JP2020095218A - 決定方法、露光方法、物品の製造方法、およびプログラム - Google Patents
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Abstract
【課題】投影光学系のベストフォーカス位置を精度よく求めるための決定方法を提供する。【解決手段】投影光学系のベストフォーカス位置を決定する決定方法は、投影光学系の光軸方向における互いに異なる複数の位置の各々で得られた、投影光学系による投影パターンの計測データを取得する工程と、複数の計測データにおける部分集合を構成要素として複数の計測データセットを作成する工程S22と、各計測データセットについて計測データと光軸方向の位置との関係を示す近似関数を求める工程と、前記近似関数の導関数を評価指標として含む評価関数に基づいて各計測データセットを評価する工程S23と、評価結果に基づいて1つの計測データセットを選択する工程S25と、選択された計測データセットの近似関数に基づいて投影光学系のベストフォーカス位置を決定する工程S26と、を含む。【選択図】図3
Description
本発明は、投影光学系のベストフォーカス位置を決定する決定方法、それを用いた露光方法、物品の製造方法、およびプログラムに関する。
半導体デバイスやフラットパネルディスプレイ(FPD)などは、フォトリソグラフィ工程を経て製造される。フォトリソグラフィ工程には、マスクやレチクルなどの原版のパターンを、レンズやミラーなどを含む投影光学系を介して、レジスト(感光剤)が塗布されたガラスプレートやウェハなどの基板に投影し、当該基板を露光する露光工程が含まれる。
露光工程では、投影光学系のベストフォーカス位置、即ち、投影光学系により投影される原版のパターン像が最も高いコントラストで形成される位置と、基板の表面位置(レジストが塗布された面)とを正確に一致させることが好ましい。そのためには、投影光学系のベストフォーカス位置を精度よく求めることが望まれる。特許文献1には、投影光学系の光軸方向における複数の位置で投影像を計測して得られた複数の計測データのうち、極小点の計測データよりも外側の計測データを除外し、残りの計測データ群の近似関数からベストフォーカス位置を求める方法が開示されている。
特許文献1に記載されたように、極小点の計測データよりも外側の計測データを除外する方法では、投影光学系のベストフォーカス位置を求める精度が不十分になる場合がある。例えば、計測データによっては、極小点の計測データよりも外側の計測データを含めたり、極小点の計測データ自体もしくは極小点の内側の計測データを除外したりした方が、ベストフォーカス位置を精度よく求めることができる場合がある。
そこで、本発明は、投影光学系のベストフォーカス位置を精度よく求めるために有利な技術を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての決定方法は、投影光学系のベストフォーカス位置を決定する決定方法であって、前記投影光学系の像面側の光軸方向における互いに異なる複数の位置の各々で得られた、前記投影光学系による投影パターンの計測データを取得する第1工程と、前記第1工程で得られた複数の計測データにおける計測データの部分集合を構成要素として、当該構成要素が互いに異なる複数の計測データセットを作成する第2工程と、前記複数の計測データセットの各々について、計測データセットに含まれる計測データと前記光軸方向の位置との関係を示す近似関数を求める第3工程と、前記近似関数の導関数を評価指標として含む評価関数に基づいて、前記複数の計測データセットの各々を評価する第4工程と、前記第4工程での評価結果に基づいて、前記複数の計測データセットの中から1つの計測データセットを選択する第5工程と、前記第5工程で選択された計測データセットの前記近似関数に基づいて、前記投影光学系のベストフォーカス位置を決定する第6工程と、を含むことを特徴とする。
本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施形態によって明らかにされるであろう。
本発明によれば、例えば、投影光学系のベストフォーカス位置を精度よく求めるために有利な技術を提供することができる。
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施の形態について説明する。なお、各図において、同一の部材ないし要素については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
<第1実施形態>
第1実施形態では、本発明に係るベストフォーカス位置の決定方法の一例について説明する。本実施形態は、露光装置10に搭載される投影光学系3のベストフォーカス位置を求める際に本発明を適用するものである。なお、本実施形態では、原版Mとしてマスクやレチクルなどが用いられ、基板Wとしてガラスプレートや半導体ウェハなどが用いられうる。
第1実施形態では、本発明に係るベストフォーカス位置の決定方法の一例について説明する。本実施形態は、露光装置10に搭載される投影光学系3のベストフォーカス位置を求める際に本発明を適用するものである。なお、本実施形態では、原版Mとしてマスクやレチクルなどが用いられ、基板Wとしてガラスプレートや半導体ウェハなどが用いられうる。
露光装置の構成例
図1は、本実施形態の露光装置10の構成を示す概略図である。露光装置10は、原版Mを照明する照明光学系1と、原版Mを保持して移動可能な原版ステージ2と、原版Mのパターンを基板Wに投影する投影光学系3と、基板Wを保持して移動可能な基板ステージ4と、制御部5とを含みうる。本実施形態の投影光学系3は、例えば、凹面ミラー3aと台形ミラー3bと凸面ミラー3cとを有する反射型(ミラープロジェクション方式)の光学系であるが、複数のレンズを有する透過型(レンズプロジェクション方式)の光学系であってもよい。投影光学系3は、両側テレセントリック、即ち、その主光線が物体面側および像面側の両方においてZ軸と平行になるように構成されうる。また、制御部5は、例えばCPUやメモリなどを有するコンピュータによって構成され、原版Mのパターンを基板上(例えば、基板上に形成された感光層(レジスト層))に転写する露光処理を制御する(露光装置10の各部を制御する)。
図1は、本実施形態の露光装置10の構成を示す概略図である。露光装置10は、原版Mを照明する照明光学系1と、原版Mを保持して移動可能な原版ステージ2と、原版Mのパターンを基板Wに投影する投影光学系3と、基板Wを保持して移動可能な基板ステージ4と、制御部5とを含みうる。本実施形態の投影光学系3は、例えば、凹面ミラー3aと台形ミラー3bと凸面ミラー3cとを有する反射型(ミラープロジェクション方式)の光学系であるが、複数のレンズを有する透過型(レンズプロジェクション方式)の光学系であってもよい。投影光学系3は、両側テレセントリック、即ち、その主光線が物体面側および像面側の両方においてZ軸と平行になるように構成されうる。また、制御部5は、例えばCPUやメモリなどを有するコンピュータによって構成され、原版Mのパターンを基板上(例えば、基板上に形成された感光層(レジスト層))に転写する露光処理を制御する(露光装置10の各部を制御する)。
露光装置10は、光源(不図示)から射出された光を、照明光学系1を通して原版Mに照明し、原版Mに形成されたパターンを、投影光学系3によって基板上に投影(結像)して当該基板Wを露光する。これにより、基板上に塗布されたレジスト(感光剤)が感光されて当該レジストに潜像パターンが形成され、その後の現像工程を経ることで、レジストで構成されたパターンを基板上に形成することができる。
本実施形態の露光装置10は、例えば、原版Mを保持する原版ステージ2と基板Wを保持する基板ステージ4とを同期させて±Y方向に相対的に走査することによって基板Wの露光処理を行う(即ち、走査露光を行う)。これにより、投影光学系3の投影領域より大きいサイズを有する基板上のショット領域に原版Mのパターンを転写することができる。1つのショット領域に対する走査露光が終了すると、露光装置10は、基板ステージ4をX方向および/またはY方向に一定量だけステップ移動させ、基板上の次のショット領域の走査露光を行う。これを繰り返し、基板Wにおける複数のショット領域の各々についての走査露光が終了すると、搬送機構(不図示)によって基板Wが露光装置10から搬出され、新たな未露光基板が露光装置内に搬入される。
ところで、露光処理では、投影光学系3のベストフォーカス位置、即ち、投影光学系3により投影される原版Mのパターン像が最も高いコントラストで形成される位置と、基板Wの表面位置とを正確に一致させることが好ましい。基板Wの表面位置とは、例えば、基板の被露光面の位置、または、基板上に塗布されたレジストの表面の位置でありうる。このように投影光学系3のベストフォーカス位置と基板Wの表面位置とを一致させないと、投影光学系3により基板上に投影される原版Mのパターン像にボケが生じ、所望のパターンを基板上に形成することが困難になりうる。そのため、本実施形態では、投影光学系3の像面側の光軸方向(Z方向)における互いに異なる複数の位置の各々について、投影光学系3による投影パターンの計測データを取得し、複数の計測データに基づいて投影光学系3のベストフォーカス位置を決定する。このように決定されたベストフォーカス位置に基づいて、露光処理中における基板Wの位置(Z方向)を基板ステージ4により制御することで、基板上にパターンを精度よく形成することができる。
本実施形態では、投影光学系3により基板上にパターン(テストパターン)を実際に転写し、基板上に転写されたパターンの寸法を計測することによって計測データを得る例を説明する。具体的には、Z方向における基板Wの位置が互いに異なる複数の状態の各々について、投影光学系3により基板上にパターンを投影して当該基板Wを露光する。そして、現像工程を経て基板上に形成されたレジストパターンの寸法を計測することにより、当該複数の状態に対応する複数の計測データを得ることができる。レジストパターンの寸法は、露光装置10の外部の計測装置によって計測されてもよいし、露光装置10の内部に設けられた計測部によって計測されてもよい。
ここで、計測データの取得方法としては、基板上に実際に形成されたパターンの寸法を計測することに限られず、投影光学系3による投影パターンの空中像を計測することで計測データを取得する方法であってもよい。この場合、例えば、投影光学系3から射出された光の強度を検出する検出部が露光装置内に設けられ、Z方向における互いに異なる複数の位置の各々で、投影光学系3による投影パターンを検出部に検出させることにより、複数の計測データが取得されうる。
テストパターンの構成例
次に、ベストフォーカス位置の決定処理に用いられるテストパターン20の構成例について説明する。図2は、テストパターン20の構成例を示す図である。テストパターン20は、ベストフォーカス位置の決定処理に用いられる原版Mに形成されたパターン(即ち、投影光学系3による投影パターン)であり、本実施形態では、ラインの伸びる方向が互いに異なる複数のライン要素21〜24を含む。複数のライン要素21〜24の各々は、それぞれ孤立した単一線のパターン要素であり、孤立線(アイソ)パターンと呼ばれることがある。各ライン要素21〜24は、投影光学系3のベストフォーカス位置と基板Wの表面位置とが一致したときに、当該基板Wに投影(転写)された像の線幅(寸法)が最大になるため、この原理を利用することでベストフォーカス位置を求めることができる。そして、ラインの伸びる方向が互いに異なる複数のライン要素21〜24を用いることにより、各ライン要素の幅方向についてのベストフォーカス位置を個別に求めることができる。
次に、ベストフォーカス位置の決定処理に用いられるテストパターン20の構成例について説明する。図2は、テストパターン20の構成例を示す図である。テストパターン20は、ベストフォーカス位置の決定処理に用いられる原版Mに形成されたパターン(即ち、投影光学系3による投影パターン)であり、本実施形態では、ラインの伸びる方向が互いに異なる複数のライン要素21〜24を含む。複数のライン要素21〜24の各々は、それぞれ孤立した単一線のパターン要素であり、孤立線(アイソ)パターンと呼ばれることがある。各ライン要素21〜24は、投影光学系3のベストフォーカス位置と基板Wの表面位置とが一致したときに、当該基板Wに投影(転写)された像の線幅(寸法)が最大になるため、この原理を利用することでベストフォーカス位置を求めることができる。そして、ラインの伸びる方向が互いに異なる複数のライン要素21〜24を用いることにより、各ライン要素の幅方向についてのベストフォーカス位置を個別に求めることができる。
ベストフォーカス位置の決定方法
次に、本実施形態における投影光学系3のベストフォーカス位置の決定方法について説明する。図3は、投影光学系3のベストフォーカス位置の決定方法を示すフローチャートである。図3に示すフローチャートの各工程は、デバイスパターンが形成されないテスト基板を用いて行われうる。以下の説明では「テスト基板」を単に「基板W」と呼ぶことがある。
次に、本実施形態における投影光学系3のベストフォーカス位置の決定方法について説明する。図3は、投影光学系3のベストフォーカス位置の決定方法を示すフローチャートである。図3に示すフローチャートの各工程は、デバイスパターンが形成されないテスト基板を用いて行われうる。以下の説明では「テスト基板」を単に「基板W」と呼ぶことがある。
S11〜S15は、Z方向における基板Wの位置が互いに異なる複数の状態の各々で、投影光学系3を介して原版Mのテストパターン20(図2に示す複数のライン要素21〜24)を基板上に転写する工程である。S11〜S15の工程は、制御部5によって制御されうる。
S11では、基板Wを初期位置(Z方向)に配置する。具体的には、レジストが塗布された基板Wを基板ステージ4に保持させ、予め設定された初期位置(Z方向)に基板Wが配置されるように基板ステージ4を駆動する。初期位置は、露光装置10のユーザインタフェースを介してユーザにより任意に設定されうるが、例えば、基板WをZ方向に移動させる範囲(移動範囲)の下限位置(Z座標マイナス側のリミット)または上限位置(Z座標プラス側のリミット)に設定される。本実施形態では、初期位置は、移動範囲の下限位置に設定されている。
S12では、投影光学系3によりテストパターン20の像を基板Wに投影し、基板Wを露光する。具体的には、図2に示すテストパターン20が形成された原版Mを原版ステージ2に保持させ、投影光学系3を介して、テストパターン20を基板上に転写(形成)する。S12では、テストパターン20における複数のライン要素21〜24の全てを基板上に転写してもよいし、複数のライン要素21〜24のうち少なくとも1つのライン要素を基板上に転写してもよい。
S13では、Z方向における基板Wの位置が所定量ずつ互いに異なる複数の状態の各々についてテストパターン20を基板上に転写したか否か(即ち、露光終了か否か)を判定する。具体的には、Z方向における基板Wの位置が移動範囲の上限位置に達したか否かを判定する。基板上にテストパターン20を形成していない状態がある場合にはS14に進む。
S14では、Z方向に基板Wをステップ移動させる。具体的には、基板Wを保持する基板ステージ4を所定量(所定のステップ量)だけZ方向に移動させる。本実施形態では、初期位置が移動範囲の下限位置に設定されているため、基板Wが上昇するように、基板ステージ4をZ座標プラス側にステップ移動させる。なお、S11において、初期位置が移動範囲の上限位置に設定されている場合には、基板Wが下降するように、基板ステージ4をZ座標マイナス側にステップ移動させる。
S15では、X方向および/またはY方向に基板Wをステップ移動させる。具体的には、基板Wの未露光領域が投影光学系3の下方に配置されるように、基板Wを保持する基板ステージ4を所定量(所定のステップ量)だけX方向および/またはY方向に移動させる。
このように複数の状態の各々について基板上へのテストパターン20の転写が終了するまで、即ち、Z方向における基板Wの位置が移動範囲の上限位置に到達するまで、S12〜S15の工程が繰り返し行われる。そして、S13において、複数の状態の各々について基板上にテストパターン20を転写したと判断した場合にS16に進む。
S16〜S18は、基板上に転写されたテストパターン20(レジストパターン)の寸法(線幅)を計測する工程である。S16では、搬送機構(不図示)によって基板Wを露光装置10から搬出する。S17では、露光装置10の外部に設けられた現像装置により、S11〜S15の工程を経てテストパターン20が転写された基板Wを現像する。これにより、基板上にレジストパターン(以下では、引き続きテストパターン20と呼ぶことがある)が現れる。S18では、S17の現像処理により現れた基板上のテストパターン20の寸法(線幅)を計測する。具体的には、Z方向における基板Wの位置が互いに異なる複数の状態の各々で当該基板上に形成されたテストパターン20の寸法を計測する。S18の工程は、顕微鏡を用いてユーザによって行われてもよいし、露光装置10の外部の計測装置によって行われてもよいし、露光装置10の内部に設けられた計測部によって行われてもよい。
S19〜S26は、投影光学系3のベストフォーカス位置を決定する工程である。S19〜S26の工程は、露光装置10における制御部5によって行われてもよいし、露光装置10の外部に設けられたコンピュータ(情報処理装置)によって行われもよい。
S19では、複数の状態の各々で基板上に形成されたテストパターン20の寸法(線幅)をS18の工程で計測することにより得られた複数の計測データLiを取得する。つまり、Z方向における互いに異なる複数の位置の各々で得られた、投影光学系3による投影パターンの計測データLiを取得する。本実施形態では、各計測データLiは、Z方向の基板Wの位置(以下では「Z位置Fi」と呼ぶことがある)に対応するテストパターン20の線幅の計測値である。なお、添え字「i」は、計測データの番号(i=0,1,2,・・・)である。
図4〜図5は、複数の計測データLiの一例を示す図である。図4は、複数の計測データLiの各々におけるZ位置Fiとテストパターン20の線幅の計測値との関係を示す表であり、図5は、横軸をZ位置Fiとし、縦軸をテストパターン20の線幅として、複数の計測データLiをグラフ化した図である。本実施形態では、L0〜L26の27個の計測データが取得された例を示している。ここで、テストパターン20が崩れているなどして、テストパターン20の線幅を計測できない、または計測値が異常である場合には、そのZ位置に対応する計測データLiを無効としてもよい。
S20では、S19で取得した有効な計測データLiの数が所定数以下(例えば4つ以下)であるか否かを判定する。所定数は、ユーザにより任意に設定されうる。計測データLiの数が所定数以下である場合には、計測条件に問題があるものとしてS21に進む。S21では、投影光学系3のベストフォーカス位置の決定処理がエラーとなったことを通知(エラー通知)する。その後、S11に戻り、投影光学系3を介してテストパターン20を基板上に転写する工程をやり直す。一方、S20において、計測データLiの数が所定数より多い場合にはS22に進む。
S22では、S19で取得した複数の計測データLiにおける計測データの部分集合を構成要素として、当該構成要素が互いに異なる複数の計測データセットを作成する。複数の計測データセットの各々は、S19で取得した複数の計測データLiから一部の計測データを抽出したり除去したりして得られた計測データ群を含む。複数の計測データセットは、例えば、複数の計測データLiから少なくともZ方向の両端位置での計測データを除去した計測データ群から成る計測データセットを含みうる。
例えば、図6に示すように、複数の計測データLiにおけるZ位置のマイナス端から除去する計測データの数を増やしていくことにより、複数の計測データセットAn(n=0,1,2,・・・)を作成してもよい。また、図7に示すように、複数の計測データLiにおけるZ位置のプラス端から除去する計測データの数を増やしていくことにより、複数の計測データセットBn(n=0,1,2,・・・)を作成してもよい。さらに、図8に示すように、複数の計測データLiから除去する所定数(図8では1個)の計測データを変更することにより、複数の計測データセットCn(n=0,1,2,・・・)を作成してもよい。ここで、図6〜図8に示す方法は、あくまで一例であり、それらの方法の組み合わせ、または別の方法であってもよい。例えば、図9に示すように、複数の計測データLiから任意に計測データを除去することにより、複数の計測データセットDn(n=0,1,2,・・・)を作成してもよい。
S23では、S22で作成した複数の計測データセットの各々について、計測データセットに含まれる計測データLiとZ位置Fiとの関係を示す近似関数を求める。近似関数を求める具体的な手段としては、例えば、最小二乗法による関数フィッティングが挙げられる。関数フィッティングに用いられる関数は、例えば、Z位置Fiの4次の多項式である。ここで、近似関数は、上記以外の関数や、上記以外の手段を用いて求めてもよい。
S24では、評価関数に基づいて、複数の計測データセットの各々を評価する。本実施形態では、複数の評価指標V1〜V4を含む評価関数V(V=V1+V2+V3+V4)が用いられ、評価関数Vの評価値(評価指標V1〜V4の指標値の合計)が小さいほど評価(信頼性)が高いものとする。ここで、評価関数Vは、評価指標V1〜V4の全てを含むものに限られず、評価指標V1〜V4のうち少なくとも1つの評価指標を含むものであってもよいし、それ以外の評価指標を含むものであってもよい。
以下に、評価関数Vに含まれる各評価指標V1〜V4について説明する。
評価指標V1は、評価対象の計測データセットにおけるマイナス側端のZ位置での近似関数の導関数(傾き)を評価するための指標である。本実施形態の評価指標V1は、マイナス側端のZ位置において、近似関数が十分大きな右上がりの傾きを有する場合(即ち、導関数の値が十分大きい場合)に、指標値が小さくなる関数で表されうる。例えば、近似関数の導関数をg’(F)、マイナス側端のZ位置をFminとすると、評価指標V1は、以下の式(1)に示す関数によって表される。式(1)は、マイナス側端のZ位置での近似関数の導関数g’(Fmin)と閾値との大小関係に応じた指標値を出力する関数である。具体的には、導関数g’(Fmin)が閾値「0.02」以上である場合には指標値「0」を出力し、導関数g’(Fmin)が閾値「0.02」より小さい場合には指標値「5」を出力する。式(1)における数値「0」、「5」、「0.02」は、これまでの実験結果などから導出されたパラメータ(経験値)であり、必要な評価精度に応じて任意に設定されうる。ここで、評価指標V1は、S19で取得した複数の計測データLiにおけるマイナス側端のZ位置での導関数(傾き)を評価するための指標であってもよい。
評価指標V1は、評価対象の計測データセットにおけるマイナス側端のZ位置での近似関数の導関数(傾き)を評価するための指標である。本実施形態の評価指標V1は、マイナス側端のZ位置において、近似関数が十分大きな右上がりの傾きを有する場合(即ち、導関数の値が十分大きい場合)に、指標値が小さくなる関数で表されうる。例えば、近似関数の導関数をg’(F)、マイナス側端のZ位置をFminとすると、評価指標V1は、以下の式(1)に示す関数によって表される。式(1)は、マイナス側端のZ位置での近似関数の導関数g’(Fmin)と閾値との大小関係に応じた指標値を出力する関数である。具体的には、導関数g’(Fmin)が閾値「0.02」以上である場合には指標値「0」を出力し、導関数g’(Fmin)が閾値「0.02」より小さい場合には指標値「5」を出力する。式(1)における数値「0」、「5」、「0.02」は、これまでの実験結果などから導出されたパラメータ(経験値)であり、必要な評価精度に応じて任意に設定されうる。ここで、評価指標V1は、S19で取得した複数の計測データLiにおけるマイナス側端のZ位置での導関数(傾き)を評価するための指標であってもよい。
評価指標V2は、評価対象の計測データセットにおけるプラス側端のZ位置での近似関数の導関数(傾き)を評価するための指標である。本実施形態の評価指標V2は、プラス側端のZ位置において、近似関数が十分大きな右下がりの傾きを有する場合(即ち、導関数の値が十分小さい場合)に、指標値が小さくなる関数で表されうる。例えば、近似関数の導関数をg’(F)、プラス側端のZ位置をFmaxとすると、評価指標V2は、以下の式(2)に示す関数によって表される。式(2)は、プラス側端のZ位置での近似関数の導関数g’(Fmax)と閾値との大小関係に応じた指標値を出力する関数である。具体的には、導関数g’(Fmax)が閾値「−0.02」以下である場合には指標値「0」を出力し、導関数g’(Fmax)が閾値「−0.02」より大きい場合には指標値「5」を出力する。式(1)における数値「0」、「5」、「−0.02」は、これまでの実験結果などから導出されたパラメータ(経験値)であり、必要な評価精度に応じて任意に設定されうる。ここで、評価指標V2は、S19で取得した複数の計測データLiにおけるプラス側端のZ位置での導関数(傾き)を評価するための指標であってもよい。
評価指標V3は、評価対象の計測データセットに含まれる計測データLiの数を評価するための指標である。本実施形態の評価指標V3は、計測データセットに含まれる計測データの数が多いほど指標値が小さくなる関数で表されうる。例えば、計測データセットに含まれる計測データLiの数をN、S19で取得した複数の計測データLiの全数をNTotalとすると、評価指標V3は、以下の式(3)に示す関数によって表される。式(3)における係数「−3」は、評価関数Vにおける評価指標V3の影響力と後述する評価指標V4の影響力との関係を調整するため、これまでの実験結果などから導出されたパラメータ(経験値)であり、必要な評価精度に応じて任意に設定されうる。例えば、当該係数を小さくすると、評価関数Vにおける評価指標V3の影響力が評価指標V4より弱くなり、後述する計測データセットの選択において、計測データの数が考慮されにくくなる。
評価指標V4は、評価対象の計測データセットに含まれる各計測データLiと近似関数とのフィッティング誤差を評価するための指標である。本実施形態の評価指標V4は、実際の計測データと近似関数(フィッティング曲線)との差の二乗和平方が小さいほど指標値が小さくなる関数で表されうる。即ち、評価指標V4は、フィッティング誤差が小さいほど指標値が小さくなる関数で表されうる。例えば、i番目の計測データ(線幅の計測値)をLi、Z位置をFi、近似関数をg(F)とすると、評価指標V4は、以下の式(4)に示す関数によって表される。ただし、式(4)におけるフィッティング誤差の和(Σ)は、評価対象の計測データセットに含まれる計測データLiに対して行われる。また、式(4)における計測データLi、Z位置Fiは、いずれも単位μmを除した無次元量として扱われる。式(1)〜式(3)で得られる指標値が無次元量であるからである。
ここで、S24で用いられる評価関数は、上記に限定されず、種々の関数を使用することが可能である。例えば、上記の評価指標V1、V2は、近似関数がベストフォーカス位置付近で最大値を有する(即ち、上に凸の形状になる)ことを前提としている。しかしながら、計測対象のパターンによっては、近似関数がベストフォーカス位置付近で最小値を有する(即ち、下に凸の形状になる)ことがある。このときでは、評価指標V1は、マイナス側端のZ位置において、近似関数が十分大きな右下がりの傾きを有する場合(即ち、導関数の値が十分に小さい場合)に、指標値が小さくなる関数で表されるとよい。また、評価指標V2は、プラス側端のZ位置において、近似関数が十分大きな右上がりの傾きを有する場合(即ち、導関数の値が十分に大きい場合)に、指標値が小さくなる関数で表されるとよい。
図10は、図9に示す複数の計測データセットD1〜D5の各々に対し、上述した評価関数Vを用いて評価値を算出した結果を示す図である。図10において、黒丸(●)が、計測データセットに含まれる計測データを示し、白丸(〇)が、除去された計測データを示し、破線が、近似関数を示している。また、図10では、評価指標V1〜V4の指標値と、その指標値の合計である評価関数Vの評価値とを示している。ここで、計測データセットD1〜D5は、評価値の変化の説明を分かり易くするために作成されたもので、あくまで、上述したS22の工程で同時期に作成された複数の計測データセットのうちの一部である。即ち、計測データセットD1〜D5の各々は、他の計測データセットの評価値を参照しながら作成されたものではない。
計測データセットD1では、図10(a)に示すように、近似関数(破線)が、マイナス側端のZ位置で右下がり、プラス側端のZ位置で右上がりの形状を有しており、その結果、評価指標V1、V2の指標値が大きくなっている。図11に示す理想的な近似関数(曲線)と比較すると、Z位置の両端(即ち、Z方向の両端位置)の形状が異常であることが分かる。
計測データセットD2では、計測データセットD1に対してプラス側端の2個の計測データ(L25、L26)が除去されている。この計測データセットD2では、図10(b)に示すように、近似関数(破線)がプラス側端のZ位置で右下がりの形状となり、評価指標V2の指標値が小さくなっている。これは、計測データL25、L26が異常の計測値である可能性が高いことを示している。
計測データセットD3では、計測データセットD2に対してマイナス側端の1個の計測データ(L0)が更に除去されている。この計測データセットD3では、図10(c)に示すように、近似関数(破線)がマイナス側端のZ位置で右上がりの形状となり、評価指標V1の指標値が小さくなっている。計測データセットD1〜D2と比較すると、図11に示す理想的な近似関数(曲線)に近づいており、より信頼性が高いことを示している。
計測データセットD4では、計測データセットD3に対して、近似関数(フィッティング曲線)からの乖離が大きい計測データ(L6,L15、L23)が除去され、評価指標V4の指標値が小さくなっている。この計測データセットD4では、図10(d)に示すように、計測データセットD1〜D3と比較すると、図11に示す理想的な近似関数(曲線)に更に近づいており、更に信頼性が高いことを示している。
計測データセットD5では、計測データセットD4に対して、プラス側端の1個の計測データ(L24)が更に除去されている。しかしながら、この場合、計測データの数が少なったことによって評価指標V3の指標値が大きくなり、計測データセットD4と比較して、評価指標V1〜V4の合計値(即ち、評価関数Vの評価値)が大きくなっている。
図3のフローチャートに戻り、S25では、複数の計測データセットの各々についての評価結果に基づいて、複数の計測データセットの中から、ベストフォーカス位置の決定に使用する計測データセットを選択する。本実施形態では、上述したように、評価関数Vの評価値が小さいほど評価(信頼性)が高いものとしている。そのため、図10に示す例では、計測データセットD1〜D5のうち、評価関数Vの評価値が最も小さい計測データセットD4が選択される。
S26では、S25で選択された計測データセットの近似関数に基づいて、投影光学系3のベストフォーカス位置を決定(算出)する。ベストフォーカス位置の決定方法の1つの例では、S25で選択された計測データセットの近似関数の最大値を求め、その最大値に対応するZ位置をベストフォーカス位置として決定するとよい。また、ベストフォーカス位置の決定方法の他の例では、S25で選択された計測データセットの近似関数に対してスライス値を設定し、近似関数とスライス値とが交差する2点の中点となるZ位置をベストフォーカス位置として決定するとよい。スライス値は、S23で求められた近似関数に対して2点で交差するように、所定の線幅の値に設定されたスライスレベル(直線)である。
ここで、スライス値を設定してベストフォーカス位置を決定する例について、図11に示す理想的な近似関数(曲線)を用いて具体的に説明する。まず、スライス値T1を設定し、近似関数とスライス値T1とが交差する2つの交差点を求める。2つの交差点のうち、マイナス側の交差点のZ位置をF1A、プラス側の交差点のZ位置をF1Bとする。これにより、2つのZ位置F1A、F1Bの中点、即ち、2つのZ位置F1A、F1Bの平均値をベストフォーカス位置として求めることができる。スライス値T1は、S23で求められた近似曲線の最大値Mより僅かに小さい値に設定されるとよく、例えば近似曲線の最大値Mの90%の値(即ち、T1=0.90×M)に設定されうる。ただし、スライス値T1は、近似関数の最大値Mに依存させずに、固定値としてもよい。
上述したように、本実施形態では、投影光学系3の像面側の光軸方向(Z方向)における互いに異なる複数の位置の各々について、投影光学系3による投影パターンの計測データを取得する。取得した複数の計測データの部分集合を構成要素として、当該構成要素が互いに異なる複数の計測データセットを作成し、評価関数に基づいて各計測データセットを評価する。そして、複数の計測データセットのうち、最も良い評価が得られた計測データセットを選択し、選択された計測データセットの近似関数に基づいて、投影光学系3のベストフォーカス位置を決定する。これにより、評価関数に基づいて最適な計測データセット(即ち、計測データの組み合わせ)を選択することができるため、当該最適な計測データセットに基づいて、投影光学系のベストフォーカス位置を精度よく求めることができる。
<第2実施形態>
第2実施形態では、本発明に係る露光方法について説明する。本実施形態の露光方法では、まず、第1実施形態で説明した方法を用いて、投影光学系3のベストフォーカス位置を決定する。次に、決定されたベストフォーカス位置に基づいて基板Wの位置を制御しながら、露光装置10により基板Wの露光処理を行う。当該露光処理では、投影光学系3のベストフォーカス位置と基板Wの表面位置とを一致させるための調整が行われる。調整としては、基板ステージ4の位置や姿勢の制御(変更)、および/または、投影光学系3に含まれる光学部品の位置や姿勢の制御(変更)、面形状の変更(加工)などが挙げられる。本実施形態の露光方法によれば、投影光学系3のベストフォーカス位置と基板Wの表面位置との一致精度を向上させることができるため、基板上にパターンを精度よく形成することができる。
第2実施形態では、本発明に係る露光方法について説明する。本実施形態の露光方法では、まず、第1実施形態で説明した方法を用いて、投影光学系3のベストフォーカス位置を決定する。次に、決定されたベストフォーカス位置に基づいて基板Wの位置を制御しながら、露光装置10により基板Wの露光処理を行う。当該露光処理では、投影光学系3のベストフォーカス位置と基板Wの表面位置とを一致させるための調整が行われる。調整としては、基板ステージ4の位置や姿勢の制御(変更)、および/または、投影光学系3に含まれる光学部品の位置や姿勢の制御(変更)、面形状の変更(加工)などが挙げられる。本実施形態の露光方法によれば、投影光学系3のベストフォーカス位置と基板Wの表面位置との一致精度を向上させることができるため、基板上にパターンを精度よく形成することができる。
<物品の製造方法の実施形態>
本発明の実施形態にかかる物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、基板に塗布された感光剤に上記の露光方法(露光装置)を用いて潜像パターンを形成する工程(基板を露光する工程)と、かかる工程で潜像パターンが形成された基板を現像(加工)する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
本発明の実施形態にかかる物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、基板に塗布された感光剤に上記の露光方法(露光装置)を用いて潜像パターンを形成する工程(基板を露光する工程)と、かかる工程で潜像パターンが形成された基板を現像(加工)する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
<その他の実施例>
本発明は、上述の実施形態の1以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける1つ以上のプロセッサーがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、1以上の機能を実現する回路(例えば、ASIC)によっても実現可能である。
本発明は、上述の実施形態の1以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける1つ以上のプロセッサーがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、1以上の機能を実現する回路(例えば、ASIC)によっても実現可能である。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。
1:照明光学系、2:原版ステージ、3:投影光学系、4:基板ステージ、5:制御部、10:露光装置、20:テストパターン
Claims (14)
- 投影光学系のベストフォーカス位置を決定する決定方法であって、
前記投影光学系の像面側の光軸方向における互いに異なる複数の位置の各々で得られた、前記投影光学系による投影パターンの計測データを取得する第1工程と、
前記第1工程で得られた複数の計測データにおける計測データの部分集合を構成要素として、当該構成要素が互いに異なる複数の計測データセットを作成する第2工程と、
前記複数の計測データセットの各々について、計測データセットに含まれる計測データと前記光軸方向の位置との関係を示す近似関数を求める第3工程と、
前記近似関数の導関数を評価指標として含む評価関数に基づいて、前記複数の計測データセットの各々を評価する第4工程と、
前記第4工程での評価結果に基づいて、前記複数の計測データセットの中から1つの計測データセットを選択する第5工程と、
前記第5工程で選択された計測データセットの前記近似関数に基づいて、前記投影光学系のベストフォーカス位置を決定する第6工程と、
を含むことを特徴とする決定方法。 - 前記評価関数は、前記複数の計測データセットの各々における前記光軸方向の両端位置での導関数を評価指標として含む、ことを特徴とする請求項1に記載の決定方法。
- 前記評価関数は、前記複数の位置のうち前記光軸方向の両端位置での導関数を評価指標として含む、ことを特徴とする請求項1に記載の決定方法。
- 前記評価関数は、前記近似関数の導関数と閾値との大小関係に応じた指標値を出力する関数を含む、ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の決定方法。
- 前記評価関数は、前記近似関数のフィッティング誤差を評価指標として更に含む、ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の決定方法。
- 前記評価関数は、計測データセットに含まれる計測データの数を評価指標として更に含む、ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の決定方法。
- 前記第4工程では、前記評価関数における複数の評価指標で得られる指標値の合計に基づいて、前記複数の計測データセットの各々を評価する、ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の決定方法。
- 前記第2工程で作成される前記複数の計測データセットの各々は、前記複数の計測データの中から任意に抽出された計測データ群を含む、ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の決定方法。
- 前記第2工程で作成される前記複数の計測データセットは、前記複数の計測データから少なくとも前記光軸方向の両端位置での計測データを除去した計測データ群から成る計測データセットを含む、請求項1乃至8のいずれか1項に記載の決定方法。
- 前記第1工程で用いられる前記投影パターンは、ラインの伸びる方向が互いに異なる複数のライン要素を含む、ことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の決定方法。
- 前記第1工程では、基板上に形成された前記投影パターンの寸法の計測値を前記計測データとして得る、ことを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の決定方法。
- 投影光学系により原版のパターンを基板に投影して当該基板を露光する露光方法であって、
請求項1乃至11のいずれか1項に記載の決定方法を用いて、前記投影光学系のベストフォーカス位置を決定する決定工程と、
前記決定工程で決定されたベストフォーカス位置に基づいて前記基板の位置を制御しながら、前記基板を露光する露光工程と、
を含むことを特徴とする露光方法。 - 請求項12に記載の露光方法を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光が行われた前記基板を現像する工程と、を含み、
現像された前記基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。 - 請求項1乃至11のいずれか1項に記載の決定方法の各工程をコンピュータに実行させるためのプログラム。
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JP2018234706A JP2020095218A (ja) | 2018-12-14 | 2018-12-14 | 決定方法、露光方法、物品の製造方法、およびプログラム |
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