JP6559336B2 - 2次元光偏向器 - Google Patents
2次元光偏向器Info
- Publication number
- JP6559336B2 JP6559336B2 JP2018515385A JP2018515385A JP6559336B2 JP 6559336 B2 JP6559336 B2 JP 6559336B2 JP 2018515385 A JP2018515385 A JP 2018515385A JP 2018515385 A JP2018515385 A JP 2018515385A JP 6559336 B2 JP6559336 B2 JP 6559336B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- deflector
- axis
- light beam
- light emitting
- dimensional optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/101—Scanning systems with both horizontal and vertical deflecting means, e.g. raster or XY scanners
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0841—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting element being moved or deformed by electrostatic means
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/105—Scanning systems with one or more pivoting mirrors or galvano-mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Micromachines (AREA)
Description
図1と図2と図3は、それぞれ、本発明の第1実施形態の2次元光偏向器100の斜視図と側面図と上面図を示している。続く説明において、各要素の位置関係や方向等は、図1に示されたXYZ直交座標系にしたがって説明する。また、図1にしたがって、便宜上、+Y方向を上方、−Y方向を下方とし、また、+X方向を前方、−X方向を後方とする。また、ZX平面に平行な平面を水平面とする。
図11は第1実施形態の変形例を示している。図1に示された2次元光偏向器100では、片持ち梁112は、延伸部114を片側に有しているため、外力による衝撃等によって延伸部114が予期せぬ動きをする可能性がある。本変形例の2次元光偏向器100Aは、図11に示されるように、片持ち梁112Aは、その自由端近傍に、第1軸A1に平行して延伸部114とは逆の方向に延伸している調整用延伸部119を有している。この調整用延伸部119は、延伸部114と同様の機械的特性を有している。例えば、調整用延伸部119は延伸部114と同じ長さ同じ質量を有している。このように、片持ち梁112Aが、延伸部114と同様の調整用延伸部119を延伸部114の反対側に有しているため、振動等に対するバランスが向上し、外部からの衝撃に対して強くなる。
図12と図13は、それぞれ、本発明の第2実施形態の2次元光偏向器の側面図と正面図を示している。図12と図13において、図1〜図3に示した部材と同一の参照符号を付した部材は同様の部材であり、その詳しい説明は省略する。以下、相違部分に重点をおいて説明する。つまり、以下の説明で触れない部分は、第1実施形態と同様である。
図14と図15は、それぞれ、本発明の第3実施形態の2次元光偏向器の側面図と正面図を示す。図14と図15において、図1〜図3に示した部材と同一の参照符号を付した部材は同様の部材であり、その詳しい説明は省略する。以下、相違部分に重点をおいて説明する。つまり、以下の説明で触れない部分は、第1実施形態と同様である。
図16と図17は、それぞれ、本発明の第3実施形態の変形例の側面図と正面図を示している。図16と図17において、図14と図15に示した部材と同一の参照符号を付した部材は同様の部材であり、その詳しい説明は省略する。以下、相違部分に重点をおいて説明する。
Claims (11)
- コリメート光ビームを2次元的に偏向する2次元光偏向器であって、
コリメート光ビームを一つの平面内において偏向する第1偏向器と、
コリメート光ビームを別の一つの平面内において偏向する第2偏向器と、
前記第1偏向器と前記第2偏向器を共に直接固定している固定部材を備えており、
前記第1偏向器は、光導波手段によって導光された光から前記コリメート光ビームを生成して出射する光出射部を備えており、前記光出射部は、前記光出射部の外を通って延びている第1軸の周りに揺動可能に支持されており、前記光出射部は、前記第1軸に垂直な第1平面に沿って、前記第1軸に向けてコリメート光ビームを出射し、したがって、前記光出射部の揺動は、前記第1平面に沿ったコリメート光ビームの偏向を引き起こし、
前記第2偏向器は、前記光出射部から出射されたコリメート光ビームを反射する揺動可能な反射面を有し、前記反射面は、非揺動時において、前記第1軸を含む平面に対して45度傾斜しており、さらに、非揺動時の前記光出射部から出射されるコリメート光ビームの主光線に一致する第2軸を含む平面に対しても45度傾斜しており、したがって、前記反射面は、前記第1平面内のコリメート光ビームの偏向を、前記第2軸に垂直な第2平面に沿ったコリメート光ビームの偏向に変換し、さらに、前記反射面は、前記第1軸と前記第2軸の交点を通るとともに前記第1軸と前記第2軸の両方に垂直な第3軸の周りに揺動可能に支持されており、したがって、前記反射面の前記第3軸の周りの揺動は、前記第3軸に垂直な第3平面内のコリメート光ビームの偏向を引き起こす2次元光偏向器。 - 請求項1に記載の2次元光偏向器において、前記第2偏向器はMEMS偏向器によって構成されており、前記MEMS偏向器は、前記反射面が設けられた可動部と、前記可動部を前記第3軸の周りに揺動可能に支持しているヒンジ部を備えている請求項1に記載の2次元光偏向器。
- 請求項1または2に記載の2次元光偏向器において、前記第1偏向器は、前記光出射部を前記第1軸の周りに揺動可能に支持している片持ち梁を備えており、前記片持ち梁は、前記固定部材に片持ちに固定されており、前記第1軸は、前記片持ち梁の固定端を通って延びており、前記片持ち梁は、前記第1軸に平行して延伸している延伸部を有しており、前記光出射部は、前記延伸部の先端部に設けられており、前記延伸部は、前記光導波手段のクラッドを固定しているクラッド固定部を有している2次元光偏向器。
- 請求項3に記載の2次元光偏向器において、前記片持ち梁は、前記第1軸に平行して前記延伸部とは逆の方向に延伸している調整用延伸部を有しており、前記調整用延伸部は、前記延伸部と同様の機械的特性を有している2次元光偏向器。
- 請求項3または4に記載の2次元光偏向器において、
前記クラッド固定部は、前記光導波手段の前記クラッドがフィットして収容される空洞部を有しており、前記空洞部は、前記第1軸に平行して延びており、
前記光出射部は、前記光導波手段から出射される光を前記コリメート光ビームに成形するコリメートレンズと、前記コリメートレンズから前記第1軸に沿って出射された前記コリメート光ビームを前記第2軸に沿って前記反射面に向けて偏向させるプリズムを備えている2次元光偏向器。 - 請求項1または2に記載の2次元光偏向器において、前記第1偏向器は、前記固定部材から前記第1軸に沿って延びている2本のトーションヒンジと、前記トーションヒンジによって前記固定部材に対して前記第1軸の周りに揺動可能に支持された揺動部材を備えており、前記揺動部材は、前記第1軸に平行して延伸している延伸部を有しており、前記光出射部は、前記延伸部の先端部に設けられており、前記延伸部は、前記光導波手段のクラッドを固定しているクラッド固定部を有している2次元光偏向器。
- 請求項6に記載の2次元光偏向器において、前記揺動部材は、前記第1軸に平行して、前記延伸部とは逆の方向に延伸している調整用延伸部を有しており、前記調整用延伸部は、前記延伸部と同様の機械的特性を有している2次元光偏向器。
- 請求項3または4に記載の2次元光偏向器において、
前記クラッド固定部は、前記光導波手段の前記クラッドがフィットして収容される空洞部を有しており、前記空洞部は、前記第1軸に平行して延びており、
前記光出射部は、前記光導波手段から出射される光を前記コリメート光ビームに成形するコリメートレンズと、前記コリメートレンズから前記第1軸に沿って出射された前記コリメート光ビームを前記第2軸に沿って前記反射面に向けて偏向させるプリズムを備えている2次元光偏向器。 - 請求項1または2に記載の2次元光偏向器において、
前記第1偏向器は、前記第1軸の周りに揺動可能な回転シャフトを有しているガルバノ偏向器と、前記ガルバノ偏向器の前記回転シャフトに取り付けられた光導波手段固定冶具を有しており、
前記光導波手段固定冶具は、前記第1軸に平行して延伸している延伸部を有しており、前記光出射部は、前記延伸部の先端部に設けられており、前記延伸部は、前記光導波手段のクラッドを固定しているクラッド固定部を有している2次元光偏向器。 - 請求項9に記載の2次元光偏向器において、前記光導波手段固定冶具は、前記回転シャフトを基準にして前記延伸部の反対側に調整用延伸部を有しており、前記調整用延伸部は、前記延伸部と同様の機械的特性を有している2次元光偏向器。
- 請求項9または10に記載の2次元光偏向器において、
前記クラッド固定部は、前記光導波手段の前記クラッドがフィットして収容される空洞部を有しており、前記空洞部は、前記第1軸に平行して延びており、
前記光出射部は、前記光導波手段から出射される光を前記コリメート光ビームに成形するコリメートレンズと、前記コリメートレンズから前記第1軸に沿って出射された前記コリメート光ビームを前記第2軸に沿って前記反射面に向けて偏向させるプリズムを備えている2次元光偏向器。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2016/063665 WO2017191684A1 (ja) | 2016-05-06 | 2016-05-06 | 2次元光偏向器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2017191684A1 JPWO2017191684A1 (ja) | 2019-03-22 |
JP6559336B2 true JP6559336B2 (ja) | 2019-08-14 |
Family
ID=60203719
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018515385A Active JP6559336B2 (ja) | 2016-05-06 | 2016-05-06 | 2次元光偏向器 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20190072758A1 (ja) |
JP (1) | JP6559336B2 (ja) |
WO (1) | WO2017191684A1 (ja) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4838632A (en) * | 1988-05-06 | 1989-06-13 | Lumisys Inc. | Two-dimensional beam scanner |
JP2000066251A (ja) * | 1998-08-20 | 2000-03-03 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 2次元光偏向素子 |
JP2009201969A (ja) * | 2008-02-01 | 2009-09-10 | Fujifilm Corp | Oct用光プローブおよび光断層画像化装置 |
JP5403244B2 (ja) * | 2009-07-16 | 2014-01-29 | 株式会社ニコン | 空間光変調ユニット、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 |
JP2012231911A (ja) * | 2011-04-28 | 2012-11-29 | Olympus Corp | 光走査装置および走査型観察装置 |
JP5961891B2 (ja) * | 2013-08-10 | 2016-08-03 | 並木精密宝石株式会社 | 光イメージング用プローブ |
-
2016
- 2016-05-06 WO PCT/JP2016/063665 patent/WO2017191684A1/ja active Application Filing
- 2016-05-06 JP JP2018515385A patent/JP6559336B2/ja active Active
-
2018
- 2018-11-02 US US16/179,243 patent/US20190072758A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2017191684A1 (ja) | 2017-11-09 |
US20190072758A1 (en) | 2019-03-07 |
JPWO2017191684A1 (ja) | 2019-03-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5167634B2 (ja) | レーザー投射装置 | |
CN108205124B (zh) | 一种基于微机电振镜的光学装置和激光雷达系统 | |
WO2009157486A1 (ja) | 可動構造体及びそれを用いたマイクロミラー素子 | |
CN105403999B (zh) | 基于psd反馈的二维快速控制反射镜及其控制系统 | |
KR100682961B1 (ko) | 회전형 마이크로 미러 | |
WO2020055600A1 (en) | Scanning assembly for a detection system | |
CN107843886A (zh) | 一种非机械式扫描激光雷达光学装置和激光雷达系统 | |
EP2784567A1 (en) | Vibrating mirror element | |
JP2021535996A (ja) | 光検出および測距、すなわち、lidar測定のための同軸設定 | |
WO2018186128A1 (ja) | ヘッドアップディスプレイ装置 | |
JP2931342B2 (ja) | 光走査装置における結像レンズ保持装置 | |
JP6724663B2 (ja) | スキャナミラー | |
US20090251754A1 (en) | Light scanning unit, image forming apparatus employing the same and light scanning method | |
JP6559336B2 (ja) | 2次元光偏向器 | |
JP2001004941A (ja) | マルチビーム走査装置 | |
JP4677657B2 (ja) | 走査光学装置 | |
JP2004264702A (ja) | Mems素子および光デバイス | |
WO2020147625A1 (zh) | 扫描装置和激光雷达 | |
CN111090083B (zh) | 一种扫描振镜和激光雷达 | |
CN209281069U (zh) | 一种光纤与扫描驱动器连接结构及光纤扫描器 | |
US20190033539A1 (en) | Optical module and method for manufacturing the optical module | |
US20230221545A1 (en) | Micromechanical component | |
US6922296B2 (en) | Optical path adjusting device | |
JP6627436B2 (ja) | プロジェクタおよびヘッドアップディスプレイ装置 | |
JP4157647B2 (ja) | マルチビーム走査装置及びその光源装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A524 | Written submission of copy of amendment under article 19 pct |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A527 Effective date: 20181031 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181031 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190618 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190716 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6559336 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |