JP6588303B2 - 検査装置 - Google Patents
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Claims (2)
- 真空中で検査すべき試料に対してビームを照射する鏡筒を有する検査室と、検査室の内部で試料を支持した状態で移動するステージと、検査室に仕切弁を介して連設される、真空引き可能なロードロック室と、検査室とロードロック室との間で試料を搬送する搬送手段とを備える検査装置において、
前記搬送手段は、検査室とロードロック室の連設方向をX軸方向とし、検査室の壁面に並設されるX軸方向に沿ってのびる第1及び第2のガイドレールと、第1及び第2のガイドレールに設けられて試料を保持する第1及び第2のハンドとを備え、これら第1及び第2の両ハンドは、ロードロック室に対して試料を受け渡す第1受渡位置と、ステージに対して試料を受け渡す第2受渡位置と、所定の退避位置との間で移動自在に構成したことを特徴とする検査装置。 - 前記ステージは、搬送手段によりロードロック室との間で試料の搬送を行うための所定の搬送位置に移動したときに、鏡筒の直下に位置する部分にビーム調整用の調整手段を有することを特徴とする請求項1記載の検査装置。
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