JP6571503B2 - 気相成長装置 - Google Patents
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- チャンバーと、該チャンバー内に配置されたフローチャンネルと、該フローチャンネル内に回転可能に設置されたサセプタと、該サセプタ上に載置された基板と、該基板を前記サセプタを介して加熱する加熱手段と、前記サセプタを回転させる駆動手段と、前記フローチャンネル内に前記基板面に平行な方向に反応ガスを供給する反応ガス供給手段と、前記チャンバーに設けられたビューポートと、該ビューポートの外部に取り付けられた光学測定機器とを備えるとともに、該光学測定機器で前記基板面の状態を測定する際の光路となる複数の通孔を前記フローチャンネルの基板対向面に形成した気相成長装置において、前記複数の通孔の内の任意の一つの通孔における前記反応ガスの流れ方向の上流側又は下流側から外れた位置に他の通孔を形成したことを特徴とする気相成長装置。
- 前記複数の通孔の内の任意の二つの通孔の中心を通る直線と、前記反応ガスの流れ方向に平行な直線とが、45〜90度の範囲で交叉していることを特徴とする請求項1記載の気相成長装置。
- 前記複数の通孔が3個以上設けられ、該3個以上の通孔の中心が一つの直線上に並んでいることを特徴とする請求項1記載の気相成長装置。
- 前記複数の通孔は、内径が6mm以下であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の気相成長装置。
- 前記複数の通孔は、前記基板の直径方向に並んでいることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載の気相成長装置。
- 前記ビューポートのチャンバー内部側に、チャンバー内外を区画してビューポート側にパージ室を形成する区画板を設けるとともに、該区画板に、前記複数の通孔に対応した複数の第2の通孔を形成したことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項記載の気相成長装置。
- 前記パージ室内にパージガスを導入するパージガス導入部を設けたことを特徴とする請求項6記載の気相成長装置。
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