JP6575211B2

JP6575211B2 - テーブル装置

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Publication number: JP6575211B2
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Inventors: 村岸　恭次; 恭次村岸
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Description

本発明は、振動により物品を搬送することが可能なテーブル装置に関するものである。

テーブル上で物品を搬送させる装置として、例えば特許文献１に示すものが知られている。このものは、板バネに支持されたテーブルが水平な姿勢を保ったまま、上下方向および水平方向に対して圧電アクチュエータや電磁石を通じて同一周波数で異なる位相下に振動を与えられることで、テーブルの各部に一様な楕円振動を発生し、これにより搬送方向を任意の方向に変更したり、任意の奇跡を辿って物品を搬送させることが可能となっている。

特開２０１２−２２９１１７号公報

ところで、このような搬送装置は、特に摩擦係数等に関して方向性のない物品であれば、物品は分散した状態で一様に同じ方向に向かって移動する。

しかしながら、テーブル上にある物品をピックアップして後工程に移すようなハンドリング装置を併用しようとした場合、物品は分散したまま存在するので、カメラで物品を検知してハンドリング部を移動させながらピックアップを行なければならない。このため、ハンドリング効率が悪いという問題がある。テーブルの端部に突条（仕切り）を設けて物品を突条に向けて移動させれば物品をある程度集合した状態にすることができるが、テーブルの端部では突条とハンドリング部が緩衝するため、端部直近の物品をハンドリングすることができなくなる。

また、物品をハンドリングするためのハンドリング装置の軌道を、突条を避けるように設定する必要があり、搬送経路が長くなることから、搬送時間も余計に必要となる。さらに、端部を避けるための軌道を間違えて設定すると、ハンドリング部と突条が衝突し、破損させる可能性もある。

このような不具合は、物品の落下防止のために突条を設けている場合も同様である。

本発明は、このような課題に着目してなされたものであって、テーブル上で物品を所要の場所に適切に集合させること等に好適に利用できるテーブル装置を新たに提供することを目的としている。

本発明は、かかる目的を達成するために次のような手段を講じたものである。

すなわち、本発明のテーブル装置は、基体上に弾性支持手段を介してテーブルを支持し、当該テーブルを振動させることで当該テーブル上に載せられた物品を移動させるテーブル装置であって、前記テーブルを水平方向に振動させるための周期的加振力を入力する水平加振手段と、前記テーブルの少なくとも２箇所を垂直方向に振動させるための周期的加振力を入力する第１、第２の垂直加振手段と、前記水平加振手段及び前記第１、第２の垂直加振手段による周期的加振力を位相差を有しつつ同一の周波数で同時に発生させ前記テーブルの少なくとも２箇所に位相の異なる二次元の振動軌跡を生じさせるように前記水平加振手段及び前記第１、第２の垂直加振手段を制御する振動制御部とを備え、この振動制御部の制御を通じて前記テーブルに前記水平方向に沿った所定位置を節とするピッチング様の振動を生じさせることを特徴とするテーブル装置。

ここで、ピッチング様とはいわゆる前後揺れ、若しくは前後揺れに似た状態を指す。

このように構成すると、振動の節では振動が略ゼロになり、節の両側では物品の搬送方向が逆になるので、従来の搬送装置のように一様に物品を搬送するものとは異なり、物品を特定の位置に集め、あるいは特定の位置から遠ざける用途に有効利用することができる。

分散した物品を集合させるためには、テーブル上の物品が前記節に向かって移動するように前記水平加振手段及び前記第１、第２の垂直加振手段の振幅および位相差を設定していることが好ましい。

制御系を簡素なものとするためには、前記第１、第２の垂直加振手段を通じて前記テーブルの２箇所に生成する振動が互いに逆相の関係となり、振動の節がこれらテーブルの２箇所の間に生じるように前記振動制御部による制御系を構成していることが望ましい。

水平２方向に物品を集合させる必要がある場合には、前記水平加振手段が、第１の水平方向にテーブルを振動させるための周期的加振力を入力する第１の水平加振手段及び前記第１の水平方向と直交する第２の水平方向にテーブルを振動させるための周期的加振力を入力する第２の水平加振手段を含み、各々の水平方向に対してテーブルの少なくとも２箇所を垂直方向に振動させるための周期的加振力を入力する第１、第２の垂直加振手段をそれぞれ設けて、前記振動制御手段が、前記第１の水平方向に沿った所定位置を振動の節とするピッチング様の振動と、前記第２の水平方向に沿った所定位置を振動の節とするピッチング様の振動とを生じさせるように構成していることが有効である。

以上説明した本発明によれば、テーブル上で物品を所要の場所に適切に集合させ、或いは所定の場所から遠ざけること等に好適に利用できる、新規有用なテーブル装置を提供することができる。

本発明の一実施形態に係るテーブル装置のシステム構成図。同テーブル装置を構成する機械装置部の斜視図。同機械装置部の分解斜視図。同機械装置部の加振原理を説明するための図。同テーブル装置の水平方向への加振機能を示す正面図。同テーブル装置の垂直方向への加振機能を示す正面図。同テーブル装置の加振状態を示す概念図。同テーブル装置を構成する振動制御部の説明図。同テーブル装置における位相差と物品の搬送速度との関係を示す図。同テーブル装置において節の位置を移動させた状態を示す図。同テーブル装置において落下防止用の突条が不要となることを説明するための図。本発明の変形例を示す図。本発明の他の変形例を示す図。

以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。

この実施形態のテーブル装置１は、図１に示すように、機械装置部２と振動制御部３とから構成される。この振動制御部３は、後述するように機械装置部２に組み込まれた圧電アクチュエータ７１、７２、７３の制御を行うことで、機械装置部２にＸ、Ｚの各方向の周期的加振力を与えてテーブル６にＸ方向の中心Ｍを基点とするピッチング様の振動を生じさせることができるものである。

なお、Ｘ、Ｚの各方向は図中右下に示した座標軸に沿って定義することとし、以下においても適宜この座標軸に沿って説明を進める。

機械装置部２は、図１および図２に示すように、床面に固定した基体４と、基体４に対して振動することで上面に載置した物品Ｗを搬送するテーブル６と、テーブル６を基体４に対して弾性的に支持する弾性支持手段５とを具備する。基体４はＸ方向に長辺を向けた長方形の平板形状をしており、その上面４ａに直方体状の取付ブロック４１が固定してある。基体４の下に図示しない防振ゴム等のバネ定数の小さい弾性体を取り付ければ、設置する床に対する反力を低減させることができて好適である。

弾性支持手段５は、図１〜図３に示すように、前記取付ブロック４１に連結される２枚の板状をなす水平加振バネ部材５２と、当該水平加振バネ部材５２に上側ブロック５１ａを介し支持されて垂直方向に弾性変形可能な各一対の板状をなす垂直加振バネ部材５３ａ、５３ｂとを備え、垂直加振バネ部材５３ａ、５３ｂ間に中間台６２が架け渡される。

Ｘ方向に対峙するように平行に配置された一対の水平加振バネ部材５２は、それぞれ下端部５２ｂを上記取付ブロック４１のＸ軸と直交する側面４１ａに連結されており、当該下端部５２ｂより鉛直上方（Ｚ方向）に向かって起立している。そして、上端部５２ａにおけるＹ方向へ離間した位置にそれぞれ対をなして上側ブロック５１ａを取り付けている。

中間台６２は、直方体状の基部６２ａを有するもので、この基部６２ａの両端部が、上下に対をなす垂直加振バネ部材５３ａ、５３ａ（５３ｂ、５３ｂ）の長手方向中間部間に上下から挟み込まれた状態で固定されており、これら対をなす垂直加振バネ部材５３ａ、５３ａ（５４ａ、５４ａ）は、両端で前記上側ブロック５１ａを上下から挟み込んだ状態下に固定されている。すなわち中間台６２は、これら垂直加振バネ部材５３ａ、５４ａによって空中に吊り下げた状態で支持されている。中間台６２の基部６２ａには上面側に取付部６２ｂが設けてあり、この取付部６２ｂに支持ブロック６２ｃを介してテーブル６のＸ方向およびＹ方向の中心部が取り付けてある。

テーブル６の上面６１は平面状に構成してあり、物品Ｗを積載することが可能とされている。上述したように中間台６２は、基体４に対して２枚の水平加振バネ部材５２によって水平方向に弾性支持され、さらに４枚の垂直加振バネ部材５３ａ、５３ｂによって垂直方向に弾性支持されている。その結果、可動台６は、基体４に対してＸ、Ｚの各方向に弾性的に支持された状態となっている。

そして、このテーブル６をＸ、Ｚの各方向に振動させるための加振手段として、以下のようにアクチュエータ７１、７２、７３を設けている。

まず、Ｘ方向の振動を付与する水平加振手段として、水平加振バネ部材５２の長手方向（上下方向）中央部を避けた下側の側面でＸ軸と直交する面の表裏に、扁平直方体状の圧電素子７１ａ、７１ｂを取り付けて水平加振アクチュエータ７１を構成している。これらの圧電素子７１ａ、７１ｂは電圧を印加することによりＺ方向の伸縮を生じさせるように構成されているもので、表裏を背反的に（あるいは逆相となるように）駆動することによって相対的に表裏何れか一方の面を伸張状態、他方の面を縮退状態とすることで水平加振バネ部材５２を湾曲させることができる。

次に、Ｚ方向の振動を付与する垂直加振手段として、図３に示すように、垂直加振バネ部材５３ａ（５３ｂ）のＸ方向に沿った長手方向一端部近傍（一方の上側ブロック５１ａの近傍）の裏表に第１の圧電素子７２ａ、７２ｂを貼り付け、他端部近傍（他方の上側ブロック５１ａの近傍）の表裏に第２の圧電素子７３ａ、７３ｂを貼りつけて、それぞれ第１の垂直加振アクチュエータ７２および第２の垂直加振アクチュエータ７３を構成している。これらの圧電素子７２ａ、７２ｂ（７３ａ、７３ｂ）は電圧を印加することによりＸ方向の伸縮を生じさせるように構成されているもので、表裏を背反的に（あるいは逆相となるように）駆動することによって相対的に表裏何れか一方の面を伸張状態、他方の面を縮退状態とすることで垂直加振バネ部材５３ａ、５３ｂを湾曲させることができる。なお、図中では上下一対の垂直加振バネ部材５３ａ、５３ｂのうち上段の垂直加振バネ部材５３ａ、５３ｂに垂直加振アクチュエータ７２、７３を構成しているが、これに代わって下段の垂直加振バネ部材５３ａ、５３ｂに垂直加振アクチュエータ７２、７３を構成しても良いし、上下両段に垂直加振アクチュエータ７２、７３を構成してもよい。

本実施形態においては、水平加振アクチュエータ７１、第１の垂直加振アクチュエータ７２および第２の垂直加振アクチュエータ７３を各々独立して駆動できるように、図１に示すようにそれぞれがアンプＡｘ、Ａｚ１、Ａｚ２を介してコントローラＣに接続されている。コントローラＣからアンプＡｘ、Ａｚ１、Ａｚ２に出力する指令に係るいずれかの周波数は、電源周波数と共振状態とすることで、振動を増幅して省電力化が図られている。なお、全ての方向の振動系の振動が干渉することを避けるためには、各方向の固有振動数に開きがあるように構成してもよい。この時、各方向の固有振動数は例えば−１０％〜＋１０％程度離間させることが好適である。

コントローラＣは、図８に示すように、アンプＡｘ、Ａｚ１、Ａｚ２への制御電圧の振幅を生成する振幅設定回路３１ａを有するとともに、アンプＡｘへの制御電圧の位相を基準としてアンプＡｚ１、Ａｚ２への制御電圧の位相を設定する位相設定回路３１ｂを有する。

そして、水平加振アクチュエータ７１、第１の垂直加振アクチュエータ７２および第２の垂直加振アクチュエータ７３に各々正弦波状の制御電圧を付与することによって、図４に示すように、機械装置部２の一部に、Ｘ方向およびＺ１、Ｚ２方向の周期的加振力Ｆｘ、Ｆｚ１、Ｆｚ１を入力するようにしている。

具体的には、Ｘ方向に関しては、一対の水平加振アクチュエータ７１、７１に振幅および位相の等しい電圧を印加することにより、各々の水平加振バネ部材５２を図５に示すように同期してＸ方向に周期的に撓ませる。また、Ｚ方向に関しては、一対の垂直加振アクチュエータ７２、７３に振幅が等しく位相が逆相となる電圧を印加することにより、垂直加振バネ部材５３ａ、５３ｂを図７に示すように中間台６２の左右でＺ方向に逆相で周期的に撓ませる。そして、これらＸ方向、Ｚ１方向およびＺ２方向の加振を通じて、テーブル６に図４に示すようにＸ方向中心点を節するピッチング様の振動を惹き起こすようにしている。

ここで、２次元の周期的振動と物品の搬送方向の関係について説明する。

図１においてＸ方向の振動を生成する水平加振アクチュエータ７１にＸ＝Ａ×ｓｉｎωｔで表される周期的な振動変位を与えるものとする。ここで、ＡはＸ方向の振幅を、ωは角周波数を、ｔは時間を示す。さらに、垂直加振アクチュエータ７２、７３にもそれぞれＸ方向と同一周波数で所定振幅、所定位相の振動を、Ｚ１＝Ｂ１×ｓｉｎ（ωｔ＋φ１）、Ｚ２＝Ｂ２×ｓｉｎ（ωｔ＋φ２）のように与えるものとする。ここで、Ｂ１、Ｂ２はそれぞれ垂直加振アクチュエータ７２、７３が設けられた位置でのＺ１方向、Ｚ２方向の振幅であり、φ１、φ２はそれぞれＸ方向の振動を基準としてＺ１方向、Ｚ２方向の振動の位相差を示す。

このように、Ｘ、Ｙ、Ｚの各方向に正弦波状の周期的な振動変位を加えることにより、テーブル６に図７に示すようにこれらが合成された二次元的な楕円振動を生じさせることができる。

図９（ａ）は位相差と搬送速度の関係を表したもので、Ｘ方向の振動を基準にしてＺ方向の振動の位相φが９０°遅れれば、物品Ｗに対する搬送速度は＋Ｘ方向、位相φが９０°進めば、物品Ｗに対する搬送速度は−Ｘ方向となることを示している。

原理的には、この図９（ａ）の上部に示している楕円軌道のうち、矢印に沿って楕円の短軸の上端から長軸の一端に向かう領域、すなわち楕円振動においてうちＺ方向の動きがプラスからマイナスに転じた直後の領域はテーブル６が斜め下方に落下している状態であり、楕円の短軸の下端から長軸の他端に向かう領域、すなわち楕円振動においてうちＺ方向の動きがマイナスからプラスに転じた直後の領域はテーブル６が斜め上方に上昇している状態であり、後者のときにテーブル６上の物品Ｗとの摩擦力によって物品を斜め上方に放り出す。

すなわち、楕円振動において例えばＺ方向の位相が０°→９０°のときに搬送力が与えると考えると、この間、Ｘ方向に対し９０°→１８０°に向かって９０°の進み位相で振動している左上の楕円振動は物品ＷをＸ方向に搬送し、Ｘ方向に対し−９０°→０°に向かって遅れ位相で振動している右上の楕円振動は物品Ｗを−Ｘ方向に搬送する。これをＸ方向の振動を基準にすれば、前者はＺ方向に−９０°遅れ位相とすることで物品をＸ方向に搬送し、後者はＺ方向に９０°進み位相とすることで物品を−Ｘ方向に搬送する。

したがって、Ｘ方向の振動を基準として、図７（ａ）に示す左側の第１参照点Ｒ１に９０°の遅れ位相が現れるように振動を与えることで物品Ｗは＋Ｘ方向へ、また右側の第２参照点Ｒ２に９０°の進み位相を与えることで物品Ｗは−Ｘ方向へ、各々節Ｋに向かって移動することになる。節Ｋの位置では振動は理想的には０であり、物品Ｗは静止する。

逆に、図９（ｂ）に破線で示すように、右上の楕円振動は物品を＋Ｘ方向に、また左下の楕円振動は物品を−Ｘ方向に搬送するので、図７（ｂ）に示す左側の第１参照点Ｒ１に９０°の進み位相が現れるように振動を与えることで物品Ｗは−Ｘ方向へ、また右側の第２参照点Ｒ２に９０°の遅れ位相を与えることで物品Ｗは＋Ｘ方向へ、各々節Ｋから遠ざかる方向に移動することになる。この場合も節Ｋの位置では振動は理想的には０であり、物品Ｗは静止する。

また、同９図（ａ）に示すように、搬送速度は振幅によっても変化する。なわち、同図において移送差±９０°の点に着目すれば、位相差が同じでも振幅が１／２になれば速度は１／２になる。そして、図７に示すテーブル６上で第１参照点Ｒ１から節Ｋまでの各点における振動は第１参照点Ｒ１の振動と位相が同じで振幅が節Ｋまでの距離に比例して徐々に小さくなり、第２参照点Ｒ２から節Ｋまでの各点における振動は第２参照点Ｒ２の振動と位相が同じで振幅が節Ｋまでの距離に比例して徐々に小さくなる。

このようにテーブル６上で参照点Ｒ１、Ｒ２が−９０°、＋９０°の逆送で振れるとき、連続するテール面の各部位は節Ｋに向かって振幅が徐々に小さくなる結果、テーブル６上の物品は節Ｋに向かいながら徐々に速度が小さくなり、逆に節Ｋから遠ざかるにつれ徐々に速度が大きくなるように駆動される。

この実施形態では、第１、第２の垂直加振アクチュエータ７２、７３からテーブル６の各参照点Ｒ１、Ｒ２までの間にバネ系を含む機械的な伝達系が介在しているため、垂直加振アクチュエータ７２、７３の変位がそのままテーブル６の各参照点Ｒ１、Ｒ２における変位となるわけではない。

そこで、図１に示すように、テーブル６のＸ方向の変位、および各参照点Ｒ１、Ｒ２付近におけるＺ１、Ｚ２方向の変位を検出する位置にそれぞれ水平変位センサＳｘおよび垂直変位センサＳｚ１、Ｓｚ２を設けて、検出値をコントローラＣに入力し、Ｘ方向の変位およびＺ１、Ｚ２方向の変位が図７（ａ）あるいは図７（ｂ）に示す振幅および位相を満たす楕円軌道を描くように、水平加振アクチュエータ７１および垂直加振アクチュエータ７２、７３をフィードバック制御している。変位センサＳｘ１、Ｓｚ１、Ｓｚ２の好適な一例としては渦電流式センサが挙げられる。

図７の例は、参照点Ｒ１、Ｒ２における振動の振幅が等しく位相が逆相（１８０°差）となるように設定して、振動の節Ｋがテーブル６のＸ方向中心点に現れるようにした例であることは叙述した通りである。

この状態から、相対的に、第１参照点Ｒ１における振動の振幅を大きくし第２参照点Ｒ２における振動の振幅を小さくすると、図１０に示すように振動の節Ｋは第２参照点Ｒ２側に移動し、逆に第１参照点Ｒ１における振動の振幅を小さくし第２参照点Ｒ２における振動の振幅を大きくすると、図１０とは逆に振動の節Ｋは第１参照点Ｒ１側に移動する（図示省略）。したがって、振幅設定を通じて、振動の節Ｋの位置をＸ方向に沿った自由な位置に設定することもできる。

このために、図８に示すようにコントローラＣに設定部Ｓを接続して、節Ｋの位置を設定したり、各参照点Ｒ１、Ｒ２における振幅や位相を入力するように構成してもよい。

勿論、変位センサを設けずとも、各アクチュエータ７１、７２、７３の振幅および位相と、テーブル６上の各参照点Ｒ１、Ｒ２における振幅および位相との関係を表す伝達関数を規定することによって、各参照点Ｒ１、Ｒ２に所望の振動を生成するための加振力（駆動力）を逆伝達関数により割り出してコントローラＣから各アクチュエータ７１、７２、７３に指令をなすことで、センサを省略したオープン制御系を構成することも可能である。

なお、この装置で各参照点Ｒ１、Ｒ２における振動の振幅および位相を等しく設定した場合には、特に摩擦係数等に関して方向性のない物品であれば、物品は分散した状態で一様に同じ方向に向かって移動する。

そこで、テーブル６上にある物品Ｗをピックアップして後工程に移すような図１１に示す如きハンドリング装置Ｈを併用しようとした場合、物品Ｗは分散したまま存在し移動するので、カメラで物品Ｗを検知してハンドリング部ｈを移動させながらピックアップを行なければならない。このため、ハンドリング効率が悪いうえに、テーブル６の端部に物品Ｗを集めるための落下防止壁を兼ねる突条６ｘを設けるとハンドリング部ｈが緩衝するため、端部直近の物品をハンドリングすることができなくなる。また、物品Ｗをハンドリングするためのハンドリング装置Ｈの軌道を、突条６ｘを避けるように設定する必要があり、搬送経路が長くなることから、搬送時間も余計に必要となる。さらに、端部を避けるための軌道を間違えて設定すると、ハンドリング部ｈと突条が衝突し、破損させる可能性もある。

これに対して、本実施形態を通じて図７（ａ）や図１０に示すようなピッチング様の振動をテーブル６に与えれば、物品Ｗはピッチング振動の節Ｋの位置で速度がゼロとなり、慣性で節Ｋを越えても速度が逆向きとなって再び節Ｋに向かうので、テーブル６上から突条６ｘを撤去しても、物品Ｗの落下を有効に防ぐことができる。

以上のように、本実施形態のテーブル装置１は、基体４上に弾性支持手段５を介してテーブル６を支持し、テーブル６を振動させることでテーブル６上に載せられた物品Ｗを移動させるものである。そしてそのために、テーブル６を水平方向（Ｘ方向）に振動させるための周期的加振力を入力する水平加振手段たる水平加振アクチュエータ７１と、テーブル６の少なくとも２箇所（適宜設定した参照点Ｒ１、Ｒ２）を垂直方向（Ｚ１、Ｚ２方向）に振動させるための周期的加振力を入力する第１、第２の垂直加振手段たるアクチュエータ７２、７３と、各アクチュエータ７１、７２、７３による周期的加振力を位相差を有しつつ同一の周波数で同時に発生させテーブル６の少なくとも２箇所に位相の異なる二次元の振動軌跡を生じさせるように各アクチュエータ７１、７２、７３を制御する振動制御部３とを備え、この振動制御部３の制御を通じてテーブル６に水平方向（Ｘ方向）に沿った所定位置を節Ｋとするピッチング様の振動を生じさせるようにしたものである。

このように構成することで、振動の節Ｋでは振動が略ゼロになり、節Ｋの両側では物品Ｗの搬送方向が逆になるので、従来の搬送装置のように一様に物品を搬送するものとは異なり、物品を特定の位置に集め、あるいは特定の位置から遠ざける用途に好適に適合したテーブル装置１を提供することができる。

特に本実施形態では、テーブル６上の物品Ｗが節Ｋに向かって移動するように各加振アクチュエータ７１、７２、７３の振幅および位相差を設定しており、分散した状態にある物品Ｗを節Ｋに向かって集合させることができるので、例えばハンドリング装置Ｈを併用した場合等にハンドリング効率を有効に向上させることが可能となる。

そして、テーブル６を、縁辺部における上面に突条６ｘを有しない平坦な形状のものにしても、テーブル６上の物品Ｗをハンドリングするためのハンドリング装置Ｈの軌道が突条を避けるための余分な経路を辿る必要がなく、ハンドリングのための経路を短縮して、高速化を図ることが可能となるとともに、ハンドリング装置Ｈの経路設定が容易となり、さらに突条６ｘとハンドリング部ｈの衝突などの発生がなくなるため、装置・物品の破損を防止して信頼性や耐久性を向上させることにも資するものとなる。

具体的には、第１、第２の垂直加振アクチュエータ７２、７３を通じてテーブル６の２箇所に設定した参照点Ｒ１、Ｒ２に生成する振動が互いに逆相の関係となり、振動の節Ｋがこれらテーブルの２箇所の参照点Ｒ１、Ｒ２間に生じるように振動制御部３による制御系を構成するようにしているので、当該振動制御系３における振幅や位相の設定を簡易なものとすることができる。

また、テーブル６の１箇所に対して水平方向の振幅を検出する水平変位センサＳｘ１を設けるとともに、テーブル６の２箇所である参照点Ｒ１、Ｒ２に上下方向の振幅を検出する垂直変位センサＳｚ１、Ｓｚ２を設け、これらの変位センサＳｘ１、Ｓｚ１、Ｓｚ２による検出値に基づき、テーブル６の２箇所に設定した参照点Ｒ１、Ｒ２が所定の振幅および位相となるように振動制御部３によるフィードバック制御系を構成しているので、バネ系を含んだ支持構造であっても、テーブル６の２箇所の参照点Ｒ１、Ｒ２に適切な振動を付与することができる。

この場合、テーブル６の水平方向・垂直方向の変位検出の代わりに、それぞれ水平加振バネ部材５２、垂直加振バネ部材５３ａ、５３ｂの変位を検出しても良い。

以上、本発明の一実施形態について説明したが、各部の具体的な構成は上述した実施形態のみに限定されるものではない。

例えば、上記実施形態においては、加振力を圧電素子を用いたアクチュエータによって与えるようにしたが、電磁石によって与えるように構成してもよい。

また、上記実施形態においては、第１、第２の垂直加振手段を通じてテーブルの２箇所に生成する振動が互いに逆相の関係となり、振動の節がこれらテーブルの２箇所の間に生じるように構成したが、図１２に示すように、テーブル６の２箇所（参照点Ｒ１、Ｒ２）に生成する振動が互いに同相かつ振幅が異なる関係とし、振動の節ＫがこれらテーブルＴの２箇所Ｒ１、Ｒ２を結ぶ領域の外に生じるように構成することもできる。

さらに、上記実施例における図７（ａ）においては、テーブル上の物品が前記節に向かって移動するように前記各加振手段の振幅および位相差を設定したが、同図（ｂ）に示したようにテーブル上の物品が節から遠ざかる方向に移動するように各加振手段の振幅および位相差を設定すれば、特定の位置に物品を到来させたくない用途等に好適に用いることができる。

また、図１３に示すように、水平加振手段が、第１の水平方向（Ｘ方向）にテーブルを振動させるための周期的加振力Ｆｘを入力する第１の水平加振手段及び前記第１の方向と直交する第２の方向（Ｙ方向）にテーブルを振動させるための周期的加振力Ｆｙを入力する第２の水平加振手段を含み、各々の水平方向に対してテーブルの少なくとも２箇所を垂直方向に振動させるための周期的加振力Ｆｚ１、Ｆｚ２（Ｆｚ１´、Ｆｚ２´）を入力する第１、第２の垂直加振手段をそれぞれ設けて、振動制御手段が、第１の水平方向（Ｘ方向）に沿った所定位置を振動の節Ｋ１とするピッチング様の振動と、第２の水平方向（Ｙ方向）に沿った所定位置を振動の節Ｋ２とするピッチング様の振動とを生じさせるように構成することもできる。

このように構成すれば、Ｘ方向に沿った所定の位置を節Ｋ１とする振動によってその節Ｋ１上に物品Ｗを集めた後、Ｙ方向に沿った所定の位置を節Ｋ２とする振動によってＹ方向に分散している物品Ｗをその節Ｋ２上に集め、結果的にＸ、Ｙ方向の１点に向かって物品を集合させることができるので、このような必要のある用途に適用して有用なものとなる。

さらにまた、制御系は同じでも図１に示すセンサＳｚ１、Ｓｚ２の位置を変えれば節Ｋの位置をＸ方向に移動させることも可能である。

その他、本発明を平面搬送テーブルやパーツフィーダに組み込んで、或いは平面搬送テーブルやパーツフィーダ等として利用するなど、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。

１…テーブル装置
３…振動制御部
４…基体
５…弾性支持手段
６…テーブル
７１…水平加振手段（水平加振アクチュエータ）
７２…第１の垂直加振手段（第１の垂直加振アクチュエータ）
７３…第２の垂直加振手段（第２の垂直加振アクチュエータ）
Ｆｘ…水平方向の周期的加振力
Ｆｚ１…第１の垂直方向の周期的加振力
Ｆｚ２…第２の垂直方向の周期的加振力
Ｋ、Ｋ１、Ｋ２…節
Ｒ１、Ｒ２…テーブルの２箇所（参照点）
Ｓｘ…水平変位センサ
Ｓｚ１、Ｓｚ２…垂直変位センサ
Ｗ…物品
Ｘ…水平方向（第１の水平方向）
Ｙ…水平方向（第２の水平方向）
Ｚ１、Ｚ２…垂直方向

Claims

基体上に弾性支持手段を介してテーブルを支持し、当該テーブルを振動させることで当該テーブル上に載せられた物品を移動させるテーブル装置であって、
前記テーブルを水平方向に振動させるための周期的加振力を入力する水平加振手段と、前記テーブルの少なくとも２箇所を垂直方向に振動させるための周期的加振力を入力する第１、第２の垂直加振手段と、前記水平加振手段及び前記第１、第２の垂直加振手段による周期的加振力を位相差を有しつつ同一の周波数で同時に発生させ前記テーブルの少なくとも２箇所に位相の異なる二次元の振動軌跡を生じさせるように前記水平加振手段及び前記第１、第２の垂直加振手段を制御する振動制御部とを備え、この振動制御部の制御を通じて前記テーブルに前記水平方向に沿った所定位置を節とするピッチング様の振動を生じさせることを特徴とするテーブル装置。
テーブル上の物品が前記節に向かって移動するように前記水平加振手段及び前記第１、第２の垂直加振手段の振幅および位相差を設定している請求項１に記載のテーブル装置。
前記第１、第２の垂直加振手段を通じて前記テーブルの２箇所に生成する振動が互いに逆相の関係となり、振動の節がこれらテーブルの２箇所の間に生じるように前記振動制御部による制御系を構成している請求項１又は２に記載のテーブル装置。
前記水平加振手段が、第１の水平方向にテーブルを振動させるための周期的加振力を入力する第１の水平加振手段及び前記第１の水平方向と直交する第２の水平方向にテーブルを振動させるための周期的加振力を入力する第２の水平加振手段を含み、各々の水平方向に対してテーブルの少なくとも２箇所を垂直方向に振動させるための周期的加振力を入力する第１、第２の垂直加振手段をそれぞれ設けて、前記振動制御手段が、前記第１の水平方向に沿った所定位置を振動の節とするピッチング様の振動と、前記第２の水平方向に沿った所定位置を振動の節とするピッチング様の振動とを生じさせるように構成している請求項１〜３の何れかに記載のテーブル装置。