JP6560940B2 - 表示装置、及び、表示装置の製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、表示装置、及び、表示装置の製造方法に関する。
近年、有機EL(Electro-luminescent)素子を用いた有機EL表示装置や、液晶表示装置等の表示装置が実用化されている。しかしながら、有機EL素子は水分に対して脆弱であることから、有機EL素子が水分によって劣化し、ダークスポット等の点灯不良が生じるおそれがあった。また、液晶表示装置においても、侵入した水分の影響を受けて薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor)の特性が変動し、表示品位の劣化が発生する問題が生じていた。
図15及び図16は、一例として、有機EL表示装置における、上記水分の侵入経路について説明する為の図である。ここで、図15は、一般的な有機EL表示装置の正面から見た図を示し、図16は側面から見た図を示している。各図に示すように、有機EL表示装置は、バリア膜305、陰極電極層304、有機EL層303等が配置されたアレイ基板201と、カラーフィルタ等が配置されたカラーフィルタ基板202とが、フィル剤311及びダム剤312等の充填剤で貼りあわせて構成される。そして、図に示すように、有機EL層303の上層側に配置されたバリア膜305及び陰極電極層304にピンホール1502が存在する場合、表示装置の側面から、ダム剤312、フィル剤311及びピンホール1502を経由して、図15及び図16に示す水分侵入経路1501のように、有機EL素子に水分が到達するおそれがある。
そこで、例えば、特許文献1は、有機EL素子を形成する基板と、封止の為のカバー材とをシール材で貼り合わせた有機EL表示装置において、シール材表面に硬質な炭素膜をさらに形成することで、シール材に対する水分の進入を防止する構成する点を開示している。また、例えば、特許文献2は、EL素子が形成された基板と封止板を中間層で接着した上で、中間層が外部に露出することによって内部に水分が侵入しないように、中間層をさらに封止層で覆う点を開示している。
特開2002−93576号公報 特開2008−166152号公報
上記先行技術文献のように、表示素子を形成する基板と封止基板を貼り合せる工程の後で、接着層の側面を覆う構成とした場合には、側面を封止する工程を設ける必要があることから工程に負荷が生じる。また、一般的に、パネルを貼り合せる工程と、側面を封止する工程の間に他の工程が行われることから、パネルを貼り合せる工程の後、側面を封止する工程の前に水分が侵入し、点灯不良の不具合が生じるおそれもある。
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、製造工程の負荷を軽減しつつ、水分による素子の劣化を防止する表示装置及び表示装置の製造方法を提供することにある。
本発明の一態様は、複数の画素によって構成された表示領域を備えた表示装置であって、前記表示領域を囲うように形成されたスペーサと、無機材料によって形成され、少なくとも前記スペーサの頂部及び外側面を覆う無機膜と、を有する第1基板と、前記第1基板と対向して配置される第2基板と、前記スペーサの内側に配置され、前記第1基板と前記第2基板を接着する有機系材料からなる接着層と、を有することを特徴とする表示装置である。
また、本発明の他の一態様は、複数の画素によって構成された表示領域を備えた表示装置の製造方法であって、前記表示領域の外側に形成されたスペーサ、及び、前記スペーサの少なくとも頂部及び外側面に無機材料によって形成された無機膜を有する第1基板を形成する工程と、前記表示領域に表示素子が配置された第2基板を形成する工程と、前記第1基板または前記第2基板の一方に充填剤を滴下する工程と、前記充填剤によって前記第1基板と前記第2基板を貼り合わせる工程と、を備えることを特徴としたものである。
本発明の実施形態に係る表示装置を概略的に示す図である。 有機ELパネルを表示する側から見た構成を示す図である。 図2のIII−III‘線における断面の積層構造について概略的に示す一例である。 カラーフィルタ基板の製造方法に関する第1の実施形態を示す一例である。 第1の実施形態のその他の一例である。 カラーフィルタ基板の製造方法に関する第2の実施形態を示す一例である。 第2の実施形態のその他の一例である。 カラーフィルタ基板の製造方法に関する第3の実施形態を示す一例である。 第3の実施形態のその他の一例である。 カラーフィルタ基板とアレイ基板を貼り合わせる各工程を表す図である。 カラーフィルタ基板とアレイ基板を貼り合わせる各工程を表す図である。 カラーフィルタ基板とアレイ基板を貼り合わせる各工程を表す図である。 ダム剤を配置する位置について説明するための図である。 スペーサが表示領域の周囲を2重に囲うように配置された場合における断面の積層構造ついて説明するための図である。 従来技術における水分進入経路について説明するための図である。 従来技術における水分進入経路について説明するための図である。
以下に、本発明の各実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、開示はあくまで一例に過ぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は、説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に評される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して詳細な説明を適宜省略することがある。
図1は、本発明の実施形態に係る表示装置100の概略を示す図である。図に示すように、表示装置100は、上フレーム110及び下フレーム120に挟まれるように固定された有機ELパネル200から構成されている。なお、本実施形態においては、開示例として有機EL表示装置の場合を例示したが、その他の適用例として、液晶表示装置、その他の自発光型表示装置、あるいは電気泳動素子等を有する電子ペーパー型表示装置等、あらゆるフラットパネル型表示装置が挙げられる。また、中小型から大型まで、特に限定することなく適用が可能であることは言うまでもない。
図2は、図1の有機ELパネル200の構成を示す図である。有機ELパネル200は、アレイ基板201とカラーフィルタ基板202の2枚の基板を有し、これらの基板は、後述する接着層によって接着されている。
アレイ基板201は、表示領域203にマトリクス状に配置された画素204を有している。具体的には、例えば、画素204は、互いに異なる波長領域の光を出射する3つないし4つの副画素を組み合わせて1つの画素204を構成する。アレイ基板201には、各副画素に配置されたトランジスタの駆動IC205(Integrated Circuit)を有する。具体的には、例えば、駆動IC205は、副画素のそれぞれに配置された画素トランジスタの走査信号線に対してソース・ドレイン間を導通させるための電位を印加すると共に、各画素トランジスタのデータ信号線に対して副画素の階調値に対応する電圧を印加する。
図3は、図2のIII−III’線における有機ELパネル200の額縁部の断面について概略的に示す図である。図に示すように、アレイ基板201は、絶縁基板である下ガラス基板301と、樹脂層302と、有機EL(Electro Luminescence)層303と、陰極電極層304と、バリア膜305と、を含んで構成される。バリア膜305は、有機EL層303及び陰極電極層304を保護する為に、有機EL層303及び陰極電極層304を覆うように配置される。なお、有機EL層303には、陽極電極層、ホール注入層、電子輸送層等の有機EL素子として発光する為に必要な層が含まれるが、これらは従来技術と同様である為、ここでは説明を省略する。
また、カラーフィルタ基板202には、絶縁基板である上ガラス基板306が配置されている。そして、上ガラス基板306上にアレイ基板201側へ向かって、アレイ基板201から発せられた光を遮蔽するBM(Black Matrix)層307及び特定の波長の光を透過するカラーフィルタ層308、アレイ基板201とカラーフィルタ基板202のセルギャップを保持するスペーサ309、及び、無機膜310が順に配置される。ここで、カラーフィルタ層308は、表示領域に配置された各副画素の透過領域に配置され、BM層307は各副画素の非透過領域及び表示領域203の外側の額縁部に配置される。また、スペーサ309は、表示領域203を囲うようにBM層307の上部に形成される。そして、無機膜310は、BM層307、スペーサ309、及び、カラーフィルタ層308を覆うようにITO等の無機材料によって形成される。
さらに、有機材料から成る接着層は、スペーサ309の内側に配置され、アレイ基板201とカラーフィルタ基板202を接着する。ここで、接着層は、アレイ基板201とカラーフィルタ基板202を接着するフィル剤311と、フィル剤311よりも透水性が低く、フィル剤311の外側に配置されるダム剤312を含む。また、フィル剤311は、カラーフィルタ基板202とアレイ基板201の間を充填する充填剤としての機能も有する。
なお、図3に示した無機膜310は、BM層307、スペーサ309、及び、カラーフィルタ層308の全てを覆うように配置されているが、スペーサ309の内側面の少なくとも一部に延在するように配置されていればよい。また、ダム剤312はスペーサ309を覆うように配置されているが、スペーサ309の頂部の少なくとも一部を覆うように配置されていればよい。当該場合における実施形態については後述する。
[カラーフィルタ基板の製造方法に関する第1の実施形態]
続いて、上述したカラーフィルタ基板202の製造方法について説明する。図4(a)乃至(d)は、本発明の第1の実施形態に係るカラーフィルタ基板202の製造工程を示す図である。まず、図4(a)に示すように、上ガラス基板306上にBM層307を形成する。なお、BM層307を形成する方法は従来技術を用いるため、ここでは説明を省略する。
次に、図4(b)に示すように、BM層307の配置されていない領域にカラーフィルタ層308が形成される。具体的には、例えば、カラーフィルタ層308は、感光性を有するカラーフィルタ用材料を、露光工程および現像工程を含むフォトリソグラフィ法によりパターニングすることによって形成される。なお、図では、カラーフィルタ層308は、赤色光を透過させる赤色CF層401、緑色光を透過させる緑色CF層402、及び、青色光を透過させる青色CF層403を含む場合について記載しているが、カラーフィルタ層308には、赤色、青色、緑色以外の色のカラーフィルタ層を含んでいてもよい。また、カラーフィルタ層308を形成する方法は上記に限られず、インクジェット法等の従来技術を用いて形成してもよい。
続いて、図4(c)に示すように、スペーサ309が表示領域203を囲うように形成される。具体的には、例えば、上記と同様にフォトリソグラフィ法によって、スペーサ309がBM層307上に形成される。フォトリソグラフィ法によって形成されることにより、スペーサ309は、後述するフィル剤311やダム剤312よりも高い精度で形成することができる。
最後に、図4(d)に示すように、無機膜310が、BM層307、カラーフィルタ層308、及びスペーサ309を覆うように形成される。具体的には、例えば、無機膜310は、ITO(Indium Tin Oxide)等の透明な無機材料を、スパッタリング法等によって上ガラス基板306全体に堆積させる。そして、フォトリソグラフィ法を用いて、額縁部に形成されたBM層307の外側の領域をエッチングにより取り除いて形成する。ここで、無機膜310は、少なくともスペーサ309の頂部及び外側面を覆うように形成されればよい。
なお、本実施形態において、図5に示すように、BM層307及びカラーフィルタ層308と、無機膜310の間にオーバーコート501を設けるようにしてもよい。具体的には、例えば、図4(b)の工程の後、スペーサ309を形成する前に、BM層307及びカラーフィルタ層308を覆うようにオーバーコート501を形成してもよい。この場合、上ガラス基板306上に、順に、BM層307及びカラーフィルタ層308、オーバーコート501、スペーサ309、無機膜310が順に形成される。
[カラーフィルタ基板の製造方法に関する第2の実施形態]
上記第1の実施形態においては、無機膜310がBM層307、カラーフィルタ層308、及びスペーサ309上を覆うように形成する場合について説明したが、無機膜310は少なくともスペーサ309の頂部及び外側面を覆うように形成されればよい。本発明の第2の実施形態におけるカラーフィルタ基板202の製造方法について、図6(a)乃至(d)を用いて説明する。
図6(a)乃至(d)は、カラーフィルタ基板202の製造方法に関する第2の実施形態に係るカラーフィルタ基板202の製造工程を示す図である。図6(a)乃至(c)の工程において、上ガラス基板306上にBM層307、カラーフィルタ層308、及び、スペーサ309が形成される。図6(a)乃至(c)の工程は、図4(a)乃至(c)と同様の工程で形成される。
続いて、図6(d)に示すように、無機膜310が、スペーサ309、及び、スペーサ309の近傍に配置された無機膜310の端部を覆うように形成される。例えば、無機材料によって構成される無機膜310は、スパッタリング法等によって上ガラス基板306全体に堆積させる。そして、フォトリソグラフィ法を用いて、スペーサ309、及び、スペーサ309の近傍以外の領域に堆積された無機膜310をエッチングにより取り除いて形成する。上記のように、表示領域に無機膜310を設けない構成とすることによって、本実施形態は、無機膜310に用いる材料として、透過性を有しない材料を用いることができる。
なお、上記においては、オーバーコート501を設けない実施形態について説明したが、上記第1の実施形態と同様に、図7に示すように、BM層307及びカラーフィルタ層308の上部にオーバーコート501を設け、オーバーコート501の上部に無機膜310を形成するようにしてもよい。
[カラーフィルタ基板の製造方法に関する第3の実施形態]
上記第1及び第2の実施形態においては、スペーサ309を樹脂材料で形成する場合について説明したが、スペーサ309はカラーフィルタ層308と同じ材料で形成されるようにしてもよい。当該場合におけるカラーフィルタ基板202の製造方法について、図8(a)乃至(c)を用いて説明する。
図8(a)乃至(c)は、カラーフィルタ基板202の製造方法に関する第3の実施形態に係るカラーフィルタ基板202の製造工程を示す図である。まず、図8(a)に示すように、上ガラス基板306上にBM層307を形成する。BM層307を形成する方法については、上記第1及び第2の実施形態と同様である。
続いて、図8(b)に示すように、カラーフィルタ層308とともにスペーサ309が形成される。具体的には、例えば、まず、青色CF層403(以下、各色のカラーフィルタ層をCF層とする)が、青色の副画素の透過領域及びスペーサ309を配置する領域に形成される。ここで、青色CF層403を形成する際に用いる露光マスクの開口部及び遮光部のパターンを、青色の副画素の透過領域及びスペーサ309を配置する領域パターンに対応させることにより、青色の副画素の透過領域における青色CF層403とスペーサ309の下半分の青色CF層403が1つの工程で形成される。
次に、緑色CF層402が、緑色の副画素の透過領域に形成されるとともに、スペーサ309を配置する領域に配置された青色CF層403に重ねて形成される。上記と同様に、緑色CF層402を形成する際に用いる露光マスクの開口部及び遮光部のパターンを、緑色の副画素の透過領域及びスペーサ309を配置する領域パターンに対応させることにより、緑色の副画素の透過領域における緑色CF層402とスペーサ309の上半分の緑色CF層402が1つの工程で形成される。そして、赤色CF層401が、赤色の副画素の透過領域に形成されることによって、カラーフィルタ層308及びスペーサ309が形成される。
なお、図ではスペーサ309として形成された緑色CF層402と青色CF層403の中心位置は同じであるが、上側に配置されるCF層が、下側に配置されるCF層を覆っていれば、中心位置がずれて形成されても構わない。
そして、図8(c)に示すように、無機膜310が、BM層307、カラーフィルタ層308、及びカラーフィルタ層308と同じ材料で形成されたスペーサ309を覆うように形成される。以上のように、カラーフィルタ層308とスペーサ309を同じ工程で形成することによって、上記第1及び第2の実施形態と比べて、工程の負荷を軽減することができる。
なお、上記においては、スペーサ309の下半分が青色CF層403で形成され、スペーサ309の上半分が緑色CF層402で形成される場合について説明したが、これに限られない。例えば、スペーサ309を青色CF層403と緑色CF層402以外の組み合わせで形成してもよいし、3色以上のカラーフィルタ層を用いて形成してもよい。
また、副画素の透過領域に配置されたカラーフィルタ層の厚みと、スペーサ309の一部として配置された同色のカラーフィルタ層の厚みは、同じであってもよいし異なっていてもよい。具体的には、例えば、カラーフィルタ層を形成する際に用いる露光マスクとして、ハーフトーンマスクを用いることにより、同じ工程で異なる高さのカラーフィルタ層のパターンを形成することが出来る。透過領域に配置されたカラーフィルタ層の厚みと、スペーサ309の一部として配置された同色のカラーフィルタ層の厚みを異ならせることにより、スペーサ309の高さや、スペーサ309に用いるカラーフィルタ層の色数を調整することが可能となる。
さらに、上記第1及び第2の実施形態と同様に、図9に示すように、BM層307及びカラーフィルタ層308の上部にオーバーコート501を設け、オーバーコート501の上部に無機膜310を形成するようにしてもよい。
続いて、カラーフィルタ基板202とアレイ基板201を貼り合わせる方法について説明する。なお、カラーフィルタ基板202とアレイ基板201を貼り合わせる前に、上述したようなカラーフィルタ基板202を製造する工程と、表示領域に表示素子が配置されたアレイ基板201を製造する工程が設けられるが、アレイ基板201の製造方法については、従来技術と同様であるためここでは説明を省略する。図10乃至図12は、いずれもカラーフィルタ基板202とアレイ基板201を貼り合わせる各工程を表す図である。なお、各図において、カラーフィルタ基板202上の各色のカラーフィルタ層や、アレイ基板201上の樹脂層302等の記載は、説明を簡略化するために省略している。
まず、図10(a)に示すように、カラーフィルタ基板202上にダム剤312を滴下する。具体的には、例えば、ディスペンサーを用いて、スペーサ309と重なるように有機系材料からなるダム剤312を滴下する。ここで、ダム剤312は、カラーフィルタ基板202とアレイ基板201を接着し、後述するフィル剤311と比較して透水性が低い材料が用いられる。なお、従来技術においては、ダム剤312中にカラーフィルタ基板202とアレイ基板201のギャップを保持するギャップ保持用材料が混練されることが通常であったが、本発明においては、カラーフィルタ基板202にスペーサ309が形成されていることから、ギャップ保持用材料を混練しなくてもよい。
次に、図10(b)に示すように、カラーフィルタ基板202にフィル剤311を滴下する。具体的には、例えば、ディスペンサーを用いて、ダム剤の内側の領域に対して、予め定められた間隔で有機系材料からなるフィル剤311を滴下する。ここで、フィル剤311は、カラーフィルタ基板202とアレイ基板201のギャップを充填し、2つの基板を接着する材料が用いられる。
続いて、図11(a)に示すように、カラーフィルタ基板202上に滴下されたダム剤312及びフィル剤311に対して、UV(Ultra Violet)光を照射する。なお、ダム剤312及びフィル剤311は、ともにUV(Ultra Violet)光を照射した後徐々に硬化し、カラーフィルタ基板202とアレイ基板201を貼り合わせた後に硬化が完了する遅延硬化型樹脂を用いることが望ましい。
次に、図11(b)に示すように、ダム剤312及びフィル剤311が滴下されたカラーフィルタ基板202及びアレイ基板201は、真空チャンバー1102に設置される。そして、真空チャンバー1102内の空気が外部に排出されることによって、真空チャンバー1102の内部は真空状態となる。ここでいう真空とは、貼り合わされたカラーフィルタ基板202及びアレイ基板201を真空チャンバー1102から取り出した際に、大気圧によって基板同士が加圧され、基板間に配置されたフィル剤311が均一に充填されるために十分な真空度であればよく、例えば、真空チャンバー1102内部の大気圧が0.1Pa程度であればよい。
続いて、図12(a)に示すように、カラーフィルタ基板202と、カラーフィルタ基板202に対向して配置されたアレイ基板201と、が位置を合わせて貼り合わされる。ここで、位置を合わせる方法については、従来技術と同様である為説明を省略する。
最後に、図12(b)に示すように、貼り合わされたカラーフィルタ基板202及びアレイ基板201が、真空チャンバー1102から取り出される。この際、大気圧によってカラーフィルタ基板202とアレイ基板201が加圧されることにより、基板間に配置されたフィル剤311が表示領域に充填されるとともに、ダム剤312は、フィル剤311がスペーサ309の外側に漏れないように、スペーサ309の頂部、外側面及び内側面を覆うように配置される。そして、さらに一定の時間が経過すると、既に照射されたUV光1101によって、フィル剤311及びダム剤312が固定され、図3で説明したような有機ELパネル200が完成する。
上記のように、スペーサ309の頂部、外側面及び内側面を透水性が低い無機膜310で覆うことによって、有機ELパネル200の側面からダム剤312及びフィル剤311を経由して有機EL層303に水分が侵入する経路が遮断され、有機EL層303の劣化を防止することができる。
なお、スペーサ309の頂部に配置された無機膜310と、アレイ基板201は接触していることが望ましいが、接触していなくても構わない。例えば、図13(b)に示す図のように、スペーサ309の頂部とアレイ基板201の間にダム剤312が配置されている場合であっても、有機EL層303に水分が侵入する経路の大部分を無機膜310によって遮断できることから、スペーサ309の頂部とアレイ基板201が接触していなくてもよい。また、上記においては、フィル剤311及びダム剤312をカラーフィルタ基板202に滴下する場合について説明したが、フィル剤311及びダム剤312はアレイ基板に滴下するようにしてもよい。
さらに、上記においては、図10(a)の工程においてダム剤312がスペーサ309と重なるように配置された結果、図12(b)のように、ダム剤312がスペーサ309の頂部、外側面及び内側面を覆うように形成される場合について説明した。しかしながら、スペーサ309は、主にフォトリソグラフィ法などの位置精度の高い方法によって配置されるのに対して、ダム剤312は、主にディスペンサーを用いて滴下する等の位置精度が相対的に低い方法によって配置される。従って、ダム剤312とスペーサ309の位置関係は図12(b)で示したような配置関係と異なる場合もあるが、ダム剤312は、少なくともスペーサ309の頂部または頂部よりも外側に配置されていていればよい。
具体的には、例えば、図13(a)に示すように、ダム剤312は、スペーサ309の頂部及び内側面のみを覆うように形成されてもよい。また、例えば、図13(b)に示すように、スペーサ309の頂部、外側面及び内側面をフィル剤311が覆い、ダム剤312は当該フィル剤311の外側に形成されてもよい。当該構成であっても、有機ELパネル200の側面からダム剤312及びフィル剤311を経由して有機EL層303に水分が侵入する経路を遮断することによって、有機EL層303の劣化を軽減することができる。
[変形例]
上記実施形態においては、スペーサ309が表示領域の周囲を囲うように一重に配置される場合について説明したが、スペーサ309は、表示領域の外側に向かって、2重または3重以上に形成されていてもよい。
具体的には、例えば、図14(a)に示すように、スペーサ309が表示領域203の周囲を2重に囲うように配置されるように構成してもよい。当該構成によれば、有機ELパネル200の側面からダム剤312及びフィル剤311を経由して有機EL層303に水分が侵入する経路は、スペーサ309に配置された無機膜310によって2重に遮断されることにより、有機EL層303の劣化をさらに軽減することができる。なお、この場合においても、ダム剤312とスペーサ309の位置関係については、ダム剤312が外側のスペーサ309の頂部、外側面及び内側面を覆うように形成されることが望ましいが、少なくとも外側のスペーサ309の頂部または頂部よりも外側に配置されていていればよい。
さらに、2重または3重以上に形成されたスペーサ309の間に、真空層1401を設ける構成としてもよい。具体的には、例えば、図14(b)及び(c)に示すように、2重に配置されたスペーサ309の間に、真空層1401を設ける構成としてもよい。真空層1401を設けることによって、ダム剤312を経由して有機EL層303に進入する水分をさらに軽減することができる。なお、スペーサ309を2重に形成する場合には、ダム剤312は、外側のスペーサ309の頂部またはスペーサ309の外側に配置されていればよく、図14(a)及び(c)のように、内側のスペーサ309の周囲にダム剤312を配置しない構成としてもよい。
本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。例えば、前述の各実施形態に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除若しくは設計変更を行ったもの、又は、工程の追加、省略若しくは条件変更を行ったものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含まれる。
100 表示装置、110 上フレーム、120 下フレーム、200 有機ELパネル、201 アレイ基板、202 カラーフィルタ基板、203 表示領域、204 画素、205 駆動IC、301 下ガラス基板、302 樹脂層、303 有機EL層、304 陰極電極層、305 バリア膜、306 上ガラス基板、307 BM層、308 カラーフィルタ層、309 スペーサ、310 無機膜、311 フィル剤、312 ダム剤、401 赤色CF層、402 緑色CF層、403 青色CF層、501 オーバーコート、1101 UV光、1102 真空チャンバー、1401 真空層、1501 水分侵入経路、1502 ピンホール。

Claims (10)

  1. 複数の画素によって構成された表示領域を備えた表示装置であって、
    前記表示領域を囲うように形成されたスペーサと、無機材料によって形成され、少なくとも前記スペーサの頂部及び外側面を覆う無機膜と、を有する第1基板と、
    光を発する有機EL層と、前記有機EL層の前記第1基板側に配置される陰極電極層と、前記陰極電極層の前記第1基板側に、前記陰極電極層を覆うように前記陰極電極層と接して配置されるバリア膜と、を有し、前記第1基板と対向して配置される第2基板と、
    前記第1基板と前記第2基板との間を充填するフィル剤と、前記フィル剤よりも透水性が低く、前記フィル剤の外側に配置され前記スペーサの周囲を覆うダム剤と、を有し、前記第1基板と前記第2基板を接着する有機系材料からなる接着層と、
    を有し、
    前記バリア膜の外縁は、前記ダム剤の外縁より外側かつ前記第1基板及び前記第2基板の端よりも内側に位置し、
    前記ダム剤は、内縁が前記スペーサの内側に位置し、外縁が前記スペーサの外側に位置し、
    前記無機膜は、前記スペーサの頂部において前記バリア膜と接する、
    ことを特徴とする表示装置。
  2. 前記無機膜は、さらに、前記スペーサの内側面の少なくとも一部に延在する、ことを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
  3. 前記スペーサは、前記表示領域の外側に向かって、2重または3重以上に形成されることを特徴とする請求項1または2に記載の表示装置。
  4. 前記2重または3重以上に形成された前記スペーサの間に、真空層が設けられていることを特徴とする請求項3に記載の表示装置。
  5. 前記第1基板は、さらに、予め定められた波長の光を透過するカラーフィルタ層を有し、
    前記スペーサは、前記カラーフィルタ層と同じ材料で形成されることを特徴とする請求項1乃至のいずれかに記載の表示装置。
  6. 複数の画素によって構成された表示領域を備えた表示装置の製造方法であって、
    前記表示領域を囲うように形成されたスペーサ、及び、前記スペーサの少なくとも頂部及び外側面に無機材料によって形成された無機膜を有する第1基板を形成する工程と、
    光を発する有機EL層と、前記有機EL層の前記第1基板側に配置される陰極電極層と、前記陰極電極層の前記第1基板側に、前記陰極電極層を覆うように前記陰極電極層と接して配置されるバリア膜と、を有する第2基板を形成する工程と、
    前記第1基板または前記第2基板の一方に前記第1基板と前記第2基板との間を充填するフィル剤を滴下する工程と、
    前記フィル剤の外側において前記スペーサの周囲を覆うように、前記フィル剤よりも透水性が低いダム剤を滴下する工程と、
    前記フィル剤及びダム剤によって前記第1基板と前記第2基板を貼り合わせる工程と、
    を備え、
    前記バリア膜の外縁は、前記ダム剤の外縁より外側かつ前記第1基板及び前記第2基板の端よりも内側に位置し、
    前記ダム剤は、内縁が前記スペーサの内側に位置し、外縁が前記スペーサの外側に位置し、
    前記無機膜は、前記スペーサの頂部において前記バリア膜と接する、
    ことを特徴とする表示装置の製造方法。
  7. 前記無機膜は、さらに、前記スペーサの内側面の少なくとも一部に延在する、ことを特徴とする請求項に記載の表示装置の製造方法。
  8. 前記スペーサは、前記表示領域の外側に向かって、2重または3重以上に形成されることを特徴とする請求項6または7に記載の表示装置の製造方法。
  9. 前記2重または3重以上に形成された前記スペーサの間に、真空層が設けられていることを特徴とする請求項に記載の表示装置の製造方法。
  10. 前記第1基板は、さらに、予め定められた波長の光を透過するカラーフィルタ層を有し、
    前記スペーサは、前記カラーフィルタ層と同じ材料で形成されることを特徴とする請求項乃至のいずれかに記載の表示装置の製造方法。
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