JP6559419B2 - 誘電体セラミックスおよびその製造方法 - Google Patents
誘電体セラミックスおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6559419B2 JP6559419B2 JP2014257626A JP2014257626A JP6559419B2 JP 6559419 B2 JP6559419 B2 JP 6559419B2 JP 2014257626 A JP2014257626 A JP 2014257626A JP 2014257626 A JP2014257626 A JP 2014257626A JP 6559419 B2 JP6559419 B2 JP 6559419B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- barium
- dielectric ceramic
- barium titanate
- dielectric
- titanate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Description
本発明の誘電体セラミックスは、チタン酸バリウム(BaTiO3)を主成分とするセラミックス(ペロブスカイト型化合物)である。「主成分とする」の用語の定義は上述の通りであって、製造上含まれてしまう不純成分が誘電体セラミックス中に微量含まれていてもよい。不純成分としては、アルミニウム、カルシウム、ニオブ、鉄、鉛などの金属由来成分、ガラス成分および炭化水素系の有機成分などが挙げられる。また、焼結助剤、分散剤、可塑剤、バインダ等の添加剤を含んでいてもよい。
本発明は、チタン酸バリウムを主成分とし、平均結晶粒子径が小さく、結晶粒子径の変動係数(バラツキ)が小さく、かつ比誘電率が高い誘電体セラミックスの製造方法もまた提供する。すなわち、本発明の第二の形態は、層状チタン酸またはその塩とバリウム化合物とを、バリウム/チタン>1(原子比)の混合比で合成させ、チタン酸バリウムを含む粒子を得る工程と、前記チタン酸バリウムを含む粒子と焼結助剤を含む副成分とを混合した後成形し、成形体を得る工程と、前記成形体を焼成する工程と、を含む、誘電体セラミックスの製造方法。このような製造方法で得られる本発明の誘電体セラミックスは、平均結晶粒子径が小さく、結晶粒子径のバラツキが小さくなり、かつ比誘電率も高いものとなる。したがって、本発明の製造方法により得られる誘電体セラミックスを用いたセラミック電子部品は信頼性に優れる。
本工程においては、層状チタン酸またはその塩(以下、総称して層状チタン酸化合物とも称する)を用いる。
本工程では、好ましくは、(2−1)上記(1)の工程で得られたチタン酸バリウムを含む粒子と焼結助剤とを混合し組成物を調製する工程(組成物調製工程)と、(2−2)得られた組成物を用いて成形して成形体を得る工程(グリーンシート作製工程)と、が行われる。以下、各工程について説明する。
本工程では、チタン酸バリウムを含む粒子と焼結助剤を含む副成分とを混合し、成形体(グリーンシート)作製用の組成物(スラリー)を調製する。さらに、必要に応じて、分散剤、バインダ、可塑剤等の添加剤を混合する。これらの混合方法、混合順序は特に制限されないが、添加物を均一に分散できるという点で、混合方法は湿式混合が好ましい。
本工程では、チタン酸バリウムを含む粒子と各種添加剤とを混合することによって得られた組成物を、適当な大きさ、形状となるようにシート成形し、成形体(グリーンシート)を作製する。ここで、グリーンシートを作製する方法としては特に限定されず、従来公知の方法を用いることができる。例えば、ドクターブレード法やカレンダーロール法等のテープ成形法等によりシート状に成形し、これを乾燥することによりグリーンシートを得る。
本工程では、上記工程(2−2)において得られたグリーンシート(またはグリーンチップ)を、焼成する。焼成方法は、従来公知の方法により行うことができる。
本発明は、上記誘電体セラミックスまたは上記の製造方法により得られる誘電体セラミックスを含む、セラミック電子部品を提供する。上記誘電体セラミックスは、平均結晶粒子径が小さく、結晶粒子径のバラツキが小さく、高い誘電特性を有する。したがって、本発明の誘電体セラミックスまあは本発明の製造方法により得られる誘電体セラミックスは、種々のセラミック電子部品に好適に用いることができ、該誘電体セラミックスを用いたセラミック電子部品は信頼性が優れたものとなる。以下、セラミック電子部品の一例である、積層セラミックコンデンサについて説明する。
グリーンシート(またはグリーンチップ)を焼成することにより得られる誘電体セラミックスは、薄膜状となっており、積層セラミックコンデンサ(MLCC)の誘電体層として用いることができる。積層セラミックコンデンサの製造方法としては特に制限されないが、例えば、以下のようにして製造される。
(実施例1)
・層状チタン酸の製造
まず、誘電体セラミックス作製に必要な層状チタン酸(H1.07Ti1.73O4)の製造方法を示す。
続いて、誘電体セラミックスの製造方法を示す。
上記実施例1のチタン酸バリウム粉末の製造方法において、ソルボサーマル合成の温度を230℃としたこと以外は、実施例1と同様にしてチタン酸バリウム粉末を得た。この後、さらに実施例1と同様にして、誘電体セラミックスを得た。
上記実施例1のチタン酸バリウムの製造方法において、Ba/Ti=1.1(原子比))となるように層状チタン酸およびBa(OH)2・8H2Oの使用量を変更したこと以外は、実施例2と同様にしてチタン酸バリウム粉末を得た。また、この後、焼成温度を1160℃としたこと以外は、実施例1と同様にして、誘電体セラミックスを得た。
焼成温度を1190℃に変更したこと以外は、実施例3と同様にして、誘電体セラミックスを得た。
焼成温度を1215℃に変更したこと以外は、実施例3と同様にして、誘電体セラミックスを得た。
Ba/Ti=0.9(原子比)となるように、層状チタン酸およびBa(OH)2・8H2Oの使用量を変更したこと以外は、実施例1と同様にして、誘電体セラミックスを得た。
層状チタン酸の代わりに、TiO2(チタニア、昭和電工株式会社製、商品名:スーパータイタニア(登録商標)F−6)を0.52g用いたこと以外は、実施例2と同様にして、誘電体セラミックスを得た。
層状チタン酸の代わりに、TiO2(チタニア、昭和電工株式会社製、商品名:スーパータイタニア(登録商標)F−6)を0.52g用いたこと以外は、実施例1と同様にして、誘電体セラミックスを得た。
上記実施例および比較例で得られた誘電体セラミックスについて、以下の通り、評価した。
アルキメデス法により、各誘電体セラミックスをn=3にて密度を測定した。理論密度を6.02g/cm3とし、実測密度を理論密度で除して相対密度を算出した。
誘電体セラミックスをSEMにて倍率30000倍で粒子100個を観察し、結晶粒子径を測長し、その平均値を平均結晶粒子径(grain径)とした。SEM写真からの結晶粒子径の測長は、画像解析により円相当径を算出することにより求めた。
結晶粒子径の変動係数は、誘電体セラミックスの結晶粒子径の標準偏差を上記平均結晶粒子径(grain径)で除して算出した。
電極としてインジウム−ガリウム(In−Ga)合金を各誘電体セラミックスの上下面に塗布し、LCRメーター(Agilent社製 4284A 測定条件:AC印加電圧1.0V/mm、周波数1kHz)を用いて比誘電率の測定を行った。
アジレント・テクノロジー株式会社製、ハイレジスタンスメータ4339Bを使用し、印加電圧DC:250V、印加時間60秒で測定を行った。
Claims (6)
- 原子比として、1<バリウム/チタン≦1.2(ただし、バリウム/チタン≦1.03を除く)の混合比のチタン酸バリウムを主成分とし、平均結晶粒子径が200nm以下であり、結晶粒子径の変動係数が30%以下であり、かつ比誘電率が1500以上である、誘電体セラミックス。
- 層状チタン酸またはその塩とバリウム化合物とを、バリウム/チタン>1(原子比)の混合比で合成させ、チタン酸バリウムを含む粒子を得る工程と、
前記チタン酸バリウムを含む粒子と焼結助剤を含む副成分とを混合した後成形し、成形体を得る工程と、
前記成形体を焼成する工程と、
を含む、請求項1に記載の誘電体セラミックスの製造方法。 - 前記チタン酸バリウムのペロブスカイト構造のc軸/a軸比が1.004以上である、請求項2に記載の誘電体セラミックスの製造方法。
- 前記チタン酸バリウムを含む粒子を得る工程は、前記層状チタン酸またはその塩と前記バリウム化合物とを、18時間以下の時間で、かつ150℃以上280℃以下の温度で加熱する工程を含む、請求項2または3に記載の誘電体セラミックスの製造方法。
- 水熱合成またはソルボサーマル合成によって前記層状チタン酸またはその塩を得る工程をさらに含む、請求項2から4のいずれか一項に記載の誘電体セラミックスの製造方法。
- 請求項1に記載の誘電体セラミックスを含む、セラミック電子部品。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014257626A JP6559419B2 (ja) | 2014-12-19 | 2014-12-19 | 誘電体セラミックスおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014257626A JP6559419B2 (ja) | 2014-12-19 | 2014-12-19 | 誘電体セラミックスおよびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016117605A JP2016117605A (ja) | 2016-06-30 |
JP6559419B2 true JP6559419B2 (ja) | 2019-08-14 |
Family
ID=56243687
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014257626A Active JP6559419B2 (ja) | 2014-12-19 | 2014-12-19 | 誘電体セラミックスおよびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6559419B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7421313B2 (ja) | 2019-11-22 | 2024-01-24 | 太陽誘電株式会社 | セラミック電子部品およびその製造方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4750491B2 (ja) * | 2005-07-19 | 2011-08-17 | 神島化学工業株式会社 | 板状チタン酸金属化合物およびその製造方法 |
JP5109872B2 (ja) * | 2008-08-27 | 2012-12-26 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法 |
JP5184333B2 (ja) * | 2008-12-25 | 2013-04-17 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | 誘電体セラミックス材料の製造方法 |
-
2014
- 2014-12-19 JP JP2014257626A patent/JP6559419B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016117605A (ja) | 2016-06-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI613688B (zh) | 積層陶瓷電容器 | |
JP6571048B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサ、セラミック粉末、およびそれらの製造方法 | |
JP4935671B2 (ja) | 誘電体磁器組成物、およびこれを用いたコンデンサの製造方法 | |
JP5483825B2 (ja) | 誘電体磁器および積層セラミックコンデンサ | |
JP4706398B2 (ja) | 誘電体磁器組成物の製造方法 | |
JP6641178B2 (ja) | 誘電体磁器組成物およびその製造方法、ならびにセラミック電子部品 | |
US20120075768A1 (en) | Dielectric ceramic composition and manufacturing method thereof, and ceramic electronic device | |
JP6651351B2 (ja) | 誘電体磁器組成物およびそれを含むセラミック電子部品 | |
JP6655706B2 (ja) | 誘電体組成物、誘電体素子、電子部品および積層電子部品 | |
JPWO2012124736A1 (ja) | 誘電体セラミック及び積層セラミックコンデンサ | |
JP5874832B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法 | |
US20140065308A1 (en) | Dielectric composition, method of fabricating the same, and multilayer ceramic electronic component using the same | |
JP6919122B2 (ja) | 誘電体磁器組成物およびその製造方法、ならびにセラミック電子部品 | |
JP2022108636A (ja) | 誘電体、セラミック電子部品、誘電体の製造方法、およびセラミック電子部品の製造方法 | |
JP5903989B2 (ja) | 誘電体磁器組成物および積層セラミックコンデンサ | |
CN110092656B (zh) | 电介质陶瓷组合物、电子部件及层叠陶瓷电容器 | |
CN110092661B (zh) | 电介质陶瓷组合物、电子部件及层叠陶瓷电容器 | |
JP2022145817A (ja) | セラミックコンデンサ | |
WO2014207900A1 (ja) | 誘電体磁器組成物および積層セラミックコンデンサ | |
JP6559419B2 (ja) | 誘電体セラミックスおよびその製造方法 | |
KR20120112173A (ko) | 반도체 세라믹 및 적층형 반도체 세라믹 콘덴서 | |
JP6351147B2 (ja) | 誘電体セラミックス、誘電体セラミックスの製造方法およびセラミック電子部品 | |
JP5146492B2 (ja) | 誘電体磁器組成物およびその製造方法 | |
JP2006111468A (ja) | 誘電体磁器組成物の製造方法、電子部品及び積層セラミックコンデンサ | |
JP5084657B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171215 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20180501 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20180510 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180815 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180904 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181107 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20190305 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190510 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190510 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20190520 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190618 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190717 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6559419 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |