JP6588766B2 - 評価方法、露光方法、露光装置、プログラム、および物品の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明に係る第1実施形態の露光装置100について、図1を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態の露光装置100を示す概略図である。露光装置100は、例えば、照明光学系1と、原版2を保持する原版ステージ3(保持部)と、投影光学系4と、基板5を保持して移動可能な基板ステージ6(ステージ)と、制御部10とを含みうる。制御部10は、例えばCPUやメモリなどを含み、原版2のパターンを基板5のショット領域に転写する処理を制御する(露光装置100の各部を制御する)。
β(t)=Cβ(1−exp(−t/τ)) ・・・(1)
Cβ=Cβ0・Tr・SF・I・Wrefl ・・・(2)
Cβ0=βm(t)/β(t) ・・・(3)
第2実施形態では、投影光学系4のディストーションの変動量を予測するための予測式を決定する方法について、図6を参照しながら説明する。第2実施形態では、図6に示すフローチャートの各工程のうち、第1実施形態と異なるS21の工程について説明する。
(1)X方向における位置の差が最も大きくなるように照明領域内のマーク8aを選択する(例えば、図7に示すマーク8a’の配置)。
(2)X方向およびY方向における位置の差が最も大きくなるように照明領域内のマーク8aを選択する(例えば、図8に示すマーク8a’の配置)。
(3)X方向およびY方向における位置の差が最も大きくなるように選択された照明領域内のマーク8aに加えて、当該マーク8aの中間位置にあるマーク8aも選択する(例えば、図9に示すマーク8a’の配置)。
(4)X方向およびY方向における位置の差が最も大きくなるように選択された照明領域内のマーク8a、およびそれらのマーク8aの中間位置にあるマーク8aに加えて、より中心部に近いマーク8aも選択する(例えば、図10に示すマーク8a’の配置)。
第3実施形態では、投影光学系4の光学特性としてのフォーカス位置(ベストフォーカス位置)の補正について説明する。投影光学系4のフォーカス位置は、投影光学系4の投影倍率と同様に、例えば、基板ステージ6に設けられた検出部6aの出力によって計測されうる。検出部6aの出力は、投影光学系4の像面に形成されたマークの像が投影光学系4のベストフォーカス位置に配置されたときに最大になる。そのため、制御部10は、検出部6aの出力が最大のときの投影光学系4と検出部6aとの位置関係に基づいて投影光学系4のベストフォーカス位置を求めることができる。
F(t)=CF(1−exp(−t/τ)) ・・・(4)
CF=CF0・Tr・SF・I・Wrefl ・・・(5)
CF0=Cm(t)/C(t) ・・・(6)
本発明の実施形態に係る物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、基板に塗布された感光剤に上記の露光装置を用いて潜像パターンを形成する工程(基板を露光する工程)と、かかる工程で潜像パターンが形成された基板を現像する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
また、本発明は、以下の処理を実行することによっても実現される。即ち、上述した実施形態の機能を実現するソフトウェア(プログラム)を、ネットワーク又は各種記憶媒体を介してシステム或いは装置に供給し、そのシステム或いは装置のコンピュータ(またはCPUやMPU等)がプログラムを読み出して実行する処理である。
Claims (15)
- 投影光学系を介しての基板の露光時間に対する前記投影光学系の光学特性の変動量を予測するための予測式を用いて、前記投影光学系の光学特性を評価する評価方法であって、
前記投影光学系の物体面に複数のマークがマトリクス状に配列された専用パターンを用いて、前記予測式を決定する決定工程を含み、
前記決定工程は、
前記基板上のショット領域の寸法に応じて決定された前記物体面上の照明領域を示す情報に基づいて、前記複数のマークの中から、前記照明領域内に配置される少なくとも2つのマークを選択する第1工程と、
前記投影光学系の像面に形成される前記少なくとも2つのマークの像の位置に基づいて前記予測式を求める第2工程と、
を含む、ことを特徴とする評価方法。 - 前記決定工程は、前記専用パターンが形成された原版を用いて前記予測式を決定する、ことを特徴とする請求項1に記載の評価方法。
- 前記第2工程は、前記少なくとも2つのマークの像の位置から求められた前記光学特性の実測値に基づいて、前記予測式に含まれる係数を求める、ことを特徴とする請求項1又は2に記載の評価方法。
- 前記専用パターンには、前記物体面において照明可能な最大の領域内に、100個以上のマークが配置されている、ことを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載の評価方法。
- 前記専用パターンには、前記物体面において照明可能な最大の領域における長手方向および短手方向のそれぞれにおいて、当該領域の寸法の1/10より短いピッチでマークが配置されている、ことを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載の評価方法。
- 前記第1工程は、選択すべきマークの前記照明領域における配置および数が前記光学特性の項目ごとに設定された情報に基づいて、前記少なくとも2つのマークを選択する、ことを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載の評価方法。
- 前記光学特性の項目は、投影倍率、ディストーション、フォーカス、像面湾曲、縦横倍率差のうち少なくとも1つを含む、ことを特徴とする請求項6に記載の評価方法。
- 前記第1工程は、露光すべき前記ショット領域の寸法を示す情報を取得する工程と、前記ショット領域の寸法を示す情報に基づいて前記照明領域を決定する工程とを含む、ことを特徴とする請求項1乃至7のうちいずれか1項に記載の評価方法。
- 前記照明領域は、前記ショット領域に転写される回路パターンが配置される前記物体面上の領域を照明するように決定される、ことを特徴とする請求項1乃至8のうちいずれか1項に記載の評価方法。
- 前記少なくとも2つのマークは、前記照明領域の寸法に応じて変更される、ことを特徴とする請求項1乃至9のうちいずれか1項に記載の評価方法。
- 投影光学系を介して原版のパターンを基板に転写するための該基板の露光時間に対する投影光学系の光学特性の変動量についての予測値を予測式によって求め、前記光学特性を評価する評価方法であって、
前記投影光学系の物体面に複数のマークがマトリクス状に配列された専用パターンを用いて、前記予測式を決定する決定工程を含み、
前記決定工程は、
前記複数のマークの中から、前記投影光学系を介して前記原版のパターンを前記基板に転写する際に前記物体面での照明領域内に配置される少なくとも2つのマークを選択する第1工程と、
前記投影光学系の像面に形成される前記少なくとも2つのマークの像の位置に基づいて前記予測式を求める第2工程と、を含み、
前記第1工程は、選択すべきマークの前記照明領域における配置および数が前記光学特性の項目ごとに設定された情報に基づいて、前記少なくとも2つのマークを選択する、ことを特徴とする評価方法。 - 請求項1乃至11のうちいずれか1項に記載の評価方法の各工程をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
- 投影光学系を介しての基板の露光方法であって、
請求項1乃至11のうちいずれか1項に記載の評価方法を用いて、露光時間に対する前記投影光学系の光学特性を評価する評価工程と、
前記評価工程での評価結果に基づいて前記投影光学系の光学特性を調整しながら、前記投影光学系を介して前記基板を露光する露光工程と、
を含むことを特徴とする露光方法。 - 請求項13に記載の露光方法を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された前記基板を現像する工程と、を含み、
現像された前記基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。 - 基板を露光する露光装置であって、
原版のパターンを前記基板に投影する投影光学系と、
前記投影光学系の光学特性を変更する変更部と、
前記投影光学系の物体面に複数のマークがマトリクス状に配列された専用パターンを用いて、前記基板の露光時間に対する前記投影光学系の光学特性の変動量を予測するための予測式を決定し、前記予測式で予測された前記変動量に基づいて前記変更部を制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、
前記基板上のショット領域の寸法に応じて決定された前記物体面上の照明領域を示す情報に基づいて、前記複数のマークの中から、前記照明領域内に配置される少なくとも2つのマークを選択し、
前記投影光学系の像面に形成される前記少なくとも2つのマークの像の位置に基づいて前記予測式を決定する、ことを特徴とする露光装置。
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