JP6566741B2 - 液体吐出ヘッドのクリーニング方法 - Google Patents
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Description
図2(a)は、図1に示す被覆層5の列(熱作用部の列)の部分を、基板1の独立供給口8が開口する面(表面)と対向する位置から見た図である。図2(a)では、列の端部に電極(対向電極)6が配置され、続いて独立供給口8と発熱抵抗体9とが交互に配置されている。図2(a)の列では、液室は区切られていないが、例えば独立供給口8と発熱抵抗体9とを1つのセットとして区切り、この列に沿って複数の液室としてもよい。
第2の実施形態を、図5を用いて説明する。尚、第1の実施形態と同様の部分は省略して説明する。
実施例1では、図2に示す形状の液体吐出ヘッドを用いた。基板1はシリコンで形成されており、基板1の上面にはSiO2からなる蓄熱層(不図示)が形成されている。蓄熱層の厚みは1.7μmである。基板1の表面上にはTaSiNからなる発熱抵抗体の層が形成されており、Irからなる被覆層5の下方の部分が発熱抵抗体9である。発熱抵抗体9は、基板の表面と対向する位置からみて、15μm×15μmの正方形である。発熱抵抗体9の上にはSiNからなる絶縁層10が0.2μmの厚みで形成されており、さらにその上にTaからなる密着層11が0.1μmの厚みで形成されている。被覆層5はIrで形成されており、その厚みは0.1μmである。被覆層5を基板の表面と対向する位置からみると、20μm×20μmの正方形である。電極6もIrで形成されており、SiNからなる絶縁層及びTaからなる密着層11の上に、0.1μmの厚みで形成されている。密着層11を基板の表面と対向する位置からみると、20μm×20μmの正方形である。液室3を形成する液室形成部材4はエポキシ樹脂が硬化したものであり、液室形成部材4には吐出口7が開口している。液室3は顔料インク(BCI−3eBk、キヤノン製)で満たした。
実施例1の液体吐出ヘッドにおいて、実施例1でコゲ除去を行った液室の1つ隣の列の同じ位置にある液室に対してコゲの除去を行った。電極6とコゲ除去を行った被覆層との液体を介した最短距離は2336μmである。これ以外は実施例1と同様にして、コゲ除去のクリーニング処理を行った。尚、液室内の構成等も実施例1と同様である。
実施例3では、図4に示す形状の液体吐出ヘッドを用いた。各部分を形成する材料、厚み等に関しては、実施例1と同様とした。
図5に示す液体吐出ヘッドを用い、実施例1と同様にしてコゲ除去のクリーニング処理を行った。但し、被覆層5と電極6とは同一の液室内に設けられており、液室内において、被覆層5から電極6に向かう方向の断面積は、相対的に広い部分13と狭い部分14とを有する。液室の幅(図5(a)の上下方向)は60μm、液室の高さは14μm、窪み15の幅(図5(a)の上下方向)は5μmである。また、被覆層5と電極6との距離は80μm、窪み15の長さは20μmである。これ以外は実施例1と同様にして、コゲ除去のクリーニング処理を行った。
実施例3で用いた液体吐出ヘッドと同じ液体吐出ヘッドについて、コゲ除去のクリーニング処理を行った。但し、5Vの電圧を、液室3eの内部にある被覆層5と電極6との間に600秒間印加し、液室3eの被覆層5を溶出させた。液室3eの被覆層5と電極6とは同一の液室で、かつ同一平面上に形成されており、これらの間の液体を介した最短距離はa=56μmであった。
電圧印加後の各液体吐出ヘッドの、コゲ除去を行った被覆層5の電圧印加前後での厚みの差(減少量)及び被覆層の状態を、顕微鏡にて計測した。即ち、1つの発熱抵抗体を覆う1つの被覆層5について、その厚みの変化及び状態を計測した。
Claims (18)
- 供給口が形成された基板と、被覆層で被覆された発熱抵抗体と、液室を形成する液室形成部材と、電極と、を有し、前記供給口から前記液室に供給された液体を、前記発熱抵抗体を発熱させることで吐出する液体吐出ヘッドに対して、前記被覆層と前記電極とに電圧を印加することで、前記被覆層と前記液体とを電気化学反応させて前記被覆層を前記液体の中に溶出させて前記被覆層に堆積したコゲを除去する、液体吐出ヘッドのクリーニング方法であって、
前記電圧を印加する被覆層と電極とは、前記基板を支持する支持部材の内部の流路を介して前記液体で連通していることを特徴とする液体吐出ヘッドのクリーニング方法。 - 供給口が形成された基板と、被覆層で被覆された発熱抵抗体と、液室を形成する液室形成部材と、電極と、を有し、前記供給口から前記液室に供給された液体を、前記発熱抵抗体を発熱させることで吐出する液体吐出ヘッドに対して、前記被覆層と前記電極とに電圧を印加することで、前記被覆層と前記液体とを電気化学反応させて前記被覆層を前記液体の中に溶出させて前記被覆層に堆積したコゲを除去する、液体吐出ヘッドのクリーニング方法であって、
前記電極は配列方向に沿って列をなして並んでおり、前記電圧を印加する被覆層と電極は、同じ列に配置された別の液室に配置されていることを特徴とする液体吐出ヘッドのクリーニング方法。 - 供給口が形成された基板と、被覆層で被覆された発熱抵抗体と、液室を形成する液室形成部材と、電極と、を有し、前記供給口から前記液室に供給された液体を、前記発熱抵抗体を発熱させることで吐出する液体吐出ヘッドに対して、前記被覆層と前記電極とに電圧を印加することで、前記被覆層と前記液体とを電気化学反応させて前記被覆層を前記液体の中に溶出させて前記被覆層に堆積したコゲを除去する、液体吐出ヘッドのクリーニング方法であって、
前記電極は配列方向に沿って列をなして並んでおり、前記電圧を印加する被覆層と電極は、異なる列に配置された別の液室に配置されていることを特徴とする液体吐出ヘッドのクリーニング方法。 - 供給口が形成された基板と、被覆層で被覆された発熱抵抗体と、液室を形成する液室形成部材と、電極と、を有し、前記供給口から前記液室に供給された液体を、前記発熱抵抗体を発熱させることで吐出する液体吐出ヘッドに対して、前記被覆層と前記電極とに電圧を印加することで、前記被覆層と前記液体とを電気化学反応させて前記被覆層を前記液体の中に溶出させて前記被覆層に堆積したコゲを除去する、液体吐出ヘッドのクリーニング方法であって、
異なる液室に配置され、かつ前記供給口を介して前記液体で連通している前記被覆層と前記電極とに電圧を印加し、当該電圧を印加する間、前記電極と同じ液室に前記被覆層が配置されている場合に当該被覆層には電圧を印加しないことを特徴とする液体吐出ヘッドのクリーニング方法。 - 前記電圧を印加する被覆層と電極との液体を介した最短距離は60μm以上である請求項1乃至4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
- 前記電圧を印加する被覆層と電極との液体を介した最短距離は150μm以上である請求項1乃至4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
- 前記電圧を印加する被覆層と電極との液体を介した最短距離は6000μm以下である請求項1乃至6のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
- 前記電圧を印加する被覆層と電極との液体を介した最短距離は2000μm以下である請求項1乃至6のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
- 前記被覆層のうちコゲの除去を行わない被覆層には電圧を印加しない請求項1乃至8のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
- 前記電圧を印加する被覆層と電極とは、前記基板を支持する支持部材の内部の流路を介して前記液体で連通している請求項2乃至4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
- 前記電圧を印加する電極は、前記発熱抵抗体を有さないダミーの液室に配置されている請求項1乃至10のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
- 前記電圧を印加する被覆層と電極は、1つの電極に対して複数の被覆層とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
- 前記電極は配列方向に沿って列をなして並んでおり、前記電圧を印加する被覆層と電極は、同じ列に配置された別の液室に配置されている請求項1または4に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
- 前記電極は配列方向に沿って列をなして並んでおり、前記電圧を印加する被覆層と電極は、異なる列に配置された別の液室に配置されている請求項1または4に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
- 前記被覆層はIrまたはRuで形成されている請求項1乃至14のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
- 前記電極はIrまたはRuで形成されている請求項1乃至15のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
- 前記被覆層と前記電極とは同じ種類の材料で形成されている請求項1乃至16のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
- 請求項1乃至17のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法を行う液体吐出装置。
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