JP6585681B2 - 検査システム - Google Patents

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Description

本発明は、撮像装置で撮像された検査対象物の画像に基づいて検査対象物の検査を行う検査システムに関する。
特許文献１には、撮像装置で撮像された検査対象物の画像に基づいて、例えば検査対象物の表面の欠陥（例えばキズ）の検査を行う検査システムが記載されている。この検査システムでは、ロボットのアーム先端に撮像装置を取り付け、ロボットを制御することにより、検査対象物に対する撮像装置の位置を制御する。
このように撮像装置で撮影された画像を用いた検査システムでは、検査対象物の検査面に大気中の塵又は埃などが付着していると、これらの付着物を欠陥（キズ）として誤検出する可能性がある。
或いは、検査対象物の検査面に、前工程で使用した切削液又は洗浄液などが付着していると、検査対象物の表面の光の反射率に対する切削液又は洗浄液の光の反射率の違いによって写りが変化し、これらの付着物を欠陥（キズ）として誤検出したり、又は、これらの付着物により本来検出されるべき欠陥（キズ）を見逃したりする可能性がある。
この点に関し、特許文献２には、撮像装置で撮像された検査対象物の画像に基づいて検査対象物の表面の欠陥（例えばキズ）の有無の検査を行う検査システムにおいて、撮像装置の進行方向に対して撮像装置の前段に、エアを噴射するエアノズルを備えることが記載されている。これにより、検査対象物の表面に付着した異物を除去する。
特開２００５−１２１５９９号公報 特開２００４−１０８９５６号公報
本発明は、検査対象物の表面の付着物に起因する欠陥の誤検出又は見逃しを低減する検査システムを提供することを目的とする。
（１） 本発明に係る検査システム（例えば、後述の検査システム１）は、検査対象物（例えば、後述のワークＷ）の画像検査を行う検査システムであって、前記検査対象物を撮像する撮像装置（例えば、後述のカメラ１０）と、前記検査対象物に清浄気体を噴出するブローノズル（例えば、後述のブローノズル２２）を有するブロー装置（例えば、後述のブロー装置２０）と、前記撮像装置及び前記ブローノズルと前記検査対象物とのいずれかがアーム先端部（例えば、後述のアーム先端部３２）に取り付けられたロボット（例えば、後述のロボット３０）と、前記撮像装置で撮像された画像に基づいて、前記検査対象物の画像検査を行う検査装置（例えば、後述の検査装置５０）とを備え、前記検査装置は、前記撮像装置と前記ブローノズルとの位置関係に基づいて、前記検査対象物に対して前記撮像装置よりも前記ブローノズルが先行して相対移動するように、前記ロボットの動作プログラムを生成する。
（２） （１）に記載の検査システムにおいて、前記ロボットのアーム先端部に、前記撮像装置及び前記ブローノズルが取り付けられ、前記検査装置は、前記撮像装置から前記ブローノズルへ向かう方向が、前記検査対象物の画像検査の検査経路の検査方向となるように、前記ロボットの動作プログラムを生成してもよい。
（３） （２）に記載の検査システムにおいて、前記検査装置は、前記撮像装置から前記ブローノズルへ向かう方向を、前記ロボットのアーム先端部の進行方向（Ｘ方向）に設定し、前記ロボットのアーム先端部の進行方向が、前記検査対象物の画像検査の検査経路の検査方向となるように、前記ロボットの動作プログラムを生成してもよい。
（４） （１）から（３）のいずれかに記載の検査システムにおいて、前記検査装置は、検査者による前記ロボットの動作の教示に基づいて、前記ロボットの動作プログラムを生成してもよい。
（５） （１）から（３）のいずれかに記載の検査システムにおいて、前記検査装置は、前記撮像装置から前記ブローノズルへ向かう方向又はその反対方向と、現在位置から次の検査点への検査経路の検査方向とに基づいて、前記ロボットの動作プログラムを自動で生成してもよい。
（６） （１）から（５）のいずれかに記載の検査システムにおいて、前記検査装置は、前記検査対象物の検査面に複数の検査点を設定し、前記複数の検査点に検査順位を設定することにより、前記検査対象物の画像検査の検査経路を自動で生成してもよい。
（７） （１）から（６）のいずれかに記載の検査システムにおいて、前記ブローノズルによる前記清浄気体の噴出方向は、前記撮像装置から前記ブローノズルへ向かう方向に傾いていてもよい。
（８） （７）に記載の検査システムにおいて、前記ブローノズルによる前記清浄気体の噴出方向は、更に、前記撮像装置から前記ブローノズルへ向かう方向と交差する方向に傾いていてもよい。
本発明によれば、検査対象物の表面の付着物に起因する欠陥の誤検出又は見逃しを低減する検査システムを提供することができる。
本実施形態に係る検査システムの構成を示す図である。 図１に示すロボットのアーム先端部の側面図である。 図１に示すロボットのアーム先端部の斜視図である。 検査者によるロボットの動作の教示の一例を説明するための図であって、ロボットのアーム先端部及びワークの平面図である。 検査者によるロボットの動作の教示の他の一例を説明するための図であって、ロボットのアーム先端部及びワークの平面図である。 検査者によるロボットの動作の教示の他の一例を説明するための図であって、ロボットのアーム先端部及びワークの平面図である。 変形例に係るブローノズルを示す図であって、ロボットのアーム先端部を示す斜視図である。 変形例に係るブローノズルを示す図であって、ロボットのアーム先端部の平面図である。 第２実施形態に係る検査システムにおけるロボットのアーム先端部の斜視図である。 第２実施形態に係る検査システムにおける検査装置によるロボットの動作プログラムの自動生成の一例を説明するための図であって、ロボットのアーム先端部及びワークの平面図である。 第２実施形態に係る検査システムにおける検査装置によるロボットの動作プログラムの自動生成の一例を説明するための図であって、ロボットのアーム先端部及びワークの平面図である。 第２実施形態に係る検査システムにおける検査装置によるロボットの動作プログラムの自動生成の一例を説明するための図であって、ロボットのアーム先端部及びワークの平面図である。 第２実施形態に係る検査システムにおける検査装置によるロボットの動作プログラムの自動生成の一例を説明するための図であって、ロボットのアーム先端部及びワークの平面図である。 第３実施形態に係る検査システムにおける検査装置による検査経路の自動生成の一例を説明するための図であって、ワークの平面図である。 第３実施形態に係る検査システムにおける検査装置による検査経路の自動生成の他の一例を説明するための図であって、ワークの平面図である。 第３実施形態に係る検査システムにおける検査装置による検査経路の自動生成の一例を説明するための図であって、ワークの平面図である。 第３実施形態に係る検査システムにおける検査装置による検査経路の自動生成の一例を説明するための図であって、ワークの平面図である。 第３実施形態に係る検査システムにおける検査装置による検査経路の自動生成の一例を説明するための図であって、ワークの平面図である。 第３実施形態に係る検査システムにおける検査装置による検査経路の自動生成の他の一例を説明するための図であって、ワークの平面図である。 第３実施形態に係る検査システムにおける検査装置による検査経路の自動生成の他の一例を説明するための図であって、ワークの平面図である。 第３実施形態に係る検査システムにおける検査装置による検査経路の自動生成の他の一例を説明するための図であって、ワークの平面図である。
以下、添付の図面を参照して本発明の実施形態の一例について説明する。なお、各図面において同一又は相当の部分に対しては同一の符号を附すこととする。
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係る検査システムの構成を示す図である。図１に示す検査システム１は、カメラ（撮像装置）１０で撮像されたワーク（検査対象物）Ｗの画像に基づいて、例えばワークＷの表面（検査面）の欠陥（例えば、キズ）の有無を検査するシステムである。検査システム１は、カメラ（撮像装置）１０と、ブロー装置２０と、ロボット３０と、ロボット制御装置４０と、検査装置５０とを備える。
カメラ１０は、検査装置５０の制御により、ワークＷを撮像する。カメラ１０は、撮像したワークＷの画像を検査装置５０に提供する。
ブロー装置２０は、検査装置５０の制御により、清浄気体をブローノズル２２から噴出する。清浄気体としては、空気、窒素ガス、炭酸ガス等が用いられる。以下、清浄気体の一例としてエアを用いて説明する。
ロボット３０としては、公知のロボットマニピュレータを用いることができる。図１には、ロボット３０として、６つの関節軸を有するマニピュレータが例示されている。ロボット３０のアーム先端部３２には、カメラ１０と、ブロー装置２０のブローノズル２２が取り付けられている。
図２は、ロボット３０のアーム先端部３２の側面図である。図２に示すように、カメラ１０は、下方に配置されるワークＷを撮像するように、アーム先端部３２の一方の側部に取り付けられている。ブローノズル２２は、下方に配置されるワークＷにエアを噴出するように、アーム先端部３２の他方の側部に取り付けられている。
ブローノズル２２は、エアの噴出方向がカメラ１０からブローノズル２２へ向かう方向（後述するロボット３０のアーム先端部３２の進行方向）に傾くように形成又は配置されている。
ロボット制御装置４０は、検査装置５０から提供されるロボットの動作プログラムを実行し、ワークＷに対してカメラ１０及びブローノズル２２を相対移動させるように、ロボット３０のアーム先端部３２の位置及び姿勢を制御する。
検査装置５０は、検査プログラムを実行し、カメラ１０で撮像されたワークＷの画像に基づいて、ワークＷの表面（検査面）の欠陥の有無を検査する。
また、検査装置５０は、カメラ１０とブローノズル２２との位置関係に基づいて、ワークＷに対してカメラ１０よりもブローノズル２２が先行して移動するように、ロボットの動作プログラムを生成する。本実施形態では、検査装置５０は、検査者によるロボット３０の動作の教示に基づいて、ロボットの動作プログラムを生成する。以下に、その詳細を説明する。
図３は、ロボット３０のアーム先端部３２の斜視図である。図３に示すように、検査装置５０は、ロボット３０のアーム先端部３２の位置及び姿勢を決定するための座標系をアーム先端部３２の位置に設定する。このとき、検査装置５０は、Ｘ軸方向を、カメラ１０からブローノズル２２へ向かう方向（エアの噴出方向の傾斜方向）に設定し、かつ、このＸ軸方向を、検査時のロボット３０のアーム先端部３２の進行方向に設定する。これにより、カメラ１０からブローノズル２２へ向かう方向が、検査時のロボット３０のアーム先端部３２の進行方向に設定される。
なお、ロボット３０の位置及び姿勢を決定するための座標系は、アーム先端部３２の位置に代えて、カメラ１０の位置又はブローノズル２２の位置に設定されてもよい。
また、ロボット３０の位置及び姿勢を決定するための座標系の各軸の方向は、自由に設定されてもよい。この場合でも、検査装置５０は、カメラ１０からブローノズル２２へ向かう方向を、検査時のロボット３０のアーム先端部３２の進行方向に設定する。
検査装置５０は、Ｘ軸方向、すなわちカメラ１０からブローノズル２２へ向かう方向がワークＷの画像検査の検査経路の検査方向となるように、ロボットの動作プログラムを生成する。
本実施形態では、検査装置５０は、検査者によるロボットの動作の教示に基づいて、ロボットの動作プログラムを生成する。図４は、検査者によるロボットの動作の教示の一例を説明するための図であって、ロボット３０のアーム先端部３２及びワークＷの平面図である。図４に示すように、検査者は、ワークＷの検査面の全てを撮像するように検査経路及び検査方向を教示する。例えば、検査者は、アーム先端部３２を＋Ｘ方向（Ａ方向）のみに動かし、ワークＷの検査面の一端（−Ｘ方向側）から他端(＋Ｘ方向側)まで各検査点におけるアーム先端部３２のカメラ１０の位置を教示する。これを、Ｙ方向（Ｂ方向）にずらして繰り返す。検査装置５０は、この教示に基づいてロボットの動作プログラムを生成すればよい。
なお、進行方向においてブローノズル２２がカメラ１０よりも先行していれば、検査経路及び検査方向は自由に決められてよい。例えば、図５Ａ及び図５Ｂに示すように、アーム先端部３２をＺ軸周りに回転させて進行方向を変えるように、検査経路及び検査方向を決定してもよい。
また、ワークＷの異なる面を検査するためにアーム先端部３２（カメラ１０）の姿勢を変更した場合でも、アーム先端部３２を＋Ｘ方向、すなわちカメラ１０からブローノズル２２へ向かう方向のみに動くように検査経路を教示することで、カメラ１０よりもブローノズル２２を先行させて検査を行うことが可能である。
なお、ブロー装置２０は、ワークＷの画像検査中、ブローノズル２２から常にエアを噴出してもよいし、ロボット３０のアーム先端部３２が検査方向に進むときのみにエアを噴出してもよい。
以上説明したように、本実施形態の検査システム１によれば、検査装置５０は、カメラ１０とブローノズル２２との位置関係に基づいて、カメラ１０からブローノズル２２へ向かう方向が、ワークＷの画像検査の検査経路の検査方向となるように、すなわちワークＷに対してカメラ１０よりもブローノズル２２が先行して相対移動するように、ロボットの動作プログラムを生成する。これにより、カメラ１０の撮像箇所をブローノズル２２が先に通り、撮像直前にカメラ１０の視野範囲をブローするので、カメラ１０の視野内におけるワークＷの表面に付着した塵又は埃、切削液又は洗浄液などの付着物を除去できる。そのため、ワークＷの表面の付着物に起因する欠陥の誤検出又は見逃しを低減でき、検査の成功率が上がる。
なお、大気中の埃などは検査中にも付着する可能性があるが、本実施形態の検査システム１によれば、撮像直前にカメラ１０の視野範囲をブローするので、検査中に付着する付着物も撮像直前に除去できる。
また、本実施形態の検査システム１によれば、ブローノズル２２は、エアの噴出方向がカメラ１０からブローノズル２２へ向かう方向（ロボット３０のアーム先端部３２の進行方向）に傾くように形成又は配置されている。これにより、ワークＷの表面（検査面）の付着物を前方に飛ばすことができ、エアによりカメラ１０側に異物が飛ぶことを低減することができる。
（第１実施形態の変形例：ブローノズルの変形例）
図６Ａは、変形例に係るブローノズルを示す図であって、ロボット３０のアーム先端部３２の斜視図であり、図６Ｂは、変形例に係るブローノズルを示す図であって、ロボット３０のアーム先端部３２の平面図である。図６Ａ及び図６Ｂに示すように、ブローノズル２２に代えて変形例のブローノズル２３が用いられてもよい。ブローノズル２３は、同様に、下方に配置されるワークＷにエアを噴出するように、アーム先端部３２の他方の側部に取り付けられている。
ブローノズル２３は、エアの噴出方向がカメラ１０からブローノズル２３へ向かう方向（ロボット３０のアーム先端部３２の進行方向）に傾くように、形成又は配置されている。更に、ブローノズル２３は、エアの噴出方向がカメラ１０からブローノズル２３へ向かう方向と交差する両脇方向に傾くように、Ｖ字形状に形成又は配置されている。なお、ブローノズル２３は、両脇方向の何れか一方向のみに傾くように形成又は配置されていてもよい。これにより、ワークＷの表面（検査面）の付着物を両脇前方に飛ばすことができ、エアによりカメラ側に異物が飛ぶことを低減することができる。
また、本実施形態では、ワークＷを固定設置し、カメラ１０及びブロー装置２０のブローノズル２２，２３をロボット３０のアーム先端部３２に取り付けることにより、ワークＷに対してカメラ１０及びブローノズル２２，２３を相対移動させた。しかし、カメラ１０及びブロー装置２０のブローノズル２２，２３を固定設置し、ワークＷをロボット３０のアーム先端部３２が把持することにより、ワークＷに対してカメラ１０及びブローノズル２２，２３を相対移動させてもよい。
この場合、検査装置５０は、カメラ１０からブローノズル２２，２３へ向かう方向の反対方向をワークＷの進行方向に設定し、このワークＷの進行方向がワークＷの画像検査の検査経路の検査方向となるように、ロボットの動作プログラムを生成すればよい。これにより、ワークＷに対してカメラ１０よりもブローノズル２２，２３が先行して相対移動することとなる。
（第２実施形態）
第１実施形態では、検査者によるロボットの動作の教示に基づいて、ロボットの動作プログラムを生成した。第２実施形態では、ロボットの動作プログラムを自動で生成する。
第２実施形態に係る検査システム１の構成は、図１に示す第１実施形態の検査システム１の構成と同一である。なお、第２実施形態に係る検査システム１では、検査装置５０の機能及び動作が第１実施形態の検査システム１と異なる。
検査装置５０は、検査者により全ての検査点におけるロボットの位置が教示され、検査点を通る順番、すなわち検査経路及び検査方向が決められると、ワークＷに対してカメラ１０よりもブローノズル２２が先行して相対移動するように、ロボットの動作プログラムを自動で生成する。以下に、その詳細を説明する。
図７は、ロボット３０のアーム先端部３２の斜視図である。図７に示すように、検査装置５０は、ロボット３０のアーム先端部３２の位置及び姿勢を決定するための座標系をカメラ１０の位置に設定する。このとき、検査装置５０は、Ｘ軸方向を、カメラ１０からブローノズル２２へ向かう方向（エアの噴出方向の傾斜方向）に設定し、かつ、このＸ軸方向を、検査時のロボット３０のアーム先端部３２の進行方向に設定する。これにより、カメラ１０からブローノズル２２へ向かう方向が、検査時のロボット３０のアーム先端部３２の進行方向に設定される。
検査装置５０は、Ｘ軸方向、すなわちカメラ１０からブローノズル２２へ向かう方向がワークＷの画像検査の検査経路の検査方向となるように、ロボットの動作プログラムを生成する。
本実施形態では、検査装置５０は、自動でロボットの動作プログラムを生成する。図８Ａ〜図８Ｄは、ロボットの動作プログラムの自動生成の一例を説明するための図であって、ロボット３０のアーム先端部３２及びワークＷの平面図である。図８Ａに示すように、検査装置５０は、現在位置から次の検査点への検査経路の検査方向を求める。
次に、図８Ｂに示すように、検査装置５０は、Ｘ軸方向、すなわちカメラ１０からブローノズル２２へ向かう方向が、検査経路の検査方向となるように、ロボットの動作プログラムを自動で生成する。
この動作プログラムにより、ロボット制御装置４０は、ロボット３０のアーム先端部３２の方向及び姿勢を補正し、図８Ｃに示すように、ロボット３０のアーム先端部３２を次の検査点に移動させることとなる。
次に、図８Ｄに示すように、検査装置５０は、Ｘ軸方向、すなわちカメラ１０からブローノズル２２へ向かう方向が、検査経路の検査方向となるように、ロボットの動作プログラムを自動で生成する。
この動作プログラムにより、ロボット制御装置４０は、ロボット３０のアーム先端部３２の方向及び姿勢を補正することとなる。
このとき、検査装置５０は、検査プログラムに従って、カメラ１０にワークＷの撮像を行わせることとなる。ワークＷの撮像は、ロボットを動作させたまま行ってもよいし、ロボットを一瞬止めて行ってもよい。
検査装置５０は、ワークＷの全ての検査点Ｐ（検査経路Ａ，Ｂ）に対して図８Ａ〜図８Ｄの動作を繰り返し行うことにより、ロボットの動作プログラムを自動で生成する。
本実施形態の検査システム１でも、第１実施形態の検査システム１と同様の利点を得ることができる。
（第３実施形態）
第２実施形態では、ワークＷの画像検査の検査経路を検査者による教示に基づいて生成し、ロボットの動作プログラムを自動で生成した。第３実施形態では、ワークＷの画像検査の検査経路をも自動で生成する。
第３実施形態に係る検査システム１の構成は、図１に示す第２実施形態の検査システム１の構成と同一である。なお、第３実施形態に係る検査システム１では、検査装置５０の機能及び動作が第２実施形態の検査システム１と異なる。
検査装置５０は、検査者によりワークＷの検査面が指定され、検査領域を決める代表検査点が与えられると、検査経路を自動で生成する。以下、ワークＷの検査面として、長方形状の平らな面を想定する。
図９Ａ、図１０、図１１、図１２Ａは、検査経路の自動生成の一例を説明するための図であって、ワークＷの平面図である。図９Ａに示すように、検査装置５０は、検査者によりワークＷの検査面の３つの角部における検査点Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３が与えられ、これらの検査点Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３におけるロボット３０の位置姿勢が教示される。検査装置５０は、図９Ｂに示すように、検査点Ｐ１、Ｐ２、Ｐ４のように教示されてもよい。
図１０に示すように、検査装置５０は、検査点Ｐ１から検査点Ｐ２への移動量、および、検査点Ｐ１から検査点Ｐ３への移動量（図９Ｂでは、検査点Ｐ２から検査点Ｐ４への移動量）を求める。検査装置５０は、求めた検査点Ｐ１から検査点Ｐ２への移動量を所望の格子点数Ｍ（例えば６）に基づくＭ−１で割り、検査点Ｐ１と検査点Ｐ２との間の検査間隔を求める。同様に、検査装置５０は、求めた検査点Ｐ１から検査点Ｐ３への移動量を所望の格子点数Ｎ（例えば５）に基づくＮ−１で割り、検査点Ｐ１と検査点Ｐ３との間の検査間隔を求める。所望の格子点数は、検査者により指定される。
なお、検査者により指定される検査間隔に関するパラメータは、格子点数に限定されない。例えば、検査者により、検査点Ｐ１から検査点Ｐ２へ向かう方向の検査間隔、及び、検査点Ｐ１から検査点Ｐ３へ向かう方向の検査間隔が直接指定されてもよい。
次に、図１１に示すように、検査装置５０は、求めた検査点Ｐ１と検査点Ｐ２との間の検査間隔、及び、検査点Ｐ１と検査点Ｐ３との間の検査間隔に基づいて、ワークＷの検査面上に格子状に複数の検査点を配置する。
次に、検査装置５０は、検査点を通る順番、すなわち検査経路及び検査方向を決める。例えば図１２Ａに示すように、検査装置５０は、一端から他端に向けて１ラインの検査を進め、１ラインの検査が終了したら一端に戻って同一方向に次のラインの検査を行うように、すなわち同一方向に１ラインずつ検査を行うように検査経路及び検査方向を設定してもよい。
検査経路及び検査方向の設定はこれに限定されず、例えば図１１Ｂに示すように、渦巻き状（スパイラル状）などに設定されてもよい。
本実施形態の検査システム１でも、第２実施形態の検査システム１と同様の利点を得ることができる。
（第３実施形態の変形例）
本実施形態の検査経路の自動生成は、ワークＷの検査面の形状に何らかの規則性があれば適用できる可能性があり、ワークＷの検査面の形状は長方形状に限定されない。
ワークＷの検査面の形状は、例えば図１３Ａに示すように、環状（リング状）であってもよい。この場合、検査装置５０は、図１３Ｂに示すように、検査者により与えられた検査点Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３を通る円上に数の検査点を配置し、検査点Ｐ１を始点として検査点を通る順番、すなわち検査経路及び検査方向を決めてもよい。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前述した実施形態に限るものではない。また、本実施形態に記載された効果は、本発明から生じる最も好適な効果を列挙したに過ぎず、本発明による効果は、本実施形態に記載されたものに限定されるものではない。
例えば、上述した実施形態では、ワーク（検査対象物）Ｗの欠陥（例えば、キズ）の有無を検査する検査システム１を例示したが、本発明の特徴は、カメラ等の撮像装置で撮像された検査対象物の画像に基づいて検査対象物の種々の検査を行う種々の検査システムに適用可能である。
１ 検査システム
１０ カメラ（撮像装置）
２０ ブロー装置
２２ ブローノズル
３０ ロボット
３２ アーム先端部
４０ ロボット制御装置
５０ 検査装置
Ｗ ワーク（検査対象物）

Claims (8)

  1. 検査対象物の画像検査を行う検査システムであって、
    前記検査対象物を撮像する撮像装置と、
    前記検査対象物に清浄気体を噴出するブローノズルを有するブロー装置と、
    前記撮像装置及び前記ブローノズルと前記検査対象物とのいずれかがアーム先端部に取り付けられたロボットと、
    前記撮像装置で撮像された画像に基づいて、前記検査対象物の画像検査を行う検査装置と、
    を備え、
    前記検査装置は、前記撮像装置と前記ブローノズルとの位置関係に基づいて、前記ロボットのアーム先端部の位置を制御することにより、前記検査対象物に対して前記撮像装置よりも前記ブローノズルが先行して相対移動するように、前記ロボットの動作プログラムを生成する、
    検査システム。
  2. 前記ロボットのアーム先端部に、前記撮像装置及び前記ブローノズルが取り付けられ、
    前記検査装置は、前記撮像装置から前記ブローノズルへ向かう方向が、前記検査対象物の画像検査の検査経路の検査方向となるように、前記ロボットの動作プログラムを生成する、
    請求項１に記載の検査システム。
  3. 前記検査装置は、
    前記撮像装置から前記ブローノズルへ向かう方向を、前記ロボットのアーム先端部の進行方向に設定し、
    前記ロボットのアーム先端部の進行方向が、前記検査対象物の画像検査の検査経路の検査方向となるように、前記ロボットの動作プログラムを生成する、
    請求項２に記載の検査システム。
  4. 前記検査装置は、検査者による前記ロボットの動作の教示に基づいて、前記ロボットの動作プログラムを生成する、請求項１〜３の何れか１項に記載の検査システム。
  5. 前記検査装置は、前記撮像装置から前記ブローノズルへ向かう方向又はその反対方向と、現在位置から次の検査点への検査経路の検査方向とに基づいて、前記ロボットの動作プログラムを自動で生成する、請求項１〜３の何れか１項に記載の検査システム。
  6. 前記検査装置は、前記検査対象物の検査面に複数の検査点を設定し、前記複数の検査点に検査順位を設定することにより、前記検査対象物の画像検査の検査経路を自動で生成する、請求項１〜５の何れか１項に記載の検査システム。
  7. 前記ブローノズルによる前記清浄気体の噴出方向は、前記撮像装置から前記ブローノズルへ向かう方向に傾いている、請求項１〜６の何れか１項に記載の検査システム。
  8. 前記ブローノズルによる前記清浄気体の噴出方向は、更に、前記撮像装置から前記ブローノズルへ向かう方向と交差する方向に傾いている、請求項７に記載の検査システム。
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