（第１収縮波形）、Ｗ４…サブ収縮波形（第２収縮波形）

Claims (6)

1. 第１方向および該第１方向に直交する第２方向に表面が面しているアクチュエータプレートと、
   前記アクチュエータプレートの前記表面上に前記第１方向に沿って延設されていると共に、前記第２方向に間隔をあけて並設され、液体が充填される複数のチャネルと、
   前記複数のチャネル間に形成される駆動壁の側面に形成され、電圧を印加可能な駆動電極と、
   前記アクチュエータプレートの前記表面とは反対側で、かつ該表面と対向する裏面に形成され、前記電圧を印加可能なガード電極と、
   を備え、
   前記ガード電極は、前記裏面のうち、少なくとも前記駆動電極が形成されている範囲に対応する箇所に形成されており、
   ２つの前記アクチュエータプレートの前記裏面同士を重ね合わせて成り、
   各前記アクチュエータプレートの前記ガード電極の間に、絶縁層を設けたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記ガード電極は、前記裏面のうち、少なくとも前記駆動電極が形成されている範囲に対応する箇所に、前記第２方向全体にわたって形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記ガード電極は、前記裏面の全体に形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記絶縁層は、空気層であることを特徴とする請求項１〜請求項３の何れか１項に記載の液体噴射ヘッド。
5. 請求項１〜請求項４の何れか１項に記載の液体噴射ヘッドと、
   前記液体噴射ヘッドを走査させる走査手段と、
   前記液体を収容する液体収容体と、
   前記液体噴射ヘッドと前記液体収容体との間に敷設され、前記液体を流通させる液体供給管と、
   を備えたことを特徴とする液体噴射記録装置。
6. 第１方向および該第１方向に直交する第２方向に表面が面しているアクチュエータプレートと、
   前記アクチュエータプレートの前記表面上に前記第１方向に沿って延設されていると共に、前記第２方向に間隔をあけて並設され、液体が充填される複数のチャネルと、
   前記複数のチャネル間に形成される駆動壁の側面に形成され、電圧を印加可能な駆動電極と、
   前記アクチュエータプレートの前記表面とは反対側で、かつ該表面と対向する裏面に形成され、前記電圧を印加可能なガード電極と、
   を備え、
   前記ガード電極は、前記裏面のうち、少なくとも前記駆動電極が形成されている範囲に対応する箇所に形成されている液体噴射ヘッドの電圧印加方法において、
   前記駆動電極に印加される前記電圧は、
   前記駆動壁の両側面に電位差を与えて対応する前記チャネルの容積を膨張させる膨張波形と、
   前記駆動壁の両側面に電位差を与えて対応する前記チャネルの容積を収縮させる第１収縮波形と、
   であり、
   前記ガード電極に印加される前記電圧は、前記第１収縮波形と同じタイミングで印加される第２収縮波形である
   ことを特徴とする液体噴射ヘッドの電圧印加方法。

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